JP3738362B2

JP3738362B2 - 光学系のフレア光検出装置

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Publication number: JP3738362B2
Application number: JP24144396A
Authority: JP
Inventors: 俊文三橋
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Filing date: 1996-08-22
Publication date: 2006-01-25
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光学系のフレア光検出装置に係わり、特に、レンズ面の多重反射、鏡筒等の反射により生じるフレア光を検出するための光学系のフレア光検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
レンズ光学系においては、レンズ面等の反射によりフレア（ＦＬＡＲＥ）光の発生を避けることができない。このフレア（ＦＬＡＲＥ）は、ベイリング・グレア（ＶＥＩＬＩＮＧＧＲＡＲＥ）とも呼ばれ、レンズ系を構成する各レンズのレンズ面での多重反射等の反射散乱により生じるものであり、結像のための本来の光束に重畳して結像面に到達し、光学系の結像性能に悪影響を及ぼすものである。
【０００３】
このため、光学系の試験、或いは、フレア光の生じる原因を発見し、最適な光学系の設計を実現するために、フレア光を検出するためのフレア検出装置の出現が強く望まれている。例えば、内面が一様な球面光源となる積分球を用いたフレア検出装置が存在している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来のフレア検出装置は、フレア光が、本来の結像のための光束に対して非常に微弱であるため、検出が極めて困難である上、単にフレア率等を測定するのみであり、検出されたフレア光が、レンズ系のどのレンズ面で発生しているかを特定することができないという深刻な問題点があった。
【０００５】
従って本発明は、微弱であるフレア光を検出すると共に、フレア光の発生するレンズ面を容易に特定することのできる光学系のフレア光検出装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑み案出されたもので、ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光を被測定光学系に向けて投影し、該被測定光学系を通過した前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することを特徴としている。
【０００７】
また本発明は、ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を被測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することを特徴としている。
【０００８】
そして本発明の干渉縞は、結像に寄与する結像光の参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準光との干渉により形成することもできる。
【０００９】
更に本発明の光路長変換手段は、参照光路の光軸に沿って移動可能に構成された反射鏡とすることもできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以上の様に構成された本発明は、光源部がショートコヒーレントな光を出射し、光束分離手段が、光源部からの光束を基準光と参照光との２光束に分離し、参照光の光路内に配置された光路長変換手段が、参照光路の光路長を変化させ、基準光と参照光を被測定光学系に向けて投影し、受光手段は、被測定光学系を通過した基準光と参照光とを受光する様になっており、光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することができる。
【００１１】
また本発明は、光源部がショートコヒーレントな光を出射し、光束分離手段が、光源部からの光束を被測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基準光と参照光との２光束に分離し、参照光の光路内に配置された光路長変換手段が、参照光路の光路長を変化させ、受光手段が基準光と参照光とを受光する様になっており、光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することができる。
【００１２】
そして本発明の干渉縞は、結像に寄与する結像光の参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準光との干渉により形成することもできる。
【００１３】
更に本発明の光路長変換手段は、参照光路の光軸に沿って移動可能な反射鏡とすることもできる。
【００１４】
「原理」
【００１５】
ここで、本発明の原理を説明する。
【００１６】
図５に示す様に、本発明で使用される光干渉測定ユニット１０００は、光源部９００と、第１の投影レンズ９１０と、ハーフミラー９２０と、第１の反射鏡９３０と、第２の反射鏡９４０と、第２の投影レンズ９５０とから構成されている。
【００１７】
この光干渉測定ユニット１０００の第２の投影レンズ９５０と、像面３０００の間には、被測定光学系２０００のレンズ群が配置される。
【００１８】
光源部９００は、ショートコヒーレントな光を出射させるためのものであり、出射された光は第１の投影レンズ９１０により集光され、ハーフミラー９２０に入射される。光源部９００には、コヒーレンス長が短かく（例えば、２０ｎｍ以下）、波長としては、例えば８４０ｎｍの光源が利用される。なお光源９００には、スーパールミネセンス・ダイオード（ＳＬＤ）を使用することもできる。
【００１９】
ハーフミラー９２０は光束分離手段に該当するものであり、光源９００からの光束を基準光と参照光との２光束に分離させることができる。即ち、光源部９００から入射されたショートコヒーレント光の一部は、ハーフミラー９２０で反射され、第１の反射鏡９３０に向かう様になっており、第１の反射鏡９３０で反射された光は、ハーフミラー９２０を透過した後、第２の投影レンズ９５０を介して被測定光学系２０００のレンズ群に入射される基準光Ｋ１となる。
【００２０】
また、光源部９００から入射されたショートコヒーレント光の内、ハーフミラー９２０を透過した光は、第２の反射鏡９４０に向かう様になっており、第２の反射鏡９４０で反射された光は、ハーフミラー９２０で反射され、第２の投影レンズ９５０を介して被測定光学系２０００のレンズ群に入射される参照光Ｋ２となる。
【００２１】
基準光Ｋ１及び参照光Ｋ２は、被測定光学系２０００により、像面３０００に像を形成するが、被測定光学系２０００ではフレア光を生じさせ、フレア光は像面３０００に達する。ここで、基準光Ｋ１で生じたフレア光をＦ１とし、参照光Ｋ２により生じたフレア光をＦ２とする。更に、フレア光Ｆ１及びフレア光Ｆ２に対して、像面３０００に正常な像を形成させる光を結像光と呼ぶこととする。
【００２２】
なお、光干渉測定ユニット１０００の第２の反射鏡９４０は、参照光路の光軸方向に移動可能に構成されており、光路長を変化させることができる。即ち、第２の反射鏡９４０が（△／２）の距離を移動すると、光路長は△の距離変化することになる。従って、基本となる光路長をＬとすれば、第２の反射鏡９４０を（△／２）だけ移動させると、光路長はＬ＋△となる。
【００２３】
またフレア光は、被測定光学系２０００のレンズ面の多重反射に生じるので、光路長は、結像光より長くなる。このフレアにより増加する光路長を△Ｆと定義する。
【００２４】
ここで、結像光及びフレア光の光路長について整理すると、
【００２５】
（Ａ）結像光
【００２６】

【００２７】
（Ｂ）フレア光
【００２８】

【００２９】
第２の反射鏡９４０を（△／２）だけ移動させると、アンダーラインに示した様に、結像光の参照光Ｋ２の光路長と、フレア光の参照光によるＦ２の光路長とが変化する。
【００３０】
従って、第２の反射鏡９４０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、等しくなった場合には、像面３０００には干渉縞が形成される。
【００３１】
更に、光干渉測定ユニット１０００の本来の機能により、基準の位置（第２の反射鏡９４０が基準位置にあり、基準光路と参照光路との光路差が０の場合）では、結像光の基準光Ｋ１と結像光の基準光Ｋ２同士で干渉縞が生じ、更に、基準位置では、フレア光の基準光Ｆ１とフレア光の基準光Ｆ２同士で干渉縞が生じる。即ち、「＄」印同士、及び「＊」印同士で干渉縞が生じることになる。
【００３２】
これらの現象を利用することにより、基準の位置から、次の干渉縞が発生するまでの第２の反射鏡９４０の移動距離（△／２）を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。この△Ｆに基づいて、フレアが生じているレンズ面、或いは、フレアを生じさせるレンズ鏡筒の箇所を特定することができる。
【００３３】
【実施例】
【００３４】
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００３５】
「第１実施例」
【００３６】
図１に示す様に、本第１実施例のフレア光検出装置１００００は、光干渉測定ユニット１０００ａと、この光干渉測定ユニット１０００ａにより生じた干渉縞を検出するための干渉縞検出装置とから構成されている。
【００３７】
光干渉測定ユニット１０００ａは、光源部１００と、第１の投影レンズ１１０と、ハーフミラー１２０と、第１の反射鏡１３０と、第２の反射鏡１４０と、第２の投影レンズ１５０とから構成されている。
【００３８】
干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段２００と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、演算処理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７００と、反射鏡駆動手段８００とから構成されている。
【００３９】
この光干渉測定ユニット１０００ａの第２の投影レンズ１５０と、像面に相当する位置に配置されている受光手段２００の間には、被測定光学系２０００のレンズ群が配置される。
【００４０】
本第１実施例の光干渉測定ユニット１０００ａは、上述の「原理」で説明した光干渉測定ユニット１０００と同様であるので、説明を省略する。
【００４１】
受光手段２００は、光干渉測定ユニット１０００ａの像面の位置に配置され、形成された干渉縞を光電検知するためのものである。干渉縞を検知可能な光電素子でれば、何れのセンサを使用することができる。
【００４２】
検波手段３００は、受光手段２００からの干渉信号をヘテロダイン検波するためのものである。なお、第２の反射鏡１４０を高速に走査すれば、ドップラー効果による干渉縞を受光することができる。この受光した干渉信号をヘテロダイン検波することにより、バイアス光の１０の１５乗分の１という微弱光を検知することができ、微弱なフレア光を検出することができる。
【００４３】
Ａ／Ｄ変換器４００は、検波手段３００で検波されたアナログ信号をディジタル信号に変換し、演算処理手段５００で演算処理するためのものである。
【００４４】
演算処理手段５００は、受光手段２００からの干渉信号に基づき、干渉縞を検出すると共に、反射鏡駆動手段８００を駆動して第２の反射鏡１４０を移動させるものである。そして演算処理手段５００は、ＣＰＵを含み、本第１実施例のフレア光検出装置１００００全体の制御を司っている。
【００４５】
入力手段６００は、使用者が演算処理手段５００に対して、各種の命令等を入力するためのものである。特に、反射鏡駆動手段８００を駆動して第２の反射鏡１４０を移動させる命令を入力することができる。
【００４６】
出力手段７００は、受光手段２００で受光した干渉縞をモニタするためのディスプレイ装置や、反射鏡駆動手段８００により移動された第２の反射鏡１４０の移動距離（△／２）を表示する手段を備えている。
【００４７】
反射鏡駆動手段８００は、第２の反射鏡１４０を直線的に移動させるためのものである。第２の反射鏡１４０を移動させることのできる機構であれば、何れのものを採用することができる。
【００４８】
ここで、第２の反射鏡１４０と反射鏡駆動手段８００とが、光路長変換手段に該当するものである。
【００４９】
以上の様に構成された本第１実施例のフレア光検出装置１００００は、反射鏡駆動手段８００により第２の反射鏡１４０を移動させ、基準光Ｋ１と参照光Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞が発生する。即ち、図２に示す様に、受光手段２００の出力振幅が大きくなる。なお、この位置が基準位置となる。
【００５０】
更に、反射鏡駆動手段８００により第２の反射鏡１４０を基準位置から移動させ、第２の反射鏡１４０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、等しくなった場合には、やや弱い次の干渉縞が発生する。図２に示す様に、受光手段２００からやや小さい振幅の出力信号が検出される。従って、第２の反射鏡１４０の基準位置から、干渉縞発生までの移動量を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。このフレア光路差△Ｆが得られれば、光線追跡によるシミュレーション等の手段により、被測定光学系２０００のレンズ群の中から、フレアが生じているレンズ面を特定することができる。
【００５１】
また、基準位置での干渉縞と、第２の反射鏡１４０の移動により生じる次の干渉縞との強度の比から、フレア光の強度も測定することができる。
【００５２】
「第２実施例」
【００５３】
次に本発明の第２実施例を図３に基づいて説明する。
【００５４】
本第２実施例のフレア光検出装置２００００は、光干渉測定ユニット１０００ｂと、この光干渉測定ユニット１０００ｂにより生じた干渉縞を検出するための干渉縞検出装置とから構成されている。
【００５５】
光干渉測定ユニット１０００ｂは、光源１００と、参照ミラー１６０と、集光レンズ１６５と、分波器１７０と、光ファイバー１８０と、ファイバー反射端１９０とから構成されている。
【００５６】
光ファイバー１８０は、光源１００から光を導くための第１のファイバー１８１と、被測定光学系２０００まで導くための射出光用光ファイバー１８２と、参照ミラー１６０まで導くための参照用光ファイバー１８３と、反射端１９０に導くための反射端用光ファイバー１８４とから構成されている。
【００５７】
分波器１７０は、第１のファイバー１８１からの光を参照用光ファイバー１８３と反射端用光ファイバー１８４とに分岐するためのものである。なお、分波器１７０は、光束分離手段に該当するものである。
【００５８】
また、分波器１７０は、反射端１９０で反射され反射端用光ファイバー１８４により導かれた基準光Ｋ１と、参照ミラー１６０から反射され参照用光ファイバー１８３に導かれた参照光Ｋ２とを、射出光用光ファイバー１８２に導く機能も有している。
【００５９】
以上の様に構成された光干渉測定ユニット１０００ｂは、参照ミラー１６０を移動させることにより、参照光Ｋ２の光路長を変化させることができる。参照ミラー１６０の移動は、前述の第１実施例の光干渉測定ユニット１０００ａの第２の反射鏡１４０の移動に等価となっている。
【００６０】
射出光用光ファイバー１８２の射出端１８２ａから射出された基準光Ｋ１と参照光Ｋ２とは、回転台４０００に載置された被測定光学系２０００に入射される様に構成されている。
【００６１】
被測定光学系２０００により形成される基準光Ｋ１及び参照光Ｋ２の像面には、受光用光ファイバー２１０が形成されている。受光用光ファイバー２１０は、第１の受光用光ファイバー２１１と、第２の受光用光ファイバー２１２とから構成されており、第１の受光用光ファイバー２１１の受光端は、基準光Ｋ１と参照光Ｋ２による結像光を受光する様に配置されており、第２の受光用光ファイバー２１２の受光端は、主光線近傍でのフレア光のみを受光する様に配置されている
。
【００６２】
第１の受光用光ファイバー２１１と第２の受光用光ファイバー２１２の出力端は、受光用分波器２２０で合成され、受光素子用光ファイバー２３０を介して受光素子に導く様に構成されている。
【００６３】
本第２実施例のフレア光検出装置２００００の干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段２００と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、演算処理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７００と、参照ミラー駆動手段８５０とから構成されている。
【００６４】
この光干渉測定ユニット１０００ｂの射出光用光ファイバー１８２の射出端１８２ａと、像面に相当する位置に配置されている受光用光ファイバー２１０の間には、被測定光学系２０００のレンズ群が配置される。
【００６５】
本第２実施例の光干渉測定ユニット１０００ｂのその他の構成、作用は、上述の「原理」で説明した光干渉測定ユニット１０００や、本第１実施例の光干渉測定ユニット１０００ａと同様であるから説明を省略する。
【００６６】
参照ミラー駆動手段８５０は、光干渉測定ユニット１０００ｂの参照ミラー１６０を直線的に移動させるためのものである。本第２実施例のフレア光検出装置２００００の参照ミラー駆動手段８５０は、第１実施例のフレア光検出装置１００００の反射鏡駆動手段８００と対応するものである。
【００６７】
本第２実施例のフレア光検出装置２００００の参照ミラー駆動手段８５０以外のその他の構成は、第１実施例のフレア光検出装置１００００と同様であるから説明を省略する。
【００６８】
以上の様に構成された本第２実施例のフレア光検出装置２００００は、参照ミラー駆動手段８５０により参照ミラー１６０を移動させ、基準光Ｋ１と参照光Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞が発生する。更に、参照ミラー駆動手段８５０により参照ミラー１６０を基準位置から移動させ、参照ミラー１６０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、等しくなった場合には、やや弱い干渉縞が発生する。従って、参照ミラー１６０の基準位置から、干渉縞発生までの移動量を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。この△Ｆに基づいて、被測定光学系２０００のレンズ群の中から、フレアが生じているレンズ面を特定することができる。
【００６９】
なお、被測定光学系２０００を載置している回転台４０００を回転させることにより、斜めに入射する光に対するフレア光を検出することができる。
【００７０】
更に、回転台４０００による被測定光学系２０００の回転に代えて、光干渉測定ユニット１０００ｂの射出光用光ファイバー１８２の射出端１８２ａを走査させることも可能である。
【００７１】
「第３実施例」
【００７２】
次に本発明の第３実施例を図４に基づいて説明する。
【００７３】
図４に示す様に、本第３実施例のフレア光検出装置３００００は、光干渉測定ユニット１０００ｃと、この光干渉測定ユニット１０００ｃにより生じた干渉縞を検出するための干渉縞検出装置とから構成されている。
【００７４】
本第３実施例のフレア光検出装置３００００は、本第１実施例のフレア光検出装置１００００の光源部１００と受光手段２００の位置を入れ換えたものに相当する。
【００７５】
光干渉測定ユニット１０００ｃは、第１の投影レンズ１１０と、ハーフミラー１２０と、第１の反射鏡１３０と、第２の反射鏡１４０と、第２の投影レンズ１５０とから構成されている。
【００７６】
干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段２００と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、演算処理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７００と、反射鏡駆動手段８００とから構成されている。
【００７７】
光源１００からのショートコヒーレント光は、回転台４０００に載置された被測定光学系２０００に入射される。そして被測定光学系２０００からの結像光は、光干渉測定ユニット１０００ｃに入射する様に構成されている。
【００７８】
第２の投影レンズ１５０を介して入射された結像光の一部は、ハーフミラー１２０で透過され、第１の反射鏡１３０に向かう様になっており、第１の反射鏡１３０で反射された光は、ハーフミラー１２０で反射した後、第１の投影レンズ１１０を介して受光素子２００に入射される基準光Ｋ１となる。
【００７９】
また入射された結像光の内、ハーフミラー１２０を反射した光は、第２の反射鏡１４０に向かう様になっており、第２の反射鏡１４０で反射された光は、ハーフミラー１２０で透過し、第１の投影レンズ１１０を介して受光素子２００に入射される参照光Ｋ２となる。
【００８０】
本第３実施例の光干渉測定ユニット１０００ｃのその他の構成、作用は、上述の「原理」で説明した光干渉測定ユニット１０００や、本第１実施例の光干渉測定ユニット１０００ａと同様であるから説明を省略する。
【００８１】
本第３実施例のフレア光検出装置３００００の干渉縞検出装置の電気的構成は、第１実施例のフレア光検出装置１００００と同様であるから説明を省略する。
【００８２】
以上の様に構成された本第３実施例のフレア光検出装置３００００は、反射鏡駆動手段８００により第２の反射鏡１４０を移動させ、基準光Ｋ１と参照光Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞が発生する。更に、反射鏡駆動手段８００により第２の反射鏡１４０を基準位置から移動させ、第２の反射鏡１４０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、等しくなった場合には、やや弱い干渉縞が発生する。従って、第２の反射鏡１４０の基準位置から、干渉縞発生までの移動量を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。この△Ｆに基づいて、被測定光学系２０００のレンズ群の中から、フレアが生じているレンズ面を特定することができる。
【００８３】
なお、被測定光学系２０００を載置している回転台４０００を回転させることにより、斜めに入射する光に対するフレア光を検出することができる。
【００８４】
【効果】
以上の様に構成された本発明は、ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光を被測定光学系に向けて投影し、該被測定光学系を通過した前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出する構成となっており、微弱であるフレア光を検出すると共に、フレア光の発生するレンズ面を容易に特定することのできると共に、フレア光の強度も検出できるという卓越した効果がある。
【００８５】
更に本発明は、ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を被測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出する構成となっているので、被測定光学系を通過した光の光路長を変化させることができ、斜め方向から入射した光により生じるフレア光を検出することができるという効果がある。
【００８６】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の構成を示す図である。
【図２】受光手段２００の出力信号を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例の構成を示す図である。
【図４】本発明の第３実施例の構成を示す図である。
【図５】本発明の原理を説明する図である。
【符号の説明】
１００００第１実施例のフレア光検出装置
２００００第２実施例のフレア光検出装置
３００００第３実施例のフレア光検出装置
１０００ａ第１実施例の光干渉測定ユニット
１０００ｂ第２実施例の光干渉測定ユニット
１０００ｃ第３実施例の光干渉測定ユニット
２０００被測定光学系
４０００回転台
１００光源部
１１０第１の投影レンズ
１２０ハーフミラー
１３０第１の反射鏡
１４０第２の反射鏡
１５０第２の投影レンズ
１６０参照ミラー
１６５集光レンズ
１７０分波器
１８０光ファイバー
１８１第１のファイバー
１８２射出光用光ファイバー
１８３参照用光ファイバー
１８４反射端用光ファイバー
１９０ファイバー反射端
２００受光手段
２１０受光用光ファイバー
２１１第１の受光用光ファイバー
２１２第２の受光用光ファイバー
２２０受光用分波器
２３０受光素子用光ファイバー
３００検波手段
４００Ａ／Ｄ変換器
５００演算処理手段
６００入力手段
７００出力手段
８００反射鏡駆動手段
８５０参照ミラー駆動手段

Claims

ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光を被測定光学系に向けて投影し、該被測定光学系を通過した前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することを特徴とする光学系のフレア光検出装置。
ショートコヒーレントな光を出射するための光源部と、この光源部からの光束を被測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を検出することを特徴とする光学系のフレア光検出装置。
前記干渉縞は、結像に寄与する結像光の参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準光との干渉により形成される請求項１又は２記載の光学系のフレア光検出装置。
光路長変換手段は、参照光路の光軸に沿って移動可能に構成された反射鏡である請求項１又は２記載の光学系のフレア光検出装置。