JPH1062300A - 光学系のフレア光検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ 本発明は光学系のフレア光検出装置に係わ
り、特に、レンズ面の多重反射、鏡筒等の反射により生
じるフレア光を検出するための光学系のフレア光検出装
置を提供することを目的とする。 ［構成］ 本発明は、光源部がショートコヒーレントな
光を出射し、光束分離手段が、光源部からの光束を基準
光と参照光との２光束に分離し、参照光の光路内に配置
された光路長変換手段が、参照光路の光路長を変化さ
せ、基準光と参照光を被測定光学系に向けて投影し、受
光手段は、被測定光学系を通過した基準光と参照光とを
受光する様になっており、光路長変換手段による光路長
の変換により生じた干渉縞に対応する受光手段からの受
光信号に基づき、被測定光学系により生じたフレア光を
検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光学系のフレア光検
出装置に係わり、特に、レンズ面の多重反射、鏡筒等の
反射により生じるフレア光を検出するための光学系のフ
レア光検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レンズ光学系においては、レンズ面等の
反射によりフレア（ＦＬＡＲＥ）光の発生を避けること
ができない。このフレア（ＦＬＡＲＥ）は、ベイリング
・グレア（ＶＥＩＬＩＮＧ ＧＲＡＲＥ）とも呼ばれ、
レンズ系を構成する各レンズのレンズ面での多重反射等
の反射散乱により生じるものであり、結像のための本来
の光束に重畳して結像面に到達し、光学系の結像性能に
悪影響を及ぼすものである。

【０００３】このため、光学系の試験、或いは、フレア
光の生じる原因を発見し、最適な光学系の設計を実現す
るために、フレア光を検出するためのフレア検出装置の
出現が強く望まれている。例えば、内面が一様な球面光
源となる積分球を用いたフレア検出装置が存在してい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のフレア検出装置は、フレア光が、本来の結像のための
光束に対して非常に微弱であるため、検出が極めて困難
である上、単にフレア率等を測定するのみであり、検出
されたフレア光が、レンズ系のどのレンズ面で発生して
いるかを特定することができないという深刻な問題点が
あった。

【０００５】従って本発明は、微弱であるフレア光を検
出すると共に、フレア光の発生するレンズ面を容易に特
定することのできる光学系のフレア光検出装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
案出されたもので、ショートコヒーレントな光を出射す
るための光源部と、この光源部からの光束を基準光と参
照光との２光束に分離するための光束分離手段と、この
参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化さ
せるための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光
を被測定光学系に向けて投影し、該被測定光学系を通過
した前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手
段と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生
じた干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づ
き、被測定光学系により生じたフレア光を検出すること
を特徴としている。

【０００７】また本発明は、ショートコヒーレントな光
を出射するための光源部と、この光源部からの光束を被
測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基
準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段
と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長
を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前
記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変
換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応す
る該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系に
より生じたフレア光を検出することを特徴としている。

【０００８】そして本発明の干渉縞は、結像に寄与する
結像光の参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準
光との干渉により形成することもできる。

【０００９】更に本発明の光路長変換手段は、参照光路
の光軸に沿って移動可能に構成された反射鏡とすること
もできる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以上の様に構成された本発明は、
光源部がショートコヒーレントな光を出射し、光束分離
手段が、光源部からの光束を基準光と参照光との２光束
に分離し、参照光の光路内に配置された光路長変換手段
が、参照光路の光路長を変化させ、基準光と参照光を被
測定光学系に向けて投影し、受光手段は、被測定光学系
を通過した基準光と参照光とを受光する様になってお
り、光路長変換手段による光路長の変換により生じた干
渉縞に対応する受光手段からの受光信号に基づき、被測
定光学系により生じたフレア光を検出することができ
る。

【００１１】また本発明は、光源部がショートコヒーレ
ントな光を出射し、光束分離手段が、光源部からの光束
を被測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過し
た基準光と参照光との２光束に分離し、参照光の光路内
に配置された光路長変換手段が、参照光路の光路長を変
化させ、受光手段が基準光と参照光とを受光する様にな
っており、光路長変換手段による光路長の変換により生
じた干渉縞に対応する受光手段からの受光信号に基づ
き、被測定光学系により生じたフレア光を検出すること
ができる。

【００１２】そして本発明の干渉縞は、結像に寄与する
結像光の参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準
光との干渉により形成することもできる。

【００１３】更に本発明の光路長変換手段は、参照光路
の光軸に沿って移動可能な反射鏡とすることもできる。

【００１４】「原理」

【００１５】ここで、本発明の原理を説明する。

【００１６】図５に示す様に、本発明で使用される光干
渉測定ユニット１０００は、光源部９００と、第１の投
影レンズ９１０と、ハーフミラー９２０と、第１の反射
鏡９３０と、第２の反射鏡９４０と、第２の投影レンズ
９５０とから構成されている。

【００１７】この光干渉測定ユニット１０００の第２の
投影レンズ９５０と、像面３０００の間には、被測定光
学系２０００のレンズ群が配置される。

【００１８】光源部９００は、ショートコヒーレントな
光を出射させるためのものであり、出射された光は第１
の投影レンズ９１０により集光され、ハーフミラー９２
０に入射される。光源部９００には、コヒーレンス長が
短かく（例えば、２０ｎｍ以下）、波長としては、例え
ば８４０ｎｍの光源が利用される。なお光源９００に
は、スーパールミネセンス・ダイオード（ＳＬＤ）を使
用することもできる。

【００１９】ハーフミラー９２０は光束分離手段に該当
するものであり、光源９００からの光束を基準光と参照
光との２光束に分離させることができる。即ち、光源部
９００から入射されたショートコヒーレント光の一部
は、ハーフミラー９２０で反射され、第１の反射鏡９３
０に向かう様になっており、第１の反射鏡９３０で反射
された光は、ハーフミラー９２０を透過した後、第２の
投影レンズ９５０を介して被測定光学系２０００のレン
ズ群に入射される基準光Ｋ１となる。

【００２０】また、光源部９００から入射されたショー
トコヒーレント光の内、ハーフミラー９２０を透過した
光は、第２の反射鏡９４０に向かう様になっており、第
２の反射鏡９４０で反射された光は、ハーフミラー９２
０で反射され、第２の投影レンズ９５０を介して被測定
光学系２０００のレンズ群に入射される参照光Ｋ２とな
る。

【００２１】基準光Ｋ１及び参照光Ｋ２は、被測定光学
系２０００により、像面３０００に像を形成するが、被
測定光学系２０００ではフレア光を生じさせ、フレア光
は像面３０００に達する。ここで、基準光Ｋ１で生じた
フレア光をＦ１とし、参照光Ｋ２により生じたフレア光
をＦ２とする。更に、フレア光Ｆ１及びフレア光Ｆ２に
対して、像面３０００に正常な像を形成させる光を結像
光と呼ぶこととする。

【００２２】なお、光干渉測定ユニット１０００の第２
の反射鏡９４０は、参照光路の光軸方向に移動可能に構
成されており、光路長を変化させることができる。即
ち、第２の反射鏡９４０が（△／２）の距離を移動する
と、光路長は△の距離変化することになる。従って、基
本となる光路長をＬとすれば、第２の反射鏡９４０を
（△／２）だけ移動させると、光路長はＬ＋△となる。

【００２３】またフレア光は、被測定光学系２０００の
レンズ面の多重反射に生じるので、光路長は、結像光よ
り長くなる。このフレアにより増加する光路長を△Ｆと
定義する。

【００２４】ここで、結像光及びフレア光の光路長につ
いて整理すると、

【００２５】（Ａ）結像光

【００２６】 反射鏡の（△／２） 基準光路長 移動による光路長 △＝△Ｆの時 基準光Ｋ１ ＊（Ｌ） Ｌ Ｌ 参照光Ｋ２ ＊（Ｌ） Ｌ＋△ ＊（Ｌ＋△Ｆ）

【００２７】（Ｂ）フレア光

【００２８】 反射鏡の（△／２） 基準光路長 移動による光路長 △＝△Ｆの時 基準光によるＦ１ ＄（Ｌ＋△Ｆ） Ｌ＋△Ｆ ＊（Ｌ＋△Ｆ） 参照光によるＦ２ ＄（Ｌ＋△Ｆ） Ｌ＋△Ｆ＋△ Ｌ＋２△Ｆ

【００２９】第２の反射鏡９４０を（△／２）だけ移動
させると、アンダーラインに示した様に、結像光の参照
光Ｋ２の光路長と、フレア光の参照光によるＦ２の光路
長とが変化する。

【００３０】従って、第２の反射鏡９４０の移動による
参照光路の増加光路長△と、レンズ面の多重反射（フレ
ア）により増加する光路長△Ｆとが、等しくなった場合
には、像面３０００には干渉縞が形成される。

【００３１】更に、光干渉測定ユニット１０００の本来
の機能により、基準の位置（第２の反射鏡９４０が基準
位置にあり、基準光路と参照光路との光路差が０の場
合）では、結像光の基準光Ｋ１と結像光の基準光Ｋ２同
士で干渉縞が生じ、更に、基準位置では、フレア光の基
準光Ｆ１とフレア光の基準光Ｆ２同士で干渉縞が生じ
る。即ち、「＄」印同士、及び「＊」印同士で干渉縞が
生じることになる。

【００３２】これらの現象を利用することにより、基準
の位置から、次の干渉縞が発生するまでの第２の反射鏡
９４０の移動距離（△／２）を計測すれば、レンズ面の
多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆを求める
ことができる。この△Ｆに基づいて、フレアが生じてい
るレンズ面、或いは、フレアを生じさせるレンズ鏡筒の
箇所を特定することができる。

【００３３】

【実施例】

【００３４】次に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００３５】「第１実施例」

【００３６】図１に示す様に、本第１実施例のフレア光
検出装置１００００は、光干渉測定ユニット１０００ａ
と、この光干渉測定ユニット１０００ａにより生じた干
渉縞を検出するための干渉縞検出装置とから構成されて
いる。

【００３７】光干渉測定ユニット１０００ａは、光源部
１００と、第１の投影レンズ１１０と、ハーフミラー１
２０と、第１の反射鏡１３０と、第２の反射鏡１４０
と、第２の投影レンズ１５０とから構成されている。

【００３８】干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段
２００と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、
演算処理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７
００と、反射鏡駆動手段８００とから構成されている。

【００３９】この光干渉測定ユニット１０００ａの第２
の投影レンズ１５０と、像面に相当する位置に配置され
ている受光手段２００の間には、被測定光学系２０００
のレンズ群が配置される。

【００４０】本第１実施例の光干渉測定ユニット１００
０ａは、上述の「原理」で説明した光干渉測定ユニット
１０００と同様であるので、説明を省略する。

【００４１】受光手段２００は、光干渉測定ユニット１
０００ａの像面の位置に配置され、形成された干渉縞を
光電検知するためのものである。干渉縞を検知可能な光
電素子でれば、何れのセンサを使用することができる。

【００４２】検波手段３００は、受光手段２００からの
干渉信号をヘテロダイン検波するためのものである。な
お、第２の反射鏡１４０を高速に走査すれば、ドップラ
ー効果による干渉縞を受光することができる。この受光
した干渉信号をヘテロダイン検波することにより、バイ
アス光の１０の１５乗分の１という微弱光を検知するこ
とができ、微弱なフレア光を検出することができる。

【００４３】Ａ／Ｄ変換器４００は、検波手段３００で
検波されたアナログ信号をディジタル信号に変換し、演
算処理手段５００で演算処理するためのものである。

【００４４】演算処理手段５００は、受光手段２００か
らの干渉信号に基づき、干渉縞を検出すると共に、反射
鏡駆動手段８００を駆動して第２の反射鏡１４０を移動
させるものである。そして演算処理手段５００は、ＣＰ
Ｕを含み、本第１実施例のフレア光検出装置１００００
全体の制御を司っている。

【００４５】入力手段６００は、使用者が演算処理手段
５００に対して、各種の命令等を入力するためのもので
ある。特に、反射鏡駆動手段８００を駆動して第２の反
射鏡１４０を移動させる命令を入力することができる。

【００４６】出力手段７００は、受光手段２００で受光
した干渉縞をモニタするためのディスプレイ装置や、反
射鏡駆動手段８００により移動された第２の反射鏡１４
０の移動距離（△／２）を表示する手段を備えている。

【００４７】反射鏡駆動手段８００は、第２の反射鏡１
４０を直線的に移動させるためのものである。第２の反
射鏡１４０を移動させることのできる機構であれば、何
れのものを採用することができる。

【００４８】ここで、第２の反射鏡１４０と反射鏡駆動
手段８００とが、光路長変換手段に該当するものであ
る。

【００４９】以上の様に構成された本第１実施例のフレ
ア光検出装置１００００は、反射鏡駆動手段８００によ
り第２の反射鏡１４０を移動させ、基準光Ｋ１と参照光
Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞が
発生する。即ち、図２に示す様に、受光手段２００の出
力振幅が大きくなる。なお、この位置が基準位置とな
る。

【００５０】更に、反射鏡駆動手段８００により第２の
反射鏡１４０を基準位置から移動させ、第２の反射鏡１
４０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面
の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、
等しくなった場合には、やや弱い次の干渉縞が発生す
る。図２に示す様に、受光手段２００からやや小さい振
幅の出力信号が検出される。従って、第２の反射鏡１４
０の基準位置から、干渉縞発生までの移動量を計測すれ
ば、レンズ面の多重反射（フレア）により増加する光路
長△Ｆを求めることができる。このフレア光路差△Ｆが
得られれば、光線追跡によるシミュレーション等の手段
により、被測定光学系２０００のレンズ群の中から、フ
レアが生じているレンズ面を特定することができる。

【００５１】また、基準位置での干渉縞と、第２の反射
鏡１４０の移動により生じる次の干渉縞との強度の比か
ら、フレア光の強度も測定することができる。

【００５２】「第２実施例」

【００５３】次に本発明の第２実施例を図３に基づいて
説明する。

【００５４】本第２実施例のフレア光検出装置２０００
０は、光干渉測定ユニット１０００ｂと、この光干渉測
定ユニット１０００ｂにより生じた干渉縞を検出するた
めの干渉縞検出装置とから構成されている。

【００５５】光干渉測定ユニット１０００ｂは、光源１
００と、参照ミラー１６０と、集光レンズ１６５と、分
波器１７０と、光ファイバー１８０と、ファイバー反射
端１９０とから構成されている。

【００５６】光ファイバー１８０は、光源１００から光
を導くための第１のファイバー１８１と、被測定光学系
２０００まで導くための射出光用光ファイバー１８２
と、参照ミラー１６０まで導くための参照用光ファイバ
ー１８３と、反射端１９０に導くための反射端用光ファ
イバー１８４とから構成されている。

【００５７】分波器１７０は、第１のファイバー１８１
からの光を参照用光ファイバー１８３と反射端用光ファ
イバー１８４とに分岐するためのものである。なお、分
波器１７０は、光束分離手段に該当するものである。

【００５８】また、分波器１７０は、反射端１９０で反
射され反射端用光ファイバー１８４により導かれた基準
光Ｋ１と、参照ミラー１６０から反射され参照用光ファ
イバー１８３に導かれた参照光Ｋ２とを、射出光用光フ
ァイバー１８２に導く機能も有している。

【００５９】以上の様に構成された光干渉測定ユニット
１０００ｂは、参照ミラー１６０を移動させることによ
り、参照光Ｋ２の光路長を変化させることができる。参
照ミラー１６０の移動は、前述の第１実施例の光干渉測
定ユニット１０００ａの第２の反射鏡１４０の移動に等
価となっている。

【００６０】射出光用光ファイバー１８２の射出端１８
２ａから射出された基準光Ｋ１と参照光Ｋ２とは、回転
台４０００に載置された被測定光学系２０００に入射さ
れる様に構成されている。

【００６１】被測定光学系２０００により形成される基
準光Ｋ１及び参照光Ｋ２の像面には、受光用光ファイバ
ー２１０が形成されている。受光用光ファイバー２１０
は、第１の受光用光ファイバー２１１と、第２の受光用
光ファイバー２１２とから構成されており、第１の受光
用光ファイバー２１１の受光端は、基準光Ｋ１と参照光
Ｋ２による結像光を受光する様に配置されており、第２
の受光用光ファイバー２１２の受光端は、主光線近傍で
のフレア光のみを受光する様に配置されている。

【００６２】第１の受光用光ファイバー２１１と第２の
受光用光ファイバー２１２の出力端は、受光用分波器２
２０で合成され、受光素子用光ファイバー２３０を介し
て受光素子に導く様に構成されている。

【００６３】本第２実施例のフレア光検出装置２０００
０の干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段２００
と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、演算処
理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７００
と、参照ミラー駆動手段８５０とから構成されている。

【００６４】この光干渉測定ユニット１０００ｂの射出
光用光ファイバー１８２の射出端１８２ａと、像面に相
当する位置に配置されている受光用光ファイバー２１０
の間には、被測定光学系２０００のレンズ群が配置され
る。

【００６５】本第２実施例の光干渉測定ユニット１００
０ｂのその他の構成、作用は、上述の「原理」で説明し
た光干渉測定ユニット１０００や、本第１実施例の光干
渉測定ユニット１０００ａと同様であるから説明を省略
する。

【００６６】参照ミラー駆動手段８５０は、光干渉測定
ユニット１０００ｂの参照ミラー１６０を直線的に移動
させるためのものである。本第２実施例のフレア光検出
装置２００００の参照ミラー駆動手段８５０は、第１実
施例のフレア光検出装置１００００の反射鏡駆動手段８
００と対応するものである。

【００６７】本第２実施例のフレア光検出装置２０００
０の参照ミラー駆動手段８５０以外のその他の構成は、
第１実施例のフレア光検出装置１００００と同様である
から説明を省略する。

【００６８】以上の様に構成された本第２実施例のフレ
ア光検出装置２００００は、参照ミラー駆動手段８５０
により参照ミラー１６０を移動させ、基準光Ｋ１と参照
光Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞
が発生する。更に、参照ミラー駆動手段８５０により参
照ミラー１６０を基準位置から移動させ、参照ミラー１
６０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面
の多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、
等しくなった場合には、やや弱い干渉縞が発生する。従
って、参照ミラー１６０の基準位置から、干渉縞発生ま
での移動量を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレ
ア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。
この△Ｆに基づいて、被測定光学系２０００のレンズ群
の中から、フレアが生じているレンズ面を特定すること
ができる。

【００６９】なお、被測定光学系２０００を載置してい
る回転台４０００を回転させることにより、斜めに入射
する光に対するフレア光を検出することができる。

【００７０】更に、回転台４０００による被測定光学系
２０００の回転に代えて、光干渉測定ユニット１０００
ｂの射出光用光ファイバー１８２の射出端１８２ａを走
査させることも可能である。

【００７１】「第３実施例」

【００７２】次に本発明の第３実施例を図４に基づいて
説明する。

【００７３】図４に示す様に、本第３実施例のフレア光
検出装置３００００は、光干渉測定ユニット１０００ｃ
と、この光干渉測定ユニット１０００ｃにより生じた干
渉縞を検出するための干渉縞検出装置とから構成されて
いる。

【００７４】本第３実施例のフレア光検出装置３０００
０は、本第１実施例のフレア光検出装置１００００の光
源部１００と受光手段２００の位置を入れ換えたものに
相当する。

【００７５】光干渉測定ユニット１０００ｃは、第１の
投影レンズ１１０と、ハーフミラー１２０と、第１の反
射鏡１３０と、第２の反射鏡１４０と、第２の投影レン
ズ１５０とから構成されている。

【００７６】干渉縞検出装置の電気的構成は、受光手段
２００と、検波手段３００と、Ａ／Ｄ変換器４００と、
演算処理手段５００と、入力手段６００と、出力手段７
００と、反射鏡駆動手段８００とから構成されている。

【００７７】光源１００からのショートコヒーレント光
は、回転台４０００に載置された被測定光学系２０００
に入射される。そして被測定光学系２０００からの結像
光は、光干渉測定ユニット１０００ｃに入射する様に構
成されている。

【００７８】第２の投影レンズ１５０を介して入射され
た結像光の一部は、ハーフミラー１２０で透過され、第
１の反射鏡１３０に向かう様になっており、第１の反射
鏡１３０で反射された光は、ハーフミラー１２０で反射
した後、第１の投影レンズ１１０を介して受光素子２０
０に入射される基準光Ｋ１となる。

【００７９】また入射された結像光の内、ハーフミラー
１２０を反射した光は、第２の反射鏡１４０に向かう様
になっており、第２の反射鏡１４０で反射された光は、
ハーフミラー１２０で透過し、第１の投影レンズ１１０
を介して受光素子２００に入射される参照光Ｋ２とな
る。

【００８０】本第３実施例の光干渉測定ユニット１００
０ｃのその他の構成、作用は、上述の「原理」で説明し
た光干渉測定ユニット１０００や、本第１実施例の光干
渉測定ユニット１０００ａと同様であるから説明を省略
する。

【００８１】本第３実施例のフレア光検出装置３０００
０の干渉縞検出装置の電気的構成は、第１実施例のフレ
ア光検出装置１００００と同様であるから説明を省略す
る。

【００８２】以上の様に構成された本第３実施例のフレ
ア光検出装置３００００は、反射鏡駆動手段８００によ
り第２の反射鏡１４０を移動させ、基準光Ｋ１と参照光
Ｋ２との光路長が一致した時には、比較的強い干渉縞が
発生する。更に、反射鏡駆動手段８００により第２の反
射鏡１４０を基準位置から移動させ、第２の反射鏡１４
０の移動による参照光路の増加光路長△と、レンズ面の
多重反射（フレア）により増加する光路長△Ｆとが、等
しくなった場合には、やや弱い干渉縞が発生する。従っ
て、第２の反射鏡１４０の基準位置から、干渉縞発生ま
での移動量を計測すれば、レンズ面の多重反射（フレ
ア）により増加する光路長△Ｆを求めることができる。
この△Ｆに基づいて、被測定光学系２０００のレンズ群
の中から、フレアが生じているレンズ面を特定すること
ができる。

【００８３】なお、被測定光学系２０００を載置してい
る回転台４０００を回転させることにより、斜めに入射
する光に対するフレア光を検出することができる。

【００８４】

【効果】以上の様に構成された本発明は、ショートコヒ
ーレントな光を出射するための光源部と、この光源部か
らの光束を基準光と参照光との２光束に分離するための
光束分離手段と、この参照光の光路内に配置され、参照
光路の光路長を変化させるための光路長変換手段と、前
記基準光と前記参照光を被測定光学系に向けて投影し、
該被測定光学系を通過した前記基準光と前記参照光とを
受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による
光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段
からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフ
レア光を検出する構成となっており、微弱であるフレア
光を検出すると共に、フレア光の発生するレンズ面を容
易に特定することのできると共に、フレア光の強度も検
出できるという卓越した効果がある。

【００８５】更に本発明は、ショートコヒーレントな光
を出射するための光源部と、この光源部からの光束を被
測定光学系に向けて投影し、被測定光学系を通過した基
準光と参照光との２光束に分離するための光束分離手段
と、この参照光の光路内に配置され、参照光路の光路長
を変化させるための光路長変換手段と、前記基準光と前
記参照光とを受光するための受光手段と、前記光路長変
換手段による光路長の変換により生じた干渉縞に対応す
る該受光手段からの受光信号に基づき、被測定光学系に
より生じたフレア光を検出する構成となっているので、
被測定光学系を通過した光の光路長を変化させることが
でき、斜め方向から入射した光により生じるフレア光を
検出することができるという効果がある。

【００８６】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の構成を示す図である。

【図２】受光手段２００の出力信号を示す図である。

【図３】本発明の第２実施例の構成を示す図である。

【図４】本発明の第３実施例の構成を示す図である。

【図５】本発明の原理を説明する図である。

【符号の説明】

１００００ 第１実施例のフレア光検出装置 ２００００ 第２実施例のフレア光検出装置 ３００００ 第３実施例のフレア光検出装置 １０００ａ 第１実施例の光干渉測定ユニット １０００ｂ 第２実施例の光干渉測定ユニット １０００ｃ 第３実施例の光干渉測定ユニット ２０００ 被測定光学系 ４０００ 回転台 １００ 光源部 １１０ 第１の投影レンズ １２０ ハーフミラー １３０ 第１の反射鏡 １４０ 第２の反射鏡 １５０ 第２の投影レンズ １６０ 参照ミラー １６５ 集光レンズ １７０ 分波器 １８０ 光ファイバー １８１ 第１のファイバー １８２ 射出光用光ファイバー １８３ 参照用光ファイバー １８４ 反射端用光ファイバー １９０ ファイバー反射端 ２００ 受光手段 ２１０ 受光用光ファイバー ２１１ 第１の受光用光ファイバー ２１２ 第２の受光用光ファイバー ２２０ 受光用分波器 ２３０ 受光素子用光ファイバー ３００ 検波手段 ４００ Ａ／Ｄ変換器 ５００ 演算処理手段 ６００ 入力手段 ７００ 出力手段 ８００ 反射鏡駆動手段 ８５０ 参照ミラー駆動手段

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ショートコヒーレントな光を出射するた
   めの光源部と、この光源部からの光束を基準光と参照光
   との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照
   光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させる
   ための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光を被
   測定光学系に向けて投影し、該被測定光学系を通過した
   前記基準光と前記参照光とを受光するための受光手段
   と、前記光路長変換手段による光路長の変換により生じ
   た干渉縞に対応する該受光手段からの受光信号に基づ
   き、被測定光学系により生じたフレア光を検出すること
   を特徴とする光学系のフレア光検出装置。
2. 【請求項２】 ショートコヒーレントな光を出射するた
   めの光源部と、この光源部からの光束を被測定光学系に
   向けて投影し、被測定光学系を通過した基準光と参照光
   との２光束に分離するための光束分離手段と、この参照
   光の光路内に配置され、参照光路の光路長を変化させる
   ための光路長変換手段と、前記基準光と前記参照光とを
   受光するための受光手段と、前記光路長変換手段による
   光路長の変換により生じた干渉縞に対応する該受光手段
   からの受光信号に基づき、被測定光学系により生じたフ
   レア光を検出することを特徴とする光学系のフレア光検
   出装置。
3. 【請求項３】 前記干渉縞は、結像に寄与する結像光の
   参照光と、レンズ面反射によるフレア光の基準光との干
   渉により形成される請求項１又は２記載の光学系のフレ
   ア光検出装置。
4. 【請求項４】 光路長変換手段は、参照光路の光軸に沿
   って移動可能に構成された反射鏡である請求項１又は２
   記載の光学系のフレア光検出装置。