SU1113667A1 - Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени Download PDF

Info

Publication number
SU1113667A1
SU1113667A1 SU833553061A SU3553061A SU1113667A1 SU 1113667 A1 SU1113667 A1 SU 1113667A1 SU 833553061 A SU833553061 A SU 833553061A SU 3553061 A SU3553061 A SU 3553061A SU 1113667 A1 SU1113667 A1 SU 1113667A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
measure
image
measuring
section
increase
Prior art date
Application number
SU833553061A
Other languages
English (en)
Inventor
Илья Абрамович Вевюрко
Владимир Анатольевич Заигрин
Игорь Вадимович Ракитянский
Виктор Васильевич Шичков
Original Assignee
Всесоюзный научно-исследовательский институт электромеханики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный научно-исследовательский институт электромеханики filed Critical Всесоюзный научно-исследовательский институт электромеханики
Priority to SU833553061A priority Critical patent/SU1113667A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1113667A1 publication Critical patent/SU1113667A1/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Способ измереии  перемещений, заключающийс  в том, что формируют параллельный световой пучок, направл ют его на участок измерительной растровой меры, сопр гают изображение этого участка с другим участком меры так, что смещени  меры и ее изображени  в плоскости сопр жени  взаимно проти воположны, регистрируют за сопр жением световой поток, по числу пульсации которого определ ют перемещение мерь1 , отличающийс  тем, что, с целью повышени  чувствительности способа, увеличивают или уменьшают сопр гаемое изображение меры в

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, и может быть использовано дл  измерени  линейных и круговых перемещений.
Известен фотоэлектрический способ измерени  перемещений на основе использовани  растров заключающийс  в том, что формируют параллельный оптический пучок, пропускают его через последовательно установленные измерительную растровую меру, скрепл емую с контролируемым объектом, и .индикаторный растр и регистрируют прошедщий через меру и растр световой поток, по числу пульсации которого суд т о перемещении меры 1.
Недостатком известного способа  вл етс  низка  чувствительность из-за ограничени  пространственной частоты меры и растра технологическими факторами.
Наиболее близким к изобретению  вл етс  способ измерени  перемещений, заключающийс  в том. что формируют параллельный световой пучок, направл ют его на участок измерительной растровой меры, сопр гают изображение этого участка с другим участком меры так, что смещени  меры и ее изображени  в плоскости сопр жени  взаимно противоположны, регистрируют за сопр жением световой поток, по числу пульсации которого определ ют перемещение меРЫ (21.
Способ осуществл ют устройством дл  . измерени  перемещений, содержащим источник оптического излучени  и последовательно установленные по ходу оптического излучени  конденсор, круговую измерительную растровук) меру, объектив, отражательный блок, второй объектив, собирающую линзу и фотоприемник, диаметрально противоположные участки круговой меры оптически сопр жены через объективы и ( ражательный блок |2.
Недостатком способа и устройства  вл етс  ограниченна  чувствительность, так как используемое сопр жение растров с равными пространственными периодами обеспечивает формирование только двух.импульсов при смещении меры на один период.
Цель изобретени  - повышение чувствительности при фиксированном пространственном периоде меры.
Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу измерени  перемещений, заключающемус  в том, что формируют параллельный световой пучок, направл ют его на участок измерительной растровой меры, сопр гают изображение этого участка с другим участком меры так, что смеплени  меры и ее изображени  в плоскос-ти сопр жени  взаимно противоположны, регистрируют за сопр жением световой поток, по числу, пульсации которого определ ют перемещение меры , увеличивают или уменьшают сопр гаемое изображение меры в (2к + I) раз, где к 1,2,3,... - целое положительное число.
В устройстве, осуцгествл ющем способ и содержащем источник оптического излучени  и последовательно установлен ные по ходу оптического .излучени  конденсор, круговую измерительную растровую меру, объектив, отражательный блок, второй объектив , собирающую линзу и фотоприемник, причем диаметрально противоположные участки круговой меры оптически сопр жены через объективы и отражательный блок, фокусные рассто ни  fj и fj одного и другого объективов выбраны из соотношени  ft/fa (2к -f I), где к 1,2,3,... - целое положительное число.
На чертеже представлена схема устройства дл  осуществлени  способа измерени  перемещени .
Устройство содержит источник 1 оптического излучени  и последовательно установленные по ходу оптического излучени  конденсор 2, круговую измерительную меру 3, объектив 4, отражательный блок, состо щий из отражательных призм 5 и 6, второй объектив 7, собирающую линзу 8 и фотоприемник 9, диаметрально противоположные участки круговой меры 3 оптически сопрйжены через объективы 4 и 7 и отражательный блок, фокусные рассто ни  fi и fa одного и другого объективов выбраны из соотношени  fi/f (2к -f 1), где к - 1,2,3,... целое положительное число.
Способ осуществл етс  с помощью устройства следующим образом.
Параллельный пучок света, сформированный источником 1 оптического излучени  и конденсором 2, направл ют на участок круговой измерительной .меры 3. Сопр гают изображение этого участка с диаметрально противоположным участком меры с помощью объективов 4 и 7 и отражательного блока, содержащего призмы 5 и 6. Объективы 4 и 7 и отражательный блок формируют изображение таким образом, что смещени  изображени  и меры в плоскости сопр жени  взаимно противоположны.
С помощью собирающей линзы 8 и фотоприемника 9 регистрируют световой поток, прошедший сопр жение.
По числу пульсации светового потока определ ют перемещение меры.
Поскольку фокусные рассто ни  fi и г одного и другого объективов выбраны из соотношени  ft/f (2к+ 1), где к 1,2,3,... - целое число,, то сопр гаемое изображение увеличено или уменьшено в (2к -Ь 1) раз.
При перемещении меры световой поток за сопр жением испытывает амплитудную модул цию. Увеличение числа пульсаций и, следовательно, чувствительности устройства можно определить из выражени  (к-1-1).
Например, увеличение (уменьшение) оптического изображени  в 5 раз приводит к повышению чувствительности в 3 раза. При этом увеличение чувствительности сопровождаетс  уменьшениемглубины модул ции и соответствующим снижеиием отношени  сигнал/шум.
Таким образом, увеличение или уменьшение сопр гаемого изображени  участка
меры в (2к -I-1) раз позвол ет повысить чувствительность в (к + 1) раз.
Предлагаемые способ и устройство дл  измерени  перемещений допускают возможность использовани  значений увеличени  (уменьшени ) оптического изображени , отличающихс  от целых чисел, т. е. имеющих дробную часть, но при этом следует учитывать уменьшение глубины модул ции полезного сигнала.

Claims (2)

  1. Способ измерения перемещений, заключающийся в том, что формируют параллельный световой пучок, направляют его на участок измерительной растровой меры, сопрягают изображение этого участка с другим участком меры так, что смещения меры и ее изображения в плоскости сопряжения вза имно противоположны, регистрируют за сопряжением световой поток, по числу пульсации которого определяют перемещение меры, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности способа, увеличивают или уменьшают сопрягаемое изображение меры в (2к + 1) раз, где к = 1,2,3,..., целое положительное число.
  2. 2. Устройство для измерения перемещений по π. 1, содержащее источник оптического излучения и последовательно установленные по ходу оптического излучения конденсатор, круговую измерительную растровую меру, объектив, отражательный блок, второй объектив, собирающую линзу и фотоприемник, причем диаметрально противоположные участки круговой меры оптически сопря- β жены через объективы и отражательный S блок, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности способа, фокусные расстояния fi и (г одного и другого объективов выбраны из соотношения ίι/ί«(2κ + 1), где к = 1,2,3,... — целое положительное число.
SU833553061A 1983-02-10 1983-02-10 Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени SU1113667A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833553061A SU1113667A1 (ru) 1983-02-10 1983-02-10 Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833553061A SU1113667A1 (ru) 1983-02-10 1983-02-10 Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1113667A1 true SU1113667A1 (ru) 1984-09-15

Family

ID=21049862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833553061A SU1113667A1 (ru) 1983-02-10 1983-02-10 Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1113667A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Фотоэлектрические преобразователи информации. Под ред. Л. Н. Преснухина, М., «Машиностроение, 1974, с. 150. 2. Акцептованна за вка FR № 2151356, кл. G 01 В 11/00, 1972 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0134597B2 (en) Measuring system based on the triangulation principle for the dimensional inspection of an object
US5187546A (en) Displacement measurement apparatus with dual wedge interferometers
EP0727640A2 (en) Optical distance measurement
JPS60257309A (ja) 非接触距離測定装置
SU1113667A1 (ru) Способ измерени перемещений и устройство дл его осуществлени
US4902135A (en) Object movement measuring apparatus
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
RU2085836C1 (ru) Оптическое устройство для измерения расстояния от поверхности до исходной точки
SU1048307A1 (ru) Сканирующее интерференционное устройство с компенсацией фона
SU849006A1 (ru) Устройство дл измерени скорости
RU1820202C (ru) Способ измерени угловых и линейных перемещений
SU1441190A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени малых перемещений
SU1320663A1 (ru) Устройство дл измерени рассто ни до отражающей поверхности
SU610045A1 (ru) Светоделительный узел автоколлиматора
Bieman et al. Phase detected triangulation: a new twist on an old technology
JP3738362B2 (ja) 光学系のフレア光検出装置
SU1024701A1 (ru) Способ измерени перемещений
SU1044966A1 (ru) Фотоэлектрический микроскоп
SU715928A1 (ru) Способ определени разности хода интерферирующих лучей
SU695307A1 (ru) Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени
SU1753444A1 (ru) Оптическое фотоэлектрическое устройство
RU1835485C (ru) Способ определени профил сечени объекта
RU1781612C (ru) Способ измерени угловой скорости
SU998856A2 (ru) Оптический датчик перемещений
SU1408314A1 (ru) Устройство дл измерени профил показател преломлени и линейных размеров объектов с различными показател ми преломлени