JP3736317B2 - 電子部品実装方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を高位置精度で基板に実装する電子部品実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品実装装置においては、トレイなどに電子部品を収納した電子部品の供給部から電子部品をピックアップして実装対象の基板上に移送・搭載することが行われる。電子部品の搭載に際しては、所定位置に正しく位置合わせして搭載するために、電子部品や基板を光学的に認識する方法が広く用いられる。この方法は、基板に設けられた認識マークをカメラで撮像して位置を検出し、検出された位置に基づいて電子部品を基板に対して位置合わせするものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年電子部品の実装に求められる位置精度は高度化しており、電子部品の種類によっては、単に個々の電子部品を基板の実装点に所定精度で位置合わせすることのみならず、同一基板に実装された複数部品間の相対位置を高精度に保つことが求められるようになってきている。各電子部品の実装位置毎に認識マークを設ける従来の方法で、このような複数部品間の相対位置を含めた高い実装位置精度を実現しようとすれば、認識マーク自体を高精度化する必要がある。
【0004】
しかしながら、一般に基板に形成される認識マークの位置精度は低く、各基板の実装点毎に設けられる多数の認識マークを、マークの相対位置を含めて高精度で安定して加工することは困難である。このため、電子部品の位置合わせを認識マークによって行う従来の電子部品実装方法では、複数部品間の相対位置を高精度で確保した実装を行うことが困難であるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品実装方法は、電子部品の供給部から電子部品を取り出し搭載ヘッドによって基板位置決め部に載置された基板に実装する電子部品の実装方法であって、前記基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを前記基板位置決め部の基板に載置する位置と同一の位置に載置し前記認識マークを基板認識手段によって認識する工程と、この認識結果に基づいて前記電子部品の基板上での搭載位置を示す搭載位置データを前記基板位置決め部を基板認識手段および搭載ヘッドに対して相対的に移動させる移動手段の駆動軸座標系の座標値として求め記憶させる工程と、前記搭載位置データに基づいて前記基板位置決め部に載置された基板を前記搭載ヘッドに対して相対的に移動させて、基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせする工程とを含む。
【0007】
請求項2記載の電子部品実装方法は、請求項1記載の電子部品実装方法であって、前記電子部品を基板に搭載する際に、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を部品認識手段によって認識し、認識によって検出された位置ずれを補正する。
【0008】
上記構成の本発明によれば、基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを基板位置決め部に載置し認識マークを基板認識手段によって認識して得られた位置検出結果から電子部品の搭載位置データを求めて記憶させておき、電子部品の実装に際しては基板位置決め部に載置された基板を搭載位置データに基づいて搭載ヘッドに対して相対的に移動させて基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせすることにより、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の側面図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品実装対象の基板の斜視図、図4は本発明の一実施の形態の電子部品実装位置ティーチング用のテンプレートの平面図、図5は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図、図6は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図、図7は本発明の一実施の形態の実装位置ティーチング処理のフロー図、図8は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の説明図である。
【0010】
まず、図1および図2を参照して、電子部品実装装置の全体構造を説明する。電子部品1は、バンプ2を上向きにしてトレイ3に収納されている。トレイ3は保持テーブル4上に載せられており、保持テーブル4は第1の可動テーブル5上に載せられている。以上の要素は電子部品の供給部6を構成している。第1の可動テーブル5が駆動することにより、トレイ3内の電子部品1はピックアップ位置Pへ移動する。トレイ3の上方には、電子部品1を認識するためのカメラから成る第1の認識ユニット7が設けられている。
【0011】
図2において、10は第1のターンテーブルであり、放射状に延出する3本のアーム11を有している。各アーム11の内部には水平な回転軸16(図1)が設けられており、その先端部には第1のピックアップヘッド12が装着されている。第1のピックアップヘッド12は、電子部品1を真空吸着するノズル13を有している。
【0012】
図1において、各回転軸16の基端部には各々かさ歯車14が設けられている。15aは垂直な固定軸15の下端部に回転不能に結合された固定かさ歯車である。各々のかさ歯車14は固定かさ歯車15aに1:1のギヤ比で歯合している。アーム11の上部にはアーム11と一体のプーリ17が固定軸15にベアリングを介して固定軸15を中心に回転自在に設けられている。18はモータであり、その回転軸にはプーリ19が装着されている。プーリ17とプーリ19にはタイミングベルト20が調帯されている。21は、適所に設けられたベアリングである。
【0013】
したがってモータ18が駆動すると、アーム11は固定軸15を中心に矢印A方向(図2)に水平回転する。アーム11が回転すると、回転軸16に装着されているかさ歯車14も固定かさ歯車15aに歯合しながら回転し、回転軸16はその軸心を中心に回転する(矢印B)。したがって、アーム11が固定軸15を中心に180°回転するとトレイ3の電子部品1を真空吸着したノズル13は回転軸16を中心に180°回転し、これにより電子部品1は上下反転されてバンプ2を下向きにした姿勢になるとともに、以下に説明する第2のターンテーブルへの受け渡し位置に到達する。
【0014】
第1のターンテーブル10の側方には、第2のターンテーブル30が設けられている。第2のターンテーブル30のセンターの垂直な回転軸31からは、多数本のアームが放射状に延出している。回転軸31は、モータ34に駆動されて回転し、これによりこれらのアームは水平回転する。アーム32の先端部には、電子部品1を保持するための部品保持部32aが形成されている。
【0015】
図1において、第1のターンテーブル10と第2のターンテーブル30の境界部の上方には、第2のピックアップヘッド40が設けられている。第2のピックアップヘッド40はノズル41を有している。第2のピックアップヘッド40はブロック42の前面に設けられた垂直なガイドレール43に上下動自在に装着されており、モータ44が駆動してブロック42に内蔵された上下動機構(図示せず)が作動するとガイドレール43に沿って上下動する。
【0016】
また第2のピックアップヘッド40には、ノズル41をその軸心を中心に回転させるモータ45が備えられており、ノズル41をその軸心を中心に回転させることにより、ノズル41の下端部に真空吸着された電子部品1を水平回転させ、電子部品1の回転方向の向きを補正する。ブロック42は移動テーブル46に保持されており、モータ47が駆動すると、ブロック42や第2のピックアップヘッド40はY方向に水平移動する。
【0017】
図1において、第2のターンテーブル30の回転軸31の下部にはブロック50が装着されている。ブロック50の下面にはガイドレール51が設けられている。ガイドレール51には、スライダ54を介して第2の認識ユニット52が装着されている。ブロック50に内蔵された駆動部(図示せず)が駆動すると、第2の認識ユニット52および鏡筒53はガイドレール51に沿ってY方向へ水平移動する。第2の認識ユニット52は部品認識用のカメラ52a(部品認識手段)と基板認識用のカメラ52b(基板認識手段)を内蔵しており(図8参照)、鏡筒53の同一進出動作において上下両方向を撮像することが可能となっている。
【0018】
図1において、第1のターンテーブル10と反対側の第2のターンテーブル30の下方には、2つの直動テーブルをX方向およびY方向に組み合わせた第2の可動テーブル60が配設されている。第2の可動テーブル60上には基板61が載置される。第2の可動テーブル60を駆動することにより、載置された基板61はX方向やY方向へ水平移動し、基板61の位置調整が行われる。すなわち第2の可動テーブル60は基板位置決め部となっている。また第2の可動テーブル60を駆動する2つのモータ(図示せず)にはエンコーダが備えられており、これらのエンコーダからのパルス信号により、第2の可動テーブル60の駆動軸座標系での座標値が特定できるようになっている。後述する実装位置ティーチングは、これらの座標値に基づいて行われる。
【0019】
図1において、第2の可動テーブル60の上方には、第3のピックアップヘッド(搭載ヘッド)69が設けられている。第3のピックアップヘッド69から下方へ突出するノズル部70にはヒータ71が装着されており、またノズル部70の下端部には吸着子72が着脱自在に装着されている。吸着子72の下面には吸着孔が形成されており、この吸着孔は図示しない真空吸引手段と連通している。真空吸引手段を駆動することにより、電子部品1は吸着子72の下面に真空吸着により保持される。
【0020】
図1において、第3のピックアップヘッド69の側面にはスライダ75が装着されている。スライダ75はブロック77の前面に設けられた垂直なガイドレール76に嵌合している。ブロック77に備えられた上下動手段(図示せず)が駆動すると、第3のピックアップヘッド69はガイドレール76に沿って上下動する。
【0021】
第2の可動テーブル60上に基板61が載置され、吸着子72の下面に電子部品1が保持された状態で、第2の認識ユニット52の鏡筒53を電子部品1側へ前進させると、鏡筒53の先端部は電子部品1の直下に位置する。この状態で部品認識用のカメラ52aで上方を撮像することにより、電子部品1の位置認識が行われる。この位置認識は、バンプ2などの電子部品1の特徴部を撮像することにより行う。
【0022】
また同様に鏡筒53を進出させた状態で、基板認識用のカメラ52bで下方を撮像することにより、第2の認識ユニット52は基板61に形成された認識マークを撮像する。これにより、基板61の位置認識や、基板61上における電子部品の搭載位置の検出を行う。また、基板61の代わりに後述するテンプレート62を第2の可動テーブル60上に載置し、テンプレート62上に形成された認識マークを認識することにより、電子部品実装位置のティーチングが行えるようになっている。
【0023】
次に図3を参照して、本実施の形態に示す電子部品実装対象の基板について説明する。図3に示すように、基板61には複数(本実施の形態では5個)の電子部品1が実装される。ここで、それぞれの電子部品1の基板61上における実装点P1〜P5に対する実装精度は、個々の電子部品について定められた所定精度範囲内にあることが求められるのみならず、各電子部品相互間の相対位置(図3において矢印で示す各距離)をも所定精度範囲内に収めなければならない。
【0024】
このため、本実施の形態においては、図4に示すような実装位置ティーチング用のテンプレート62を用いて、各電子部品を基板61に実装する際の搭載位置をティーチングにより指示するようにしている。以下、実装位置ティーチングに用いられるテンプレート62について説明する。図4において、テンプレート62は各基板種類毎に準備される基準治具であり、熱や荷重による変形の少ない材質で基板61と同サイズに製作されている。テンプレート62には、基板61上での電子部品1の配置と整合する座標位置に、認識マークmna,mnb(n=1〜5)が形成されている。
【0025】
ここで認識マークmna,mnbは、1つの電子部品に対応して形成された2つの認識マークmna,mnbの中点(実装対応点)P1’〜P5’が、それぞれ図3に示す基板61上での実装点P1〜P5に一致し、かつ2つの認識マークmna,mnbを結ぶ直線方向が当該電子部品の対角方向と一致するように配置されており、認識マークmna,mnbの位置を検出することにより、各電子部品の正しい実装点が求められるようになっている。認識マークmna,mnbのテンプレート62上での位置精度は、電子部品1の実装後の基板61に求められる位置精度、すなわち個々の電子部品の位置精度と併せて、各電子部品相互間の相対位置精度が所定の許容範囲内に収まるような精度に設定されている。
【0026】
次に、図5を参照して制御系の構成について説明する。図5において、制御部75はCPUであり電子部品実装装置全体の動作制御のための各種演算・処理を行う。プログラム記憶部76は、各種演算・処理のためのプログラムを記憶する。データ記憶部77は、電子部品1の基板61上における位置を示す実装データや、後述する実装位置ティーチングによって教示された搭載位置データ、すなわち基板を第3のピックアップヘッド69に対して相対的に移動させる第2の可動テーブル60の駆動軸座標系の座標値で示された搭載位置データを記憶する。
【0027】
機構駆動部78は、第1の可動テーブル5、第1のターンテーブル10、第2のターンテーブル30、第2の可動テーブル60などの機構部を駆動する。第1の画像認識部79aは、第1の認識ユニット7の撮像データを画像認識することにより、保持テーブル4上での電子部品1の位置を認識する。第2の画像認識部79bは、第2の画像認識ユニット52の部品認識用のカメラ52a、基板認識用のカメラ52bの撮像結果を画像処理することにより、基板61やテンプレート62に形成された認識マークの位置を検出するとともに、第3のピックアップヘッド69に保持された状態の電子部品1の位置を検出する。ティーチング処理部80は、テンプレート62の認識マークの位置検出結果に基づいて、電子部品1を基板61に搭載する際の搭載位置データを算出する処理を行う。算出された搭載位置データは、データ記憶部77に記憶される。
【0028】
この電子部品実装装置は上記のような構成より成り、次に全体の動作を図6、図7のフローに沿って各図を参照しながら説明する。図6において、まず電子部品実装動作に先立って、実装対象の基板に応じて製作されたテンプレート62を用いた実装位置ティーチング処理が行われる(ST1)。これにより、基板61に実装される各電子部品1の搭載位置データが求められ、この後、実装動作が開始される。図1において、まず第2の可動テーブル60上には実装対象の基板61が載置される(ST2)。このとき、基板61は図示しない位置決め手段により上記ティーチング処理時におけるテンプレート62の載置位置と同一位置に載置される。
【0029】
次に第1の認識ユニット7でトレイ3内の実装対象の電子部品1の位置認識を行い(ST3)、この認識結果にしたがって、第1の可動テーブル5を駆動して電子部品1を第1のピックアップヘッド12によるピックアップ位置Pに移動させる(ST3)。次に第1のターンテーブル10が回転することにより、第1のピックアップヘッド12を電子部品1の上方へ移動させ(ST4)、そこでノズル13が上下動作を行うことにより、ノズル13の下端部に電子部品1を真空吸着してピックアップする(ST5)。この場合、上述のように第1の可動テーブル5を駆動して電子部品1の位置を調整したので、ノズル13は電子部品1のセンターを正しく真空吸着する。なおノズル13の上下動手段は第1のピックアップヘッド12に内蔵されている。
【0030】
次にモータ18が駆動することにより第1のターンテーブル10は矢印A方向(図2)へピッチ回転し、ピックアップした電子部品1を第2のピックアップヘッド40の下方へ搬送するが、このとき回転軸16はかさ歯車14と固定かさ歯車15aの作用によりその軸心を中心に矢印B方向へ回転し、ノズル13を上向きにして電子部品1を上下反転させ、バンプ2を下向きにする。
【0031】
次に図1において、第2のピックアップヘッド40のノズル41は上下動作を行い、ノズル13の上端部の電子部品1をピックアップする(ST6)。次に、第2のピックアップヘッド40が電子部品1をピックアップしたならば、第1の認識ユニット7の認識結果にしたがって、モータ45を駆動してノズル41を回転させることにより、電子部品1の回転方向のずれ量の位置補正を行う。また第2のターンテーブル30が回転し、アーム32の先端部が第2のピックアップヘッド40の直下へ移動してくる。そこで第2のピックアップヘッド40は上下動作を行い、電子部品1をアーム32上の部品保持部32aに受け渡す(ST7)。受け渡された電子部品1は、真空吸着されて保持される。
【0032】
次に第2のターンテーブル30は180°水平回転し、電子部品1を第3のピックアップヘッド69の直下まで搬送する。図1において鎖線で示すアーム32はこのときの状態を示している。次に第3のピックアップヘッド69は上下動作を行い、この電子部品1を吸着子72の下面に真空吸着してピックアップする(ST8)。
【0033】
次にアーム32は第3のピックアップヘッド69の直下から退去し、第2の認識ユニット52が吸着子72に真空吸着された電子部品1側へ前進して鏡筒53の先端部が電子部品1の直下へ移動する。そして部品認識用のカメラ52aによって電子部品1の位置認識を行う(ST9)。この位置認識は、バンプ2などの電子部品1の特徴部を観察することにより行う。これにより電子部品1の位置ずれ量が検出される。
【0034】
次にこの位置ずれ量および(ST1)によって取得された搭載位置データに基づいて、第2の可動テーブル60を駆動して基板61をX方向やY方向へ水平移動させ、電子部品1の実装点P1を吸着子72に真空吸着された電子部品1の直下へ移動させる(ST10)。すなわち、基板61の実装点を第3のピックアップヘッド69による部品搭載位置に位置合わせし、さらに吸着子72に保持された電子部品1の位置ずれ量分だけ基板61を移動させて位置補正を行う。
【0035】
次に第1のピックアップヘッド69を下降させて電子部品1のバンプ2を基板61の電極上に着地させ、その状態でヒータ71の伝熱によりバンプ2を加熱しながら電極に押し付けて電極にボンディングする(ST11)。次いで第3のピックアップヘッド69は上昇し、当該電子部品の実装動作を終了する。そして全ての電子部品の実装が完了したか否かを判断し(ST12)、未実装部品があれば(ST3)に戻り、次の電子部品について同様の実装動作を反復する。この後全ての電子部品の実装完了を確認して、当該基板への実装動作を終了する。
【0036】
ここで、図7のフローおよび図8を参照して、(ST1)の実装位置ティーチング処理について説明する。まず実装対象の基板61に対応したテンプレート62を第2の可動テーブル60上に載置する(ST21)。このとき、テンプレート62の載置位置は図示しない位置決め手段により基板61を第2の可動テーブル60に載置する際の位置と同一に保たれる。次に図8(a)に示すように鏡筒53を撮像位置に進出させる(ST22)。この状態では、部品認識用のカメラ52aの光軸aが、第3のピックアップヘッド69による部品搭載位置、すなわち吸着子72の中心位置に一致するよう、さらにカメラ52aの光軸aと基板認識用のカメラ52bとの光軸bが一致するように各部の位置調整がなされている。
【0037】
次に第2の可動テーブル60を駆動して、図8(a)に示すように対象実装点に対応する認識マークを基板認識用のカメラ52bの撮像視野C内に移動させる。図8(a)では、基板61の実装点P1に対応した認識マークma1,mb1が撮像対象となる。次いで認識マークを撮像して位置を検出し、実装点の位置を求める(ST24)。すなわち、認識マークma1,mb1の位置を検出してこれらの中点P1’を実装対応点として求める。そして第2の可動テーブル60を駆動してテンプレート62を移動させることにより、カメラ52bの光学座標系の原点位置を求められた実装対応点に合わせる(ST25)。
【0038】
そして、この状態で第2の可動テーブル60の駆動軸座標系の座標値を読み取り(ST26)、読み取った座標値を搭載位置データとしてデータ記憶部77に記憶させる(ST27)。すなわち、図8(a)に示す状態(第3のピックアップヘッド69による部品搭載位置に、第2の可動テーブル60の所定位置に載置されたテンプレート62の認識マークma1,mb1の中点(実装対応点)P1’が位置合わせされた状態)における第2の可動テーブル60の駆動軸座標系の座標値が搭載位置データとして記憶される。
【0039】
したがって、電子部品実装動作においては、基板61を第2の可動テーブル60上に上記ティーチング時のテンプレート62と置き換えた状態で、第2の可動テーブル60を上記座標値にしたがって駆動することにより、図8(b)に示すように第3のピックアップヘッド69の吸着子72に保持された電子部品1の直下に、基板61の実装点P1が位置する。すなわち、上記処理によって求められた座標値は、基板61における電子部品1の搭載位置を示す搭載位置データとなっている。
【0040】
この後、基板61の全ての実装点についてティーチング処理が完了したか否かを判断し(ST28)、未処理の実装点がある場合には(ST23)に戻り、当該実装点に対して同様の処理が行われる。そして全ての実装点について処理完了を確認して、当該基板に対するティーチング処理を終了する。
【0041】
上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品実装方法は、電子部品の供給部から電子部品1を取り出し搭載ヘッドとしての第3のピックアップヘッド69によって基板位置決め部としての第2の可動テーブル60に載置された基板61に実装する電子部品の実装方法において、基板61上での電子部品1の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレート62を第2の可動テーブル60上に載置して認識マークを基板認識用のカメラ52bによって認識することにより、各電子部品を実装する際の搭載位置をティーチングによって求めるものである。
【0042】
すなわち、認識によって検出された認識マークの位置から基板61における実装点に対応する実装対応点をテンプレート62上で求め、この実装対応点が第3のピックアップヘッド69による部品搭載位置に位置合わせされた状態における第2の可動テーブル60の駆動軸座標系の座標値を搭載位置データとして記憶させるものである。そして実装動作においては、この搭載位置データに基づいて第2の可動テーブル60を駆動することにより、基板61上の実装点は第3のピックアップヘッド69による部品搭載位置に正しく位置合わせされる。
【0043】
この電子部品実装においては、基板61の実装位置精度は実装位置ティーチング処理に用いるテンプレート62での認識マークの位置精度によって規定され、従来の方法で必要とされた各実装点毎に認識マークを設ける必要がない。したがって従来の方法において認識マークの位置誤差に起因して生じていた実装位置精度のばらつきを排除することが可能となる。すなわち、同一基板に実装される複数部品間の相対位置を高精度に保つ必要がある場合に、ティーチング用に高位置精度で認識マークが形成されたテンプレートを1枚のみ製作することにより、所望の実装位置精度を多数の基板について確保することができる。
【0044】
なお上記実施の形態においては、電子部品の実装形態としてバンプが形成されたフリップチップを基板の電極にボンディングする例を示しているが、本発明はこれに限定されず、他の種類の電子部品を接着材などによって基板に接着もしくは粘着させる場合であっても本発明を適用することができる。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば、基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを基板位置決め部に載置し認識マークを基板認識手段によって認識して得られた位置検出結果から電子部品の搭載位置データを求めて記憶させておき、電子部品の実装に際しては基板位置決め部に載置された基板を搭載位置データに基づいて搭載ヘッドに対して相対的に移動させて基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせするようにしたので、基板の各実装点毎に認識マークを設ける必要がなく、複数部品間の相対位置を高精度で確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の側面図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装対象の基板の斜視図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品実装位置ティーチング用のテンプレートの平面図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法のフロー図
【図7】本発明の一実施の形態の実装位置ティーチング処理のフロー図
【図8】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法の説明図
【符号の説明】
1 電子部品
10 第1のターンテーブル
12 第1のピックアップヘッド
30 第2のターンテーブル
40 第2のピックアップヘッド
52 第2の認識ユニット
52a,52b カメラ
60 第2の可動テーブル
61 基板
62 テンプレート
69 第3のピックアップヘッド
mna,mnb 認識マーク
Claims (2)
- 電子部品の供給部から電子部品を取り出し搭載ヘッドによって基板位置決め部に載置された基板に実装する電子部品の実装方法であって、前記基板上での電子部品の配置と整合する座標位置に認識マークが形成されたテンプレートを前記基板位置決め部の基板に載置する位置と同一の位置に載置し前記認識マークを基板認識手段によって認識する工程と、この認識結果に基づいて前記電子部品の基板上での搭載位置を示す搭載位置データを前記基板位置決め部を基板認識手段および搭載ヘッドに対して相対的に移動させる移動手段の駆動軸座標系の座標値として求め記憶させる工程と、前記搭載位置データに基づいて前記基板位置決め部に載置された基板を前記搭載ヘッドに対して相対的に移動させて、基板の実装点を搭載ヘッドによる部品搭載位置に位置合わせする工程とを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
- 前記電子部品を基板に搭載する際に、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を部品認識手段によって認識し、認識によって検出された位置ずれを補正することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装方法。
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