JP3731654B2 - 電子部品の加熱加圧接着装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品のような複数のワークを加熱加圧して互いに接着固定し、あるいは接着固定と同時に各端子間の電気接続を形成するための加熱加圧接着装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の加熱加圧接着装置は、例えば、集積回路のような表面実装タイプのチップ部品や他の電子部品(以下、単に「電子部品」又は「チップ部品」という)をガラス基板や樹脂基板のようなプリント回路基板等(以下、単に「基板」という)に実装する際に使用される。電子部品と基板との間に半田ペーストや導電性樹脂、異方性導電テープ等の接着層を挟んだ状態で、両者を加熱加圧することにより、電子部品が基板に接着固定され、あるいは接着固定と同時に両者の各端子間の電気接続が形成される。
【0003】
図7に、従来の電子部品の加熱加圧接着装置における加圧部の構造を示す。この加熱加圧接着装置は、直動案内装置100に沿って上下方向に案内される可動ブロック101と、同じく直動案内装置100に沿って上下方向に案内されるスライダ107を備えている。可動ブロック101には、プレート102を介してシリンダ103が固定されていると共に、支点ピン105周りに揺動するレバー104が設けられている。レバー104の揺動上端部には、シリンダ103の可動端部に当接するローラフォロア106が設けられ、揺動下端部は、スライダ107の上端部に設けられた受圧ローラ108に当接している。また、レバー104に固定されたばね掛け111とスライダ107に固定されたばね掛け109との間に引張りばね110が掛けられている。
【0004】
上記のような構造によれば、シリンダ103のピストンが伸張して可動先端部が図7において右方向に移動すると、レバー104の揺動上端部(ローラフォロア106)が右方向に押される。その結果、レバー104の揺動下端部が受圧ローラ108を介してスライダ107を押し下げるように作用する。このとき、引張りばね110には、上記の動作方向と逆方向の力をレバー104に与える復元力が発生する。
【0005】
スライダ107には、加熱加圧ヘッド(図示せず)が固定されており、スライダ107が上記の動作によって押し下げられると、加熱加圧ヘッドの先端部がワーク(チップ部品)に当接し、基板に対してチップ部品を押圧する。また、加熱加圧ヘッドの先端部に装着された加熱用ヒータによってチップ部品が加熱される。この結果、チップ部品と基板との間に挟まれた接着層が所定の膜厚まで加熱圧縮され、チップ部品が基板に接着固定される。あるいは、接着固定と同時にチップ部品の各端子とプリント基板のランドとの電気接続が形成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような加熱加圧接着装置において、チップ部品に過度のストレスを与えることなく確実にチップ部品を基板に接着する必要がある。また、チップ部品の各端子とプリント基板のランドとの電気接続を確実なものとする必要がある。このためには、加熱加圧ヘッドがチップ部品に与える加圧力、ひいては接着後の接着層の膜厚が適正な範囲内になるように管理することが重要である。特に、異方性導電テープを用いてチップ部品とプリント回路基板との接着及び端子・ランド間の電気接続を行う場合は、接着後の接着層の膜厚をプラス/マイナス数ミクロンのばらつき範囲に抑えることが要求されている。
他方、加熱加圧接着装置の汎用性を確保して、チップ部品の大きさ、プリント回路基板の種類、使用する接着層の種類等の条件が異なっても、同じ加熱加圧接着装置を使用できるようにすることが望ましい。このため、加熱加圧ヘッドがチップ部品に与える加圧力が、例えば150gから30kgといった広範囲にわたって可変であることが要求される。このような広範囲にわたる加圧力を確保する場合は、特に小さな加圧力において上記のような接着後の接着層の膜厚を所定のばらつき範囲に抑えることがむずかしくなる。
【0007】
図7に示した従来の加熱加圧接着装置の加圧部の構造では、上記のような要求を満たすことが困難であり、その要因として、下記のような点が挙げられる。
【0008】
第1に、レバー104を用いた倍力機構を介してシリンダ103の力を加熱加圧ヘッドのスライダ107に伝達するので、小さな加圧力における加圧力の調整を正確に行うことがむずかしい。
【0009】
第2に、レバー104とスライダ107との間に設けられた引張りばね110の働きによって加熱加圧ヘッド及びスライダ107の質量の影響(慣性力)を緩和しているものの、完全に相殺することがむずかしい。特に、引張りばね110のばね定数にばらつきや経時変化があるため、加熱加圧ヘッド及びスライダ107の質量の影響(慣性力)を完全に取り除くことは困難である。その結果、シリンダ103の駆動時の過渡期に加圧力が一時的に定常状態より高くなるオーバーシュートが大きくなりやすい。オーバーシュートが大きすぎると、チップ部品に過度のストレスがかかる。特に、近年はチップ部品の薄型化が進んでいるので、オーバーシュートによってチップ部品が破損するおそれもある。
【0010】
本発明は、上記のような従来の課題に鑑みてなされたものであり、加圧力のオーバーシュート及びばらつきを抑えて、接着後の接着層の膜厚を精度良く制御することが可能な新規な構造を有する加熱加圧接着装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明による電子部品の加熱加圧接着装置は、ワークをセットするためのステージと、ワークに対して加熱及び加圧を行うための加熱加圧ヘッド部と、該加熱加圧ヘッド部をワークに対して弾性的に押圧する加圧部と、前記加熱加圧ヘッド部及び前記加圧部を前記ワークに対して移動すると共に位置決めする送り部とを備えた電子部品の加熱加圧接着装置において、前記加熱加圧ヘッド部の質量を相殺するためのフローティングシリンダを有することを特徴とする。
【0012】
このような構造によれば、加圧部によるワークへの加圧力の制御と送り部による加熱加圧ヘッド部のワークに対する移動量の制御とを独立して行うことができるので、接着後の接着層の膜厚を精度良く制御することが可能になる。すなわち、送り部によって加熱加圧ヘッド部がワークに向かって下降しワークに接触すると、ワークを介して接着層が加熱される。送り部による加熱加圧ヘッド部の下降移動量(下限位置)は、接着後の接着層の膜厚が適正範囲内に入る値に設定されている。熱伝導の遅れによって接着層が溶融するまでの間は、送り部による加熱加圧ヘッド部の下降移動量の設定値と実際の加熱加圧ヘッド部の下降量との差は加圧部の弾性力が吸収する。やがて接着層が溶融すると、加圧部の弾性力(復元力)によって加熱加圧ヘッド部が所定の下限位置まで下降し、接着後の接着層の膜厚が適正範囲内に入るように制御される。
【0013】
更に、加熱加圧ヘッド部の質量を相殺するためのフローティングシリンダを備えているので、図7に示した従来例の構造のように引張りばねを用いて加熱加圧ヘッド部の質量を相殺する構造に比べて、ばね定数等の影響に左右されることなく加熱加圧ヘッド部の質量(慣性)の影響を略完全に取り除くことが可能になる。その結果、加圧過渡期に発生する加圧力のオーバーシュートを大幅に低減することができる。
【0014】
別の好ましい実施形態として、前記加圧部はエアシリンダを備え、前記エアシリンダの押圧力が前記加熱加圧ヘッド部に直接伝達されるように構成されている。このような構造によれば、図7に示した従来例の構造のようにレバーのような倍力機構を介してエアシリンダの押圧力が加熱加圧ヘッド部に伝達される構造に比べて、小さな加圧力の範囲内で使用する場合であっても加圧力の調整を正確に行うことができる。
【0015】
更に好ましくは、前記エアシリンダの可動端に備えられた加圧片と前記加熱加圧ヘッド部に備えられた受圧片とが対向するように配置され、前記加圧片が前記受圧片に当接することによって前記エアシリンダの押圧力が前記加熱加圧ヘッド部に伝達され、かつ、前記受圧片に対する前記加圧片の可動範囲を規制する手段が備えられている。
【0016】
このような構造によれば、加圧部と加熱加圧ヘッド部とが直結していないので、加圧部の質量がフローティングシリンダによる加熱加圧ヘッド部の質量の相殺作用に悪影響を及ぼすことがない。また、加圧部が加熱加圧ヘッド部を引き上げる動作は、受圧片に対する前記加圧片の可動範囲を規制する手段を介して行われる。
【0017】
別の好ましい構造として、前記加熱加圧ヘッド部のワークとの接触面が前記ステージの基準面に対して平行であることを確保するための平行調整機構を備えている。このような構造によれば、ワークの接着後における接着層の膜厚のばらつきを抑えて、更に精度良く制御することが可能になる。
【0018】
更に好ましくは、前記平行調整機構は、互いに直交するX軸及びY軸の両方向に独立して調整可能であり、同一方向から回転操作されるX軸調整螺子とY軸調整螺子を備え、X軸方向の平行調整機構は、前記X軸調整螺子の回転に伴ってその軸方向に移動するX軸調整片と、略直方体ブロックのX軸方向一側面及びY軸方向両側面に開口し前記X軸調整片の傾斜面と摺動する傾斜面を有するテーパ溝部と、前記X軸調整片の移動に伴って前記テーパ溝部の開口が広がる方向に変形するのを許容する構造と、前記テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造とを備え、Y軸方向の平行調整機構は、前記Y軸調整螺子の回転に伴ってその軸方向に移動するY軸調整片と、略直方体ブロックのY軸方向一側面及びX軸方向両側面に開口し前記Y軸調整片の傾斜面と摺動する傾斜面を有するテーパ溝部と、前記Y軸調整片の移動に伴って前記テーパ溝部の開口が広がる方向に変形するのを許容する構造と、前記テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造とを備えている。
【0019】
このような構造によれば、X軸及びY軸の両方向に独立して接着後の接着層の膜厚を調整可能であり、かつ、同一方向(例えば装置の前方)からX軸及びY軸の両方向の調整を行うことができるので、調整作業の作業性が良い。また、上記のようなユニークな構造により、平行調整機構をコンパクトに仕上げることができる。
【0020】
更に好ましくは、前記X軸方向及びY軸方向のそれぞれの平行調整機構において、固定側のブラケットに前記調整螺子が螺合し、前記調整螺子の先端部に前記調整片が相対回動自在に接続され、前記調整螺子が回転によってその軸方向に移動し、前記調整片を前記軸方向に移動させるように構成されている。このような構造によれば、調整螺子と調整片とが一体に構成されている場合に比べて、両者間の熱伝導が少なくなるので、温度が平行調整に及ぼす悪影響を小さくすることができる。
【0021】
別の好ましい構造として、前記送り部は、ボール螺子ユニットとサーボモータを有し、前記ボール螺子ユニットの回転側が前記サーボモータの回転軸に接続され、前記ボール螺子ユニットの可動側が前記加圧部に接続されている。このような構造によれば、送り部による加熱加圧ヘッド部の下降移動量の制御を高い精度で行うことができる。これにより、ワークの接着後における接着層の膜厚を精度良く制御することが可能になる。
【0022】
別の好ましい構造として、前記加圧部を構成する要素のうち、加圧用のエアシリンダを含む加圧ユニットが位置決め調整無しに交換可能であることを特徴とする。このような構造によれば、チップ部品の大きさ、プリント回路基板の種類、使用する接着層の種類等の条件に応じて要求される広い範囲の加圧力に対応することが可能になり、加熱加圧接着装置の汎用性を確保することができる。
【0023】
例えば、前記エアシリンダの動作力が段階的に異なる複数種類の加圧ユニットを交換することにより、150g〜30kgの加圧力に対応可能であることが好ましい。なお、前述のように、加圧部と加熱加圧ヘッド部とが直結していない構造をとることにより、加圧ユニットの交換が容易になる。
【0024】
別の好ましい構造として、前記加熱加圧ヘッド部及び前記加圧部を複数組備え、複数の前記加熱加圧ヘッド部が30mm〜60mmの範囲内の所定ピッチで配設されている。このような構造によれば、複数のワークをステージに並べてセットし、同時に加熱加圧接着を行うことができる。なお、前述のように平行調整機構をコンパクトに構成することにより、複数の前記加熱加圧ヘッド部を比較的狭いピッチで配設することが可能になる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
【0026】
図1は、本発明の実施形態に係る電子部品の加熱加圧接着装置の全体構成を示す斜視図である。ベースプレート1の上に、ワークWKをセットするためのステージ3と、このステージ3をX軸方向に移動させるステージ送りユニット2が設けられている。ステージ送りユニット2は、サーボモータとボール螺子機構を用いて精度良くステージ3を変位させることができる。なお、図1では省略しているが、ステージ3をY軸方向に移動させる同様のステージ送りユニットも設けられている。
【0027】
ワークWKは集積回路のような表面実装タイプのチップ部品や他の電子部品(以下、単に「電子部品」又は「チップ部品」という)であり、半田ペーストや導電性樹脂、異方性導電テープ等の接着層を挟んで接着対象の基板(例えばガラス基板や樹脂基板のようなプリント回路基板)の所定位置に置かれている。なお、「ワーク」という場合に、チップ部品だけでなくその接着対象(プリント回路基板等)を指すこともある。本実施形態の加熱加圧接着装置は、上記のような複数のワークを加熱加圧して互いに接着固定すると共に各端子間の電気接続を形成するための装置である。
【0028】
図2は、図1に示した加熱加圧接着装置の主要部の側面図である。以下、図1及び図2を参照して本実施形態の加熱加圧接着装置の構造を詳細に説明する。ステージ3上において、ワークWKの上方に加熱加圧ヘッド部のワーク加圧片50が位置している。ワーク加圧片50は、ワークWKに接触してワークWKを加熱すると共に、ワークWKを下方に(接着対象の基板に向けて)押圧するためのものであり、加熱用のヒータ48が組み込まれた加熱ブロック47に固定されている。また、ワーク加圧片50を所定の温度に制御するための温度センサー49がワーク加圧片50に装着されている。
【0029】
加熱ブロック47は、断熱板46を挟んで接続ブロック45の下端面に固定され、接続ブロック45の上端面は平行調整ブロック30の下端面に固定されている。平行調整ブロック30は、ワーク加圧片50のワークWKとの接触面がステージの基準面(例えば水平面)に対して平行であることを確保するための平行調整機構に相当する。その詳細構造及び動作については後述する。
【0030】
平行調整ブロック30はスライダ24に固定され、スライダ24はバーチカルベースプレート4に取り付けられた直動案内装置19に沿って上下方向(Z軸方向)に直線移動できるように構成されている。スライダ24には、次に説明する加圧部とのリンクのための受圧片25及びコネクティングプレート27が固定されている。
【0031】
以上に説明したワーク加圧片50からスライダ24までを含みZ軸方向に直線移動可能な一体のユニットが加熱加圧ヘッド部を構成している。次に、加熱加圧ヘッド部をワークWKに対して弾性的に押圧する加圧部の構造について説明する。
【0032】
加圧部は、加圧用のエアシリンダ(以下、「加圧シリンダ」という)29とその可動端(下端)に取り付けられた加圧片26、そして加圧シリンダ29の上部に固定された取付板28を含む加圧ユニットを備えている。加圧部は更に、加圧ユニットが螺子止めされる可動ブラケット20を備え、可動ブラケット20はバーチカルベースプレート4に取り付けられた直動案内装置19に沿って上下方向(Z軸方向)に直線移動できるように構成されている。
【0033】
加圧ユニットを構成する加圧片26は、加熱加圧ヘッド部の受圧片25と対向するように配置され、加圧片26が受圧片25に当接することによって加圧部の加圧シリンダ29から加熱加圧ヘッド部に押圧力が伝達されるように構成されている。また、円柱状の加圧片26の外周面に溝26aが形成され、加熱加圧ヘッド部のスライダ24に固定されたコネクティングプレート27の水平部の先端に形成された二股状の係合部27aが上記の溝26aに遊嵌することにより、受圧片25に対する加圧片26の可動範囲を規制する手段が構成されている。すなわち、加圧片26の溝26aの幅はコネクティングプレート27の係合部27aの厚みより大きく形成され、係合部27aが溝26aの幅内で移動できる範囲が受圧片25に対する加圧片26の可動範囲に相当する。
【0034】
上記のような構造により、加圧部の加圧シリンダ29の可動端に固定された加圧片26が上昇するときは、その溝26aとコネクティングプレート27の係合部27aとの係合によってスライダ24を含む加熱加圧ヘッド部が引き上げられることになる。
【0035】
また、加熱加圧ヘッド部の質量を相殺するためのフローティングシリンダ21が加圧部の可動ブラケット20に取り付けられている。フローティングシリンダ21の可動端(下端)は、フローティングジョイント22及び連結シャフト23を介して加熱加圧ヘッド部のスライダ24に接続されている。これにより、加熱加圧ヘッド部に掛かる重力が見かけ上無くなり、加圧部の加圧シリンダ29から加熱加圧ヘッド部に加圧力が加えられる際に、加熱加圧ヘッド部の慣性力の影響が小さくなる。その結果、加圧過渡期に発生する加圧力のオーバーシュートが大幅に低減される。
【0036】
また、上記のように加圧部と加熱加圧ヘッド部とが直結していない構造を採用したことにより、加圧ユニットの交換が容易になる。すなわち、加圧ユニットの取付板28を可動ブラケット20に固定している2本の固定ボルト28aを装置の前方から緩めて取り外すだけで加圧シリンダ29及び加圧片26を含む加圧ユニットを取り外すことができる。そして別の加圧ユニットをセットして2本の固定ボルト28aで可動ブラケット20に固定すればよい。
【0037】
エアシリンダの動作力(シリンダ径)が段階的に異なる複数種類の加圧ユニットを用意しておき、チップ部品の大きさ、基板の種類、使用する接着層の種類等の条件に応じてもっとも適当な加圧ユニットを使用すれば良い。こうすることにより、例えば150g〜30kgの広範囲な加圧力の要求に対応することができる。
【0038】
加圧部の可動ブラケット20の上面は、連結ブロック18を介して従動プレート17に接続されている。従動プレート17には、一対のローラフォロア15,16が上下に離間した水平軸に取り付けられている。次に説明する送り部の可動ブロック12の先端部に固定された駆動プレート13を一対のローラフォロア15,16が挟持することにより、加圧部と送り部とのリンクが形成されている。
【0039】
以上に説明した加圧ユニット、フローティングシリンダ21等が可動ブラケット20に固定されて、Z軸方向に直線移動可能な一体のユニット(一対のローラフォロア15,16を含む)である加熱加圧ヘッド部を構成している。次に、加熱加圧ヘッド部及び加圧部をワークに対して(Z軸方向に)移動すると共に位置決めする送り部の構造について説明する。
【0040】
送り部は、ボール螺子ユニット10とサーボモータ5を有する。サーボモータ5は、その回転軸を上方に向けた状態でブラケット6に固定され、ブラケット6はバーチカルベースプレート4に固定されている。ボール螺子ユニット10の回転側はジョイント部7を介してサーボモータ5の回転軸に接続され、ボール螺子ユニット10の可動側は可動ブロック12を介して加圧部に接続されている。
【0041】
上述のように、可動ブロック12の先端部に駆動プレート13が固定され、加圧部の一対のローラフォロア15,16が駆動プレート13を上下から挟むようにして、可動ブロック12と加圧部とのリンクが形成されている。ボール螺子ユニット10の雄螺子が形成された回転軸の上端部と下端部は、ボールベアリング9が内蔵された一対のハウジング8によって支持されている。一対のハウジング8は、バーチカルベースプレート4に固定されている。
【0042】
図1に示すように、コントローラ(制御器)51が設けられ、その制御信号がサーボモータ5に与えられる。図1では信号線の接続を省略しているが、ステージ送りユニット2(のサーボモータ)や各エアシリンダへ供給されるエアの経路を開閉する弁にもコントローラ51から制御信号が与えられる。また、温度センサー49からのフィードバック信号に基づいて行うヒータ48の通電制御についても、コントローラ51が実行する。
【0043】
また、図1に示す例では、加熱加圧接着装置は4セットの加熱加圧ヘッド部及び加圧部を備え、4個の加熱加圧ヘッド部が所定ピッチ(一実施例において30mm〜60mmの範囲内のピッチ)で配設されている。上述の送り部によって4セットの加熱加圧ヘッド部及び加圧部が同時に上下動し、4個のワークWKを同時に加熱加圧することができる。
【0044】
上記のような構造を有する加熱加圧接着装置の加熱加圧動作の概略を以下に説明する。まず、コントローラ51に設定されている制御パターンにしたがってサーボモータ5が駆動されると、その回転運動はボール螺子ユニット10によって上下方向(Z軸方向)の直線運動に変換される。そして、ボール螺子ユニット10の可動側である可動ブロック12が下降すると、その動作は可動ブロック12の先端部に固定された駆動プレート13を挟持する一対のローラフォロア15,16を介して加圧部の従動プレート17に伝達される。
【0045】
従動プレート17を含む加圧部が下降すると、その動作は加圧部の加圧片26と加熱加圧ヘッド部の受圧片25との当接によって加熱加圧ヘッド部に伝達され、やがて加熱加圧ヘッド部の下端に取り付けられたワーク加圧片50がワークWKの上面に接触して加熱加圧を開始する。その結果、ワークWKと基板との間に挟まれた接着層が加熱される。
【0046】
送り部による加熱加圧ヘッド部の下降移動量(下限位置)は、接着後の接着層の膜厚が適正範囲内に入る値に設定されている。熱伝導の遅れによって接着層が溶融するまでの間は、送り部による加熱加圧ヘッド部の下降移動量の設定値と実際の加熱加圧ヘッド部の下降量との差は加圧部(加圧シリンダ29)の弾性力が吸収する。すなわち、ワーク加圧片50がワークWKの上面に接触した状態から更に加熱加圧ヘッド部が所定量だけ下降するが、接着層が溶融するまでの間は、加圧シリンダ29の可動端に固定された加圧片26が一旦相対的に上昇する。
【0047】
やがて接着層が溶融すると、加圧部(加圧シリンダ29)の弾性力(復元力)によって加熱加圧ヘッド部が所定の下限位置まで下降する。このようにして、送り部で設定された加熱加圧ヘッド部の下降移動量にしたがって、接着後の接着層の膜厚が適正範囲内に入るように制御される。
【0048】
以上に説明したように、加熱加圧ヘッド部の下降移動量を精密に制御できる送り部と、加熱加圧ヘッド部にオーバーシュートの少ない適切な加圧力を与えることができる加圧部の働きにより、接着後の接着層の膜厚が高精度で制御される。また、本実施形態の加熱加圧接着装置は、ワーク加圧片50のワークWKとの接触面がステージの基準面(例えば水平面)に対して平行となるように調節するための平行調整ブロック30を備えているので、接着後の接着層の膜厚を更に高精度に制御することができる。
【0049】
つまり、仮にワーク加圧片50のワークWKとの接触面がステージの基準面(基板の表面)に対して平行でない場合は、ワークWKの下面と基板の表面との平行度が確保されず、接着後の接着層の膜厚がワークWKの両側で異なる状態が生じ得る。平行調整ブロック30によって平行度を確保することにより、このような状態の発生を防ぐことができるので、接着後における接着層の膜厚のばらつきが抑えられ、更に高精度の膜厚制御が達成される。
【0050】
以下に、図3及び図4を参照して平行調整ブロック30の構造及び動作について説明する。図3は、平行調整ブロック30とその周辺を示す断面図である。図4は、図3に示した平行調整ブロック30のA−A断面図である。
【0051】
スライダ24に固定された略直方体形状の平行調整ブロック30は、断熱板46との接合面である下面30cの角度(基準面に対する平行度)、ひいてはワーク加圧片50のワークWKとの接触面の角度(基準面に対する平行度)をX軸及びY軸の両方向に独立して調整可能である。X軸方向に調整するためのX軸調整ボルト(調整螺子)34とY軸方向に調整するためのY軸調整ボルト(調整螺子)41が同一方向(Y方向前方)から回転操作可能なように設けられている。
【0052】
先ずX軸方向の平行調整機構について説明する。平行調整ブロック30のX軸方向一側面(図4におけるX1−X2線のX1側)及びY軸方向両側面に開口し傾斜面を有するテーパ溝部30aが形成されている。このテーパ溝部30aには、X軸調整ボルト34の回転に伴ってその軸方向に移動するX軸調整片32が挿入される。X軸調整片32にはテーパ溝部30aの傾斜面と摺動する傾斜面32aが備えられている。
【0053】
図3においてX軸調整片32が右方向に移動すると、テーパ溝部30aの開口が広がるように変形し、その結果、平行調整ブロック30の下面30cの角度が二点鎖線30c'で誇張して示している方向(左下がり)へ変化する。この変形を許容する構造として、テーパ溝部30aの奥(非開口面側)に円形断面を有するのど溝部30bが形成されている。これにより、局部的な応力を緩和しながらテーパ溝部30aの開口が広がる(又は狭まる)方向に変形することができる。
【0054】
また、テーパ溝部30aの開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造として、締付ボルト35、皿ばね(弾性体)36及びワッシャ37が設けられている。これらの働きにより、図3においてX軸調整片32が左方向に移動すると、テーパ溝部30aの開口が狭まるように変形し、その結果、平行調整ブロック30の下面30cの角度が二点鎖線30c'で誇張して示している方向と逆の方向(左上がり)へ変化する。
【0055】
X軸調整片32は、傾斜面32aが形成された部分の先端側に案内軸部32cを有し、スライダ24に穿設された軸受け部24aに案内軸部32cが係合するように構成されている。また、傾斜面32aが形成された部分の基端側には軸部32dを有し、その基端部(拡径部)の端面にはX軸調整ボルト34の軸部34aが内嵌する嵌合穴32eが形成されている。更に、X軸調整ボルト34の軸部34aの先端部に形成された貫通孔34bに固定された連結ピン33と係合する係合溝32fがX軸調整片32の軸部32dの拡径部に形成されている。このような構造により、X軸調整ボルト34の先端部とX軸調整片32の基端部が相対回動自在に接続されている。また、X軸調整ボルト34は、スライダ24に固定されたブラケット31に形成された雌螺子部31aに螺合することにより支持されている。
【0056】
上記のような構造により、X軸調整ボルト34を回転させると、ブラケット31に対してX軸調整ボルト34がその軸方向(Y軸方向)に移動し、その先端部に相対回動自在に接続されたX軸調整片32が同一方向に移動する。その結果、上述のようにして平行調整ブロック30の下面30cのX軸方向での角度が変化する。なお、X軸調整ボルト34とX軸調整片32とが一体に構成されていないので、両者間の熱伝導が少なくなり温度が平行調整に及ぼす悪影響を小さくすることができる。
【0057】
次に、Y軸方向の平行調整機構について説明する。Y軸方向の平行調整機構の構造はX軸方向の平行調整機構と略同一構造を有するが、テーパ溝部30a及びのど溝部30bの方向が異なる。つまり、Y軸方向の平行調整機構では、平行調整ブロック30のY軸方向一側面(図3におけるY1−Y2線のY1側)及びX軸方向両側面に開口するようにテーパ溝部30aが形成され、その奥(非開口側、すなわちY1−Y2線のY2側)に円形断面を有するのど溝部30bが形成されている。
【0058】
したがって、テーパ溝部30aの傾斜面と摺動する傾斜面39aを有するY軸調整片39が図3において右方向に移動すると、テーパ溝部30aの開口が広がるように変形し、その結果、平行調整ブロック30の下面30cの角度が二点鎖線30c"で誇張して示している方向(左下がり)へ変化する。
【0059】
また、テーパ溝部30aの開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造として、締付ボルト42、皿ばね(弾性体)43及びワッシャ44(図4参照)が設けられている。これらの働きにより、図3においてY軸調整片39が左方向に移動すると、テーパ溝部30aの開口が狭まるように変形し、その結果、平行調整ブロック30の下面30cの角度が二点鎖線30c"で誇張して示している方向と逆の方向(左上がり)へ変化する。
【0060】
Y軸方向の平行調整機構では、Y軸調整片39のY軸方向の移動によってテーパ溝部30aの開口が広がるように変形したときにY軸調整片39にかかる力(反作用)にX軸方向の成分が含まれないので、構造を簡素化することができる。つまり、Y軸調整片39の傾斜面39aが形成された部分の先端側に案内軸部は無く、したがってそれに係合する嵌合穴も無い。
【0061】
また、傾斜面39aが形成された部分の基端側はそのまま(大径のまま)軸部となり、その基端面にY軸調整ボルト41の軸部41aが内嵌する嵌合穴39bが形成されている。更に、Y軸調整ボルト41の軸部41aの先端部に固定された連結ピン40と係合する係合溝39cがY軸調整片39の基端部に形成されている。このような構造は、X軸方向の平行調整機構で説明したものと同様である。
【0062】
また、Y軸調整ボルト41は、スライダ24に固定されたブラケット31に形成された雌螺子部31aに螺合することにより支持されている。この構造ついても、X軸方向の平行調整機構で説明したものと同様である。Y軸調整ボルト41を回転させると、ブラケット31に対してY軸調整ボルト41がその軸方向(Y軸方向)に移動し、その先端部に相対回動自在に接続されたY軸調整片39が同一方向に移動する。その結果、上述のようにして平行調整ブロック30の下面30cのY軸方向での角度が変化する。
【0063】
以上に説明した平行調整ブロック30(平行調整機構)を備えたことにより、本実施形態の加熱加圧接着装置は、X軸及びY軸の両方向に独立して接着後の接着層の膜厚を調整可能であり、かつ、装置の前方からX軸及びY軸の両方向の調整を行うことができるので、調整作業の作業性が良い。また、コンパクトな平行調整機構が実現できる。その結果、図1に示したように、4セットの加熱加圧ヘッド部を狭いピッチで配設することが可能となり、4個のワークWKを同時に加熱加圧することができる。
【0064】
図5は、本発明の加熱加圧接着装置による加圧過渡期における加圧力の変化を従来の装置の場合と比較して示すグラフである。実線が本発明の加熱加圧接着装置の場合を示し、破線が従来の装置の場合を示している。いずれも加圧力の設定値を30.0kgとしたときの測定値である。本発明の加熱加圧接着装置では、加圧過渡期における加圧力のオーバーシュートが従来の装置に比べて大幅に低下していることがわかる。
【0065】
また、図6は、本発明の加熱加圧接着装置による加圧力のばらつきを従来の装置の場合と比較して示すグラフである。このグラフは、加圧力の設定値を30.0kgとし、加圧過渡期を経過して略定常状態になったときの加圧力を5回の加熱加圧動作のそれぞれについて測定した結果である。本発明の加熱加圧接着装置では、加圧力のばらつきが従来の装置に比べて大幅に小さくなっていることがわかる。
【0066】
このように、本発明の加熱加圧接着装置で加圧力のオーバーシュート及びばらつきが従来の装置に比べて大幅に改善された理由は主として、前述のように、加熱加圧ヘッド部の質量の影響がフローティングシリンダ21によって相殺されるように構成されていること、そして、加圧シリンダ29の押圧力が加熱加圧ヘッド部に直接伝達されるように構成されていることにあると考えられる。
【0067】
以上、本発明の実施形態を適宜変形例と共に説明したが、本発明は上記の実施形態に限らず、種々の形態で実施することができる。図面に示した形状及び構造は一例に過ぎず、種々の変更が可能である。
【0068】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の電子部品の加熱加圧接着装置によれば、加圧部によるワークへの加圧力の制御と送り部による加熱加圧ヘッド部のワークに対する移動量の制御とを独立して行うことができるので、接着後の接着層の膜厚を精度良く制御することが可能になる。
【0069】
また、加熱加圧ヘッド部の質量の影響がフローティングシリンダによって相殺されるように構成され、更に加圧シリンダの押圧力が加熱加圧ヘッド部に直接伝達されるように構成されているので、加圧力のオーバーシュート及びばらつきが大幅に改善され、その結果、接着後の接着層の膜厚が一層精度良く制御される。
【0070】
また、比較的簡単な構造の平行調整機構によって加熱加圧ヘッド部のワークとの接触面とステージの基準面との平行度を確保することができるので、接着後における接着層の膜厚のばらつきが一層精度良く抑制される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る電子部品の加熱加圧接着装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】図1に示した加熱加圧接着装置の主要部の側面図である。
【図3】平行調整ブロックとその周辺を示す断面図である。
【図4】図3に示した平行調整ブロックのA−A断面図である。
【図5】本発明の加熱加圧接着装置による加圧過渡期における加圧力の変化を従来の装置の場合と比較して示すグラフである。
【図6】本発明の加熱加圧接着装置による加圧力のばらつきを従来の装置の場合と比較して示すグラフである。
【図7】従来の電子部品の加熱加圧接着装置における加圧部の構造を示す側面図である。
【符号の説明】
3 ステージ
5 サーボモータ
5−13 送り部
10 ボール螺子ユニット
15−18,20,26,28,29 加圧部
21 フローティングシリンダ
24,25,27,30,45−50 加熱加圧ヘッド部
25 受圧片
26 加圧片
26,28,29 加圧ユニット
26a,27 受圧片に対する加圧片の可動範囲を規制する手段
29 加圧シリンダ(加圧部のエアシリンダ)
30 平行調整ブロック(平行調整機構)
30a テーパ溝部
30b テーパ溝部の開口が広がる方向に変形するのを許容する構造
31 ブラケット
32 X軸調整片
32a 傾斜面
34 X軸調整ボルト(調整螺子)
35−37 テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造
39 Y軸調整片
39a 傾斜面
41 Y軸調整ボルト(調整螺子)
42−44 テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造
WK ワーク
Claims (10)
- ワークをセットするためのステージと、ワークに対して加熱及び加圧を行うための加熱加圧ヘッド部と、該加熱加圧ヘッド部をワークに対して弾性的に押圧する加圧部と、前記加熱加圧ヘッド部及び前記加圧部を前記ワークに対して移動すると共に位置決めする送り部とを備えた電子部品の加熱加圧接着装置であって、
前記加熱加圧ヘッド部の質量を相殺するためのフローティングシリンダを有することを特徴とする
電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記加圧部はエアシリンダを備え、前記エアシリンダの押圧力が前記加熱加圧ヘッド部に直接伝達されるように構成されていることを特徴とする
請求項1記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記エアシリンダの可動端に備えられた加圧片と前記加熱加圧ヘッド部に備えられた受圧片とが対向するように配置され、前記加圧片が前記受圧片に当接することによって前記エアシリンダの押圧力が前記加熱加圧ヘッド部に伝達され、かつ、前記受圧片に対する前記加圧片の可動範囲を規制する手段が備えられていることを特徴とする
請求項2記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記加熱加圧ヘッド部のワークとの接触面が前記ステージの基準面に対して平行であることを確保するための平行調整機構を備えていることを特徴とする
請求項1記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記平行調整機構は、互いに直交するX軸及びY軸の両方向に独立して調整可能であり、同一方向から回転操作されるX軸調整螺子とY軸調整螺子を備え、
X軸方向の平行調整機構は、前記X軸調整螺子の回転に伴ってその軸方向に移動するX軸調整片と、略直方体ブロックのX軸方向一側面及びY軸方向両側面に開口し前記X軸調整片の傾斜面と摺動する傾斜面を有するテーパ溝部と、前記X軸調整片の移動に伴って前記テーパ溝部の開口が広がる方向に変形するのを許容する構造と、前記テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造とを備え、
Y軸方向の平行調整機構は、前記Y軸調整螺子の回転に伴ってその軸方向に移動するY軸調整片と、略直方体ブロックのY軸方向一側面及びX軸方向両側面に開口し前記Y軸調整片の傾斜面と摺動する傾斜面を有するテーパ溝部と、前記Y軸調整片の移動に伴って前記テーパ溝部の開口が広がる方向に変形するのを許容する構造と、前記テーパ溝部の開口を狭める方向に弾性体を介して加圧する構造とを備えていることを特徴とする
請求項4記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記X軸方向及びY軸方向のそれぞれの平行調整機構において、固定側のブラケットに前記調整螺子が螺合し、前記調整螺子の先端部に前記調整片が相対回動自在に接続され、前記調整螺子が回転によってその軸方向に移動し、前記調整片を前記軸方向に移動させるように構成されていることを特徴とする
請求項5記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記送り部は、ボール螺子ユニットとサーボモータを有し、前記ボール螺子ユニットの回転側が前記サーボモータの回転軸に接続され、前記ボール螺子ユニットの可動側が前記加圧部に接続されていることを特徴とする
請求項1記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記加圧部を構成する要素のうち、加圧用のエアシリンダを含む加圧ユニットが位置決め調整無しに交換可能であることを特徴とする
請求項1記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記エアシリンダの動作力が段階的に異なる複数種類の加圧ユニットを交換することにより、150g〜30kgの加圧力に対応可能であることを特徴とする
請求項8記載の電子部品の加熱加圧接着装置。 - 前記加熱加圧ヘッド部及び前記加圧部を複数組備え、複数の前記加熱加圧ヘッド部が30mm〜60mmの範囲内の所定ピッチで配設されていることを特徴とする
請求項1記載の電子部品の加熱加圧接着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002049196A JP3731654B2 (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | 電子部品の加熱加圧接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002049196A JP3731654B2 (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | 電子部品の加熱加圧接着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003249531A JP2003249531A (ja) | 2003-09-05 |
JP3731654B2 true JP3731654B2 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=28661772
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002049196A Expired - Fee Related JP3731654B2 (ja) | 2002-02-26 | 2002-02-26 | 電子部品の加熱加圧接着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3731654B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100358399C (zh) * | 2005-04-22 | 2007-12-26 | 佳通科技(苏州)有限公司 | 柔性电路板压膜装置 |
KR101509063B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2015-04-07 | 주식회사 이엔지코리아 | Fpcb 본딩 장치 |
CN107834021B (zh) * | 2017-12-05 | 2023-10-24 | 苏州赛腾菱欧智能科技有限公司 | 一种电池片的滚压调整结构 |
CN108923221A (zh) * | 2018-08-15 | 2018-11-30 | 江苏领先电子有限公司 | 连接引线端头自动铆接机送线装置及方法 |
-
2002
- 2002-02-26 JP JP2002049196A patent/JP3731654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003249531A (ja) | 2003-09-05 |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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|
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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