JP3729802B2 - 台形分割方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、可変成形型電子ビーム露光装置を用いて露光するためにLSIの設計データによって与えられる図形を台形に分割する台形分割方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
可変成形型荷電ビーム露光装置は、LSIのマスクパターンを作成したり、あるいはLSIのウェハ上に直接パターンを形成するものであって、高速描画が可能であり、高集積化が進むLSIの製造には欠かせない技術である。
【0003】
可変成形型荷電ビーム露光装置は、断面が台形に成形された荷電ビームによる露光を行ってパターンを作成するのでこのような台形(正方形、長方形も含む。以下同様。)を基本描画単位としている。したがって、可変成形型荷電ビーム露光装置の露光用データ作成時においては、多角形の集合として記述されたマスクパターンを台形に分割する必要がある。
【0004】
この台形分割の仕方はマスクの製造精度に影響を与える。特に、ある値以下の幅を持つ微小な台形(以下、「微小台形図形」と呼ぶ。)についてはその部分の描画精度が極端に悪化するので、このような微小台形図形ができるだけ発生しないように台形分割を行わなければならない。
【0005】
可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法の代表的な例として、多角形の頂点を起点とした分割線を導入し、これで台形分割する方法がある(例えば、特許文献1参照)。この方法について簡単に説明する。
【0006】
図6は、従来例による可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法の原理説明図である。
【0007】
この従来例では、例えば図6(a)に示すように、台形分割の処理対象となっている多角形状の図形T(以下、「対象図形」と呼ぶ。)の頂点を、ある位置(例えば、左上)から順に見ていき、そこからx軸方向、y軸方向の2種類の分割線を調べ、微小台形図形の発生が発生しない方で分割する。分割後の対象図形が全て台形になるまで、このような処理を繰り返す。なお、図6(a)とは別の多角形状の対象図形Tの例を図6(b)に示したが、これついても同様である。
【0008】
【特許文献1】
特開平9−246158号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
対象図形Tの頂点を起点とした分割線で台形分割する上述した代表的な方法では、図6に示すように微小台形図形Bの発生を免れ得ない場合がある。特に近年はOPC(光近接効果補正)処理により多角形の形状が一層複雑化しており、台形分割における微小台形図形の発生頻度が高い。微小台形図形の発生はマスクの製造精度に大きな影響を与えるので、できるだけ避けなければならない。今後さらに高集積化が進むLSIに関し、高精度なマスクを製造するマスクパターンの台形分割アルゴリズムの開発が強く要請されるところである。
【0010】
従って本発明の目的は、上記問題に鑑み、露光用データ作成時における微小台形図形の発生頻度を低減した可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法およびその装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を実現するために、本発明によれば、台形分割すべき図形の各頂点から第1の方向もしくは第1の方向に垂直な第2の方向に引かれる分割線候補を列挙し、これら分割線候補の中から、台形分割すべき図形について最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを決定するような、可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法において、次のような処理を実行する。
【0012】
まず、最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する。
【0013】
そして、分割線対が存在すると判定されたときは、分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、このストッパー線を用いて台形分割すべき図形を分割する。
【0014】
あるいは、分割線対が存在しないと判定されたときは、最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを用いて台形分割すべき図形を分割する。
【0015】
台形分割すべき図形が全て台形に分割されるまで、上記各処理を繰り返す。
【0016】
図1は、本発明による可変成形型電子ビーム露光装置における台形分割装置のシステムブロック図である。
【0017】
本発明による可変成形型電子ビーム露光装置における台形分割装置1は、分割案生成手段10で生成され列挙された分割線候補の中から選択された最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する判定手段11と、判定手段11で分割線対が存在すると判定されたとき、分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、このストッパー線を用いて台形分割すべき図形を分割する第1の分割手段12と、を備える。
【0018】
また、判定手段11で分割線対が存在しないと判定されたとき、最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを用いて台形分割すべき図形を分割する第2の分割手段13を備える。
【0019】
なお、第1の分割手段12は、分割案生成手段10で生成され列挙された分割線の組合せの中から、最小の間隔で対向する分割線対を抽出する抽出手段21と、最小の間隔で対向する分割線対に平行な軸上の分割線対の各分割線の座標が重複する範囲内において、分割すべき図形の各頂点の軸上の各座標の各間隔を算出する算出手段22と、各間隔の中から最長の間隔を抽出し、最長の間隔の中点を通る垂直線をストッパー線として設定する設定手段23と、を含む。
【0020】
本発明によれば、可変成形型電子ビーム露光装置のための露光用データ作成にあたり、微小台形図形の発生頻度を低減した台形分割を実現することができ、ひいてはLSI製造における歩留まりを向上させることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の実施例による可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法のフローチャートであり、図3は、本発明の実施例による台形分割方法におけるストッパー線の設定を説明するフローチャートである。
【0022】
また、図4および5は、本発明の実施例による台形分割方法を適用した図形を例示する図である。ここでは、CADなどで作成した図4に示すようなマスクパターンを台形分割する実施例について説明する。
【0023】
本発明の実施例による台形分割方法は、まず、図2に示すように、ステップS100において、マスクパターン図形を読み込む。
【0024】
次に、ステップS101において、台形分割の処理対象となっている図形(対象図形)が台形であるか否かを判定する。対象図形が台形である場合は、さらに台形分割を施す必要がないので、処理を終了する。一方、対象図形が台形でない場合は、ステップS102へ進む。
【0025】
ステップS102では、対象図形の各頂点から第1の方向もしくは第1の方向に垂直な第2の方向に引かれる分割線候補を列挙する。なお、ここで言う第1の方向および第2の方向は、xy平面上のx軸方向およびY軸方向のそれぞれどちらかに対応する。
【0026】
次いでステップS103において、列挙された分割線候補の中から、台形分割すべき図形について最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを決定する。
【0027】
ここまで説明したステップS100〜S103の上記各処理は、台形分割処理において一般的に用いられるものである。
【0028】
次いで、ステップS104において、上述のステップS103で決定された最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、この分割線の組合せを用いて台形分割しようとした場合に微小台形図形が発生するか否かが判定される。微小台形図形が発生する場合はステップS105へ進み、微小台形図形が発生しない場合はステップS107へ進む。
【0029】
微小台形図形が発生しない場合は、ステップS107において、ステップS103で既に決定した分割線の組合せを用いて対象図形を分割する。そしてステップS101へ戻る。
【0030】
一方、微小台形図形が発生する場合はステップS105において、ストッパー線を設定する。このストッパー線の詳細については後述する。
【0031】
次いで、ステップS106において、ステップS105で設定したストッパー線を用いて対象図形を分割する。そしてステップS101へ戻る。
【0032】
このように、対象図形が全て台形分割されるまで上記各処理が繰り返される。
【0033】
続いて、図2のステップS105におけるストッパー線の設定について、図3〜5を参照してさらに詳しく説明する。
【0034】
まず、図3のステップS201において、第1の方向の分割線が対向関係にあり、かつ、第2の方向の間隔が最小であるような分割線対を抽出する。
【0035】
例えば図4の実施例で言えば、x軸方向に平行な分割線対に関しては、図4(a)に示すように、x軸方向の分割線が対向関係にあり、かつ、y軸方向の間隔が最小(このときの間隔をDDxとする。ただし、DDx≦δ、δは所定の微小値)であるような分割線対Qxが抽出される。また、y軸方向に平行な分割線対に関しては、図4(b)に示すような、y軸方向の分割線が対向関係にあり、かつ、x軸方向の間隔が最小(このときの間隔をDDyとする。ただし、DDy≦δ、δは所定の微小値)であるような分割線対Qyが抽出される。このようにして、x軸方向に平行な分割線対およびy軸方向に平行な分割線対それぞれに対して、最小の間隔を有する分割線対が抽出される。
【0036】
次に、図3のステップS202において、対象図形の各頂点について各方向の軸上の座標を求め、各座標の間隔を算出する。
【0037】
本実施例では、図4(a)に示すx軸方向に平行な分割線対Qxに関して、対象図形Tの各頂点のx軸上の座標が求められ、そして各座標の間隔としてinterval1x、interval2xおよびinterval3xが得られる。また、図4(b)に示すy軸方向に平行な分割線対Qyに関しては、対象図形Tの各頂点のy軸上の座標が求められ、そして各座標の間隔としてinterval1y、interval2yおよびinterval3yが得られる。
【0038】
次に、図3のステップS203において、各方向ごとに、算出された全ての間隔の中から、最長の間隔を抽出する。
【0039】
本実施例では、図4(a)においてはinterval1x、interval2xおよびinterval3xの中から、最長の間隔としてinterval3xが抽出される。また、図4(b)においてはinterval1y、interval2yおよびinterval3yの中から、最長の間隔としてinterval3yが抽出される。
【0040】
次に、図3のステップS204において、各方向ごとに、抽出された最長の間隔における中点を求め、この中点を通る垂直線をストッパー線として設定する。
【0041】
本実施例では、図4(a)に示すように、最長の間隔interval3xに関して中点Mxが求められ、この中点Mxを通る垂直線がストッパー線Sxとして設定される。また、図4(b)に示すように、最長の間隔interval3yに関して中点Myが求められ、この中点Myを通る垂直線がストッパー線Syとして設定される。
【0042】
次に、図3のステップS205において、最適なストッパー線を選択する。ここで得られたストッパー線を用いて図2のS106の分割処理が実行される。このストッパー線は、従来の分割線、特に微小台形図形を形成してしまう分割線対を遮断するよう機能する。
【0043】
ステップS205における最適なストッパー線の選択基準は次の通りである。すなわち、ストッパー線によって遮断され得る分割線対の間隔がより短く、かつ、ストッパー線と対象図形の各頂点との最短距離がより長いものを、最適なストッパー線として確定する。
【0044】
本実施例では、図4(a) に示されるストッパー線Sxが、最適なストッパー線として選択される。その後、図5(a)に示すようにこのストッパー線Sxを用いて対象図形Tが分割される。そして、上述した図2に示す処理を経れば、図5(b)に示すような台形図形が得られることになる。
【0045】
ここで、本実施例の図5(b)と従来例の図6とを比較すると、本実施例により得られた図5(b)のストッパー線Sxは、x軸に平行な従来の分割線を遮断するようなストッパー線として機能していることが分かる。したがって、本実施例によれば、このストッパー線により、微小台形図形の発生を回避することができる。
【0046】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、可変成形型電子ビーム露光装置を用いて露光するためにLSIの設計データによって与えられる図形を台形に分割する台形分割処理において、微小台形図形の発生頻度を低減した台形分割を実現することができ、ひいてはLSI製造における歩留まりを向上させることができる。
【0047】
どのような分割の仕方が最適な結果をもたらすかは、従来例によれば多角形の形状によって異なるが、本発明によれば多角形の形状によらず、安定した台形分割処理が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による可変成形型電子ビーム露光装置における台形分割装置のシステムブロック図である。
【図2】本発明の実施例による可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法のフローチャートである。
【図3】本発明の実施例による台形分割方法におけるストッパー線の設定を説明するフローチャートである。
【図4】本発明の実施例による台形分割方法を適用した図形を例示する図(その1)である。
【図5】本発明の実施例による台形分割方法を適用した図形を例示する図(その2)である。
【図6】従来例による可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法の原理説明図である。
【符号の説明】
1…台形分割装置
10…分割案生成手段
11…判定手段
12…第1の分割手段
13…第2の分割手段
21…抽出手段
22…算出手段
23…設定手段
Claims (5)
- 可変成形型電子ビーム露光のための台形分割方法であって、
台形分割すべき図形の各頂点から第1の方向もしくは該第1の方向に垂直な第2の方向に引かれる分割線候補を列挙し、前記分割線候補の中から、前記台形分割すべき図形について最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを決定する台形分割方法において、
前記最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する判定ステップと、
該判定ステップで前記分割線対が存在すると判定されたとき、該分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、該ストッパー線を用いて前記台形分割すべき図形を分割する第1の分割ステップと、を備え、
前記第1の分割ステップは、
前記分割線の組合せの中から、最小の間隔で対向する分割線対を抽出する抽出ステップと、
前記最小の間隔で対向する分割線対に平行な軸上の前記分割線対の各分割線の座標が重複する範囲内において、前記分割すべき図形の各前記頂点の前記軸上の各座標の各間隔を算出する算出ステップと、
各前記間隔の中から最長の間隔を抽出し、該最長の間隔の中点を通る垂直線を前記ストッパー線として設定する設定ステップと、を含むことを特徴とする台形分割方法。 - 前記判定ステップで前記分割線対が存在しないと判定されたとき、前記最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを用いて前記台形分割すべき図形を分割する第2の分割ステップを備える請求項1に記載の台形分割方法。
- 前記台形分割すべき図形が全て台形に分割されるまで、前記判定ステップ、前記第1の分割ステップおよび前記第2の分割ステップを繰り返す請求項2に記載の台形分割方法。
- 可変成形型電子ビーム露光装置における台形分割装置であって、
台形分割すべき図形の各頂点から第1の方向もしくは該第1の方向に垂直な第2の方向に引かれる分割線候補を列挙し、前記分割線候補の中から、前記台形分割すべき図形について最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを決定する台形分割装置において、
前記最適な分割パターンを形成する分割線の組合せにおいて、所定の大きさよりも小さい間隔で互いに対向するような分割線対が存在するか否かを判定する判定手段と、
該判定手段で前記分割線対が存在すると判定されたとき、該分割線対に直交するストッパー線を新たに設定し、該ストッパー線を用いて前記台形分割すべき図形を分割する第1の分割手段と、を備え、
前記第1の分割手段は、
前記分割線の組合せの中から、最小の間隔で対向する分割線対を抽出する抽出手段と、
前記最小の間隔で対向する分割線対に平行な軸上の前記分割線対の各分割線の座標が重複する範囲内において、前記分割すべき図形の各前記頂点の前記軸上の各座標の各間隔を算出する算出手段と、
各前記間隔の中から最長の間隔を抽出し、該最長の間隔の中点を通る垂直線を前記ストッパー線として設定する設定手段と、を含むことを特徴とする台形分割装置。 - 前記判定手段で前記分割線対が存在しないと判定されたとき、前記最適な分割パターンを形成する分割線の組合せを用いて前記台形分割すべき図形を分割する第2の分割手段を備える請求項4に記載の台形分割装置。
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