JP3721714B2 - Package sealing method for solid-state imaging device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置(以下、「CCD」と言う)を封止するパッケージのシール方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3は従来より一般的に知られているCCDパッケージの一例を示す概略断面図である。図3において、このCCDパッケージ1は、一面(上面)が開口されたキャビティ2を内部に有するエポキシ樹脂等の樹脂あるいはセラミックで作られたパッケージ本体3と、キャビティ2の底面に形成されているダイアタッチ面4にダイボンドされているとともにパッケージ本体3側のリード(不図示)とボンディングワイヤ5を介してワイヤボンディングされている固体撮像装置としてのCCDチップ6と、パッケージ本体3の開口を閉じているリッドとしてのシールガラス7等で構成されている。なお、リッドとしてのシールガラス7は、ガラス以外にプラスチックを使用する場合もある。
【0003】
図4は、図3に示したCCDパッケージ1におけるパッケージ本体3とシールガラス7との間をシール処理する方法の一例を示す工程図である。そこで、従来のシール処理方法を図4の工程▲1▼〜▲4▼の順に従って説明する。
【0004】
▲1▼シール剤塗布工程:
ここでは、まずキャビティ2内のダイアタッチ面4にCCDチップ6がダイボンドされているとともに、ボンディングワイヤ5でパッケージ本体3側の図示せぬインナーリードとワイヤボンディングされているパッケージ本体3が用意される。次いで、パッケージ本体3の開口周面(シール面3a)上に、紫外線を照射すると硬化して接着剤として機能する液状の紫外線(UV)硬化型樹脂8をディスペンサー9により塗布する。なお、本例においてのパッケージ本体3の上面の大きさは約□10mm、シール幅は約1mmである。また、紫外線硬化型樹脂8としては、液状のUV硬化性エポキシ樹脂等が使用される。
【0005】
▲2▼リッド(シールガラス)合わせ工程:
ここでは、紫外線硬化型樹脂8が塗布されたパッケージ本体3のシール面3a上にシールガラス7を位置合わせした後、このシールガラス7の上側から圧力Pを加えて、シールガラス7をシール面3aに押し付ける。ここでの押し付けは、約9.8〜29.4Nの力を約0.3〜1.0sの間付与する。
【0006】
▲3▼UV(紫外線)照射工程:
ここでは、シールガラス7が紫外線硬化型樹脂8で接着されているシール面3aの接着箇所に照射エネルギーが2〜10J(例えば100mW/cm2 当たり20〜100s)の紫外線を紫外線照射器12より照射し、紫外線硬化形樹脂8を硬化させる。すると、この硬化によって、ほぼ完成されたCCDパッケージ1が形成される。なお、ここでの紫外線は、紫外線光の持っている波長光を制限することなく、図5に示すところのエネルギーの強い短波長領域から長波長領域の略全波長領域にわたって全てが照射される。なお、図5のx軸は波長(nm)、y軸は相対分光照度である。
【0007】
▲4▼ポストキュア(後硬化)工程:
ここでは、UV照射工程▲3▼で形成されたCCDパッケージ1の全体を加熱し、紫外線硬化型樹脂8に熱を加えて、さらに硬化させる。これにより、シール面3aとシールガラス7との間が完全に接着された、図3に示したところのCCDパッケージ1が形成される。なお、ここでの加熱方法は、ヒータ10を内蔵させたヒータ・ブロック11を用意して、このヒータ・ブロック11の上にUV照射工程▲3▼で形成されたCCDパッケージ1を載せて加熱する場合では、150℃程度の熱を約2〜5分間加える。また、別の加熱方法としてはオーブンを使用しても良く、オーブンの中にCCDパッケージ1を入れて加熱する場合では、150℃程度の熱を約1〜3時間加えて完全に接着させる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の処理方法では、紫外線照射工程では、紫外線の波長領域を制限することなくエネルギーの強い短波長領域から長波長領域の略全波長領域にわたって照射させている。このため、シール剤である紫外線硬化型樹脂8を硬化させるだけでなく、パッケージ本体3側のインナーリードの表面や、CCDチップ6の表面を活性化させて悪い影響を及ぼす虞がある。すなわち、インナーリードが過度に活性化されると、その表面メッキ層にピンホール等のダメージが作られる。このピンホール等が形成されると、高温高湿の状態下においてパッケージ内部に浸入した水分はピンホール内に吸着され、これがメッキ下地の42アロイと反応して腐食が発生する。さらに、この腐食はインナーリード間のブリッジや、金(Au)線の破断等に至ることもあり、信頼性を著しく低下させている問題点があった。
【0009】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的はパッケージへの悪い影響を低減させて信頼性の高い固体撮像用パッケージを得ることができるシール方法を提供することにある。
さらに、他の目的は、以下に説明する内容の中で順次明らかにして行く。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、次の技術手段を講じたことを特徴とする。すなわち、一面が開口されたパッケージ本体のキャビティ内に、表面にメッキ層が形成されたインナーリードとワイヤボンディングさせて固体撮像装置をセットし、その後、前記パッケージ本体のシール面に紫外線硬化樹脂を塗布してリッドを押し付け、続いて前記インナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化させる短波長領域をカットする特性を有したフィルターを介して紫外線を前記シール面に向けて照射し、前記紫外線により前記紫外線硬化樹脂を硬化させて前記パッケージ本体と前記リッドとの間をシールするようにしたものである。
また、一面が開口されたパッケージ本体のキャビティ内にインナーリードとワイヤボンディングさせて固体撮像装置をセットし、その後、前記パッケージ本体のシール面に紫外線硬化樹脂を塗布してリッドを押し付け、続いて前記インナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化させる300nm以下の短波長領域をカットする特性を有したフィルターを介して紫外線を前記シール面に向けて照射し、前記紫外線により前記紫外線硬化樹脂を硬化させて前記パッケージ本体と前記リッドとの間をシールするようにしたものである。
【0011】
これによれば、パッケージを構成しているパッケージインナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化する短波長領域をカットした状態で紫外線を照射するので、インナーリードの表面や固体撮像装置等が活性して腐食したりするのを防止することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる形態は、本発明の好適な具体例であるから技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものでもないものである。
【0013】
図1は本発明に係る固体撮像装置用パッケージのシール処理方法の一形態を示す工程図である。なお、本例では図3に示したCCDパッケージ1を形成する場合を一例としている。したがって、図1において図3と同一符号を付したのは図3と同一のものを示している。
そこで、本発明のシール処理の方法を図1の工程▲1▼から▲4▼の順に従って説明する。
【0014】
▲1▼シール剤塗布工程:
ここでは、まずキャビティ2内のダイアタッチ面4にCCDチップ6がダイボンドされているとともに、ボンディングワイヤ5でパッケージ本体3側の図示せぬインナーリードとワイヤボンディングされているパッケージ本体3が用意される。次いで、パッケージ本体3の開口周面(シール面3a)上に、紫外線を照射すると硬化して接着剤として使用することができる液状の紫外線(UV)硬化型樹脂8をディスペンサー9により塗布する。なお、本例においてのパッケージ本体3の上面の大きさは約□10mm、シール幅は約1mmである。また、紫外線硬化型樹脂8としては、液状のUV硬化性エポキシ樹脂等が使用される。この紫外線硬化型樹脂8は、波長が365nmの付近で主に反応して硬化することが知られている。
【0015】
▲2▼リッド(シールガラス)合わせ工程:
ここでは、紫外線硬化型樹脂8が塗布されたパッケージ本体3のシール面3a上にシールガラス7を位置合わせした後、このシールガラス7の上側から圧力Pを加えて、シールガラス7をシール面3aに押し付ける。ここでの押し付けは、約9.8〜29.4Nの力を約0.3〜1.0sの間付与する。
【0016】
▲3▼UV(紫外線)照射工程:
ここでは、シールガラス7が紫外線硬化型樹脂8で接着されているシール面3aの接着箇所に照射エネルギーが2〜10J(例えば100mW/cm2 当たり20〜100s)の紫外線をフィルター21を介して照射し、紫外線硬化型樹脂8を硬化させる。すると、この硬化によってほぼ完成されたCCDパッケージ1が完成される。なお、上記フィルター21は、紫外線光の持っている波長光のうち、図2に示すところのエネルギーの強い短波長領域(300nm以下)をカットする特性を有している。この短波長領域(300nm以下)の紫外線は紫外線硬化型樹脂8の硬化には特に必要がなく、逆にインナーリードの表面及び固体撮像装置の表面を活性化するものとして知られている。したがって、本形態での処理方法のように短波長領域をカットした状態で紫外線を照射すると、インナーリードの表面や固体撮像装置等が活性化して腐食するのを防ぐことができる。ここで、図2のx軸は波長(nm)、y軸は相対分光照度である。
【0017】
▲4▼ポストキュア(後硬化)工程:
ここでは、UV照射工程▲3▼で形成されたCCDパッケージ1の全体を加熱し、紫外線硬化型樹脂8に熱を加えて、さらに硬化させる。これにより、シール面3aとシールガラス7との間が完全に接着された、図3に示したところのCCDパッケージ1が形成される。なお、ここでの加熱方法は、ヒータ10を内蔵させたヒータブロック11を用意して、このヒータブロック11の上にUV照射工程▲3▼で形成されたCCDパッケージ1を載せて加熱する場合では、150℃程度の熱を約2〜5分間加える。また、別の加熱方法としてはオーブンを使用しても良く、オーブンの中にCCDパッケージ1を入れて加熱する場合では、150℃程度の熱を約1〜3時間加えて完全に接着させる。
【0018】
したがって、本形態例の構造によれば、CCDパッケージ1を構成しているインナーリードの表面及び前記固体撮像装置(CCDチップ6)の表面を活性化する短波長領域(略300nm以下)をカットした状態で紫外線を照射するので、インナーリードの表面や固体撮像装置等が活性して腐食したりするのを防止し、信頼性の高いパッケージを提供することができる。なお、上記形態例では、フィルター21により略300nm以下の波長をカットする場合について説明したが、このカットする波長は使用するシール剤(紫外線硬化型樹脂8)の種類により硬化に影響しない範囲で変更されるもので、その種類により、波長が200〜365nm以下のものが選択されるが、略300nm以下が平均的な数値である。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、パッケージを構成しているパッケージインナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化する短波長領域をカットした状態で紫外線を照射するので、インナーリードの表面や固体撮像装置等が活性して腐食したりするのを防止し、信頼性の高いパッケージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るシール方法の一形態を模式的に示す工程図である。
【図2】本発明で使用される紫外線の波長領域を説明する図である。
【図3】従来より知られるパッケージ構造の概略構成断面図である。
【図4】従来におけるシール方法の一形態を模式的に示す工程図である。
【図5】従来の方法で使用されている紫外線の波長領域を説明する図である。
【符号の説明】
1 CCD(固体撮像装置)パッケージ 2 キャビティ
3 パッケージ本体 3a シール面 5 ボンディングワイヤ
6 CCDチップ(固体撮像素子) 7 シールガラス(リッド)
8 紫外線硬化型樹脂 21 フィルター[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a package sealing method for sealing a solid-state imaging device (hereinafter referred to as “CCD”).
[0002]
[Prior art]
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a CCD package generally known conventionally. In FIG. 3, the
[0003]
FIG. 4 is a process diagram showing an example of a method for sealing between the
[0004]
(1) Sealing agent application process:
Here, first, a
[0005]
(2) Lid (seal glass) alignment process:
Here, after the
[0006]
(3) UV (ultraviolet) irradiation process:
Here, ultraviolet rays having an irradiation energy of 2 to 10 J (for example, 20 to 100 s per 100 mW / cm @ 2) are irradiated from the ultraviolet irradiator 12 to the bonded portion of the
[0007]
(4) Post-cure (post-curing) process:
Here, the
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the conventional processing method, in the ultraviolet irradiation process, irradiation is performed over almost the entire wavelength region from the short wavelength region having a high energy to the long wavelength region without limiting the wavelength region of the ultraviolet light. For this reason, there is a possibility that not only the ultraviolet curable resin 8 which is a sealing agent is cured, but also the surface of the inner lead on the
[0009]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a sealing method capable of reducing a bad influence on a package and obtaining a highly reliable solid-state imaging package.
Further, other objects will be made clear in the contents described below.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is characterized by taking the following technical means. That is, a solid-state imaging device is set by wire bonding with an inner lead having a plating layer formed on the surface in the cavity of the package body with one surface opened, and then an ultraviolet curable resin is applied to the sealing surface of the package body Then, the lid is pressed, and then the ultraviolet ray is irradiated toward the sealing surface through a filter having a characteristic of cutting a short wavelength region that activates the surface of the inner lead and the surface of the solid-state imaging device, The ultraviolet curable resin is cured by ultraviolet rays to seal between the package body and the lid.
Further, an inner lead and wire bonding are set in the cavity of the package body with one side opened, and then a solid-state imaging device is set.After that, an ultraviolet curable resin is applied to the seal surface of the package body and a lid is pressed, Ultraviolet rays are irradiated toward the seal surface through a filter having a characteristic of cutting a short wavelength region of 300 nm or less that activates the surface of the inner lead and the surface of the solid-state imaging device, and the ultraviolet curable resin is irradiated with the ultraviolet rays. Is cured to seal between the package body and the lid.
[0011]
According to this, the surface of the inner lead constituting the package and the short wavelength region that activates the surface of the solid-state imaging device are irradiated with ultraviolet rays, so the surface of the inner lead, the solid-state imaging device, etc. Can be prevented from being activated and corroded.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless stated, the present invention is not limited to these forms.
[0013]
FIG. 1 is a process diagram showing an embodiment of a sealing processing method for a package for a solid-state imaging device according to the present invention. In this example, the case where the
Therefore, the sealing method of the present invention will be described in the order of steps (1) to (4) in FIG.
[0014]
(1) Sealing agent application process:
Here, first, a
[0015]
(2) Lid (seal glass) alignment process:
Here, after the
[0016]
(3) UV (ultraviolet) irradiation process:
Here, ultraviolet rays having an irradiation energy of 2 to 10 J (for example, 20 to 100 s per 100 mW / cm @ 2) are irradiated through the filter 21 to the bonded portion of the
[0017]
(4) Post-cure (post-curing) process:
Here, the
[0018]
Therefore, according to the structure of this embodiment, the surface of the inner lead constituting the
[0019]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the surface of the package inner lead constituting the package and the short wavelength region that activates the surface of the solid-state imaging device are irradiated with ultraviolet rays. The surface and the solid-state imaging device can be prevented from being activated and corroded, and a highly reliable package can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a process diagram schematically showing one embodiment of a sealing method according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a wavelength region of ultraviolet rays used in the present invention.
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a conventionally known package structure.
FIG. 4 is a process diagram schematically showing one form of a conventional sealing method.
FIG. 5 is a diagram illustrating a wavelength region of ultraviolet rays used in a conventional method.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
8 UV curable resin 21 Filter
Claims (3)
その後、前記パッケージ本体のシール面に紫外線硬化樹脂を塗布してリッドを押し付け、
続いて前記インナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化させる短波長領域をカットする特性を有したフィルターを介して紫外線を前記シール面に向けて照射し、
前記紫外線により前記紫外線硬化樹脂を硬化させて前記パッケージ本体と前記リッドとの間をシールする、
ことを特徴とする固体撮像装置用パッケージのシール方法。In the cavity of the package body with one side opened, set the solid-state imaging device by wire bonding with the inner lead with the plating layer provided on the surface ,
Then, apply a UV curable resin to the sealing surface of the package body and press the lid,
Subsequently, the surface of the inner lead and the surface of the solid-state imaging device are irradiated with ultraviolet rays toward the sealing surface through a filter having a characteristic of cutting a short wavelength region,
Curing the ultraviolet curable resin with the ultraviolet rays to seal between the package body and the lid;
A method for sealing a package for a solid-state imaging device.
その後、前記パッケージ本体のシール面に紫外線硬化樹脂を塗布してリッドを押し付け、
続いて前記インナーリードの表面及び前記固体撮像装置の表面を活性化させる300nm以下の短波長領域をカットする特性を有したフィルターを介して紫外線を前記シール面に向けて照射し、
前記紫外線により前記紫外線硬化樹脂を硬化させて前記パッケージ本体と前記リッドとの間をシールする、
ことを特徴とする固体撮像装置用パッケージのシール方法。Set the solid-state imaging device by wire bonding with the inner lead in the cavity of the package body opened on one side,
Then, apply a UV curable resin to the sealing surface of the package body and press the lid,
Subsequently, the surface of the inner lead and the surface of the solid-state imaging device are activated by irradiating ultraviolet rays toward the seal surface through a filter having a characteristic of cutting a short wavelength region of 300 nm or less ,
Curing the ultraviolet curable resin with the ultraviolet rays to seal between the package body and the lid;
A method for sealing a package for a solid-state imaging device.
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