JP3717342B2 - 試料保持装置およびその方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、試料温度を変化させながらX線回折測定を実行する装置に組み込まれる試料保持装置およびその方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
温度変化に伴う試料の物性変化をX線回折測定により分析する装置は従来から知られている。この種の装置としては、例えば、X線回折装置の試料装着部に試料高温装置と称する加熱装置を搭載し、試料を加熱しながらX線回折測定を実行するX線回折装置がある。また近年においては、熱重量測定装置(TG)、示差熱分析装置(DTA)、示差走査熱量計(DSC)などの熱分析装置とX線回折装置とを組み合わせ、熱分析とX線回折測定とを同時に行える複合同時測定装置も開発が進められている。
【0003】
これらの装置において、試料保持部には、試料を保持するとともに加熱または冷却する機能を備えた試料保持装置が組み込まれる。なお、上記試料高温装置も、試料保持装置に含まれる。
従来のこの種の試料保持装置は、内部に試料配置部を有した加熱炉を備え、この加熱炉の底部を支柱により支持する構成となっていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
加熱炉は、試料配置部に配置された試料を周囲から加熱する。それに伴い加熱炉も加熱し、さらに加熱炉に生じた熱が支柱に伝わり支柱も加熱される。したがって、従来の試料保持装置の構造では、加熱炉の熱膨張に支柱の熱膨張が重畳され、試料配置部が大きく変位してしまう問題があった。
【0005】
一般に、加熱炉の材料としては、機械的強度、熱伝導率、耐酸化性、加工性などの制約から、数100℃以下の用途には、アルミ合金、銀、ニッケルなどの金属材料が用いられ、それ以上の温度まで加熱する場合はアルミナなどのセラミックスが用いられるが、これらの材料はいずれも平均熱膨張係数が8×10−6/℃以上と大きい。
また、支柱には機械的強度が大きく熱伝導率の小さなステンレス(SUS)等の金属材料が用いられているが、この種の金属材料も平均熱膨張係数は16×10−6/℃以上と大きい。
【0006】
したがって、例えば、加熱炉が銀製で高さ20mm、支柱がステンレス製で高さ10mmとした場合、これらの部材が室温から300℃に昇温したとき、全体の膨張は100μm以上にも及んでしまう。
【0007】
一般に、X線回折測定による試料分析には、試料表面に対するX線の入射角θのずれは0.02°以内とすることが要求される。そのために許容される試料面の移動量は、装置により異なるものの、通常は20〜30μm以内であり、上記の如く100μm以上もの変位量は許容範囲をはるかに超えている。
【0008】
ゆえに、従来は温度変化に伴い試料位置の補正を頻繁に行う必要があり、煩雑であった。
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、温度変化に伴う試料位置の移動を抑制することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明は、試料温度を変化させながらX線回折測定を実行する装置に組み込まれる試料保持装置において、内部に試料配置部を有する温度調節部材と、この温度調節部材を支持する支持部材とを備え、温度変化に伴う温度調節部材の伸縮による試料配置部の変位と、温度変化に伴う支持部材の伸縮による試料配置部の変位とが、逆向きとなるように温度調節部材と支持部材とを接続したことを特徴とする。
これにより、温度変化に伴う温度調節部材の伸縮と支持部材の伸縮とが相殺し合って、試料保持部の位置の変動を抑制することができる。
【0010】
また、この発明の試料保持装置は、支持部材が、負の熱膨張係数を有する第1支持部材と、正の熱膨張係数を有する第2支持部材とを含み、いずれか一方の支持部材により他方の支持部材と温度調節部材とを接続することを特徴とする。
【0011】
第1支持部材に負の熱膨張係数を有する材料を用いることにより、温度変化に伴う第2支持部材の伸縮に対して、第1支持部材が逆方向に伸縮するために、支持部材の全体的な伸縮量を減少させることができる。
なお、負の熱膨張係数を有する材料とは、加熱により収縮し、冷却により膨張する材料をいい、この種の材料としては、例えばチタン酸アルミニウムやカーボン繊維により一軸方向を強化したエポキシ樹脂がある。
【0012】
さらに、この発明の試料保持装置は、第2支持部材で、第1支持部材の上端と温度調節部材の上部を接続することを特徴とする。
【0013】
また、この発明の試料保持方法は、試料温度を変化させながらX線回折測定を実行する装置に組み込まれる試料保持装置において、内部に試料配置部を有する温度調節部材を支持部材により支持するとともに、温度変化に伴う温度調節部材の伸縮による試料配置部の変位と、温度変化に伴う支持部材の伸縮による試料配置部の変位とを逆向きとしたことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1はこの発明の実施形態に係る試料保持装置の概要を示す断面図である。
同図に示す試料保持装置は、X線回折装置(XRD)と示差走査熱量計(DSC)との複合同時測定装置に組み込まれるもので、加熱炉1(温度調整部材)、第1支持部材2および第2支持部材3を備えている。
【0015】
まず、これら各構成要素の概要を説明する。
加熱炉1は、円筒状の炉体10の周囲にヒータ線11を巻回した構成となっており、内部に2つの試料配置部12が形成されている。試料配置部12は、炉体10内部における熱の対流等を考慮してもっとも均一な加熱が行える位置に形成してある。図示のような縦型配置の炉体10にあっては、中央よりやや上方がもっとも均一で効率的な加熱を行えるため、当該位置に試料配置部12は形成してある。
【0016】
加熱炉1は上端が開口しており、この上端開口部から試料の挿入配置が行われる。この上端開口部には蓋体13が着脱自在となっている。また図示しないが、炉体10にはX線の入射窓および出射窓が形成してあり、X線源から発射されたX線を入射窓を透して試料配置部12の試料表面に照射するとともに、試料表面から反射してくる回折X線を出射窓を透してX線検出器に導く構成となっている。
なお、各試料配置部12の底部中央には、温度測定用の熱電対14が固着してあり、これら熱電対14の出力線が、示差走査熱量計(DSC)15に接続されている。
【0017】
第1支持部材2は、加熱炉1を支える支柱の機能を有している。また、第2支持部材3は、第1支持部材2と加熱炉1とを接続する中間接続部材の機能を有するとともに、加熱炉1の周囲を被覆して加熱炉1から放射される熱を遮蔽する防熱カバーの機能を有している。この第2支持部材3は、円筒状のカバー部30と、このカバー部30から延出するフランジ部31とを有し、カバー部30が炉体10の周囲に配置されている。
【0018】
炉体10および第2支持部材3は、正の熱膨張係数を有する材料で形成してあり、第1支持部材2は負の熱膨張係数を有する材料で形成してある。
例えば、炉体10を形成する材料としては、加熱範囲が数100℃以下の場合は、アルミ合金、銀、ニッケルなどの金属材料が好適であり、それ以上の温度まで加熱する場合はアルミナなどのセラミックスが好適である。また、第2支持部材3を形成する材料としては、例えばステンレス(SUS)等の金属材料が好適である。一方、第1支持部材2を形成する負の熱膨張係数を有する材料としては、例えばチタン酸アルミニウムやカーボン繊維で一軸方向を強化したエポキシ樹脂がある。
【0019】
正の熱膨張係数を有する材料で形成された炉体10および第2支持部材3は、加熱により膨張する。一方、負の熱膨張係数を有する材料で形成された第1支持部材2は、加熱により収縮する。
【0020】
そして、この実施形態では、第2支持部材3のフランジ部31を第1支持部材2の上端に固定するとともに、第2支持部材3におけるカバー部30の上端部を炉体10の上端部に固定してある。このような接続関係とすることにより、第1支持部材2は下方へ収縮し(図示矢印a)、第2支持部材3はカバー部30におけるフランジ部31の延出部から上端部にかけての領域が上方へ膨張する(図示矢印b)。したがって、第1支持部材2の下方への収縮により、炉体10と接続された第2支持部材3の上端部の移動量は減少する。また、炉体10は、第2支持部材3の上端部を基点として下方に膨張する(図示矢印c)。
【0021】
これら各部材における試料配置部12の移動に寄与する各部分の膨張量または収縮量を調節することにより、試料配置部12の移動を抑制することができる。ここで、各部の膨張量または収縮量は、当該部分の長さLに、加熱または冷却前の温度と加熱または冷却後の温度との温度差ΔT、およびその間の平均熱膨張係数αを掛け合わせた値(L×ΔT×α)となる。したがって、選択した材料の熱膨張係数に応じて、各部分の長さを設定するればよい。
【0022】
図2はこの発明の実施形態に係る試料保持装置の概要を示す断面図である。なお、同図において図1と同一部分には同一符号を付してある。
図2に示す試料保持装置では、第2支持部材3の下端部に炉体10の下端部を接続してある。この場合は、第1支持部材2の収縮と第2支持部材3の膨張とが同じ方向(下方)となり、それらの変位量が重畳される。一方、炉体10は第2支持部材3の下端部を基点として上方に膨張する。
【0023】
このような構成であっても、各部材における試料配置部12の移動に寄与する各部分の膨張量または収縮量を、当該各部分の長さをもって調節することにより、試料配置部12の移動を抑制することができる。
【0024】
なお、この発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
例えば、第1支持部材2は、石英ガラス等の熱膨張係数が正の極めて小さい材料で形成することもできる。また、上記実施形態では、支柱に相当する部材を第1支持部材2、中間接続部材および防熱カバーに相当する部材を第2支持部材3としたが、支柱に相当する部材を第2支持部材、中間接続部材および防熱カバーに相当する部材を第1支持部材とすることも可能である。
【0025】
【実施例】
図1に示した構成の試料保持装置を用いて、試料配置部12の移動量を抑制するための各部構成を検討した。
すなわち、試料の加熱範囲を室温から700℃までとして、第2支持部材3の上端部(炉体10との接続部)から試料配置部12までの長さを10mm、第1支持部材2の下端から第2支持部材3の上端部(炉体10との接続部)までの長さを50mm、第1支持部材2の上端部から第2支持部材3の上端部までの長さをxとして、このxの調整により、試料配置部12の移動量を抑制するようにした。
【0026】
実施例1
第1支持部材2を熱膨張係数の極めて小さな石英ガラスで形成するとともに、第2支持部材3をステンレス(SUS304)で形成し、さらに炉体10を銀で形成した。
各材料の平均熱膨張係数は、次のとおりである。
(イ)銀
25〜300℃: 20.2×10−6/℃
25〜500℃: 21.1×10−6/℃
25〜700℃: 22.2×10−6/℃
(ロ)ステンレス(SUS304)
25〜300℃: 16.8×10−6/℃
25〜500℃: 17.9×10−6/℃
25〜700℃: 18.7×10−6/℃
(ハ)石英ガラス
0.50×10−6でほぼ一定
【0027】
以上の条件から、各加熱範囲における試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3を求めると、次式のようになる。
25〜300℃: Y1=4.49x×48.65 …(1)
25〜500℃: Y2=8.26x×88.33 …(2)
25〜700℃: Y3=12.28x×132.95 …(3)
【0028】
上記(1)〜(3)式に基づき、第1支持部材2の上端部から第2支持部材3の上端部までの長さxと、試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3との関係を算出した結果を図3(a)に示す。併せて、図3(a)の結果をグラフ化して図3(b)に示す。
【0029】
この結果より、第1支持部材2の上端部から第2支持部材3の上端部までの長さxを9〜13mmに設定すれば、試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3を、30μm以下にまで抑制することができる。
【0030】
実施例2
第1支持部材2を負の熱膨張係数を有するチタン酸アルミニウムで形成した。他の条件は、実施例1と同じとした。
なお、チタン酸アルミニウム平均熱膨張係数は、次のとおりである。
25〜300℃: −1.99×10−6/℃
25〜500℃: −1.09×10−6/℃
25〜700℃: −0.40×10−6/℃
【0031】
以上の条件から、各加熱範囲における試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3を求めると、次式のようになる。
25〜300℃: Y1=5.17x×(−82.9) …(4)
25〜500℃: Y2=9.02x×(−126.1) …(5)
25〜700℃: Y3=12.89x×(−163.4) …(6)
【0032】
上記(4)〜(6)式に基づき、第1支持部材2の上端部から第2支持部材3の上端部までの長さxと、試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3との関係を算出した結果を図4(a)に示す。併せて、図4(a)の結果をグラフ化して図4(b)に示す。
【0033】
この結果より、第1支持部材2の上端部から第2支持部材3の上端部までの長さxを11〜15mmに設定すれば、試料配置部12の移動量Y1,Y2,Y3を、30μm以下にまで抑制することができる。
【0034】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、温度変化に伴う温度調節部材の伸縮による試料配置部の変位と、温度変化に伴う支持部材の伸縮による試料配置部の変位とが、逆向きとなるように温度調節部材と支持部材とを接続したので、温度変化に伴う試料位置の移動を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る試料保持装置を示す断面図である。
【図2】本発明の他の実施形態に係る試料保持装置を示す断面図である。
【図3】本発明の実施例1の結果を示す図である。
【図4】本発明の実施例2の結果を示す図である。
【符号の説明】
1:加熱炉
2:第1支持部材
3:第2支持部材
10:炉体
12:試料配置部
Claims (1)
- 試料温度を変化させながらX線回折測定を実行する装置に組み込まれる試料保持装置において、
正の熱膨張係数を有する材料で形成され、内部に試料配置部を有するとともに周囲にヒータ線が巻回された加熱炉と、
前記加熱炉を支える支柱として機能する第1支持部材と、
前記加熱炉1と第1支持部材とを接続するとともに、前記加熱炉の周囲を被覆して前記加熱炉から放射される熱を遮蔽する防熱カバーとして機能する第2支持部材とを備え、
前記第1,第2支持部材のいづれか一方を負の熱膨張係数を有する材料で形成するとともに、他方を正の熱膨張係数を有する材料で形成し、
温度変化に伴う前記加熱炉の伸縮による前記試料配置部の変位と、温度変化に伴う前記各支持部材の伸縮による前記試料配置部の変位とが、逆向きとなるように構成したことを特徴とする試料保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22911899A JP3717342B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 試料保持装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22911899A JP3717342B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 試料保持装置およびその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001050913A JP2001050913A (ja) | 2001-02-23 |
JP3717342B2 true JP3717342B2 (ja) | 2005-11-16 |
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ID=16887039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22911899A Expired - Lifetime JP3717342B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | 試料保持装置およびその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3717342B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010048618A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Tokyo Institute Of Technology | 相転移する試料の相転移条件の測定方法およびそのための測定装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106645237B (zh) * | 2016-11-09 | 2023-08-25 | 丹东浩元仪器有限公司 | 一种x射线衍射仪用高温测量装置 |
JP7187775B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2022-12-13 | 住友金属鉱山株式会社 | 非晶質試料の結晶化温度測定方法および結晶化温度測定システム |
JP2019124598A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 住友金属鉱山株式会社 | 非晶質試料の結晶化温度測定方法および結晶化温度測定システム |
CN109813749A (zh) * | 2018-12-30 | 2019-05-28 | 东莞材料基因高等理工研究院 | 一种用于中子衍射谱仪的膨胀仪 |
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1999
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010048618A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Tokyo Institute Of Technology | 相転移する試料の相転移条件の測定方法およびそのための測定装置 |
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---|---|
JP2001050913A (ja) | 2001-02-23 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050627 |
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