JP3714833B2 - セラミック容器及びこれを用いた水晶振動子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、凹状のセラミック容器及びこれに水晶片を密閉封入した表面実装用の水晶振動子を産業上の技術分野とし、特に量産に適して電気的接続を確実にしたセラミック容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)水晶振動子は、周波数及び時間の基準源あるいはフィルタ素子として通信機器を含む各種の電子機器に広く使用されている。近年では、例えば携帯電話に代表されるように、電子機器の小型化及び普及が一層進み、水晶振動子もこれに伴い縮小化及び大量供給が要求されている。また、通信周波数の有効利用のため、水晶振動子の高周波数化も求められている。このような、要求に応えるべく、例えば大型水晶ウェハから写真及びエッチング技術を利用して製造される厚みの薄い水晶振動子が期待されている。
【0003】
(従来技術の一例)第10図は一従来例を説明する水晶振動子の断面図である。
水晶振動子は、凹状としたセラミック容器(容器本体とする)1に水晶片2を収容して、金属カバー3をシーム溶接によって接合して封止する。容器本体1は底壁1aと側壁1bを積層して焼成した積層セラミックからなり、凹部底面の両端側に水晶端子電極(水晶端子とする)4(ab)を有する。水晶端子4(ab)は、容器本体1の積層面を経て側面及び底面に実装電極5(ab)として延出する。なお、側面の電極は、貫通孔を設けて導電ペーストを内周に塗布する所謂スルーホール加工によって形成される。図中の符号12は、開口端に鑞接された溶接用の金属リングである。
【0004】
水晶片2は、厚みすべり振動のATカットからなる。そして、第11図に示したように、例えば上面とした一主面側から穴部を設け、中央部分の薄肉部2aを振動領域として、外周部分の厚肉部2bを保持領域とする。薄肉部2aの両主面には励振電極6(ab)を形成し、反対方向の両端部となる厚肉部2bに引出電極7(ab)を延出する。これにより、水晶片2を平板とした場合に比較し、振動領域(薄肉部2a)の厚みを小さくでき、振動周波数を例えば100MHz以上に高くできる。
【0005】
そして、穴部を有する上面側を容器本体1の開口端側として収容され、引出電極7(ab)の延出した水晶片2の両端部が、凹部底面の水晶端子4(ab)に電気的・機械的に接続される。すなわち、導電性接着剤8によって電気的に接続して固着される。この場合、水晶端子4(ab)上に導電性接着剤8(下塗導電性接着剤8aとする)を塗布して水晶片2を載置し、さらに両端部の上面から側壁1bとの間隙に導電性接着剤8(上塗導電性接着剤8bとする)を埋設する。そして、上塗及び下塗導電性接着剤8(ab)を例えば熱によって同時に硬化させ、水晶片2を固着する。
【0006】
このようなものでは、第12図に示したように、例えば大型な水晶ウェハ9にマスクをかけて、エッチングによって多数の穴部10を設ける。次に、新たなマスクをかけて例えば蒸着によって両主面側に励振及び引出電極6、7(ab)を形成する。さらに、水晶ウェハ9の穴部間をダイシングソウ等によって切断し、多数の水晶片2を得る。そして、前述したように容器本体1に水晶片2を収容してカバーを封止し、水晶振動子を得る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の水晶振動子では、水晶片2における両端部の主面のみに引出電極7(ab)を形成する。したがって、下面側の引出電極(下面引出電極とする)7bと水晶端子4aとは、直接に面対向して下塗導電性接着剤8aによる電気的な接続(導通)を確実にする。しかし、上面側の引出電極(上面引出電極とする)7aと水晶端子4bとは、高さ方向に間隙を有して直接に面対向しない。また、外形寸法を小さくするため、水晶片2の両端部と容器本体1の側壁1bとの間隙は極めて小さい。
【0008】
このため、第13図に示したように、上面側から塗布された上塗導電性接着剤8bは粘性及び表面張力によって丸みを帯びて下塗導電性接着剤8a及び水晶端子4bにまで到達しない。あるいは、到達しても、接触面積を小さくして、電気的導通を不確実にするおそれがあった。また、厚肉部2bの厚みが大きな場合は、上面引出電極7aと水晶端子4bとの間隙も大きくなり、上塗導電性接着剤8bの経路が長くなることから、電気的抵抗が大きくなるおそれもあった。そして、いずれにしても、引出電極7aと水晶端子4bとが直接に面対向しないので、上塗導電性接着剤8bによる接続状態を確認できない問題があった。
【0009】
なお、両端部の上下面引出電極7(ab)を従来のように側面を経て互いに反対面に折返して形成すれば、この問題は解消する。このため、水晶ウェハ9の状態で、例えば図示しない貫通孔を設けて側面から裏面に電極を設けることが考えられる。しかし、蒸着での貫通孔への電極形成は極めて困難であり、また、工程を増やして複雑にし、量産には適しない。
【0010】
(発明の目的)本発明は、量産に適して電気的接続を確実にした容器本体及びこれを用いた水晶振動子を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、容器本体1の側壁内周に水晶端子(側壁端子とする)11を設けたことを基本的な解決手段とする。
【0012】
【作用】
本発明では、容器本体1の側壁内周に設けた側壁端子11と水晶片2の上面引出電極7aとを導電接合材8によって電気的に接続する。これにより、導電接合材8による上面引出電極7aと側壁端子(水晶端子)11との電気的接続を視認して確認できる。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0013】
第1図及び第2図は本発明の第1実施例を説明する図で、第1図は水晶振動子の断面図、第2図は容器本体の一部図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
水晶振動子は、前述のように凹状とした容器本体1に、水晶片2の穴部を設けた上面を開口端側として密閉封入してなる。そして、この実施例では、側壁1bを上側壁1b1と下側壁1b2の二層として、両端側における下側壁1b2の側壁内周に側壁端子11(ab)を設ける。側壁端子11(ab)は底面の水晶端子4(ab)及び実装電極5(ab)に電気的に接続する。
【0014】
下側壁1b2の側壁端子11(ab)は、例えば平板状のグリーンシート(セラミック生地)に貫通孔13を形成し(第3図)、銅ペースト(未図示)を流入させて内周に塗布する(スルーホール加工)。そして、点線で示す中央部を打抜いた後、底壁1a及び上側壁1b1を積層し、一体的な焼成によって形成される。通常では、水晶端子4(ab)及び実装電極5(ab)を含めて金メッキ処理が施される。
【0015】
このようなものでは、前述のように下塗導電性接着剤8aを水晶端子4(ab)上に塗布して水晶片2の両端部底面を載置した後、水晶片2の上面から上塗導電性接着剤8bを塗布する。すなわち、上塗導電性接着剤8bによって、水晶片2の両端部と側壁内周との間隙に埋設するとともに、特に上面引出電極7aと側壁端子11aとを電気的に接続する。
【0016】
このような構成であれば、下面引出電極7bと水晶端子4aとは、前述同様に両者間に介在した下塗導電性接着剤8aによって、電気的導通を確実にする。そして、上面引出電極7aは上塗導電性接着剤8bによって、側壁端子11aに接合するので、上塗導電性接着剤8bが下塗導電性接着剤8a及び水晶端子4bに到達しなかったとしても、水晶端子4b及び実装電極5bとの電気的な導通を確実にする。
【0017】
また、水晶片2の厚肉部2bの厚みが水晶片2と側壁1bとの間隙よりも大きな場合には、導電性接着剤8の経路長を短くして、導通抵抗を小さくできる。そして、この実施例では側壁1bを上側壁1b1、下側壁1b2 から形成し、下側壁1b2に側壁端子11(ab)を設けたので、金属リング12との電気的短絡を防止する。
【0018】
なお、この例では、引出電極7(ab)を両端部の中央に延出して同部を保持したが、例えば両端部の対向する角部に延出して対角部を保持してもよく、また、引出電極7(ab)を両端部の両辺に沿って形成し、任意の部分を保持してもよい(未図示)。さらに、引出電極7(ab)を一端部両側に延出して一端部のみを保持してもよい(未図示)。
【0019】
また、方向性を無くして作業性を高めるため、水晶端子4(ab)及び側壁端子11(ab)を両端側に設けて対称としたが、下面引出電極7bの一端側では側壁端子11bはなくてもよい。そして、上面引出電極7aの他端側では水晶端子4bはなくてもよい(未図示)。
【0020】
【第2実施例】
第4図及び第5図は本発明の第2実施例を説明する図で、第4図は本発明を適用したフィルタ素子(所謂MCF、Monothilic Crystal Filter)としての水晶振動子(水晶片)の図、第5図は下側壁から見た容器本体の平面図である。なお、前述と同一部分の説明は省略又は簡略する。
水晶振動子は、前述同様に穴部を有する水晶片2を容器本体1に収容して、金属カバー3を被せてなる(前第1図参照)。水晶片2は、薄肉部(振動領域)2aの底面に入出力電極14(ab)を、裏面にこれと対向する共通電極14cを有する。そして、入出力電極14(ab)からは長辺方向の両端部中央に、共通電極14cからは短辺方向の一端部中央(中央部とする)に各引出電極15(abc)を延出する。そして、これらは前述したように大型な水晶ウェハ9に写真、印刷及びエッチング技術を用いて一体的に形成される。
【0021】
容器本体1は、底面(底壁1a)に入出力用及びアース用の水晶端子4(cde)を、両端側となる下側壁1b2の側壁内周に入出力用の側壁端子11(cd)を有する。側壁端子11(cd)は、それぞれ水晶端子4(cd)及び外表面に形成した実装電極(未図示)に電気的に接続する。
【0022】
そして、例えば水晶端子4(cde)に下塗導電性接着剤8aを塗布し、水晶片2を位置決めして固着する。さらに、水晶片2の両端部における上面側から上塗導電性接着剤8bを塗布し、水晶片2と側壁内周との間に埋設するとともに入出力用とした上面引出電極15(ab)と側壁端子11(cd)と接続する(前第1図参照)。
【0023】
このような構成であれば、前述と同様に、アース用の下面引出電極15cと水晶端子4eとは、下塗導電性接着剤8aによって、電気的導通を確実にする。そして、上面引出電極15(ab)は、上塗導電性接着剤8bが下塗導電性接着剤8a及び水晶端子4(cd)に到達しなくても、側壁端子11(cd)によって水晶端子4(cd)及び実装電極との電気的な導通を確実にする。そして、導電性接着剤8の経路長を短くして、導通抵抗を小さくできる。
【0024】
なお、この実施例において、水晶片2に対称性を持たせて接続作業を容易にするため、アース用の引出電極15cを短辺方向の両端部中央に延出し、これに応答する水晶端子4eを穴部の底面に設けてもよい(未図示)。
【0025】
【他の事項】
上記各実施例では、各引出電極7、15の延出端部で下塗導電性接着剤8a及び上塗導電性接着剤8bを用いたが、例えば下面引出電極7b、15cの延出端部は下塗導電性接着剤8aのみとする。そして、上面引出電極7a、15(ab)の延出端部は上塗導電性接着剤8bのみとしてもよい(未図示)。この場合、導電性接着剤8の塗布作業が半減するので、作業性を向上する。
【0026】
また、水晶片2は、穴部を設けた上面を容器本体1の開口面側として収容したが、平坦部の下面を開口面側として水晶片2を固着する場合でも同様に適用できる。また、水晶片2は穴部を有するものを適用したが、基本的には平板状であっても(第6図)、薄肉部2aに対して一端側のみに厚肉部2bがあっても(第7図)、さらには両側から穴部を設けて薄肉部2a及び厚肉部2bとしたもの(第8図)でもよい。要は、折り返しがなく水晶片2の両主面上の外周のみに引出電極7、15が延出した水晶片2であれば適用できる。
【0027】
また、カバーは金属としてシーム溶接としたが、電子ビームによる溶接であってもよい。また、水晶端子4の厚みを大きくして容器本体1と水晶片2とに振動用の間隙を設けたが、例えば底面に凹部を設けて両者間に間隙を設けてもよい(未図示)。また、容器本体1には水晶片2のみを収容したが、底面や裏面に凹部を設けてICチップ等の電子素子を収容し、水晶発振器やフィルタ等を形成してもよい(未図示)。
【0028】
また、側壁1bは2層として下側壁1b2に側壁端子11を設けて金属リング12との絶縁を計ったが、例えば金属リング12を容器本体1の開口端の内周上面を避けて外周側に設け、導電性接着剤8との短絡を防止するようにしてもよい(第9図)。また、導電性接着剤8は例えば半田等の金属(鑞材)を用いてもよく、要は導電性があって機械的に接合する機能を持った導電接合材であればよい。
【0029】
また、下塗及び上塗導電性接着剤8(ab)はいずれも導電性としたが、下塗導電性接着剤8aは絶縁性接着剤として機械的な接続のみとし、上塗導電性接着剤8bのみによって電気的な導通を計ってもよい。この場合、下塗とした絶縁性接着剤を機械的な固着用とし、上塗導電性接着剤8bを電気的な導通用とするので、絶縁性及び導電性とした各接着剤に対する選択の幅が広がり、設計の自由度を増す。そして、側壁端子11はスルーホール加工によって形成したが、例えば蒸着やメッキでもよく、これらは任意に形成できる。
【0030】
要するに、本発明は、水晶片2の上面引出電極7a、15(ab)と接続する側壁端子11を容器本体1の側壁内周に設けて電気的導通を確実にすることが趣旨であり、このような趣旨に基づくものは上記を含むその他の適宜自在な変更を含めて本発明の技術的な範囲に包含される。
【0031】
【発明の効果】
本発明は、容器本体の側壁内周に側壁端子を設けて水晶片の上面引出電極と接続するので、量産に適して電気的な接続(導通)を確実としたセラミック容器及びこれを用いた水晶振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明する水晶振動子の断面図である。
【図2】本発明の一実施例を説明する容器本体の一部図である。
【図3】本発明の一実施例を説明する下側壁の生地セラミックの平面図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明する水晶片の図である。
【図5】本発明の他の実施例を説明する下側壁から見た容器本体の平面図である。
【図6】本発明に適用される他の水晶片の図である。
【図7】本発明に適用される他の水晶片の図である。
【図8】本発明に適用される他の水晶片の図である。
【図9】本発明に適用される他の容器本体の一部図である。
【図10】従来例を説明する水晶振動子の断面図である。
【図11】従来例を説明する水晶片の図である。
【図12】従来例を説明する水晶ウェハの図である。
【図13】従来例の問題点を説明する一部断面図である。
【符号の説明】
1 容器本体、2水晶片、3 金属カバー、4 水晶端子、5 実装電極、6励振電極、7、15 引出電極、8 導電性接着剤、9 水晶ウェハ、10 穴部、11 側壁端子、12 金属リング、13 貫通孔、14a 入力電極、14b 出力電極、14c 共通電極.
Claims (4)
- 水晶片の上面側を開口端側として収容し、前記開口端側が金属カバーによって封止される底壁と側壁からなる凹状のセラミック容器において、前記側壁を上側壁と下側壁とから形成し、前記水晶片の上面側となる主面外周に延出した引出電極と導電接合材によって電気的に接続する水晶端子電極を前記下側壁の内周に形成したことを特徴とするセラミック容器。
- 水晶片の上面側を開口端側として、前記開口端側が金属カバーによって封止される底壁と側壁からなる凹状のセラミック容器内に収容し、前記水晶片の上下面の主面外周に延出した引出電極を前記セラミック容器内の水晶端子電極と接続してなる水晶振動子において、前記セラミック容器の側壁を上側壁と下側壁とから形成し、前記水晶端子電極の少なくとも一方を前記セラミック容器の下側壁の内周に設けて、前記水晶片の上面側となる主面外周に延出した引出電極と導電接合材によって電気的に接続したことを特徴とする水晶振動子。
- 請求項2において、前記引出電極は前記水晶片の上下面に形成された対向する励振電極から延出した水晶振動子。
- 請求項2において、前記引出電極は前記水晶片の上下面に形成された入出力電極又は該入出力電極と対向する共通電極から延出したフィルタ素子としての水晶振動子。
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