JP3711870B2 - 基板の洗浄方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の表面に紫外線を照射して基板の表面の異物を除去する基板の洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の基板の洗浄方法は、例えば、無機EL(エレクトロルミネッセンス)素子の製造工程において、各工程間における基板の洗浄に用いられる。従来の一般的な基板の洗浄方法を図3に示す。
【0003】
固定台2にベースとなる台座1を固定し、この台座1上に加熱部3を固定し、この加熱部3上に基板4を保持し、紫外線ランプ等よりなる紫外線照射部材7から基板4上に紫外線を照射する。このとき、図示されない照度センサと温度センサにより、基板4の受ける紫外線の照度と基板4の温度とを測定し、これら照度と温度に対応する時間、基板4に紫外線を照射することにより、基板4の表面が清浄化される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、紫外線ランプ等よりなる紫外線照射部材7は使用時間に伴い照度が低下するので、照射する時間が長くなって生産性が低下する。そのため、所定時間内に処理を終了するためには、紫外線照射部材7を頻繁に交換する必要があり、部材交換のために生産性が低下するという問題があった。
【0005】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、紫外線照射部材を長時間使用でき、かつ、基板に照射される紫外線の照度を安定させることのできる基板の洗浄方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、基板(4)上に紫外線照射部材(7)を配置し、該基板に対して該紫外線照射部材から紫外線照射を行うことにより該基板の表面を洗浄する基板の洗浄方法において、該基板と該紫外線照射部材との間に、該紫外線照射部材から該基板に照射される紫外線の照度を減少させる照度減少部材(8)を介在させて紫外線照射を行い、該紫外線照射部材の照度変化に対応して該照度減少部材を交換することにより、該基板に照射される紫外線の照度を常に所定範囲とする基板の洗浄方法であり、前記紫外線照射部材として、その照度が、前記所定範囲の上限値より大きいものを選定し、前記基板に照射される紫外線の照度が前記所定範囲の上限値になるように前記紫外線ランプの照度を減少させる照度減少部材を選定し、この照度減少部材を前記基板と前記紫外線照射部材との間に介在させて前記紫外線照射を行い、前記基板へ照射される照度が前記所定範囲の下限値にまで低下したら、前記基板と前記紫外線照射部材との間に介在している照度減少部材を、前記基板へ照射される照度が前記所定範囲の上限値になるように前記紫外線ランプの照度を減少させる照度減少部材に交換することを特徴としている。
【0007】
本発明によれば、紫外線照射部材が比較的新しく照射量が多いときは、たくさんの照度の減少可能な照度減少部材を用いて基板への照射量が所定範囲となるようにし、紫外線照射部材の照射量が減少してきたら、比較的照度減少の少ない照度減少部材を用いて基板への照射量が所定範囲となるように洗浄処理を行うことができる。
【0008】
そのため、紫外線照射部材として、その照度が、所定範囲の上限値よりも大きいものを予め選定することにより、後は照度減少部材を交換するのみで、基板に照射される紫外線の照度を常に安定して所定範囲(使用範囲)にすることができるため、紫外線照射部材を交換することなく、長時間に渡って基板に照射される紫外線の照度を安定させることができる。
【0009】
従って、本発明によれば、紫外線照射部材を長時間使用でき、かつ、基板に照射される紫外線の照度を安定させることのできる基板の洗浄方法を提供することができる。
【0010】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る基板の洗浄方法に用いる洗浄装置S1の一例を模式的に示す図である。なお、限定するものではないが、本実施形態は、無機EL素子において、ガラス基板上にEL膜や電極膜を形成する工程の間に基板を洗浄する場合等に適用することができる。
【0012】
図1において、1は、洗浄装置S1のベースとなるステンレス(SUS)等の金属等よりなる台座であり、固定台2に搭載固定されている。台座1の上には、電気式のヒータ等よりなる加熱部3が固定されている。
【0013】
この加熱部3には、基板4を保持するための保持部5が設けられている。この保持部5は加熱部3から突出した突起状のものであり、加熱部3から基板4を浮かせて保持することにより、基板4を均一に加熱するようにしている。そして、ガラス等よりなる基板4は、保持部5を介して加熱部3に保持されている。
【0014】
また、台座1上には、これら加熱部3及び基板4を覆うようにカバー6が設けられている。それによって、カバー6の内部空間は洗浄室6aとして区画形成されている。カバー6はSUS等の金属等よりなり、Oリング6bを介して台座1に固定され、洗浄室6aを気密に保持している。
【0015】
また、洗浄室6a内にて基板4の上には、紫外線ランプを有する紫外線照射部(本発明でいう紫外線照射部材)7が配置されている。この紫外線照射部7は、カバー6に固定されており、所望のタイミングにて基板4に対して紫外線ランプから紫外線を照射できるようになっている。
【0016】
洗浄室6a内にて紫外線照射部7と基板4との間には、紫外線照射部7から基板4に照射される紫外線の照度を減少させるフィルタ(本発明でいう照度減少部材)8が介在設定されている。本例では、図示しないが、フィルタ8はカバー6の天井に設けられたボルト部に対してナットを介して取り付け、取り外し可能に固定されている。
【0017】
このフィルタ8は、例えば所望の開口率を有するように複数個の開口部が網目状に形成されたSUS等の金属等よりなる板を採用することができ、上記所望の開口率に応じて、紫外線照射部7から基板4に照射される紫外線の照度を減少させるものである。
【0018】
また、カバー6には、基板4をカバー6(洗浄室6a)内へ投入したり、カバー6(洗浄室6a)外へ取り出したりするための扉付きの窓9が形成されており、投入時、取り出し時以外は閉まるようになっている。
【0019】
また、台座1と固定台2との間には、洗浄室6aの排気を行うためのダクト10が設けられている。このダクト10は、排気量を調整するためのバルブ11を介して図示しない排気ファンや真空ポンプ等の排気手段に接続されている。また、図示しないが、本洗浄装置S1には、基板4の受ける紫外線の照度や基板4の温度を測定するための照度センサや温度センサが備えられている。
【0020】
次に、洗浄装置S1を用いた本実施形態の基板の洗浄方法について述べる。まず、紫外線照射部7の照度を上記照度センサにて測定し、その照度に対応する開口率を持つフィルタ8を選定し、洗浄装置S1に取り付ける。
【0021】
次に、加熱部3、紫外線照射部7、上記排気手段を作動させ、安定状態になったら、窓9から洗浄室6a内へ基板4を投入し、基板4を保持部5に保持させる。そして、基板4を加熱部3にて所定温度まで加熱する。所定時間、基板4に紫外線を照射した後、窓9から基板4を取り出す。
【0022】
こうして、基板4の表面に存在する有機物等の異物が紫外線により分解し、分解した異物はダクト10から排気されるため、基板4の表面が清浄化される。以上にて、1枚の基板4の洗浄が終了し、次の基板4の投入を行う。
【0023】
ここで、フィルタ8の選定と交換を、次のように行うことにより、紫外線照射部7の紫外線ランプを長時間使用する。なお、フィルタ8の交換は、加熱部3、紫外線照射部7、上記排気手段の電源をオフにして停止状態とし、カバー6を開けてフィルタ8を固定しているナットを外してフィルタ8を外し、代わりのフィルタ8をナットで固定することにより行う。
【0024】
ここで、図2は、時間に対する基板4に照射される照度変化を示す図であり、(a)はフィルタ8を使用しない場合の照度変化を示す図、(b)はフィルタ8を使用した場合の照度変化を示す図である。なお、図2(a)は、言い換えれば、本実施形態に用いる紫外線ランプ自体の時間に対する照度変化特性を示す図である。
【0025】
まず、本実施形態に使用する紫外線ランプは、図2(a)に示す様に、新品時または取り付け直後のランプ自体の初期照度K1が、基板4に照射される照度として必要な照度、すなわち上限値と下限値との間の使用照度範囲よりも大きいものを選び取り付ける。なお、もし、フィルタ8を使用しないと、図2(a)に示す特性を有する紫外線ランプにおいては、期間F3のみが照射可能な時間となる。
【0026】
次に、選定した紫外線ランプの照度が、上記使用照度範囲の上限値にまで減少するような開口率を求め、その開口率を持つフィルタ(第1のフィルタ)8を選定し、洗浄装置S1に取り付ける。すると、図2(b)に示す様に、使用照度範囲よりも大きい紫外線ランプの照度は、当該フィルタ8によって減少し、基板4へ照射される照度として使用照度範囲の上限値となる。
【0027】
紫外線ランプを使用していくと時間と共に紫外線ランプ自体の照度が低下していくが、それとともに低下していく基板4へ照射される照度が上記使用範囲の間にある期間(図2(b)中の期間F1)は、フィルタ8を交換せずに基板4の洗浄を行う。
【0028】
基板4へ照射される照度が上記使用照度範囲の下限値にまで低下したら、その時の紫外線ランプ自体の照度に対し、基板4へ照射される照度が上記使用照度の範囲の上限値になるような開口率を求め、その開口率を持つフィルタ(第2のフィルタ)8に交換する。そして、基板4へ照射される照度が上記使用範囲の間にある期間(図2(b)中の期間F2)は、当該フィルタ8を交換せずに基板4の洗浄を行う。
【0029】
さらに、紫外線ランプ自体の照度が低下し、フィルタ8を使用しなくても、基板4へ照射される照度が上記使用範囲の上限値になったとき、フィルタ8を取り外し、フィルタ8を使用しない状態で基板4の洗浄を行う(図2(b)中の期間F3)。
【0030】
このように、本実施形態によれば、基板4に照射される照度が使用範囲の上限値から下限値になるようにフィルタ8の開口率を選んで交換して使用することにより、図2(b)に示す様に、紫外線ランプを長時間使用することができ、かつ、基板4に照射される紫外線の照射量を常に所定範囲とすることができる。
【0031】
なお、従来の洗浄方法では、新品時の照度が既に上記使用範囲にある紫外線ランプを使用していた。例えば、単純には、新品時からの照度変化が図2に示す期間F3となるような紫外線ランプを、従来では用いる。すると、この期間F3程度の時間が従来のランプ交換時期となる。
【0032】
また、従来でも紫外線ランプの照度を減少させるフィルタは用いられてはいたが、紫外線ランプの照度変化に対応してフィルタを交換する方法ではなく、紫外線ランプ自体を交換していた。このような従来のフィルタを用いた方法では、最初からフィルタによって使用照度範囲にまで照度を落とし、その後はフィルタは変えないため、やはり、フィルタを使用しない従来の場合と同程度のランプ交換が必要となる。
【0033】
その点、本実施形態によれば、紫外線照射部7の紫外線ランプとして、それ自体の照度が必要な照度よりも大きいものを予め選定すれば、後はフィルタ(照度減少部材)8を交換するのみで、基板4に照射される紫外線の照射量を常に安定して所定範囲(使用範囲)にすることができるため、紫外線ランプを交換することなく、長時間に渡って基板4に照射される紫外線の照度を安定させることができる。
【0034】
例えば、本実施形態では、図2(b)に示す様に、ランプ交換時期を従来の3倍程度に延ばすことができる。また、図2(b)に示す例では、フィルタ8を2回交換(取り外しも含む)しているが、紫外線ランプの初期照度K1や使用照度範囲の大きさに応じて、フィルタ8を3回、4回あるいはそれ以上交換するようにしても良いことは明らかである。
【0035】
従って、本実施形態によれば、紫外線照射部材を長時間使用でき、かつ、基板に照射される紫外線の照度を安定させることのできる基板の洗浄方法を提供することができる。また、本実施形態によれば、紫外線照射部材の交換時期を延ばし、交換回数を低減できるため、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る基板の洗浄方法に用いる洗浄装置の説明図である。
【図2】時間に対する基板に照射される照度変化を示す図であり、(a)はフィルタを使用しない場合の図、(b)はフィルタを使用した場合の図である。
【図3】従来の一般的な基板の洗浄方法を示す説明図である。
【符号の説明】
4…基板、7…紫外線照射部、8…フィルタ(照度減少部材)。
Claims (1)
- 基板(4)上に紫外線照射部材(7)を配置し、前記基板に対して前記紫外線照射部材から紫外線照射を行うことにより、前記基板の表面を洗浄する基板の洗浄方法において、
前記基板と前記紫外線照射部材との間に、前記紫外線照射部材から前記基板に照射される紫外線の照度を減少させる照度減少部材(8)を介在させて前記紫外線照射を行い、
前記紫外線照射部材の照度変化に対応して前記照度減少部材を交換することにより、前記基板に照射される紫外線の照度を常に所定範囲とする基板の洗浄方法であり、
前記紫外線照射部材として、その照度が、前記所定範囲の上限値より大きいものを選定し、
前記基板に照射される紫外線の照度が前記所定範囲の上限値になるように前記紫外線ランプの照度を減少させる照度減少部材を選定し、この照度減少部材を前記基板と前記紫外線照射部材との間に介在させて前記紫外線照射を行い、
前記基板へ照射される照度が前記所定範囲の下限値にまで低下したら、前記基板と前記紫外線照射部材との間に介在している照度減少部材を、前記基板へ照射される照度が前記所定範囲の上限値になるように前記紫外線ランプの照度を減少させる照度減少部材に交換することを特徴とする基板の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001013547A JP3711870B2 (ja) | 2001-01-22 | 2001-01-22 | 基板の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001013547A JP3711870B2 (ja) | 2001-01-22 | 2001-01-22 | 基板の洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002210426A JP2002210426A (ja) | 2002-07-30 |
JP3711870B2 true JP3711870B2 (ja) | 2005-11-02 |
Family
ID=46615033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001013547A Expired - Fee Related JP3711870B2 (ja) | 2001-01-22 | 2001-01-22 | 基板の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3711870B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8105409B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-01-31 | General Electric Company | Filter retention system |
US8048186B2 (en) | 2009-04-02 | 2011-11-01 | General Electric Company | Filter retention systems and devices |
JP5541508B2 (ja) * | 2010-06-14 | 2014-07-09 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
US10119469B2 (en) | 2016-09-15 | 2018-11-06 | General Electric Company | Method and apparatus for modularized inlet silencer baffles |
US10722990B2 (en) | 2016-09-15 | 2020-07-28 | General Electric Company | Method for installing and removing modularized silencer baffles |
CN108278158B (zh) | 2017-01-06 | 2022-05-13 | 通用电气公司 | 用于改进的入口消音挡板的系统和方法 |
CN108278157B (zh) | 2017-01-06 | 2022-08-02 | 通用电气公司 | 用于改进的入口消音挡板的系统和方法 |
-
2001
- 2001-01-22 JP JP2001013547A patent/JP3711870B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002210426A (ja) | 2002-07-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050322 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050726 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050808 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080826 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110826 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120826 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130826 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |