JP3699666B2

JP3699666B2 - Ｘ線管の熱陰極

Info

Publication number: JP3699666B2
Application number: JP2001284581A
Authority: JP
Inventors: 武慶田口; 勝美塚本; 勝栗林
Original assignee: Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 2001-09-19
Filing date: 2001-09-19
Publication date: 2005-09-28
Anticipated expiration: 2021-09-19
Also published as: US20030053595A1; EP1296350B1; EP1296350A1; US6738453B2; JP2003092076A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＸ線管の熱陰極に関し、特に、熱電子エミッタを発熱体で支持する構造の熱陰極に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線管の熱陰極の熱電子エミッタの材料として六ホウ化ランタン（ＬａＢ₆）を使うことが知られている。この六ホウ化ランタンは、この材料だけで熱陰極を構成する場合もあるし（特開平１０−３２１１１９号公報の図１や図１４を参照）、カーボン等の発熱体で支持して熱陰極とする場合もある（特開平１０−３２１１１９号公報の図９と図１０を参照）。本発明は、後者のような使い方（熱電子エミッタを発熱体で支持する構造）に適用できるものである。
六ホウ化ランタンからなる熱電子エミッタをカーボン製の発熱体で支持する構造の熱陰極を製造する方法としては、発熱体に溝を形成して、この溝の内部に六ホウ化ランタンの粉末を充填してこれを焼結する方法が知られている（特開２００１−８４９３２号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように六ホウ化ランタンの粉末を焼結して細長い（例えば、１０ｍｍ×０．５ｍｍの）熱電子エミッタを作った場合、次のような問題が生じることが報告されている。このようにして製造した熱陰極を有するＸ線管でＸ線を発生させて、これを長時間使っていると、Ｘ線管のフィラメント電流（熱陰極の一端から他端に向かって流れる電流）に大きなハンチングが生じて制御不能になる（暴走現象を生じる）ことが報告されている。フィラメント電流は、通常は、例えば、１．２Ａ±０．５Ａになるように制御されているが、上述のように制御不能になると、この制御範囲を大きく逸脱して回復不可能になり、その場合は、制御回路が停止してしまう。当然、Ｘ線の発生が停止し、Ｘ線管は使用不能になる。このような現象がいったん生じると、その後は、このＸ線管ではフィラメント電流の制御が不可能になり、熱陰極を交換する必要がある。
【０００４】
上述のように制御不能になった熱陰極を調べてみると、次のことが分かった。表面サイズが１０ｍｍ×０．５ｍｍで厚さが０．３ｍｍの六ホウ化ランタン製の熱電子エミッタの表面を顕微鏡で観察すると、３〜５本のひび割れが生じているのが観測された。制御不能になった熱陰極のいくつかの事例のすべてで、同様なひび割れが生じている。六ホウ化ランタンの粉末の粒径を変えて実験してみても、ひび割れが生じる傾向は、程度の差はあれ、あまり変わらない。もちろん、六ホウ化ランタンの粉末を充填して焼結した直後はひび割れは見られないが、Ｘ線を発生させている途中で、何らかの物理的あるいは熱的なショックが熱電子エミッタに加わると、ランダムにひび割れが生じるものと推測される。
【０００５】
本発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、熱電子エミッタを発熱体で支持する構造のＸ線管の熱陰極において、熱電子エミッタにひび割れの生じない熱陰極を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
ひび割れの生じた熱陰極を観察してみると、細長い熱電子エミッタの場合、数ｍｍ間隔で複数本のひび割れが生じているのが分かる。そこで、いくつかの事例について、ひび割れ同士の間隔を測定してみると、３ｍｍを下回ることがほとんどないことが判明した。そこで、ひとつのエミッタ領域の長さが３ｍｍ以下になるようにして、これを一直線上に配置して、全体として１０ｍｍ程度の長さの熱電子エミッタを製造し、この熱陰極でＸ線発生負荷実験を試みた。そうすると、フィラメント電流が制御不能となるような現象は発生せず、また、実験後の熱陰極を取り出して顕微鏡で調べてみても、ひび割れが生じていないことが確認できた。このような実験結果に基づいて、エミッタ領域の長さを３ｍｍ以下にして、これを組み合わせて所望の長さの熱電子エミッタを構成すれば、ひび割れの生じない熱陰極を作ることができるという発明に至ったものである。
【０００７】
したがって、本発明は、熱電子エミッタを発熱体で支持する構造のＸ線管の熱陰極において、前記熱電子エミッタが、互いに分離された複数のエミッタ領域からなり、各エミッタ領域の最大寸法が３ｍｍ以下であることを特徴とするものである。
【０００８】
エミッタ領域の最大寸法とは、エミッタ領域の表面上の任意の１点から別の任意の１点までの距離の最大値を指す。細長いエミッタ領域であれば、その最大寸法はその長さにほぼ等しい。また、円形のエミッタ領域であれば、その最大寸法は直径に等しい。本発明は、各エミッタ領域が細長い場合に限定されるものではなく、任意の形状であってよい。いずれの形状であっても、最大寸法が３ｍｍ以下であればひび割れが生じない。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の第１の実施形態を示す斜視図である。この熱陰極はガラス状カーボンでできた発熱体１０と、この発熱体１０に支持された熱電子エミッタ１２からなる。熱電子エミッタ１２は複数のエミッタ領域１４からなり、各エミッタ領域１４は六ホウ化ランタンの焼結体でできている。
【００１０】
図２は熱電子エミッタの付近を拡大した斜視図であり、図２（ａ）は六ホウ化ランタン粉末を充填する前の発熱体の形状を示しており、図２（ｂ）は六ホウ化ランタンを充填して焼結したあとの状態（完成状態）を示している。図２（ａ）において、厚さ１ｍｍの発熱体１０の熱電子放射側（図では上側）には４個の溝１６が形成されている。各溝１６は、長さが２．６ｍｍ、幅が０．５ｍｍ、深さが０．３ｍｍである。したがって、その平面形状は２．６ｍｍ×０．５ｍｍの概略矩形であり、その四隅にＲ（半径は０．２ｍｍ以下）が形成されている。これらの溝１６が、０．２ｍｍの間隔を隔てて、その長手方向に一直線上に形成されている。
【００１１】
この溝１６に六ホウ化ランタンを充填して、発熱体１０に電流を流すと、その熱によって六ホウ化ランタンが焼結され、図２（ｂ）に示すように、六ホウ化ランタンの焼結体からなる４個のエミッタ領域１４が完成する。この４個のエミッタ領域１４により、全体として、長さが１１ｍｍ、幅が０．５ｍｍの熱電子エミッタ１２が構成されている。完成した熱電子エミッタの平面寸法を図４（ａ）に示す。熱電子エミッタ１２の全体の長さＬ１は１１ｍｍ、幅Ｗは０．５ｍｍである。各エミッタ領域１４の長さＬ２は２．６ｍｍ、幅Ｗは同じ０．５ｍｍである。エミッタ領域１４同士の間隔Ｇは０．２ｍｍである。エミッタ領域１４の四隅にはＲを形成してあり、角が丸くなっている。このエミッタ領域１４の最大寸法は約２．６ｍｍである。
【００１２】
上述の熱陰極について、次のような実験をした。この熱陰極をＸ線管に取り付けて、約１６時間、管電圧が１８ｋＶ、管電流が１００ｍＡの条件で連続運転をし、その安定度を測定した。その結果、フィラメント電流のハンチングは起こらなかった。その後、管球をあけて、熱陰極の表面を顕微鏡で観察した。顕微鏡観察（２０倍程度の観察）によれば、熱陰極のエミッタ領域にひび割れは見られなかった。同じ熱陰極について、引き続き、１４日間、４０ｋＶ−６０〜７０ｍＡの条件で連続運転をして、さらに安定度の観測をした。その間、数回、熱陰極を取り出して顕微鏡で観察したがひび割れは観測されず、また、フィラメント電流のハンチングも生じなかった。以上の実験結果より、この熱陰極は、従来の熱陰極と比較して、ひび割れが生じるおそれがなく、きわめて安定な熱陰極であることが確認できた。
【００１３】
フィラメント電流が安定すると、その制御幅を狭くしてもハンチングが生じないので、制御幅を狭くすることができる。したがって、フィラメント電流を高精度に制御でき、Ｘ線管の出力の安定度が高まる。
【００１４】
次に、六ホウ化ランタンの粉末の粒径について説明する。溝に充填する六ホウ化ランタンの粒径は、ひび割れ特性に影響を与える。例えば、粒径を１μｍ近辺に揃えると，ひび割れが生じやすい。これに対して、さまざまな粒径を混ぜておくと（例えば、２０μｍ〜数μｍの範囲内で）、ひび割れが生じにくい。
【００１５】
次に、別の実施例を説明する。図３は本発明の第２の実施形態についての図２と同様の拡大斜視図である。図３（ａ）は六ホウ化ランタン粉末を充填する前の状態、図３（ｂ）は充填して焼結したあとの状態を示している。図３（ａ）において、発熱体１０の熱電子放射側（図では上側）には８個の溝２４が形成されている。各溝２４は、発熱体１０の厚さ方向に貫通しており、長さが１．２ｍｍ、幅が０．５ｍｍ、深さが０．３ｍｍである。なお、厚さ１ｍｍの発熱体１０の上端近傍では、その厚さが次第に薄くなるようにテーパがついており、発熱体の最上部での厚さは０．５ｍｍになっている。したがって、溝２４の幅（発熱体１０の厚さ方向の寸法）は、その最上部では０．５ｍｍであるが、それよりも下方では徐々に広がっている。発熱体１０の最上部における溝２４の平面形状は、１．２ｍｍ×０．５ｍｍの矩形である。これらの溝２４が、０．２ｍｍの間隔を隔てて、その長手方向に一直線上に配置されている。
【００１６】
この溝２４に六ホウ化ランタンを充填して、発熱体１０に電流を流すと、その熱によって六ホウ化ランタンが焼結され、図３（ｂ）に示すように、六ホウ化ランタンの焼結体からなる８個のエミッタ領域２６が完成する。この８個のエミッタ領域２６により、全体として、長さが１１ｍｍ、幅が０．５ｍｍの熱電子エミッタ２８が構成されている。完成した熱電子エミッタ２８の最上部での平面寸法を図４（ｂ）に示す。熱電子エミッタ２８の全体の長さＬ１は１１ｍｍ、幅Ｗは０．５ｍｍである。各エミッタ領域２６の長さＬ２は１．２ｍｍ、幅Ｗは０．５ｍｍである。エミッタ領域２６同士の間隔Ｇは０．２ｍｍである。このエミッタ領域２６の最大寸法は約１．２ｍｍ（厳密には矩形の対角線の長さ＝１．３ｍｍ）となる。
【００１７】
一般的に、六ホウ化ランタンを使った熱陰極は、通常のタングステン・フィラメントが使えないようなＸ線管に適用することが多い。すなわち、タングステンフィラメントの特性Ｘ線が邪魔をするような測定、例えば、ＥＸＡＦＳ測定などに有効である。
【００１８】
以上の実施例の説明では、熱電子エミッタの材料として六ホウ化ランタンを使っているが、熱電子エミッタのそのほかの材料として、ＣｅＢ₆、ＺｒＣ、ＴｉＣなどを使うこともできる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明の熱陰極は、互いに分離された複数のエミッタ領域によって熱電子エミッタを構成して、各エミッタ領域の最大寸法を３ｍｍ以下にしたことにより、エミッタ領域にひび割れが生じることがなくなり、フィラメント電流が安定する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】熱電子エミッタの付近を拡大した斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施形態についての図２と同様の拡大斜視図である。
【図４】熱電子エミッタの平面寸法を示す平面図である。
【符号の説明】
１０発熱体
１２熱電子エミッタ
１４エミッタ領域
１６溝

Claims

熱電子エミッタを発熱体で支持する構造のＸ線管の熱陰極において、前記熱電子エミッタが、互いに分離された複数のエミッタ領域からなり、各エミッタ領域の最大寸法が３ｍｍ以下であることを特徴とするＸ線管の熱陰極。
請求項１に記載の熱陰極において、前記各エミッタ領域が細長い概略矩形の形状をしており、これらのエミッタ領域がその長手方向に一直線上に配置されていて、全体として細長い熱電子エミッタを構成していることを特徴とする熱陰極。
請求項１または２に記載の熱陰極において、前記発熱体の材質がガラス状カーボンであり、前記熱電子エミッタの材質が六ホウ化ランタンであることを特徴とする熱陰極。