DE19513290C1 - Röntgenröhre mit einem Niedrigtemperatur-Emitter - Google Patents

Röntgenröhre mit einem Niedrigtemperatur-Emitter

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Description

Die Erfindung betrifft eine Röntgenröhre nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Treffen die Elektronen des Elektronenstrahles auf die Anode, so entstehen neben der gewünschten Röntgenstrahlung auch Ionen, die sich entlang der Feldlinien des elektrischen Fel­ des zwischen Elektronenemitter und Anode in Richtung auf den Elektronenemitter bewegen. Auf diesen treffen sie mit einer entsprechenden kinetischen Energie. Dabei können Schädigungen des Elektronenemitters beispielsweise durch Aufschmelzungen, chemische Reaktionen oder Abtragung der Emissionsschicht auf­ treten, was die Emissionsfähigkeit des Emitters reduzieren kann.
In den heute verbreiteten Röntgenröhren befinden sich Elek­ tronenemitter, z. B. aus Wolfram, die relativ resistent gegen Ionenbeschuß sind. Jedenfalls ist die Lebensdauer derartiger Elektronenemitter durch deren hohe Betriebstemperatur be­ grenzt, da durch Abdampfen von Material der Elektronenemit­ ter, und damit die Röntgenröhre, schließlich versagt. Werden statt dessen wie im Falle aus der DE 40 26 300 A1 und der WO 92/03837 A1 bekannter Röntgenröhren der eingangs genannten Art sogenannte Niedrigtemperatur-Emitter verwendet, d. h. Elektronenemitter, die wenigstens im Bereich ihrer Elektronen emittierenden Fläche aus einem Material gebildet sind, das eine geringere Elektronenaustrittsarbeit als Wolfram auf­ weist, und die demnach bereits bei vergleichsweise niedrigen Temperaturen emittieren, wird die Lebensdauer des Elektronen­ emitters, und damit der Röntgenröhre, durch den Ionenbeschuß begrenzt.
Im Falle der Röntgenröhren gemäß der DE 40 26 300 A1 und der WO 92/03837 A1 tritt der Elektronenstrahl übrigens durch eine Lochblende, die im Falle der WO 92/03837 A1 als Fokussie­ rungselektrode und im Falle der DE 40 26 300 A1 als Gitter oder Fokussierungselektrode dient.
Eine Röntgenröhre, bei der der Elektronenstrahl durch eine Lochblende tritt, ist übrigens auch aus der DE 42 30 047 C1 bekannt.
Die Röntgenröhre gemäß der DE 40 26 300 A1 weist ebenso wie eine aus der DE 40 26 301 A1 bekannte Röntgenröhre einen Niedrigtemperatur-Emitter auf, bei dem als Elektronen emittierendes Material Lanthanhexaborid (LaB₆) vorgesehen ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Röntgenröhre der eingangs genannten Art, d. h. eine Röntgenröhre mit Nied­ rigtemperatur-Emitter, so auszubilden, daß der Elektronen­ emitter, und damit die Röntgenröhre, eine erhöhte Lebensdauer aufweist.
Nach der Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch den kenn­ zeichnenden Teil des Patentanspruches 1.
Da die Lochblende auf Anodenpotential liegt, befindet sich im Bereich der Lochblende zwischen der Auftrefffläche der Anode und der Lochblende ein feldfreier Raum. Da die durch den Elektronenbeschuß der Anode produzierten Ionen nun im feld­ freien Raum entstehen, können nur noch diejenigen zum Elek­ tronenemitter gelangen, die durch die Lochblende in den nicht feldfreien Raum zwischen Lochblende und Elektronenemitter treten. Es kann also nur noch ein vergleichsweise geringer Teil der produzierten Ionen zu dem Elektronenemitter gelan­ gen, so daß eine erhöhte Lebensdauer des Elektronenemitters, und damit der Röntgenröhre, erreicht wird.
Da die Wahrscheinlichkeit, daß Ionen durch die Lochblende zu dem Elektronenemitter gelangen, um so kleiner ist, je kleiner die Blendenöffnung ist, ist es vorteilhaft, wenn der Elektro­ nenstrahl unter einem Winkel zur Flächennormalen der Auf­ trefffläche im Brennfleck auftrifft, der größer als 45° ist. In diesem Fall ergibt sich nämlich, zumindest dann, wenn die Lochblende in einer zu dem Elektronenstrahl wenigstens im wesentlichen rechtwinklig verlaufenden Ebene angeordnet ist, für den jeweiligen Querschnitt des Elektronenstrahles eine Blendenöffnung minimaler Größe. Wenn der Elektronenstrahl außerdem einen kreisförmigen Querschnitt aufweist, ergibt sich für eine gegebene Querschnittsfläche des Elektronen­ strahles eine minimale Größe der Durchtrittsöffnung der Loch­ blende.
Als Elektronen emittierendes Material für Niedrigtemperatur- Emitter eignen sich insbesondere Legierungen der Systeme Iridium-Cer und Iridium-Lanthan. Ein für Niedrigtemperatur- Emitter ebenfalls gut geeignetes Material ist Lanthan­ hexaborid.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den beigefügten Zeichnungen dargestellt. Es zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Röntgenröhre in schematischer Darstellung im Längsschnitt,
Fig. 2 in vergrößerter Darstellung einen teilweisen Längs­ schnitt durch die Röntgenröhre gemäß Fig. 1,
Fig. 3 den Brennfleck der Röntgenröhre gemäß den Fig. 1 und 2 in vergrößerter perspektivischer Darstellung, und
Fig. 4 den Schnitt gemäß Linie IV-IV in Fig. 3.
In der Fig. 1 ist mit 1 das Vakuumgehäuse der Röntgenröhre bezeichnet, das im Falle des beschriebenen Ausführungsbei­ spieles in bekannter Weise unter Verwendung von Metall und Keramik oder Glas - andere Materialien sind möglich - herge­ stellt ist. Innerhalb des Vakuumgehäuses 1 ist in einem rohr­ förmigen Gehäuseansatz 2 eine Kathodenanordnung 3 angebracht, die einen innerhalb einer rotationssymmetrischen Weh­ neltelektrode 4 aufgenommenen Elektronenemitter aufweist, der als Flachemitter in Form einer kreisscheibenförmigen Glüh­ kathode 5 ausgeführt und mittels einer Keramikscheibe 6 an der Wehneltelektrode 4 angebracht ist. Der Glühkathode 5 gegenüberliegend ist eine insgesamt mit 7 bezeichnete Dreh­ anode vorgesehen, die einen über eine Welle 8 mit einem Rotor 9 verbundenen Anodenteller 10 aufweist. Der Rotor 9 ist in der Fig. 1 nicht dargestellter Weise auf einer mit dem Vaku­ umgehäuse 1 verbundenen Achse 11 drehbar gelagert. Im Bereich des Rotors 9 ist auf die Außenwand des Vakuumgehäuses 1 ein Stator 12 aufgesetzt, der mit dem Rotor 9 zur Bildung eines zum Antrieb der Drehanode dienenden Elektromotors zusammen­ wirkt.
Beim Betrieb der Röntgenröhre wird dem Stator 12 über Leitun­ gen 13 und 14 ein Wechselstrom zugeführt, so daß der über die Achse 11 mit dem Rotor 9 verbundene Anodenteller 10 rotiert.
Die Röhrenspannung wird über Leitungen 15 und 16 angelegt. Die Leitung 15 ist mit der Achse 11 verbunden, die ihrerseits mit dem Vakuumgehäuse 1 elektrisch leitend verbunden ist. Die Leitung 16 ist mit einem Anschluß der Glühkathode 5 verbun­ den. Der andere Anschluß der Glühkathode 5 ist mit einer Lei­ tung 17 verbunden, über die der Glühkathode 5 ein Heizstrom zugeführt werden kann. Ist dies der Fall, geht von der Glüh­ kathode 5 ein Elektronenstrahl ES kreisförmigen Querschnitts aus. Während in Fig. 1 nur die Mittelachse des Elektronen­ strahls ES eingetragen ist, sind in den Fig. 2 und 3 auch dessen Konturen bzw. Begrenzungslinien angedeutet.
Dieser tritt zunächst durch eine Fokussierungselektrode 19, die unter Zwischenfügung eines Isolators 21 an dem Vakuumge­ häuse 1 angebracht ist, dann durch die Blendenöffnung A einer mit dem Vakuumgehäuse 1 elektrisch leitend verbundenen und damit auf Anodenpotential liegenden, in einer wenigstens im wesentlichen rechtwinklig zu dem Elektronenstrahl ES liegen­ den Ebene angeordneten Lochblende 20 und trifft dann wie an­ gedeutet in einem mit BF bezeichneten Brennfleck auf eine Auftrefffläche 22 des Anodentellers 10 auf. Von dem Brenn­ fleck BF geht Röntgenstrahlung aus. Das Nutzröntgenstrahlen­ bündel, dessen Zentralstrahl und Randstrahlen in den Fig. 1 und 2 strichliert angedeutet und mit ZS bzw. RS bezeichnet sind, tritt durch ein Strahlenaustrittsfenster 23 aus.
Bei der Glühkathode 5 handelt es sich um einen sogenannten Niedrigtemperatur-Emitter aus einem Material mit im Vergleich zu dem üblicherweise als Kathodenmaterial verwendeten Wolfram niedriger Elektronenaustrittsarbeit und damit niedrigerer Be­ triebstemperatur. Die Glühkathode 5 ist als Sinterkörper aus Iridium und Cer (Ir-Ce) oder Iridium und Lanthan (Ir-La) oder aus Lanthanhexaborid (LaB₆) ausgeführt. Als Materialien für Niedrigtemperatur-Emitter eignen sich ganz allgemein Legie­ rungen aus Rhenium bzw. einem Metall der VIII. Vertikalreihe des Periodensystems und aus einem Element der Gruppe Barium, Calcium, Lanthan, Yttrium, Gadolinium, Cer, Thorium, Uran. Außerdem eignen sich mit Lanthanoxid (La₂O₃) dotierte Wolf­ ram- oder Molybdän-Substrate. Weiter eignet sich thoriertes Wolfram als Material für Niedrigtemperatur-Emitter.
Zwischen dem einen Anschluß der Glühkathode 5 und der Weh­ neltelektrode 4 liegt gemäß Fig. 1 die Wehneltspannung UW an. Außerdem liegt gemäß Fig. 1 zwischen dem einen Anschluß der Glühkathode 5 und der Fokussierungselektrode 19 eine Fokus­ sierungsspannung UF an.
Die Gestalt der für den Elektronenstrahl ES vorgesehenen rotationssymmetrischen Durchtrittsöffnung der Fokussierungs­ elektrode 19, die Fokussierungsspannung UF und die Weh­ neltspannung UW sind derart gewählt, daß sich ein virtueller Brennpunkt oder "cross over" des Elektronenstrahles ES er­ gibt, der von der Glühkathode 5 aus gesehen hinter der Auf­ trefffläche 22 liegt. Hierdurch ergibt sich ein laminarer Elektronenstrahl ES, d. h. zwischen der Glühkathode 5 und dem Brennfleck BF existieren im wesentlichen keine sich schnei­ denden Elektronenbahnen.
Um zu vermeiden, daß die thermische Belastung der Auftreff­ fläche die zulässigen Grenzen übersteigt, trifft der Elektro­ nenstrahl ES unter einem solchen Winkel α zur Flächennormalen N der Auftrefffläche 22 im Brennfleck BF auf, daß sich ein strichförmiger, genauer gesagt elliptischer Brennfleck BF ergibt (siehe Fig. 3). Die Breite B des Brennfleckes BF ent­ spricht dem Durchmesser D des Elektronenstrahles (siehe Fig. 4), der bei gegebener Geometrie der Glühkathode 5, der Wehneltelektrode 4, der Fokussierungselektrode 19 und der Lochblende 20 sowie bei gegebenem Heizstrom und gegebener Röhrenspannung von der Wehneltspannung UW und der Fokussie­ rungsspannung UF abhängt.
Im Hinblick auf die üblicherweise angestrebten Brennfleckab­ messungen ist der Winkel α so gewählt, daß sich bei einem Durchmesser D des Elektronenstrahles ES von 0,1 bis 2,0 mm eine Länge L des Brennfleckes zwischen 1 und 15 mm ergibt. Der angegebene Durchmesserbereich gilt für den Durchmesser des Elektronenstrahles ES hinter der Lochblende 20.
Die Lage des Strahlenaustrittsfensters 23 ist so gewählt, daß der Winkel β des Zentralstrahles ZS des Nutzröntgenstrahlen­ bündels zur Flächennormalen N der Auftrefffläche 22 im Brenn­ fleck BF wenigstens im wesentlichen gleich dem Winkel α ist. In Richtung des Zentralstrahles des Nutzröntgenstrahlenbün­ dels gesehen ergibt sich ein für eine hohe Abbildungsqualität günstiger wenigstens im wesentlichen kreisförmiger Fokus.
Infolge des kreisförmigen Querschnittes des Elektronenstrah­ les ES ist zunächst die Voraussetzung dafür gegeben, daß sich im Brennfleck BF eine gaußkurvenähnliche Intensitätsvertei­ lung der Röntgenstrahlung für beliebige Richtungen ergeben kann. Da der Elektronenstrahl ES durch die zwischen der Glüh­ kathode 5 und dem Anodenteller 10 angeordnete, auf Anoden­ potential liegende Lochblende 20 tritt, ist sichergestellt, daß der Elektronenstrahl ES auch in unmittelbarer Nähe des Anodentellers 10 noch seinen kreisförmigen Querschnitt auf­ weist. Infolge der auf Anodenpotential liegenden Lochblende 20 befindet sich nämlich zwischen der Lochblende und dem Anodenteller 10 ein feldfreier Raum, in dem also keine feld­ bedingten Verzerrungen der Querschnittsgeometrie des Elektro­ nenstrahles ES mehr auftreten, mit der Folge, daß auf die Auftrefffläche 22 tatsächlich ein Elektronenstrahl ES kreis­ förmigen Querschnittes auftrifft. Damit ist eine an das gauß­ kurvenförmige Ideal gut angenäherte Intensitätsverteilung der Röntgenstrahlung im Brennfleck BF gewährleistet, und zwar in beliebigen Richtungen gesehen. Eine solche Intensitätsver­ teilung wäre trotz der Verwendung einer Kathodenanordnung 3, die einen Elektronenstrahl ES kreisförmigen Querschnittes er­ zeugt, bei Abwesenheit der Lochblende 20 nicht gewährleistet, da der auf die Auftrefffläche 22 auftreffende Elektro­ nenstrahl ES dann hinsichtlich seiner Querschnittsgeometrie deutlich von einem kreisförmigen Querschnitt abweichen würde.
Da der Elektronenstrahl ES ein laminares Strahlprofil be­ sitzt, wird eine nochmals verbesserte Annäherung an das gauß­ kurvenförmige Ideal der Intensitätsverteilung der Röntgen­ strahlung im Brennfleck BF erreicht.
Die Lochblende 20 schützt die Glühkathode 5 auch vor Ionenbe­ schuß. Da nämlich im Falle der erfindungsgemäßen Röntgenröhre die durch den Beschuß des Anodentellers 10 mit dem Elektro­ nenstrahl ES produzierten Ionen im feldfreien Raum entstehen, können nur diejenigen zur Glühkathode 5 gelangen, die durch die Lochblende 20 in den nicht feldfreien Raum zwischen Loch­ blende 20 und Glühkathode 5 treten. Es gelangt also nur ein vergleichsweise geringer Teil der produzierten Ionen zu der Glühkathode 5, so daß im Falle der erfindungsgemäßen Rönt­ genröhre eine erhöhte Lebensdauer der Glühkathode 5, und da­ mit der Röntgenröhre, im Vergleich zu einer Röntgenröhre ohne Lochblende erreicht wird. Der Vorteil des als Glühkathode 5 verwendeten Niedrigtemperatur-Emitters gegenüber einem her­ kömmlichen Elektronenemitter, z. B. aus Wolfram, infolge der niedrigeren Betriebstemperatur eine höhere Lebensdauer errei­ chen zu können, kann also erst voll zum tragen kommen, da ein vorzeitiger Ausfall der Glühkathode 5 infolge Ionenbeschuß vermieden ist.
Da der Elektronenstrahl ES unter einem Winkel α zur Flächen­ normalen N der Auftrefffläche 22 im Brennfleck BF auftrifft, der größer als 45° ist, und die Lochblende 20 in einer zu dem Elektronenstrahl ES wenigstens im wesentlichen rechtwinklig verlaufenden Ebene angeordnet ist, weist die Blendenöffnung A der Lochblende 20 eine Größe auf, die geringer ist, als wenn ein Elektronenstrahl zur Erzeugung eines Brennflecks gleicher Abmessungen unter einem spitzen Winkel zur Flächennormalen N der Auftrefffläche 22 im Brennfleck BF auftrifft. Dies ist vorteilhaft, da die Wahrscheinlichkeit, daß Ionen zu der Glühkathode 5 gelangen, um so geringer ist, je kleiner die Blendenöffnung A ist. Da der Elektronenstrahl ES außerdem einen kreisförmigen Querschnitt aufweist, ergibt sich für eine gegebene Querschnittsfläche des Elektronenstrahles ES und einen gegebenen Winkel α eine minimale Größe der Blenden­ öffnung A der Lochblende 20.
Zwischen der Innenseite des Wandabschnittes eines den Gehäu­ seansatz 2 verschließenden Keramikteiles 24 und einem die Wehneltelektrode 4 mit der Glühkathode 5 aufnehmenden Kera­ mikrohr 25 sind zwei piezoelektrische Translatoren 26, 27 vorgesehen, bei denen es sich im wesentlichen um Piezo-Kri­ stalle handelt. Die piezoelektrischen Translatoren 26, 27 dienen zum einen der mechanischen Verbindung der Kathodenan­ ordnung 3 mit dem Gehäuseansatz 2. Zum anderen dienen sie da­ zu, zu Justagezwecken die Glühkathode 5 und die Drehanode 7 im Sinne einer Änderung des Winkels α des Elektronenstrahls ES zur Flächennormalen N der Auftrefffläche 22 und einer Ver­ lagerung des Brennfleckes BF auf der Auftrefffläche 22 rela­ tiv zueinander zu verstellen. Dies wird auf einfache Weise dadurch erreicht, daß die Glühkathode 5 und die Drehanode 7 in einer den Elektronenstrahl ES und die Flächennormale N enthaltenden Ebene relativ zueinander verstellt werden kann. Dazu sind die piezoelektrischen Translatoren 26, 27 derart eingebaut, daß sie bei Veränderungen der an ihnen anliegenden Spannungen eine Längenänderung im wesentlichen in Richtung der Flächennormale N erfahren.
Die piezoelektrischen Translatoren 26, 27 sind gemäß Fig. 2 an eine Bedieneinheit 28 angeschlossen. Je nachdem, ob ein mit x bezeichneter Drehknopf 29a oder ein mit α bezeichneter Drehknopf 29b betätigt wird, werden die piezoelektrischen Translatoren 26 und 27 gleichsinnig oder gegensinnig ange­ steuert. Im Falle einer gleichsinnigen Ansteuerung ergibt sich je nach Ansteuerungssinn eine Parallelverschiebung des Elektronenstrahles ES in Richtung der Flächennormalen N in der einen oder anderen Richtung. Bei gegensinniger Ansteue­ rung ergibt sich eine Änderung der Winkels α des Elektronen­ strahles ES zur Flächennormalen N in der einen oder anderen Richtung.
Die piezoelektrischen Translatoren 26, 27 bilden also eine Verstelleinheit, die es ermöglicht, innerhalb der Verstell­ grenzen der piezoelektrischen Translatoren 26 und 27 die Aus­ richtung der Kathodenanordnung 3 und der Drehanode 7 relativ zueinander so zu justieren, daß der Brennfleck BF die jeweils gewünschte Position einnimmt.
Diese Justiermöglichkeit ist insbesondere dann von Bedeutung, wenn der Winkel zwischen der Flächennormalen N und dem Elek­ tronenstrahl ES sehr groß ist, beispielsweise 80°, da dann schon geringe Fehljustagen dazu führen könnten, daß der Elek­ tronenstrahl ES infolge von während des Betriebes der Rönt­ genröhre auftretenden thermisch bedingten axialen Verschie­ bungen der Drehanode 7 und infolge von thermisch bedingten Verkippungen und/oder Verschiebungen der die Glühkathode 5 enthaltenden Kathodenanordnung 3 die Auftrefffläche 22 ver­ fehlt.
Da die piezoelektrischen Translatoren 26 und 27 auch bei be­ reits evakuierter Röntgenröhre mittels der Bedieneinheit 28 betätigt werden können, ist man jederzeit in der Lage, sowohl im Falle von thermisch bedingten axialen Verschiebungen der Drehanode 7 als auch im Falle von thermisch bedingten Verkip­ pungen und/oder Verschiebungen der die Glühkathode 5 enthal­ tenden Kathodenanordnung 3 durch entsprechende Betätigung der piezoelektrischen Translatoren 26 und 27 korrigierend einzu­ greifen. Die Montage der Röntgenröhre gestaltet sich also einfach, da keine besonderen Justagen erforderlich sind, um ein ordnungsgemäßes Auftreffen des Elektronenstrahles auf die Auftrefffläche 22 der Drehanode 7 sicherzustellen.
Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispiels sind im Hin­ blick auf die geringen Kosten piezoelektrische Translatoren 26 und 27 vorgesehen. Es können aber auch andere elektrische, mechanische oder elektromechanische Verstellelemente vorgesehen sein.
Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispiels ist die durch die piezoelektrischen Translatoren 26 und 27 gebildete Ver­ stelleinheit der Kathodenanordnung 3 wegen deren geringerer Masse bzw. deren geringerem Gewicht zugeordnet. Das heißt, daß zur Erzielung der gewünschten Relativbewegung zwischen Kathodenanordnung 3 und Drehanode 7 allein die Kathodenanord­ nung 3 verstellt wird. Es ist aber grundsätzlich auch mög­ lich, die Verstelleinheit der Drehanode 7 zuzuordnen und so­ mit die gewünschte Relativbewegung allein durch Verstellung der Drehanode 7 zu bewirken. Außerdem ist es auch möglich, sowohl der Kathodenanordnung 3 als auch der Drehanode 7 eine Verstelleinheit zuzuordnen und die gewünschte Relativbewegung durch Verstellung der Kathodenanordnung 3 und der Drehanode 7 zu bewirken. Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispiels enthält die Verstelleinheit mehrere Verstellelemente, nämlich die beiden piezoelektrischen Translatoren 26, 27. Unter Um­ ständen kann es aber genügen, wenn die Verstelleinheit nur ein Verstellelement enthält.
Alternativ zu der beschriebenen Ausbildung der Glühkathode 5 als Sinterkörper besteht auch die Möglichkeit, die Glüh­ kathode 5 aus einem Grundkörper und einer im Bereich der zur Elektronenemission vorgesehenen Fläche auf dem Grundkörper angebrachten Beschichtung aufzubauen. Dabei besteht die Be­ schichtung aus einem Material, das im Vergleich zum Material des Grundkörpers eine geringe Elektronenaustrittsarbeit auf­ weist. Als Material für den Grundkörper kommt beispielsweise Wolfram oder Molybdän, als Material für die Beschichtung Lanthanhexaborid (LaB₆) in Frage.
Weiter besteht die Möglichkeit, die Glühkathode 5 aus einem Grundkörper und einer Beschichtung aufzubauen, die den Grund­ körper außer im Bereich seiner zur Elektronenemission vorge­ sehenen Fläche bedeckt und aus einem Material besteht, das eine im Vergleich zu dem Material des Grundkörpers hohe Elek­ tronenaustrittsarbeit aufweist. Als Material für den Grund­ körper eignet sich beispielsweise LaB₆, als Material für die Beschichtung Wolfram oder Molybdän.
Wenn ein gegen Ionenbeschuß unempfindlicher Elektronenemitter vorgesehen ist, kann anstelle der Lochblende 20 auch eine an­ dere auf Anodenpotential liegende Elektrode vorgesehen sein, durch die sichergestellt ist, daß der Elektronenstrahl ES tatsächlich mit kreisförmigem Querschnitt auf die Auftreff­ fläche 22 auftrifft.
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Drehanoden-Röntgenröhre. Die Erfindung kann aber auch bei Röntgenröhren mit Festanode Anwendung finden.
Im Falle des beschriebenen Ausführungsbeispieles ist der Elektronenemitter durch eine direkt beheizte Glühkathode ge­ bildet. Anstelle einer direkt beheizten Glühkathode kann aber auch ein anderer Elektronenemitter, z. B. eine indirekt be­ heizte Kathode oder eine Elektronenstrahlkanone, z. B. nach Pierce, verwendet werden. Falls als Elektronenemitter eine direkt beheizte Glühkathode verwendet wird, muß diese nicht notwendigerweise wie im Falle des beschriebenen Ausführungs­ beispieles als Flachemitter ausgebildet sein. Vielmehr kann auch ein insbesondere konkav gekrümmter Elektronenemitter Verwendung finden.

Claims (7)

1. Röntgenröhre mit einer Anode (10) und einem Elektronen­ emitter (5), von dem ein Elektronenstrahl (ES) ausgeht und der wenigstens im Bereich seiner Elektronen emittierenden Fläche aus einem Elektronen emittierenden Material gebildet ist, das eine geringere Elektronenaustrittsarbeit als Wolfram aufweist, und mit einer zwischen dem Elektronenemitter (5) und der Anode (10) angeordneten Lochblende (20), durch die der Elektronenstrahl (ES) tritt, der in einem Brennfleck (BF) auf die Auftrefffläche (22) der Anode (10) auftrifft, von dem ein Nutzröntgenstrahlenbündel ausgeht, dadurch gekennzeichnet, daß die Lochblende auf Anodenpotential liegt.
2. Röntgenröhre nach Anspruch 1, bei der der Elektronenstrahl unter einem Winkel (α) zur Flächennormalen (N) der Auftrefffläche (22) im Brennfleck (BF) auftrifft, der größer als 45° ist.
3. Röntgenröhre nach Anspruch 1 oder 2, deren Elektronen­ strahl (ES) einen wenigstens im wesentlichen kreisförmigen Querschnitt aufweist.
4. Röntgenröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 3, deren Elek­ tronenemitter (5) als Elektronen emittierendes Material mit Lanthanoxid dotiertes Wolfram oder Molybdän oder thoriertes Wolfram enthält.
5. Röntgenröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 3, deren Elek­ tronenemitter (5) als Elektronen emittierendes Material eine Legierung aus Rhenium bzw. eines Metalls der VIII. Vertikal­ reihe des Periodensystems und aus einem Element der Gruppe Barium, Calcium, Lanthan, Yttrium, Gadolinium, Cer, Thorium, Uran enthält.
6. Röntgenröhre nach Anspruch 5, deren Elektronenemitter als Elektronen emittierendes Material eine Legierung des Systems Iridium/Cer (Ir/Ce), Iridium/Lanthan (Ir/La) oder Iridium/Platin (Ir/Pt) enthält.
7. Röntgenröhre nach Anspruch 5, deren Elektronenemitter als Elektronen emittierendes Material Lanthanhexaborid (LaB₆) enthält.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006024437A1 (de) * 2006-05-24 2007-11-29 Siemens Ag Röntgenstrahler
DE102008026633A1 (de) * 2008-06-04 2009-12-10 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenröhre
EP3518266A1 (de) 2018-01-30 2019-07-31 Siemens Healthcare GmbH Thermionische emissionsvorrichtung

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9620160D0 (en) * 1996-09-27 1996-11-13 Bede Scient Instr Ltd X-ray generator
US6115453A (en) * 1997-08-20 2000-09-05 Siemens Aktiengesellschaft Direct-Heated flats emitter for emitting an electron beam
US5802140A (en) * 1997-08-29 1998-09-01 Varian Associates, Inc. X-ray generating apparatus with integral housing
US6236713B1 (en) * 1998-10-27 2001-05-22 Litton Systems, Inc. X-ray tube providing variable imaging spot size
US6361208B1 (en) 1999-11-26 2002-03-26 Varian Medical Systems Mammography x-ray tube having an integral housing assembly
US7027559B2 (en) * 2001-09-07 2006-04-11 General Electric Company Method and apparatus for generating x-ray beams
JP3699666B2 (ja) * 2001-09-19 2005-09-28 株式会社リガク X線管の熱陰極
WO2007135614A1 (en) * 2006-05-22 2007-11-29 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh X-ray tube whose electron beam is manipulated synchronously with the rotational anode movement
JP5678250B2 (ja) * 2008-05-09 2015-02-25 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ アノードの焦点スポットを放射する少なくとも一つのx線放射線の並進及び/又は回転変位の動きを固定基準位置に対して実施するための集積アクチュエータ手段と、放射されたx線ビームの結果的な平行及び/又は角度シフトを補償するための手段とを具備するx線診断システム
US8498380B2 (en) * 2008-11-26 2013-07-30 Koninklijke Philips N.V. Auxiliary grid electrode for X-ray tubes
CN102498540A (zh) * 2009-09-15 2012-06-13 皇家飞利浦电子股份有限公司 分布式x射线源和包括其的x射线成像系统
US8385506B2 (en) 2010-02-02 2013-02-26 General Electric Company X-ray cathode and method of manufacture thereof
US8938050B2 (en) 2010-04-14 2015-01-20 General Electric Company Low bias mA modulation for X-ray tubes
JP5614854B2 (ja) * 2012-03-27 2014-10-29 株式会社リガク 電子銃、x線発生装置及びx線測定装置
RU2505882C1 (ru) * 2012-11-08 2014-01-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) Состав материала для изготовления электродов генераторов низкотемпературной плазмы
DE102012223569B4 (de) 2012-12-18 2014-08-14 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenröhre
CN103337442B (zh) * 2013-04-27 2016-06-08 中国人民解放军北京军区总医院 基于LaB6纳米材料热发射的X射线管及移动CT扫描仪
CN103340641B (zh) * 2013-04-27 2016-06-08 中国人民解放军北京军区总医院 Ct扫描仪脉冲成像系统及其脉冲成像方法
WO2015066246A1 (en) * 2013-10-29 2015-05-07 Varian Medical Systems, Inc. X-ray tube having planar emitter with tunable emission characteristics and magnetic steering and focusing
DE102014204112A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenröhre
US9748070B1 (en) 2014-09-17 2017-08-29 Bruker Jv Israel Ltd. X-ray tube anode
WO2017073109A1 (ja) * 2015-10-28 2017-05-04 東芝電子管デバイス株式会社 回転陽極型x線管
EP3384515A4 (de) * 2015-12-03 2019-08-14 Varex Imaging Corporation Röntgenanordnung
US11302508B2 (en) 2018-11-08 2022-04-12 Bruker Technologies Ltd. X-ray tube

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4026300A1 (de) * 1990-08-20 1992-02-27 Siemens Ag Elektronenemitter einer roentgenroehre
DE4230047C1 (de) * 1992-09-08 1993-10-14 Siemens Ag Röntgenröhre

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH597834A5 (de) * 1975-10-06 1978-04-14 Comet Ges Fuer Elektronische R
JPS5811079B2 (ja) * 1976-10-05 1983-03-01 株式会社東芝 X線源装置
US5077774A (en) * 1989-07-12 1991-12-31 Adelphi Technology Inc. X-ray lithography source
DE4026299A1 (de) * 1990-08-20 1992-02-27 Siemens Ag Roentgenanordnung mit einem roentgenstrahler
DE4026301A1 (de) * 1990-08-20 1992-02-27 Siemens Ag Elektronenemitter einer roentgenroehre

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4026300A1 (de) * 1990-08-20 1992-02-27 Siemens Ag Elektronenemitter einer roentgenroehre
DE4230047C1 (de) * 1992-09-08 1993-10-14 Siemens Ag Röntgenröhre

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006024437A1 (de) * 2006-05-24 2007-11-29 Siemens Ag Röntgenstrahler
DE102006024437B4 (de) * 2006-05-24 2012-08-09 Siemens Ag Röntgenstrahler
DE102008026633A1 (de) * 2008-06-04 2009-12-10 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenröhre
EP3518266A1 (de) 2018-01-30 2019-07-31 Siemens Healthcare GmbH Thermionische emissionsvorrichtung
WO2019149482A1 (de) 2018-01-30 2019-08-08 Siemens Healthcare Gmbh Emissionsvorrichtung

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Publication number Publication date
JPH08287854A (ja) 1996-11-01
CN1138742A (zh) 1996-12-25
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