JP3698717B1 - 光学機器の超微動調節装置 - Google Patents

Abstract

【課題】撮像装置を保持して、ピントの微調節が可能で耐荷重性を有する光学機器の超微動調節装置を提供する。
【解決手段】第１ユニット１０の第２ユニット２０との対向面となる壁面部１８に、平面ボールを有するクランピングスクリュー３０と、スプリング１７とを備えている。第２ユニット２０は、第１ユニット１０を微動させるために操作される微動ハンドル２１と、その微動ハンドル２１に接続され壁面部２７に沿って配設された微動ねじ軸２２とを備える。さらに微動てこ４０が、支点軸を中心に壁面部２７に沿って回転可能に固定されている。微動ハンドル２１を回転させて、フランジ部２３を図の左方向へ移動させると、突起部４４がフランジ部２３に押されて、微動てこ４０が支点軸４８を中心に回転し、微動てこ４０の端面４３が微動方向において上昇する。これにより、微動ばね受１６が上昇するとともに、第１ユニット１０が上昇する。
【選択図】図７

Description

本発明は、撮像装置又は試料を保持して光軸方向に微動させる光学機器の超微動調節装置に関する。

試料の撮像を行う撮像装置において、ピント合わせをするために、撮像装置を保持して撮像装置を光軸方向へ移動させる粗微動装置、又は試料を載置するステージを光軸方向へ移動させる粗微動装置が用いられている。具体的には、顕微鏡においては、焦準ハンドルを回転することにより、試料が載置されたステージ側、または対物レンズを備えるレボルバー側を動かして、試料を対物レンズのピント位置に動かすことにより行われている（例えば、特許文献１）。

また、ＣＣＤなどの固定撮像素子を用いたＣＣＤカメラ等の撮像装置により高感度、高精細画像を得ることも行われており、この場合も、ＣＣＤカメラ等を移動機構を備える保持装置に保持して、ピント合わせが行われている。

これらの撮像装置におけるピント合わせは、光軸方向に大きく移動させる粗動装置と、微動させて微調節を行う微動装置とが組み合わされることにより操作性の向上が図られている。そして、微動装置としては、例えば、ラック・ピニオンが用いられている。

特開平５−４０２２７号公報

しかしながら、従来の微動装置では、微動ダイヤルを１回転させると、およそ３．２ｍｍ撮像装置が光軸方向へ動くため、ピント等の微調節が難しいという欠点があった。また、より高倍率、高画質の画像を得るために、撮像装置が大きく、また重くなる傾向があるが、耐荷重性を有するコンパクトな微動装置はなく、そのような撮像装置を保持して、ピント等の微調節が可能である光学機器の微動装置が求められてきた。

本発明の課題は、撮像装置を保持して、微調節が可能で耐荷重性を有する光学機器の超微動調節装置を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

上記課題を解決するための本発明の光学機器の超微動調節装置は、
撮像装置または試料を保持する第１ユニットと、その第１ユニットを微動させる第２ユニットとを備える光学機器の超微動調節装置において、
第１ユニットが第２ユニットに対し相対的に移動可能に連結され、その第２ユニットには、回転操作されることによるねじの軸方向の螺進・螺退を利用した微動ねじ軸が設けられ、
その微動ねじ軸に連携してその軸方向の変位を微小角の回動に変換する微動てこが第２ユニットに対し一軸周りに回動可能に支持され、
その微動てこは微動ねじ軸の軸方向の変位に応じて回動することにより第１ユニットの微動方向の変位を生じるようにされ、その微動てこの回動を第１ユニットの微動方向の変位に変換するための変位伝達部として、第２ユニット側の微動てこに一平面に沿った力の伝達平面が、また第１ユニット側にその微動てこの伝達平面から力を伝達されて第１ユニットの移動に変換する力の被伝達部が形成され、
その第１ユニット側の被伝達部は、少なくとも微動てこの回動方向において回転自由度を有する回転受圧体を含むものとされ、その回転受圧体の微動てこの伝達平面と接する部分が一平面に沿った被伝達平面で形成されて、
それら微動てこの伝達平面と回転受圧体の被伝達平面とが回転受圧体の回転自由度により常時実質的に面接触した状態で力を及ぼし合い、微動ねじ軸の回転操作による軸方向移動が微動てこの微小角の回動運動に変換され、その微動てこの回動が伝達平面と被伝達平面との面接触を介して第１ユニット側の被伝達部に伝えられて、第１ユニットが第２ユニットに対して微動することを特徴とする。

上記構成によれば、第２ユニットに設けられた微動ねじ軸が回転操作されることにより、微動ねじ軸の軸方向の変位が微動てこの回動運動に変換され、さらに微動てこの微動方向の変位が第１ユニットの被伝達部に伝達されて、第１ユニットを微動方向に微動させることができる。

本発明の光学機器の超微動調節装置の回転受圧体は、第１ユニットの側に固定された被伝達部材本体の端部に、球面嵌合により３６０°任意方向において回転自由度を付与された状態で保持され、その回転受圧体の被伝達部材本体の端部から突出した部分に一平面に沿った被伝達平面が形成され、その被伝達平面と微動てこの伝達平面とが回転受圧体の任意の方向の回転自由度に基づき常時面接触した状態で、その微動てこの回動が回転受圧体及び被伝達部材本体を介して第１ユニットの微動として伝達される。

上記構成によれば、回転受圧体が、球面嵌合により３６０°任意方向において回転自由度を付与された状態で保持されているから、被伝達平面と伝達平面とが常時面接触した状態を維持することができ、微動てこの回動が伝達平面と被伝達平面を介して第１ユニットの微動として伝達される。

具体的には、第１ユニットは、撮像装置又は前記試料を保持する保持部と、第２ユニットに対向する第１ユニット壁面部に、第１ユニットの微動方向に沿って固定された被伝達部としてのクランピングスクリューとを備え、そのクランピングスクリューの先端部には、球の一部を一平面に沿って切断するように被伝達平面としての平面部が形成された平面ボールが球面嵌合により任意の方向の回転自由度をもって保持され、
第２ユニットは、第１ユニットと対向する第２ユニット壁面部に、端面が平坦に形成されて伝達平面とされた微動てこを備え、
第１ユニットのクランピングスクリューの平面ボールの平面部が第２ユニットの微動てこの端面に面接触し、微動てこの端面の微動方向の変位に応じてクランピングスクリューが移動して第１ユニットが微動方向に変位を生じる。

上記構成によれば、クランピングスクリューの平面ボールの平面部が被伝達平面として機能し、微動てこの端面が伝達平面として機能して、微動ねじ軸が回転操作されることにより、微動ねじ軸の軸方向の変位が微動てこの回動運動に変換され、さらに微動てこの微動方向の変位が第１ユニットの被伝達部に伝達されて、第１ユニットを微動方向に微動することができる。

本発明の光学機器の超微動調節装置の第１ユニットは、クランピングスクリューの平面ボールと反対側の端面からクランピングスクリューを微動てこに押圧するスプリングを備える。上記構成によれば、クランピングスクリューが微動てこに押圧されるため、微動てこの移動に応じて、クランピングスクリューと微動てことの面接触を維持することができる。クランピングスクリューは、第１ユニットの自重により、第１ユニットと一体として微動てこに押圧されるが、超微動調節装置を傾けて使用する場合には、スプリングによってクランピングスクリューは、微動てこに押圧される。このため、超微動調節装置は、傾けて使用することが可能である。

本発明の光学機器の超微動調節装置の微動てこは、支点軸を中心に第２ユニット壁面部に沿って回転可能に第２ユニットの第２ユニット壁面部に固定され、
微動ねじ軸は、その外周面に軸方向と垂直に突出したフランジ部が形成されて、第２ユニット壁面部に沿って取り付けられ、
微動ねじ軸の軸方向移動により、フランジ部が微動てこを押圧するように構成することができる。

上記構成によれば、微動ねじ軸の回転操作がフランジ部の軸方向への移動とされて、さらに微動てこの回転運動へ変換されるようにすることができる。

さらに微動てこは、樹脂によって形成された突起部を有し、その突起部がフランジ部によって押圧されるように構成することができる。突起部を樹脂で形成することにより、突起部とフランジ部との接触による摩耗や損壊を防ぐことができる。

本発明の光学機器の超微動調節装置は、第１ユニットは、第１ユニット壁面部に微動方向のガイドとしてガイド突起またはガイド溝を有し、
第２ユニットは、第２ユニット壁面部に、微動方向のガイドとして第１ユニットのガイド突起またはガイド溝と摺動可能に嵌合するガイド溝またはガイド突起を備え、
それらガイド突起とガイド溝との嵌合により第１ユニットが第２ユニットに取り付けられるとともに、相対的に微動可能とされるように構成することができる。

上記構成によれば、ガイド突起とガイド溝との嵌合によって第１ユニットが第２ユニットに取り付けられ、微動てこの伝達平面からの力が第１ユニットの被伝達部に伝達されて、第１ユニットが第２ユニットに対して微動することができる。

或いは、本発明の光学機器の超微動調節装置は、第１ユニットが、第１ユニット壁面部に微動ガイド板を有し、
第２ユニットは、第２ユニット壁面部に、その第２ユニット壁面部から突出形成された突出ガイド部が形成され、その突出ガイド部に微動ガイド板と嵌合するガイド溝が形成され、微動ガイド板とガイド溝との嵌合により第１ユニットが第２ユニットに取り付けられるとともに、相対的に微動可能とされるように構成することができる。

上記構成によれば、微動ガイド板とガイド溝との嵌合によって第１ユニットが第２ユニットに取り付けられ、微動てこの伝達平面からの力が第１ユニットの被伝達部に伝達されて、第１ユニットが第２ユニットに対して微動することができる。

さらに本発明の光学機器の超微動調節装置は、第２ユニットに対しさらに第３ユニットが連結されて、全体が第１、第２及び第３のユニットの結合体とされ、第２ユニットと第３ユニットとの間には、第３ユニットに設けられた粗調節用のねじ軸の回転操作により第２ユニットを第３ユニットに対して移動させる粗調節装置が設けられ、第２ユニットの第３ユニットに対する位置を粗調節した後、第１ユニットの第２ユニットに対する位置を微調節できるように構成することができる。

上記構成によれば、第２ユニットを第３ユニットに対して粗動させた後に、第１ユニットを第２ユニットに対して微動させて光学機器の焦点合わせ等を行うことができる。

以下図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。図１に本発明の超微動調節装置を含む撮像装置用の粗微動装置の斜視図を示す。また図２（ａ）に、その平面図及び図２（ｂ）にその側面図を示す。図２（ａ）は、第１ユニット１０を第２ユニット２０から取り外したところを示す。本発明の光学機器の超微動調節装置１は、ＣＣＤカメラ等の撮像装置７５の鏡筒を保持する鏡筒受１１を備える第１ユニット１０と、その鏡筒受１１を微動させるための微動ハンドル２１を備える第２ユニット２０を含む。そして、第２ユニット２０は、その第２ユニット２０を粗動させるための粗動ダイヤル５１を備える第３ユニット５０に接続され、第１ユニット１０ないし第３ユニット５０によって粗微動装置が構成されている。

第３ユニット５０には、スタンド軸挿入孔５２が形成され、スタンド軸５８を挿入して、スタンド固定ハンドル５５によってスタンド軸５８に固定することができる。第２ユニット２０の第３ユニット５０側と、第３ユニット５０の第２ユニット２０側には、粗調節装置としての図示しないラック・ピニオンが形成されており、粗動ハンドル５１を回転させることにより粗調節用のねじ軸が回転し、第２ユニット２０を粗動させることができる。第１ユニット１０の第２ユニット２０側と、第２ユニット２０の第１ユニット１０側には、後述するようにクランピングスクリュー３０と微動てこ４０とが備えられて、微動ハンドル２１を回転させることにより第１ユニット１０を微動させることができる。

図３を用いてさらに第１ユニット１０について説明する。第１ユニット１０は、撮像装置を保持する保持部１２と、その保持部１２から下方に延出されて形成された台座部１３とによって構成された鏡筒受１１を有する。保持部１２に形成された挿入孔１２ａにＣＣＤカメラ等の撮像装置７５を挿入して、鏡筒ねじ１４によって固定することができる。

鏡筒受１１の台座部１３は、第２ユニット２０との対向面となる壁面部１８に微動ガイド板１５を備えている。微動ガイド板１５は、第２ユニット２０に形成されたガイド溝２５に嵌合する形状に形成され（図２（ａ）参照）、これによって第１ユニット１０が第２ユニット２０に摺動可能に取り付けられる。微動ガイド板１５の第２ユニット２０との対向面側に、微動ばね受１６が備えられている。
微動ばね受１６は、平面ボールを有し被伝達部として機能するクランピングスクリュー３０と、スプリング１７とを備えている。クランピングスクリュー３０は、微動ばね受１６に固定され、微動ばね受１６は、第１ユニット１０に固定されているため、クランピングスクリュー３０が微動することにより、第１ユニット１０の鏡筒受１１が一体として微動する。

なお第１ユニット１０と第２ユニット２０との嵌合は、本実施例に限定されず、第１ユニット壁面部に、微動方向のガイドとしてガイド突起またはガイド溝を有し、第２ユニット壁面部に、微動方向のガイドとして第１ユニットのガイド突起またはガイド溝と摺動可能に嵌合するガイド溝またはガイド突起を有する構成とすることができる。

図４を用いて微動ばね受１６に備えられたクランピングスクリュー３０について説明する。図４（ａ）に示すように、微動ばね受１６に備えられたクランピングスクリュー３０の本体部３１は、スチール材又はステンレス材により丸棒状に構成されている。被伝達部材本体部である本体部３１の先端部には、ボール収容部３４が形成され、ボール収容部３４には、一部がボール収容部３４より突出した回転受圧体としてのボール３２が、球面嵌合により３６０°任意方向において自由回転可能に収容されている。ボール３２は、球の一部がカットされて一平面に沿った被伝達平面である平面部３３を有する。

図４（ｂ）に示すように、クランピングスクリュー３０のボール収容部３４に収容されたボール３２は、その平面部３３が外部の部材（本発明においては、微動てこ４０）に面接触し、外部の部材の動きに応じて面接触を維持した状態で、ボール３２が回転することができる。外部の部材とボール３２とが面接触であるため、耐荷重性を有する。

図３に戻って、微動ばね受１６のクランピングスクリュー３０とは反対側には、スプリング１７が備えられている。スプリング１７は、第１ユニット１０が第２ユニット２０に嵌合された場合に、第２ユニット２０に上面に取り付けられるカバー２６に押えられ、これによりクランピングスクリュー３０を押える働きを有する。すなわちクランピングスクリュー３０は、スプリング１７によって下方へ押圧され、微動てこ４０によって上方へ押圧される。微動装置１を傾けて使用した場合であっても、微動てこ４０の端面４３が、微動方向において下降した際に、クランピングスクリュー３０がスプリング１７によって微動てこ４０側へ押圧され、クランピングスクリュー３０のボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３とが面接触を保つことができる。このため、微動てこ４０の回動が常時クランピングスクリュー３０を介して第１ユニット１０の微動として伝達される。

次に図５を用いて第２ユニット２０について説明する。第２ユニット２０は、第１ユニット１０を微動させるために操作される微動ハンドル２１と、その微動ハンドル２１に接続され壁面部２７に沿って配設された微動ねじ軸２２とを備える。微動ねじ軸２２は、突出ガイド部２８に挟まれた空間に位置する外周面に半径方向外側に突出形成されたフランジ部２３を有する。

第２ユニット２０の第１ユニット１０と対向する壁面部２７には、突出ガイド部２８が形成され、その突出ガイド部２８にガイド溝２５が形成されている（図２（ａ）参照）。そして突出ガイド部２８に挟まれて形成された空間に微動てこ４０が、支点軸を中心に壁面部２７に沿って回転可能に固定されている。

図６に微動てこ４０を示す。微動てこ４０は、本体部４１の一端から延出形成された支点部４２と、他端の支点部４２と同方向の面に樹脂により形成された突起部４４を有する。支点部４２によって、ビス等を用いて第２ユニット２０に微動てこ４０を回転可能に取り付けることができる。また突起部４４がフランジ部２３によって押圧される。突起部４４を樹脂で形成することにより、突起部４４とフランジ部２３との接触による摩耗や損壊を防ぐことができる。さらに微動てこ４０の端面４３は、平坦に形成されて変位伝達部としての伝達平面とされ、第１ユニットに備えられたクランピングスクリュー３０のボール３２の平面部３３に当接する。

以上のような構成により、微動ハンドル２１を回転させて微動ねじ軸２２を移動させることにより、フランジ部２３が微動てこ４０の突起部４４を押圧して、微動てこ４０の支点軸４８を中心に微動てこ４０の端面４３の光軸方向の変位を生じさせる。図７を用いて、第１ユニット１０の微動についてさらに説明する。図７（ａ）は、第２ユニット２０に第１ユニット１０を取り付けたところを示す。第２ユニット２０に取り付けられた微動てこ４０の端面４３に、第１ユニット１０に取り付けられたクランピングスクリュー３０のボール３２の平面部３３が面接触している。なおクランピングスクリュー３０は、スプリング１７により、下方向に付勢されている。

図７（ａ）の状態から第１ユニット１０を上昇させる場合には、微動ハンドル２１を回転させて、フランジ部２３を図の左方向へ移動させると、突起部４４がフランジ部２３に押されて、図７（ｂ）に示すように、微動てこ４０が支点軸４８を中心に回転する。つまり微動ねじ軸２２の軸方向移動が微動てこ４０の回転運動に変換される。そして微動てこ４０の端面４３が微動方向（光軸方向：図の上下方向）において上昇し、これにより、微動ばね受１６が上昇するとともに、第１ユニット１０が上昇する。この場合も、クランピングスクリュー３０のボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３とは面接触を維持した状態で変位する（図４（ｂ）参照）。

一方、図７（ａ）の状態から第１ユニット１０を下降させる場合には、微動ハンドル２１を回転させて、フランジ部２３を図の右方向へ移動させると、図７（ｃ）に示すように、微動てこ４０が支点軸４８を中心に回転し、微動てこ４０の端面４３が光軸方向（図の上下方向）において下降するのに合わせてスプリング１７によって下方向に付勢された微動ばね受１６は下降する。これにより、第１ユニット１０が下降する。この場合も、クランピングスクリュー３０のボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３とは面接触を維持した状態で変位する。

微動てこ４０の端面４３の光軸方向における変位を利用して第１ユニット１０を上昇又は下降させるため、微動ハンドル２１を１回転することで、０．２ｍｍ程度しか第１ユニットが上昇又は下降せず、従来よりも高精度に微調節することができる。ボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３との接触が面接触であるため、少なくとも３ｋｇ程度の撮像装置７５を第１ユニットに取り付けることが可能であり、耐荷重性を有する。より大きいクランピングスクリュー３０を使用したり、微動てこ４０をより硬い材質のもので形成することにより、さらに耐荷重性を上げることも可能である。

図８に示すように本発明の超微動調節装置１は、スプリング１７によってクランピングスクリュー３０が押圧されるために、傾けて使用しても微動ねじ軸２２の回転により、第１ユニット１０を第２ユニット２０に対して相対的に移動させることができる。ただし傾けることができる角度は、スプリング１７の強さと撮像装置（カメラ）７５の重さによって異なる。自由な角度によって、ステージ６５上の撮像対象物を撮影することが可能なため、所望の方向から撮像対象物を観察することができる。

図９に試料を載置するステージを備えた超微動調節装置１ａの実施例を示す。超微動調節装置１ａの第１ユニット１ａには、試料６０を載置するステージ６１が形成されている。前述の実施例と同様に、粗動ハンドル５１ａを回転させることにより、第２ユニット２０ａを粗動させることができる。そして微動ハンドル２１ａを回転させることにより、第１ユニット１０ａを微動させることができる。これにより試料側を光軸方向へ移動させて、撮像装置７５のピントを調節することができる。また撮像装置７５も粗微動装置に設置されており、撮像装置７５側を粗微動させて、撮像装置７５のピントを調節することも可能である。

図１０に本発明の超微動調節装置１を光学顕微鏡８０に適用した実施例を示す。光学顕微鏡８０には、ベース８１に連なり、鏡筒８３、レボルバー８４等を保持するアーム８２に、第３ユニット５０ｂが一体として形成されている。そして第３ユニット５０ｂに第２ユニット２０ｂが取り付けられ、さらに第２ユニット２０ｂに第１ユニット１０ｂが取り付けられている。第１ユニット１０ｂは、試料を載置するステージとして形成されている。詳細は、前述の実施例と同様であるため省略する。なお本発明の超微動調節装置１は、鏡筒８３側を微動させる構造に適用することもできる。

以上のように、一部に平面部３３が形成されたボール３２を有するクランピングスクリュー３０を第１ユニット１０に備え、端面４３が平坦に形成された微動てこ４０を第２ユニット２０に備え、ボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３との面接触により、第１ユニットを光軸方向に微動させることができる。微動ハンドル２１を回転させて、フランジ部２３を移動させて、微動てこ４０を支点軸４８を中心に回転させ、微動てこ４０の端面４３の光軸方向における変位を利用して第１ユニット１０を上昇又は下降させるため、従来よりも高精度に微調節することができる。ボール３２の平面部３３と微動てこ４０の端面４３との接触が面接触であるため、耐荷重性を有する。

本発明の超微動調節装置の外観を示す図。 本発明の超微動調節装置の平面図及び側面図。 第１ユニットを説明する図。 クランピングスクリューを説明する図。 第２ユニットを説明する図。 微動てこを説明する図。 超微動調節装置の上昇及び下降を説明する図。 超微動調節装置を傾けて使用する実施例を示す図。 試料を載置するステージ側を本発明の超微動調節装置とした実施例を示す図。 本発明の超微動調節装置を光学顕微鏡に適用した実施例を示す図。

符号の説明

１ 超微動調節装置
１０ 第１ユニット
１１ 鏡筒受
１２ 保持部
１３ 台座部
１５ 微動ガイド板
１６ 微動ばね受
１７ スプリング
１８ 壁面部
２０ 第２ユニット
２１ 微動ハンドル
２２ 微動ねじ軸
２３ フランジ部
２５ ガイド溝
２７ 壁面部
２８ 突出ガイド部
３０ クランピングスクリュー
３２ ボール
３３ 平面部
４０ 微動てこ
４２ 支点部
４３ 端面
５０ 第３ユニット
７５ 撮像装置

Claims (9)

1. 撮像装置または試料を保持する第１ユニットと、その第１ユニットを微動させる第２ユニットとを備える光学機器の超微動調節装置において、
   前記第１ユニットが前記第２ユニットに対し相対的に移動可能に連結され、その第２ユニットには、回転操作されることによるねじの軸方向の螺進・螺退を利用した微動ねじ軸が設けられ、
   その微動ねじ軸に連携してその軸方向の変位を微小角の回動に変換する微動てこが前記第２ユニットに対し一軸周りに回動可能に支持され、
   その微動てこは前記微動ねじ軸の軸方向の変位に応じて回動することにより前記第１ユニットの微動方向の変位を生じるようにされ、その微動てこの回動を前記第１ユニットの微動方向の変位に変換するための変位伝達部として、前記第２ユニット側の微動てこに一平面に沿った力の伝達平面が、また前記第１ユニット側にその微動てこの伝達平面から力を伝達されて前記第１ユニットの移動に変換する力の被伝達部が形成され、
   その第１ユニット側の前記被伝達部は、少なくとも前記微動てこの回動方向において回転自由度を有する回転受圧体を含むものとされ、その回転受圧体の前記微動てこの前記伝達平面と接する部分が一平面に沿った被伝達平面で形成されて、
   それら微動てこの伝達平面と回転受圧体の被伝達平面とが前記回転受圧体の回転自由度により常時実質的に面接触した状態で力を及ぼし合い、前記微動ねじ軸の回転操作による軸方向移動が前記微動てこの微小角の回動運動に変換され、その微動てこの回動が前記伝達平面と前記被伝達平面との面接触を介して第１ユニット側の被伝達部に伝えられて、第１ユニットが第２ユニットに対して微動することを特徴とする光学機器の超微動調節装置。
2. 前記回転受圧体は、前記第１ユニットの側に固定された被伝達部材本体の端部に、球面嵌合により３６０°任意方向において回転自由度を付与された状態で保持され、その回転受圧体の前記被伝達部材本体の端部から突出した部分に一平面に沿った前記被伝達平面が形成され、その被伝達平面と前記微動てこの前記伝達平面とが前記回転受圧体の任意の方向の回転自由度に基づき常時面接触した状態で、その微動てこの回動が前記回転受圧体及び前記被伝達部材本体を介して前記第１ユニットの微動として伝達される請求項１に記載の光学機器の超微動調節装置。
3. 前記第１ユニットは、前記撮像装置又は前記試料を保持する保持部と、前記第２ユニットに対向する第１ユニット壁面部に、前記第１ユニットの前記微動方向に沿って固定された前記被伝達部としてのクランピングスクリューとを備え、そのクランピングスクリューの先端部には、球の一部を一平面に沿って切断するように前記被伝達平面としての平面部が形成された平面ボールが球面嵌合により任意の方向の回転自由度をもって保持され、
   前記第２ユニットは、前記第１ユニットと対向する第２ユニット壁面部に、端面が平坦に形成されて前記伝達平面とされた前記微動てこを備え、
   前記第１ユニットの前記クランピングスクリューの前記平面ボールの前記平面部が前記第２ユニットの前記微動てこの前記端面に面接触し、前記微動てこの前記端面の前記微動方向の変位に応じて前記クランピングスクリューが移動して前記第１ユニットが前記微動方向に変位を生じる請求項１または２に記載の光学機器の超微動調節装置。
4. 前記第１ユニットは、前記クランピングスクリューの前記平面ボールと反対側の端面から前記クランピングスクリューを前記微動てこに押圧するスプリングを備える請求項３に記載の光学機器の超微動調節装置。
5. 前記微動てこは、前記支点軸を中心に前記第２ユニット壁面部に沿って回転可能に前記第２ユニットの前記第２ユニット壁面部に固定され、
   前記微動ねじ軸は、その外周面に軸方向と垂直に突出したフランジ部が形成されて、前記第２ユニット壁面部に沿って取り付けられ、
   前記微動ねじ軸の軸方向移動により、前記フランジ部が前記微動てこを押圧する請求項３または４に記載の光学機器の超微動調節装置。
6. 前記微動てこは、樹脂によって形成された突起部を有し、その突起部が前記フランジ部によって押圧される請求項５に記載の光学機器の超微動調節装置。
7. 前記第１ユニットは、前記第１ユニット壁面部に前記微動方向のガイドとしてガイド突起またはガイド溝を有し、
   前記第２ユニットは、前記第２ユニット壁面部に、前記微動方向のガイドとして前記第１ユニットの前記ガイド突起またはガイド溝と摺動可能に嵌合するガイド溝またはガイド突起を備え、
   それらガイド突起とガイド溝との嵌合により第１ユニットが前記第２ユニットに取り付けられるとともに、相対的に微動可能とされた請求項３ないし６のいずれか１項に記載の光学機器の超微動調節装置。
8. 前記第１ユニットは、前記第１ユニット壁面部に微動ガイド板を有し、
   前記第２ユニットは、前記第２ユニット壁面部に、その第２ユニット壁面部から突出形成された突出ガイド部が形成され、その突出ガイド部に前記微動ガイド板と嵌合するガイド溝が形成され、前記微動ガイド板と前記ガイド溝との嵌合により前記第１ユニットが前記第２ユニットに取り付けられるとともに、相対的に微動可能とされた請求項３ないし６のいずれか１項に記載の光学機器の超微動調節装置。
9. 前記第２ユニットに対しさらに第３ユニットが連結されて、全体が第１、第２及び第３のユニットの結合体とされ、前記第２ユニットと前記第３ユニットとの間には、前記第３ユニットに設けられた粗調節用のねじ軸の回転操作により前記第２ユニットを前記第３ユニットに対して相対的に移動させる粗調節装置が設けられ、前記第２ユニットの前記第３ユニットに対する位置を粗調節した後、前記第１ユニットの前記第２ユニットに対する位置を微調節できるようにした請求項１ないし８のいずれか１項に記載の光学機器の超微動調節装置。
   

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