JP3697884B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光走査装置に係り、特に、複数の光ビームによって被走査面上を同時走査する光走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、デジタル複写機やレーザプリンタで使用される光走査装置において、画像情報に応じてオンオフされるレーザビームをレーザダイオードから射出し、多角柱形状で、側面を反射面とするポリゴンミラーを回転させることにより等角速度偏向し、さらにfθレンズにより被走査媒体上を等速度で走査するスポットに結像して画像形成する構成が知られている。
【0003】
近年、デジタル複写機やレーザプリンタは、高速化、高解像度化の要求が強くなっており、単位時間あたりに書き込めるラインの数を増加させることが望まれている。これを実現するには、ポリゴンミラーの回転速度を上げて書き込み本数を増加させる方法が考えられるが、この方法ではポリゴンミラーを駆動するモータの負荷が増加するので消費電力が増大し、信頼性が低下するという欠点がある。
【0004】
この問題を解決する方法として、ポリゴンミラーの反射面の主走査方向の面幅以上の幅を持つ光ビームを入射させる所謂オーバーフィルド光学系を用いる技術がある。
【0005】
従来の所謂アンダーフィルド光学系では、光源から射出された光ビームを、ビーム整形した後にポリゴンミラーに入射させ、この光ビームを偏向方向によらずポリゴンミラーの反射面からはみ出させることなく偏向する構成となっている。このため、ポリゴンミラーが大径となりやすい。例えば、8個の反射面を有するポリゴンミラーを使用して、被走査面上での主走査方向のビーム径を60μmにしようとすると、ポリゴンミラーの内接円の直径を約60mm程度にしなければならない。これに対し、オーバーフィルド光学系では、ポリゴンミラーの反射面よりも幅広な光ビームのうち、反射面に照射されている部分のみが反射偏向されるので、各反射面の主走査方向の幅をアンダーフィルド光学系と比べて小さくでき、例えば、反射面を12個とし、ポリゴンミラーの内接円の直径を約25mm程度にすることにより、被走査面上での主走査方向のビーム径60μmを得ることができる。
【0006】
このように、オーバーフィルド系を適用した場合、ポリゴンミラー駆動用のモータの負荷を軽減させることができ、モータの消費電力を低減させることができる。
【0007】
また、高速度化、高解像度化を実現するものとして複数の光ビームを用いて同時に複数ラインを書き込み、単位時間当たりに書き込むラインの本数を増加させる方法がある。
【0008】
複数の光ビームを用いる場合は、例えば、レーザダイオードアレイのように、光源部から直接複数の光ビームを射出して近接して進行する光ビームを生成し、これをポリゴンミラーの同一反射面で偏向することにより、従来の光走査装置の構成を大きく変更することなく、複数ラインを同時に被走査面上に書き込むことができ、単位時間当たりの書き込みラインの本数を増加させることができる。
【0009】
さらに、オーバーフィルド光学系と、複数の光ビームによる複数ライン同時走査を組み合わせた光走査装置が特開平9−197314号公報に開示されている。
【0010】
この光走査装置は、光ビームを、ポリゴンミラーの回転軸に直交する平面に対して副走査方向に角度を持たせて、走査範囲の中央方向からポリゴンミラーに入射させる、所謂正面入射方式を採用している。この正面入射方式は、走査範囲の斜め方向から光ビームを入射させるサイド入射方式と比べて、被走査面上の主走査方向に沿ったビーム径および光量の変動幅を小さくできるという利点がある。
【0011】
さらに、この光走査装置では、fθレンズを透過した光ビームをポリゴンミラーに入射させ、ポリゴンミラーの反射面で反射偏向された光ビームを再びfθレンズに入射させる、所謂ダブルパス光学系を採用している。このように、ダブルパス光学系では、光ビームをfθレンズの上または下を通過させる必要がないため、ポリゴンミラーの反射面に直交する平面に対して光ビームが入射する角度を小さくすることができ、該角度が大きい場合に発生する走査線湾曲や、光ビームの光軸回りの回転を抑制でき、良好な結像特性が得られる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような光走査装置では、光源部から光ビームがポリゴンミラーに入射するまでの光路が複雑になるため、部品取り付けの誤差や、筐体の変形が生じると、光路が変動して光学特性が劣化するという問題がある。これは、オーバーフィルド光学系とレーザダイオードアレイを組み合わせた光走査装置では、光学設計上の制約条件が多く、光源部から光ビームがポリゴンミラーへ入射するまでの光学系のレンズ配置に関して制約が加わり、光路の折り返し回数が多くなるためである。
【0013】
光走査装置は、光学部品を実装するに当たっては装置の小型化が重要な課題であり、光路の折り返しには、一般に平面ミラーが用いられる。特開平9−197314号公報に開示された光走査装置では、光ビームの光路上におけるエキスパンダレンズとシリンドリカルレンズの間、及びシリンドリカルレンズとfθレンズの間の二ヶ所に平面ミラーを配置して、光源からポリゴンミラーに入射するまでの間に、光ビームを2回折り返す構成となっている。
【0014】
このような光ビームを2回折り返す構成の光走査装置40の構成の一例を図9に示す。光走査装置40の光源部42から射出された光ビームは、コリメータレンズ44によって平行光束とされて、平凹の球面レンズであるエキスパンダレンズ46へ入射する。そして、エキスパンダレンズ46によって再び発散光となった光ビームは、折り返しミラー48によって所定角度で折り返されてシリンドリカルレンズ50へ入射し、さらに折り返しミラー52によって所定角度で折り返されてfθレンズ54、56へ正面入射する。
【0015】
fθレンズ54、56を透過した光ビームはポリゴンミラー58によって所定方向へ偏向されて、再びfθレンズ56、54へ入射し、平面ミラー60でポリゴンミラー58の上方側へ折り返される。そして、シリンドリカルミラー62で反射されて被走査面64へ到達する。
【0016】
折り返しミラー48、52を光走査装置40の筐体に取り付ける際には、取り付け誤差の全くない状態で筐体に取り付けることは現実的には不可能に近いため、少なくともどちらかの折り返しミラーに角度調整機構を設ける必要があるが、装置及び調整が複雑になる。
【0017】
また、図9に示すように、折り返しミラー48、52による光ビームの折り返し角度が鈍角折り返しの場合には、折り返しミラー48、52に投影される光ビームの幅が鋭角折り返しの場合と比べて大きくなるので、平面度への要求が厳しくなるという欠点がある。
【0018】
これら欠点を解決するために、図9に示すように、破線で示した光路で入射し、折り返しミラー52により1回だけ折り返す構成にしようとすると、シリンドリカルレンズ50の位置が光ビームの走査範囲の中に含まれてしまうという問題がある。 本発明は上記事実を考慮し、オーバーフィルド光学系と、複数の光ビームを射出するレーザダイオードアレイを組み合わせた光走査装置において、光路の折り返し回数を減らすことができ、かつ高速、高解像度を維持することができる光走査装置を得ることが目的である。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、副走査方向に離間した複数の光ビームを射出する光源部と、前記光源部から射出された複数の光ビームの各々を主走査対応方向に長い線像として結像させる第1の結像光学系と、前記線像の結像位置近傍に反射面を有する回転多面鏡と、前記主走査対応方向にのみ屈折力を有するfθレンズを含み、前記回転多面鏡により偏向された複数の光ビームの各々を被走査面上に結像させる第2の結像光学系と、を含んで構成され、前記第1の結像光学系から前記回転多面鏡へ入射される光ビームは、前記第2の結像光学系の光軸を含む副走査断面で、前記回転多面鏡の回転軸と直交する平面に対して角度をなして前記fθレンズに正面入射し、前記fθレンズを透過した光ビームは、前記反射面の主走査対応方向の面幅よりも幅広の光ビームとして前記回転多面鏡に入射し、かつ前記回転多面鏡により偏向された光ビームが前記fθレンズを透過して前記被走査面上に結像される光走査装置において、前記第1の結像光学系は、前記光源部から入射した光ビームを平行光束にするコリメータレンズと、母線が直交する2つの凹シリンドリカル面を備え、主走査方向の屈折力の絶対値よりも副走査方向の屈折力の絶対値が大きい第1の単レンズと、母線が直交する2つの凸シリンドリカル面を備えた第2の単レンズと、前記第2の単レンズから入射した光ビームを、前記fθレンズに対して正面入射する方向に折り返す平面ミラーと、がこの順序で配置されて構成されたことを特徴とする。
【0020】
請求項1に記載の発明では、副走査方向に離間した複数の光ビームを射出する光源部と、複数の反射面を備えた回転多面鏡を備え、回転多面鏡の反射面の面倒れ(各反射面が異なる角度誤差を持つ)により発生するピッチむら(副走査方向の結像位置のばらつき)を補正するために、回転多面鏡の反射面と被走査面を略共役関係とする所謂面倒れ補正光学系を構成し、回転多面鏡の反射面の主走査方向の幅よりも広い幅の光束を入射させるオーバーフィルド光学系として構成された光走査装置において、第1の結像光学系にコリメータレンズと2枚の単レンズを含み、第1の単レンズは、主走査方向及び副走査方向ともに負の屈折力(パワー)を有し、かつ副走査方向の屈折力が、主走査方向の屈折力よりも大きくすることにより、2枚の単レンズを光源部側に近づけて配置できる。この理由について詳細に説明する。
【0021】
図8に、従来例に係る光走査装置40の光学系を展開した図が示されている。図8(A)は光ビームの主走査方向の結像関係を説明するための図であり、図8(B)は光ビームの副走査方向の結像関係を説明するための図である。ここでは、光源部42から射出される複数の光ビームにより、被走査面64上に600dpi(dot/inch)で複数ラインを隣接して書き込む場合を考える。このような場合に、被走査面64上での走査線間隔は、
25.4(mm)/600×1000=42.3(μm)
となる。光源部42の発光点間隔が14μmの場合、副走査方向の横倍率をβとすると、
β=42.3/14=3.02
となり、この値を満足するように副走査断面の結像関係を構成しなければならない。
【0022】
また、光源部42からポリゴンミラー58までの第1の結像光学系における副走査方向の倍率をβ1、ポリゴンミラー58から被走査面64までの第2の結像光学系における副走査方向の倍率をβ2とすると、
β=β1×β2
の関係がある。この光走査装置40のように、ポリゴンミラー58の面倒れ補正にシリンドリカルミラー62を用いて、正面入射に適した主走査方向にのみパワーを有するfθレンズ54、56を用いる構成とすると、β2の適切な範囲は、
0.2<β2<0.4
となる。β2が下限値以下の場合には面倒れ補正能力が不足し、上限値以上の場合には副走査方向の像面湾曲が大きくなる。ここで、β2を0.3に設定したとすると、結局、β1が約9倍となるようにしなければばならない。
【0023】
図8に示す光走査装置40では、主走査方向に対しては、コリメータレンズ44、エキスパンダレンズ46、fθレンズ54、56がパワーを有し、光源部42から射出された発散光束をコリメータレンズ44で平行光束とした後、エキスパンダレンズ46で再び発散光束とし、fθレンズ54、56で再び幅の広い平行光束としてポリゴンミラー58へ入射させる構成となっている。
【0024】
エキスパンダレンズ46に入射する平行光束の幅は、光源部42から射出される光ビームの広がり角と、コリメータレンズ44の開口数(NumericalAperture)で概ね決定されるため、エキスパンダレンズ46及びfθレンズ54、56で構成される合成光学系は、ポリゴンミラー58の反射面の主走査方向の幅に対して適切な比率の幅を有する平行光束が得られるような角倍率を有するアフォーカル光学系を構成しなければならない。このとき、fθレンズ54、56の焦点距離は、第2の光学系の光学特性により別途決定されてしまうため、エキスパンダレンズ46の位置及びパワーは一義的に決定してしまう。
【0025】
また、副走査方向に対しては、コリメータレンズ44、エキスパンダレンズ46、シリンドリカルレンズ50がパワーを有している。このうち、ともに光軸回りの回転対象面で構成されるコリメータレンズ44及びエキスパンダレンズ46の位置とパワーは、前述した主走査方向の幅の広い光ビームを整形する条件によりすでに決定しているため、固定の条件となる。
【0026】
そして、前述のβ1が約9倍の条件があるため、シリンドリカルレンズ50の位置とパワーも一義的に決定されてしまう。このような制約により決定される光学系を筐体に実装しようとすると、図9に示したように光路の2回折り返しが必要となる。これを1回の折り返しで、かつ第1の結像光学系と第2の結像光学系の光束が干渉しないようにするためには、第1の結像光学系における副走査方向のパワー配置を変更してレンズを移動させればよい。
【0027】
図4に、従来における第1の結像光学系におけるパワー配置を示す。図4(A)は、図9に示された従来の光走査装置40における光源部42からポリゴンミラー58までの主走査方向のパワー配置を示し、図4(B)は、副走査方向のパワー配置を示す。また、図5に後述する本発明に係る光走査装置10における光源部12からポリゴンミラー28までの副走査方向のパワー配置を示す。なお、図中上向きの矢印があるものは正のパワーを表し、下向きの矢印は負のパワーを表し、矢印のないものはパワーを持たないことを表すものとする。
【0028】
第1の光学系の副走査方向の倍率β1は、光源部42から図中点線Dと点線Eとの交点Fまでの距離をS1とし、交点Fからポリゴンミラー58までの距離をS2とすると、
β1=S2/S1
で表される。β1を維持しつつ、図5に示す如く、シリンドリカルレンズ20の位置を距離L分だけ光源部12側へずらすためには、エキスパンダレンズ46の副走査方向の負のパワーを強くすればよい。しかし、主走査方向の結像関係はそのまま維持しなければならないので、結局、エキスパンダレンズを主走査方向と副走査方向ともに負の屈折力を持ち、かつ副走査方向の屈折力の絶対値が主走査方向の屈折力より大きいアナモフィックレンズ(シリンドリカルレンズ18)とすることで、シリンドリカルレンズ20を光源側へずらすことができ、走査ビームとの干渉を回避し、光ビームの折り返し回数を1回にすることができる。
【0030】
第1の単レンズを、主走査方向と一致する方向に母線を有する凹シリンドリカル面と、副走査方向と一致する方向に母線を有する凹シリンドリカル面との組み合わせでアナモフィックな結像特性を実現することで、他のアナモフィック面形状、例えば非軸対称非球面、トーリック面等と比べて加工コストを抑えることができ、検査を容易にすることができる。
【0032】
第2の単レンズを、主走査方向及び副走査方向の各方向に正の屈折力を有するものとすることで、第1の結像光学系の光路長を短くすることができる。この理由について詳しく説明する。
【0033】
図6に、第1の結像光学系における主走査方向のパワー配置を示す。図6(A)は、図9に示された従来の光走査装置40における光源部42からポリゴンミラー58までの主走査方向のパワー配置を示す。図6(B)は、本発明に係る光走査装置10における光源部12からポリゴンミラー28までの主走査方向のパワー配置を示す。なお、図中上向きの矢印があるものは正のパワーを表し、下向きの矢印は負のパワーを表し、矢印のないものはパワーを持たないことを表すものとする。
【0034】
図6に示されるように、結像レンズであるfθレンズ54、56に対する物点をMとすると、fθレンズ54、56から射出される光ビームの幅を維持したまま光源部12からポリゴンミラー28までの光路をLs分短くするには、パワー配置を調整すればよい。すなわち、シリンドリカルレンズ20の主走査方向に正のパワーを持たせるようにすることで、ポリゴンミラー28に入射する光束の幅を変えることなく、光源部12からポリゴンミラー28までの光路をLs分短くすることができる。このように、第2の単レンズの主走査方向にパワーを持たせることで、第1の結像光学系の光路を短くすることができ、光源部が光走査装置を配設する筐体から突出し過ぎてしまうのを防ぐことができる。
【0036】
第2の単レンズを、主走査方向と一致する方向に母線を有する凸シリンドリカル面と、副走査方向と一致する方向に母線を有する凸シリンドリカル面との組み合わせでアナモフィックな結像特性を実現することで、他のアナモフィック面形状と比べて加工コストを抑えることができ、検査を容易にすることができる。
【0038】
第2の単レンズから入射した光ビームを、fθレンズに対して正面入射する方向に折り返すための平面ミラーを設ける。そして、この平面ミラーへ入射する光ビームが所定の入射角となるように平面ミラーを配置することにより、光ビームの折り返し精度の低下の影響を抑えることができ、かつ光源部が光走査装置の筐体から突出するのを抑えることができる。なお、入射角は、請求項2に記載したように30°以下とすることが望ましい。
【0040】
光ビームを、第2の結像光学系の光軸を含む副走査断面で、回転多面鏡の回転軸と直交する平面に対して角度をなして回転多面鏡に入射させる正面入射方式とする。ここで、走査範囲の外側から光ビームをポリゴンミラーへ入射させる所謂サイド入射方式と比較しながら正面入射方式の利点を説明する。図7にはサイド入射方式を適用したオーバーフィルド光学系における光ビームの偏向状態が示されている。図7に示すごとく、ポリゴンミラーの反射面の幅よりも広い幅Hを有する光ビームがポリゴンミラーに入射し、ポリゴンミラー100が矢印J方向に回転すると、反射偏向された光ビームは、A→B→Cの順で走査される。このとき、ポリゴンミラー100へ入射する光ビームと、ポリゴンミラー100の反射面の法線とのなす角度が小さくなるに従って反射偏向される光ビームの幅が狭くなる。このため、偏向角に依存してビーム径の変動及び光量の変動が発生し、その差は走査範囲の両端で最大になる。
【0041】
これに対し、正面入射方式では、偏向された光ビームの幅が走査範囲の中心から両端へ向かっていくに従って左右対称に細くなるので、ビーム径の変動及び光量の変動も左右対称となり、被走査面上の主走査方向のビーム径及び光量の変動幅を小さくすることができる。
【0043】
回転多面鏡と被走査面上との間に設けられたfθレンズに、回転多面鏡へ向かう光ビームと回転多面鏡で偏向された光ビームとの各々の光ビームを通過させる所謂ダブルパス光学系とすることで、光ビームをfθレンズの上または下を通過させる必要がないので、偏向手段の反射面へ入射する光ビームの入射角を最小にすることができ、走査線湾曲や、光ビームの光軸回りの回転を抑制することができる。
【0044】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0045】
図1に、本発明に係る光走査装置の平面図、図2に本発明に係る光走査装置の側面図を示す。なお、以下では、後述するポリゴンミラー28によって光ビームが偏向される方向を主走査方向、主走査方向と直交する方向を副走査方向と称する。なお、以下に示す数値は一例であり、これに限られるものではない。
【0046】
光走査装置10は、光源部12、コリメータレンズ14、スリット16、第1の単レンズとしてのシリンドリカルレンズ18、第2の単レンズとしてのシリンドリカルレンズ20、平面ミラー22、fθレンズ24、26、ポリゴンミラー28、平面ミラー30、シリンドリカルミラー32、被走査面34等を備えている。なお、図2に示す如く、ポリゴンミラー28の回転軸は図中矢印G方向(重力方向)と平行となっている。
【0047】
光源部12は、波長が780nmの光ビームを射出する2つの発光点を、副走査方向に14μmの間隔で配置したレーザダイオードアレイにより構成されている。コリメータレンズ14は、焦点距離が12.5mmであり、入射した光ビームを平行光束にする。
【0048】
スリット16は、コリメータレンズ14の焦点距離付近に配置され、光ビームのビーム幅を整形する。シリンドリカルレンズ18は、中心部の厚さが3mmであり、光ビームの入射側の面は、母線方向が副走査方向と一致するような凹シリンドリカル面であり、射出側の面は、母線方向が主走査方向と一致するような凹シリンドリカル面になっている。このように、シリンドリカルレンズ18は、主走査方向、副走査方向ともに負のパワーを有し、それぞれ独立にパワーを設定できるアナモフィックレンズとなっている。シリンドリカルレンズ18から射出された光ビームは、主走査方向、副走査方向ともに発散した光束となる。
【0049】
シリンドリカルレンズ20は、中心部の厚さが5mmであり、光ビームの入射側の面は、母線方向が主走査方向と一致するような凸シリンドリカル面であり、射出側の面は、母線方向が副走査方向と一致するような凸シリンドリカル面になっている。このように、シリンドリカルレンズ20は、主走査方向、副走査方向ともに正のパワーを有し、それぞれ独立にパワーを設定できるアナモフィックレンズとなっている。シリンドリカルレンズ20から射出された光ビームは、主走査方向にはゆるやかに発散し、副走査方向には収束する光束となる。なお、シリンドリカルレンズ18、20の硝材は、一例としてBK7(硼珪クラウンガラス)である。
【0050】
平面ミラー22は、調整機構を備えていない平面ミラーであり、光ビームの入射角が22.5°になるように、かつ反射光ビームが副走査方向に沿って下向きに1.2°傾いて射出するように配置されている。
【0051】
fθレンズ24は、光ビームの入射側の面が、母線方向が副走査方向と一致するような凸シリンドリカル面になっている。このため、fθレンズ24は、主走査方向に正のパワーを有し、副走査方向にはパワーを有しない。fθレンズ26は、光ビームの射出側の面が、母線方向が副走査方向と一致するような凹シリンドリカル面になっている。このため、fθレンズ26は、主走査方向に負のパワーを有し、副走査方向にはパワーを有しない。
【0052】
また、平面ミラー22からfθレンズ24、26に入射した光ビームの一部が反射することで生じるゴースト光が被走査面34へ到達するのを防止するために、fθレンズ24、26は、副走査方向に沿って下向きに2°傾けて配置されている。
【0053】
ポリゴンミラー28は、一例として反射面を12面有する正多角柱形状で、内接円の直径は25mmである。ポリゴンミラー28の反射面に入射した光ビームは、ポリゴンミラー28が図1に示す矢印Q方向に回転することにより偏向され、ポリゴンミラー28の反射面の主走査方向の幅で、かつ副走査方向に沿って下向きに1.2°の角度で反射し、fθレンズ26、24へ再び入射する。
【0054】
平面ミラー30は、副走査面内で角度調節が可能であり、光ビームの副走査方向のレジストレーションの調整ができるようになっている。
【0055】
シリンドリカルミラー32は、母線が主走査方向と一致する凹シリンドリカル面になっている。シリンドリカルミラー32に入射した光ビームは、被走査面34の方向に折り返され、被走査面34上を図1に示す矢印P方向に主走査する。副走査は被走査面34が回転することによって成される。ここで、ポリゴンミラー28の反射面と被走査面34とは、副走査方向において幾何光学的に略共役となっているので、ポリゴンミラー28の反射面において面倒れがあったとしても、被走査面34上のピッチむらが抑制されるようになっている。
【0056】
次に、シリンドリカルレンズ18、20のシリンドリカル面の曲率と位置関係について説明する。
【0057】
図3(A)、(B)に示す如く、シリンドリカルレンズ18の光ビーム入射側のシリンドリカル面の曲率半径をR1t、光ビーム射出側のシリンドリカル面の曲率半径をR1s、シリンドリカルレンズ20の光ビーム射出側のシリンドリカル面の曲率半径をR2t、光ビーム入射側のシリンドリカル面の曲率半径をR2s、シリンドリカルレンズ18とシリンドリカルレンズ20との間の距離をA、シリンドリカルレンズ20とfθレンズ24との距離をBしたときの各数値の例を以下に示す。
【0058】
【表1】
【0059】
例1は、図9に示したような、従来における光軸回転対称レンズとシリンドリカルレンズを組み合わせた例であり、例2〜5は、シリンドリカルレンズ20を副走査方向のみパワーを持たせたシリンドリカルレンズとし、シリンドリカルレンズ18及びシリンドリカルレンズ20の副走査方向の曲率をそれぞれ変えた場合の例である。例6〜9は、シリンドリカルレンズ20を主走査方向にもパワーを持たせたシリンドリカルレンズとし、シリンドリカルレンズ18、20の主走査方向及び副走査方向のそれぞれで曲率を変えた場合の例である。なお、第1の結像光学系の副走査方向結像倍率β1と、主走査方向におけるポリゴンミラーへの入射ビーム幅はすべて同じである。
【0060】
例1と例2〜例5を比較すると、第1の単レンズの副走査方向の曲率半径R1sを主走査方向の曲率半径R1tと異ならせ、かつ、|R1s|<|R1t|となすことで、光源からfθレンズまでの距離A+Bを維持したまま、第2の単レンズからfθレンズまでの距離Bを長くできることがわかる。距離Bは、曲率半径の差を大きくする、すなわち、アナモフィック度合いを大きくするほど長くできる。
【0061】
例2〜例5のそれぞれに対して例6〜例9のそれぞれを比較すると、第1の単レンズの曲率半径を|R1s|<|R1t|となし、かつ、第2の単レンズの主走査方向の曲率半径R2tに凸の曲率を与えることにより、第2の単レンズからfθレンズまでの距離Bを維持したまま、光源からfθレンズまでの距離A+Bを短くできることがわかる。
【0062】
本実施の形態で適用している例9の数値による結果と、従来例における例1を比較すると、第2の単レンズからfθレンズまでの距離Bを長くでき、かつ光源の位置を筐体から突出した位置にレイアウトできることがわかる。
【0063】
次に、本実施の形態の作用について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図1、図2に示すように、光源部12から射出したレーザビームは、コリメータレンズ14により平行光束とされ、スリット16によりビーム幅が整形されてシリンドリカルレンズ18へ入射する。
【0064】
シリンドリカルレンズ18から射出された光ビームは、主走査方向、副走査方向ともに発散した光束となって、シリンドリカルレンズ20へ入射する。シリンドリカルレンズ20から射出された光ビームは、主走査方向にはゆるやかに発散し、副走査方向には収束する光束となって、平面ミラー22に入射角22.5度で入射する。
【0065】
平面ミラー22に入射した光ビームは、副走査方向で下向きに1.2°の方向に折り返され、被走査面34の主走査範囲の中央に相当する方向からfθレンズ24、26に正面入射する。このように、光ビームを正面入射させることで、被走査面34上の主走査方向のビーム径及び光量の変動量を小さくすることができる。
【0066】
fθレンズ24、26を透過した光ビームは、主走査方向に対しては、ポリゴンミラー28の反射面の主走査方向の幅よりも広い幅の平行光束となり、副走査方向に対しては、ポリゴンミラー28の反射面近傍に収束してポリゴンミラー28の反射面に入射する。
【0067】
ポリゴンミラー28の反射面に入射した光ビームは、ポリゴンミラー28が図1に示す矢印Q方向に回転することにより偏向され、ポリゴンミラー28の反射面の主走査方向の幅で、かつ副走査方向に沿って下向きに1.2°の角度で反射し、fθレンズ26、24へ再び入射する。このように、fθレンズ24、26を2回通過させるダブルパス光学系としているので、光ビームをfθレンズ24、26の上または下を通過させる必要がないので、ポリゴンミラー28の反射面へ入射する光ビームの入射角を最小にすることができ、走査線湾曲や、光ビームの光軸回りの回転を抑制することができる。
【0068】
fθレンズ26、24を透過した光ビームは、平面ミラー30により、fθレンズ24、26の上部を越える方向に折り返される。平面ミラー30によって折り返された光ビームは、シリンドリカルミラー32に入射する。シリンドリカルミラー32に入射した光ビームは、被走査面34の方向に折り返され、被走査面34上を走査する。
【0069】
このように、シリンドリカルレンズ18、シリンドリカルレンズ20ともに副走査方向にパワーを有するので、パワー配置を適宜選択することでシリンドリカルレンズ20を平面ミラー22から離すことができ、かつシリンドリカルレンズ18とシリンドリカルレンズ20はともに主走査方向にパワーを有するので、パワー配置を適宜設定することでシリンドリカルレンズ18とシリンドリカルレンズ20との距離を短くすることができる。
【0070】
しかも、シリンドリカルレンズ18、シリンドリカルレンズ20はともにアナモフィックレンズとなっているので、主走査方向、副走査方向のパワー配置設定を独立に行えるので、それぞれ適切な位置に配置することができる。
【0071】
このため、光源部12からポリゴンミラー28までの光路を短くすることができ、かつ光路の折り返しを1回にすることができる。また、平面ミラー22への光ビームの入射角を30度以下としているので、平面ミラー22の面精度劣化の影響を抑えることができ、かつ光源部12が光走査装置10の筐体から突出することがない。
【0072】
なお、本実施の形態では、シリンドリカルレンズ18の光ビーム入射側の面は、母線方向が副走査方向と一致するような凹シリンドリカル面であり、射出側の面は、母線方向が主走査方向と一致するような凹シリンドリカル面になっているとしているが、入射側、射出側で母線の方向が逆になるようなシリンドリカル面にするようにしてもよい。シリンドリカルレンズ20においても同様に、入射側、射出側で母線の方向が逆になるようなシリンドリカル面にするようにしてもよい。また、各アナモフィックレンズが、ガラスプレス成形による非球面レンズであってもよい。
【0073】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項1記載の発明によれば、第1の結像光学系において、主走査方向及び副走査方向ともに負の屈折力(パワー)を有し、かつ副走査方向の屈折力が、主走査方向の屈折力よりも大きいシリンドリカルレンズを用いるようにすることで、第1の結像光学系における光路の折り返しを1回にすることができる。
【0074】
また、第1の結像光学系における第1の単レンズ及び第2の単レンズを母線の直交する両面シリンドリカルレンズとすることで、他のアナモフィック面形状、例えば非軸対象非球面、トーリック面等と比べて加工コストを抑えることができ、検査を容易にすることができる。
【0075】
また、第1の結像光学系を、2枚のアナモフィックレンズで構成することで、第1の結像光学系の光路長を短くすることができる。
【0076】
また、第1の結像光学系の第2の単レンズと回転多面鏡の間の光路上にのみ平面ミラーを配置することで、第1の結像光学系を簡素な構成として調整の容易化や維持性を向上させることができる。
【0077】
また、ポリゴンミラーへ光ビームを入射させる方式を正面入射方式とすることで、被走査面上のビーム径および光量の変動幅を小さくできる。
【0078】
また、ポリゴンミラーに入射する光ビーム及びポリゴンミラーにより偏向された光ビームともにfθレンズを通過させるダブルパス光学系とすることで、光ビームをfθレンズの上または下を通過させる必要がないので、ポリゴンミラーの反射面へ入射する光ビームの入射角を最小にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光走査装置を示す平面図である。
【図2】本発明に係る光走査装置を示す側面図である。
【図3】(A)は、シリンドリカルレンズ18、20の主走査方向の曲率を説明するための平面図である。(B)は、(A)の側面図である。
【図4】(A)は従来例に係る第1の光学系の主走査方向のパワー配置を説明するためのイメージ図である。(B)は従来例に係る第1の光学系の副主走査方向のパワー配置を説明するためのイメージ図である。
【図5】本発明に係る第1の光学系の副走査方向のパワー配置を説明するためのイメージ図である。
【図6】本発明に係る第1の光学系のパワー配置を説明するためのイメージ図である。
【図7】サイド入射式オーバフィルド光学系における光ビームの偏向を説明するための平面図である。
【図8】(A)は従来例に係る光走査装置の光学系を展開した平面図である。(B)は(A)の側面図である。
【図9】第1の光学系において、光路を2回折り返す構成の光走査装置を示す平面図である。
【符号の説明】
10 光走査装置
12 光源部
14 コリメータレンズ
16 スリット
18 シリンドリカルレンズ
20 シリンドリカルレンズ
22 平面ミラー
24 fθレンズ
26 fθレンズ
28 ポリゴンミラー
30 平面ミラー
32 シリンドリカルミラー
34 被走査面
Claims (3)
- 副走査方向に離間した複数の光ビームを射出する光源部と、前記光源部から射出された複数の光ビームの各々を主走査対応方向に長い線像として結像させる第1の結像光学系と、
前記線像の結像位置近傍に反射面を有する回転多面鏡と、
前記主走査対応方向にのみ屈折力を有するfθレンズを含み、前記回転多面鏡により偏向された複数の光ビームの各々を被走査面上に結像させる第2の結像光学系と、
を含んで構成され、
前記第1の結像光学系から前記回転多面鏡へ入射される光ビームは、前記第2の結像光学系の光軸を含む副走査断面で、前記回転多面鏡の回転軸と直交する平面に対して角度をなして前記fθレンズに正面入射し、前記fθレンズを透過した光ビームは、前記反射面の主走査対応方向の面幅よりも幅広の光ビームとして前記回転多面鏡に入射し、かつ前記回転多面鏡により偏向された光ビームが前記fθレンズを透過して前記被走査面上に結像される光走査装置において、
前記第1の結像光学系は、前記光源部から入射した光ビームを平行光束にするコリメータレンズと、母線が直交する2つの凹シリンドリカル面を備え、主走査方向の屈折力の絶対値よりも副走査方向の屈折力の絶対値が大きい第1の単レンズと、母線が直交する2つの凸シリンドリカル面を備えた第2の単レンズと、前記第2の単レンズから入射した光ビームを、前記fθレンズに対して正面入射する方向に折り返す平面ミラーと、がこの順序で配置されて構成されたことを特徴とする光走査装置。 - 前記平面ミラーに入射される光ビームの前記回転多面鏡の回転軸と直交する平面内における入射角が30度以下であり、かつ前記光源部から前記第2の単レンズまでの光路が、前記回転多面鏡による光ビームの走査範囲外に配置されたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記第2の結像光学系における副走査方向の倍率をβ2として、当該β2が、0.2<β2<0.4の条件を満たすことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光走査装置。
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