JP3695827B2 - 固体撮像装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置に係わり、特に増幅型ＭＯＳセンサを用いた固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、固体撮像装置の一つとして、増幅型ＭＯＳセンサを用いた固体撮像装置が提案されている。この固体撮像装置は、各セル毎にフォトダイオードで検出した信号をトランジスタで増幅するものであり、高感度という特徴を持つ。
【０００３】
図５１は、この種の固体撮像装置の従来例を示す回路構成図である。フォトダイオード１−１−１，１−１−２，〜，１−２−２の信号を増幅する増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２，〜，２−２−２、信号を読み出すラインを選択する垂直選択トランジスタ３−１−１，３−１−２，〜，３−２−２、信号電荷をリセットするリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２，〜，４−２−２からなる単位セルが２×２個ほど２次元状に配列されている。なお実際には、これより多くの単位セルが配列される。
【０００４】
垂直シフトレジスタ５から水平方向に配線されている水平アドレス線６−１，６−２は、垂直選択トランジスタのゲートに結線され、信号を読み出すラインを決めている。リセット線７−１，７−２は、リセットトランジスタのゲートに結線されている。増幅トランジスタのソースは、垂直信号線８−１，８−２に結線され、その一端には負荷トランジスタ９−１，９−２が設けられている。垂直信号線８−１，８−２の他端は、１ライン（１行）分の信号を取り込む信号取り込みトランジスタ１０−１，１０−２を介して、１ライン（１行）分の信号を蓄積する増幅信号蓄積容量１１−１，１１−２に図のように結合され、水平シフトレジスタ１３から供給される選択パルスにより選択される水平選択トランジスタ１２−１，１２−２を介して水平信号線５０に結線されている。
【０００５】
図５２は、このデバイスを駆動するパルス信号のタイミング図である。水平アドレス線６−１をハイレベルにするアドレスパルス１０１を印加すると、このラインの選択トランジスタ３−１−１，３−１−２のみＯＮし、この行の増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２と負荷トランジスタ９−１，９−２でソースホロア回路が構成され、増幅トランジスタのゲート電圧、即ちフォトダイオードの電圧とほぼ同等の電圧が垂直信号線８−１，８−２に現れる。このとき、信号取り込みトランジスタ１０−１，１０−２の共通ゲート４９に信号取り込みパルス１０３を印加し、増幅信号蓄積容量１１−１，１１−２に垂直信号線に現れた電圧とその容量の積の増幅された信号電荷を蓄積する。
【０００６】
増幅信号蓄積容量１１−１，１１−２に信号が蓄積された後、リセットトランジスタ４−１−１，４−１−２に信号リセットパルス１０２−１を印加し、フォトダイオード１−１−１，１−１−２に蓄積された信号電荷をリセットする。
【０００７】
次に、水平シフトレジスタ１３から水平選択パルス１０４−１，１０４−２を水平選択トランジスタ１２−１，１２−２に順次印加し、水平信号線５０から１行分の出力信号１０５−１，１０５−２を順次取り出す。
【０００８】
この動作を、次のライン次のラインと順次続けることにより、２次元状の全ての信号を読み出すことができる。
【０００９】
しかしながら、この種の固体撮像装置にあっては、次のような問題があった。一つは、図５１の９−１，９−２を負荷トランジスタとするソースフォロア回路に常に電流が流れているので、消費電力が大きいことである。テレビカメラに応用することを考えると、水平方向のセルの数は少なくとも６００個以上になるため、１つのセルに流れる電流が小さくても全体では非常に大きな電流になる。
【００１０】
ソースフォロアの電流は垂直信号線８−１，８−２の容量と増幅信号蓄積容量１０−１，１０−２を駆動するために使われるが、通常のセンサでは垂直信号線と増幅信号蓄積容量の約１ｐＦの容量を十分に駆動するためには、少なくとも５０マイクロアンペアの電流が必要である。そのため、全体では少なくとも３０ミリアンペアの電流が必要で、電源電圧が３．３Ｖとすると少なくとも１００ミリワットの電力を消費してしまう。今後、ビデオカメラ応用を考慮すると、センサ全体で１００ミリワット以下にしたいので、撮像デバイスだけで１００ミリワットの消費電力はとても許容できる値ではない。
【００１１】
もう一つは、ソースフォロア動作をすると負荷トランジスタ・増幅トランジスタで電圧降下があり、信号を取り扱える範囲が狭くなる。１００マイクロアンペアの電流を流すと、集積回路に用いられる通常のトランジスタでソース・ゲートチャネル間電圧が約０．６Ｖ、ゲートチャネル・ドレイン間電圧が約０．６Ｖ必要である。負荷トランジスタと増幅トランジスタでそれぞれこれらの電圧が必要になるため、３．３−２×（０．６＋０．６）＝０．９Ｖの動作範囲しかない。この様子を、図５３に電位図を用いて示す。それぞれのトランジスタのしきい値電圧の製造バラツキが±０．２Ｖとすると、動作できる範囲が０．１Ｖしかなくなってしまう。
【００１２】
負荷トランジスタのソース・ゲートチャネル間電圧０．６Ｖに対してしきい値電圧の製造バラツキが±０．２Ｖもあると、ソースフォロア回路の電流が４倍程度ばらつくので製品設計としては使えない。このバラツキを抑えるために実際は、負荷トランジスタのゲート幅ゲート長比（Ｗ／Ｌ比）を小さく（０．５できれば０．２以下）し、このバラツキの影響を小さくする。このようにすると、さらに負荷トランジスタのソースゲートチャネル間電圧が大きくなり、動作範囲が小さくなる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来の増幅型固体撮像装置においては、単位セルの増幅トランジスタと負荷トランジスタで形成されるソースフォロア回路に常に電流が流れているので、消費電力が大きい。さらに、ソースフォロア動作をすると負荷トランジスタと増幅トランジスタで電圧降下があり、このために動作範囲が狭くなる問題があった。
【００１４】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、増幅型ＭＯＳセンサを用いた構成において、消費電力の低減と動作範囲の拡大をはかり得る固体撮像装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
（構成）
上記課題を解決するために本発明は、次のような構成を採用している。
【００１６】
即ち、本発明（請求項１）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられた行信号蓄積手段と、垂直信号線の信号を行信号蓄積手段に伝達する信号取り込み手段と、行信号蓄積手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平信号線と行信号蓄積手段をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、第２の水平期間内又は第１と第２の水平期間の境界において垂直信号線駆動補助手段に流す電流を変化させることを特徴とする。
【００１７】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項２〜５に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、垂直信号線リセットトランジスタであることが挙げられる。
【００１８】
また、本発明（請求項６）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平信号線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出される前で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が選択された行の信号電荷排出手段により排出された後で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００１９】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項７，８に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、負荷ＭＯＳトランジスタであることが挙げられる。
【００２０】
また、本発明（請求項９）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出された後でかつアドレスパルス内にあり、アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００２１】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項１０，１１に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、垂直信号線リセットトランジスタであることが挙げられる。
【００２２】
また、本発明（請求項１３）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段と，増幅手段からなる感光セルを２次状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁があり、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００２３】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項１３，１４に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、負荷ＭＯＳトランジスタであることがあげられる。
【００２４】
また、本発明（請求項１５）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、アドレスパルスと垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後でアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００２５】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項１６〜１９に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、負荷ＭＯＳトランジスタであることがあげられる。
【００２６】
また、本発明（請求項２０）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後でかつアドレスパルス内にあり、アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み信号との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００２７】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項２１，２２に述べたこと以外に、垂直信号線駆動補助手段が、垂直信号線リセットトランジスタであることがあげられる。
【００２８】
また、本発明（請求項２３）は、半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後でかつアドレスパルス内にあり、アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする。
【００２９】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては、請求項２４〜３１に述べたこと以外に、次のものが挙げられる。
【００３０】
(1) 垂直信号線駆動補助手段が、垂直信号線リセットトランジスタであること。
(2) 雑音抑圧手段が、電圧領域で雑音と信号を差し引く型のものであること。
【００３１】
(3) 雑音抑圧手段が、電荷領域で雑音と信号を差し引く型のものであること。
【００３２】
(4) アドレスパルスが低レベルにあるとき、信号電荷を信号電荷排出手段により排出すること。
【００３３】
（作用）
前述した問題は、全て負荷トランジスタと増幅トランジスタからなるソースフォロア回路に垂直信号線を駆動するための比較的大きな電流が流れていることにある。
【００３４】
この問題を解決するには２つの方法がある。一つはフォトダイオードの信号を垂直信号線に取り出すときに負荷トランジスタに電流を流し信号を垂直信号線に取り出さないとき電流を流さないか又は小さい電流を流す方法である。この方法は、消費電力の問題は解決するが、信号取り扱い範囲の問題は解決できない。
【００３５】
消費電力と信号取り扱い範囲の２つの問題を同時に解決するには以下のような対策を行うとよい。
【００３６】
負荷トランジスタを、垂直信号線に電荷を注入しその電位をリセットできる垂直信号線リセットトランジスタとすることにより問題は解決する。増幅型撮像装置に用いる負荷トランジスタのゲート幅ゲート長比（Ｗ／Ｌ比）は流れる少ない電流を安定化するために一般にＷ／Ｌ比を小さくとる。上記のように５０マイクロアンペア程度では上述のように製造バラツキを考慮するとＷ／Ｌ＝０．２以下に設計する。
【００３７】
一方、垂直信号線リセットトランジスタは垂直信号線の容量約１ｐＦをなるべく高速に（できれば５０ナノ秒以下で）ソース電圧にリセットしたいのでＷ／Ｌ比を１以上できれば３以上で設計する。負荷トランジスタのしきい値電圧のバラツキを小さくするためにＷ／Ｌ比を小さくするのとは逆の設計になる。
【００３８】
１本の垂直選択線に対応するセルの信号を読み出す期間にその垂直選択線に対応する増幅トランジスタが活性化されている期間を、垂直信号線リセットトランジスタのゲートにパルスの高レベル電圧が印加されたときの垂直信号線ドライブ期間と低レベルが印加された時の信号電圧検出期間の２つの期間に分割して駆動する。基本的に垂直信号線リセットトランジスタに低レベルが印加されているときに、即ち増幅トランジスタに殆ど電流が流れていないときに信号を取り出すので、消費電力と信号取り扱い範囲の２つの問題が解決できる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【００４０】
ここでは、消費電力の問題のみを解決する負荷トランジスタのパルス駆動と消費電力・信号取り扱い範囲の問題の両方を解決する垂直信号線リセット駆動について詳細に説明する。
【００４１】
［実施形態１］
本発明の一実施形態を説明する。フォトダイオードの信号を垂直信号線に取り出すときに負荷トランジスタに電流を流し、信号を取り出さないとき電流を流さないか又は小さい電流にする場合は、図１に示すように負荷トランジスタ１４−１，１４−２のゲート電極５１を独立に取り出す構成にし、図２に示すタイミングチャートで駆動する。フォトダイオードの信号を垂直信号線から増幅信号蓄積容量に取り出す期間２０１の間は、負荷トランジスタ１４−１，１４−２の共通ゲート電極５１に負荷トランジスタ活性パルス１０６を印加し、負荷トランジスタに電流を流す。それ以外の期間２０２には、負荷トランジスタのゲート電圧を小さくし、その電流を小さくする。
【００４２】
こうすることにより、消費電力を小さくできる。但しこの方法は、消費電力の問題は解決するが、信号取り扱い範囲の問題は解決できない。
【００４３】
消費電力と信号取り扱い範囲の２つの問題が解決する実施形態を、図３に示す。垂直信号線に従来の負荷トランジスタとはＷ／Ｌの異なる垂直信号線リセットトランジスタ１５−１，１５−２を接続している。垂直信号線リセットトランジスタを垂直信号線の水平信号線５０側に設けている理由は、垂直信号線の抵抗が高い場合垂直信号線のリセットが確実に行われるという利点があるためである。抵抗の高い垂直信号線のリセットをさらに速くするには、垂直信号線の上下に垂直信号線リセットトランジスタを設ける方法もある。ソースフォロア回路の負荷トランジスタでは上下両端に設ける利点はない。
【００４４】
図３の装置における動作タイミングチャートを図４に示す。
【００４５】
垂直信号線リセットトランジスタ１５−１，１５−２の共通ゲート電極５２に電荷注入パルス１０７を印加する。このとき、垂直信号線８−１，８−２に垂直信号線リセットトランジスタの共通ソース５３から電荷が注入され、ほぼソース電位にプリセットされる。電荷注入パルスがＯＦＦされると、アドレスされた行の増幅トランジスタを通り注入された電荷の一部が排出され、垂直信号線の電位が変化し、増幅トランジスタのゲート電位にほぼ一致するようになる。
【００４６】
その様子を、図５（ｂ）に示す。即ち、フォトダイオードの信号電圧がかかっている増幅トランジスタのゲート電圧の信号が垂直信号線に伝達される。この電圧と同等の電圧が増幅信号蓄積容量に正確に伝達されるには、電荷注入パルス１０７と信号取り込みパルス１０３の位相関係は重要である。電荷注入パルス１０７がＯＦＦした後垂直信号線に信号電荷に対応した電圧が現れるので、最終的に増幅信号蓄積容量１１−１，１１−２の電位を決める信号取り込みパルス１０３の後縁は、電荷注入パルス１０７の後縁より時間的に後にある。
【００４７】
これは、図１及び２で説明した負荷トランジスタパルス駆動と全く異なる。負荷トランジスタパルス駆動の場合は、負荷トランジスタ活性パルスがＯＮの時増幅トランジスタと構成するソースフォロア回路が動作するため、このとき垂直信号線に信号が乗っており、負荷トランジスタ活性パルスがＯＮの期間に信号取り込みパルス１０３をＯＦＦする必要があるためである。
【００４８】
信号取り込みパルス１０３の前縁については、電荷注入パルスがＯＦＦし垂直信号線の電位が増幅トランジスタのゲート電位にほぼ等しくなった後、即ち増幅トランジスタが弱反転状態になってから信号取り込みパルスを印加すると、垂直信号線に溜まった電荷が垂直信号線と増幅信号蓄積容量の容量の比で分割されるため、増幅信号蓄積容量の電圧が本来現れるべき信号電圧より小さくなってしまう。そのため、信号取り込みパルス１０３の前縁は、電荷注入パルス１０７の後縁より時間的に前になければならない。
【００４９】
もう少し詳細に述べると、電荷注入パルス１０７がＯＦＦした直後図５（ａ）のＡの期間は図５（ｂ）のＡで示すように、まだ増幅トランジスタに強反転領域の電流が流れており容量のドライブ能力を持っているため、この期間に信号取り込みパルス１０３の前縁１０８があっても増幅信号蓄積容量には本来の信号が蓄積できる。
【００５０】
この動作では垂直信号線リセットトランジスタに電流を流す期間が短いため消費電力が小さくなることは容易に分る。
【００５１】
垂直信号線リセット動作で信号取り扱い範囲が広がることを、図で説明する。セルの増幅トランジスタと垂直信号線リセットトランジスタで構成される回路の電位図を、図６（ａ）〜（ｃ）に示す。
【００５２】
電荷注入パルスが印加されたときは、図６（ａ）に示すように、垂直信号線の電位はほぼ垂直信号線リセットトランジスタのソース電位になる。この状態に素早くなるために上述したように垂直信号線リセットトランジスタはＷ／Ｌ比を大きくとる。電荷注入パルスがＯＦＦになった直後は、図６（ｂ）に示すように垂直信号線に注入された電荷の一部が増幅トランジスタに流れ、その後図６（ｃ）に示すように垂直信号線の電位が増幅トランジスタのゲートの電位とほぼ同じ電位になる。
【００５３】
図６（ｃ）の状態が実際に信号を増幅信号蓄積容量に取り込み終わったときの電位図である。この図から分るように、増幅トランジスタにも垂直信号線リセットトランジスタにも殆ど電流が流れていないので、そこでの電圧降下がなく、電源電圧が３．３Ｖの場合信号取り扱い範囲が２．７Ｖと非常に広くとれることが分る。
【００５４】
［実施形態２］
以上説明した増幅型の固体撮像装置は増幅トランジスタ２−１−１，〜，２−２−２のしきい値電圧のバラツキが信号に重畳するため、写した画像を再生すると場所的に固定された固定パターン雑音になるため、図５１の信号取り込みトランジスタと増幅信号蓄積容量の部分にこの雑音を抑圧するノイズキャンセラを設ける。ノイズキャンセラとしては、電圧領域で信号と雑音の差分をとる相関二重サンプリング型と電荷領域で差分を取るスライス型をここでは取り上げる、ノイズキャンセラはこれの型には限定されない。
【００５５】
図７は相関二重サンプリング型と負荷トランジスタを用いたもの、図１１はスライス型と負荷トランジスタを用いたもの、図１５は相関二重サンプリング型と垂直信号線リセットトランジスタを用いたもの、図１９はスライス型と垂直信号線リセットトランジスタを用いたものの回路構成図である。
【００５６】
ノイズキャンセラについて簡単に構成と原理を示す。相関二重サンプリング型は図７に示すように、垂直信号線８−１，８−２にクランプ容量１６−１，１６−２、クランプトランジスタ１７−１，１７−２、サンプルホールドトランジスタ１８−１，１８−２、ホールド容量１９−１，１９−２が設けられている。
【００５７】
図８のタイミングチャートに示すように、水平アドレス線６−１からアドレスパルス１０１を印加すると垂直選択トランジスタ３−１−１，３−１−２がＯＮし、増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２が活性化し、垂直信号線８−１，８−２にフォトダイオードの電圧に対応した信号電圧が現れる。このとき、クランプトランジスタの共通ゲート５５にクランプパルス１０９を印加し、クランプトランジスタ１７−１，１７−２をＯＮし、クランプ容量１６−１，１６−２のクランプトランジスタ側の電圧をクランプトランジスタの共通ソース５４の電圧に固定したのちＯＦＦする。
【００５８】
次に、リセット線７−１から信号リセットパルス１０２−１をリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２に印加し、フォトダイオードの信号電荷を排出すると垂直信号線８−１，８−２に増幅トランジスタのしきい値バラツキによる雑音電圧が現れる。
【００５９】
このとき、クランプ容量１６−１，１６−２のクランプトランジスタ側の電圧は垂直信号線の電圧変化分、即ち信号電圧から雑音電圧を差し引いた雑音のない信号電圧がクランプトランジスタの共通ソース５４の電圧に重畳され現れる。共通ソースの電圧も雑音を持っていない。
【００６０】
サンプルホールドトランジスタの共通ゲート５６にサンプルホールドパルス１１０を印加し、この雑音のない信号電圧をサンプルホールドトランジスタ１８−１，１８−２を介してホールド容量１９−１，１９−２に伝える。
【００６１】
しかる後、水平選択トランジスタ１２−１，１２−２を順次通して雑音のない信号を読み出す。
【００６２】
この型のノイズキャンセラで重要なパルスはクランプパルス１０９とサンプルホールドパルス１１０であり、これらのパルスの後縁は負荷トランジスタを活性化する負荷トランジスタ活性パルス１０６が印化された期間の中にある。特許請求の範囲に記載されている第１の雑音抑圧パルスがクランプパルスに、第２の雑音抑圧パルスがサンプルホールドパルスに相当する。
【００６３】
図９は、図８の駆動タイミングを改良したものである。雑音・信号の取り込みを決める重要なクランプパルス１０９・サンプルホールドパルス１１０の２つの後縁の時刻におけるセルの状態がなるべく同じ条件になるようにそれぞれの後縁がある時刻に対して、第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）を別々に発生する。同様に、第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４を別々に発生する。
【００６４】
さらに、クランプパルス１０９の後縁と第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）の前縁との間の時間と、サンプルホールドパルス１１０の後縁と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）の前縁との間の時間をほぼ等しくする。同様に、クランプパルス１０９の後縁と第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前縁との間の時間と、サンプルホールドパルス１１０の後縁と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４の前縁との間の時間をほぼ等しくする。
【００６５】
さらに改善すると、図１０のようになる。サンプルホールドパルスの後縁の時刻におけるセルの状態は第２のアドレスパルスの前縁だけでなく第１のアドレスパルスの影響も受けている。クランプパルスの後縁の時刻におけるセルの状態をサンプルホールドパルスの後縁と同等にするために、第１のアドレスパルスの前にダミーのアドレスパルス１１５−１（１１５−２）を発生している。同様に、負荷トランジスタ活性パルスについても第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前にダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６を発生する。
【００６６】
さらに、ダミーにアドレスパルス１１５−１（１１５−２）・ダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６に同期してダミーのクランプパルス１１７をクランプパルス１０９の前に発生する。これらのダミーのパルスは３つ一緒に使う必要はなく１つでも効果がある。
【００６７】
一方、もう一つのノイズキャンセラであるスライス型ノイズキャンセラについても、簡単に構成と原理を説明する。図１１に示すように、垂直信号線８−１，８−２にスライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートが接続されている。スライストランジスタのソースには、スライス容量２１−１，２１−２とスライスソースリセットトランジスタ２２−１，２２−２が接続されている。ドレインには、スライス電荷蓄積容量２４−１，２４−２とスライスドレインリセットトランジスタ２３−１，２３−２が接続されている。
【００６８】
図１２のタイミングチャートに示すように、水平アドレス線６−１からアドレスパルス１０１を印加すると垂直選択トランジスタ３−１−１，３−１−２がＯＮし、増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２が活性化し、垂直信号線８−１，８−２に信号電圧が現れる。
【００６９】
このとき、スライスソースリセットトランジスタ２２−１，２２−２の共通ゲート５８にスライスソースリセットパルス１１８を印加し、予め十分な電荷が注入されているスライス容量２１−１，２１−２の共通端子５７に、第１のスライスパルス１１９を印加し、スライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートチャネルを通して余分な電荷をスライストランジスタのドレインに排出する。この余分な電荷は、スライスドレインリセットトランジスタ２３−１，２３−２の共通ゲート６１にスライス電荷リセットパルス１２１を印加することにより、スライスドレインリセットトランジスタ２３−１，２３−２の共通ドレイン６０に排出する。
【００７０】
次に、リセット線７−１から信号リセットパルス１０２−１をリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２に印加し、フォトダイオードの信号電荷を排出すると垂直信号線８−１，８−２に増幅トランジスタのしきい値バラツキによる雑音電圧が現れる。
【００７１】
このとき、スライス容量２１−１，２１−２の共通端子５７に第２のスライスパルス１２０を印加すると、スライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートに接続された垂直信号線８−１，８−２の電圧の変化分、即ち信号から雑音を差し引いた雑音成分のない信号電圧にスライス容量をかけた増幅された信号電荷がスライス電荷蓄積容量２４−１，２４−２に転送される。
【００７２】
しかる後、水平選択トランジスタ１２−１，１２−２を順次ＯＮして雑音のない信号を読み出す。
【００７３】
この型のノイズキャンセラで重要なパルスは、スライス容量の電荷をプリセットする第１のスライスパルス１１９と信号と雑音の差分に比例する電荷をスライストランジスタのドレインに転送する第２のスライスパルスである。これらのパルスの後縁は、負荷トランジスタを活性化する負荷トランジスタ活性パルス１０６が印化された期間の中にある。特許請求の範囲で記述されている第１の雑音抑圧パルスが第１のスライスパルスに、第２の雑音抑圧パルスが第２のスライスパルスに相当する。
【００７４】
スライストランジスタとしてｐ型チャネルのものを用いるとスライスパルスの極性を反転する必要がある。
【００７５】
このときは、特許請求の範囲で記述されている第３の雑音抑圧パルスが第１のスライスパルスに、第４の雑音抑圧パルスが第２のスライスパルスに相当する。
図１２の駆動タイミングを改善したものが図１３である。雑音・信号の取り込みを決める重要な第１のスライスパルス１１９と第２のスライスパルス１２０の２つの後縁の時刻におけるセルの状態がなるべく同じ条件になるように、それぞれの後縁がある時刻に対して、第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）を別々に発生する。同様に、第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４を別々に発生する。
【００７６】
さらに、第１のスライスパルス１１９の後縁と第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）の前縁との間の時間と、第２のスライスパル１２０の後縁と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）の前縁との間の時間をほぼ等しくする。同様に、第１のスライスパルス１１９の後縁と第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前縁との間の時間と、第２のスライスパルス１２０の後縁と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４の前縁との間の時間をほぼ等しくする。
【００７７】
さらに改善すると、図１４のようになる。第２のスライスパルスの後縁の時刻におけるセルの状態は、第２のアドレスパルスの前縁だけでなく第１のアドレスパルスの影響も受けている。第１のスライスパルスの後縁の時刻におけるセルの状態を第２のスライスパルスの後縁と同等にするために、第１のアドレスパルスの前にダミーのアドレスパルス１１５−１（１１５−２）を発生している。同様に、負荷トランジスタ活性パルスについても第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前にダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６を発生する。
【００７８】
さらに、ダミーにアドレスパルス１１５−１（１１５−２）・ダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６に同期してダミーのスライスパルス１２２を第１のスライスパルス１１９の前に発生する。スライス電荷リセットパルス１２１の前にダミーのスライス電荷リセットパルス１２３を発生することも可能である。これらのダミーのパルスは４つ一緒に使う必要はなく１つでも効果がある。
【００７９】
図１６は、図１５のセンサの動作タイミングチャートである。
【００８０】
図８のタイミングチャートに示すように、水平アドレス線６−１からアドレスパルス１０１を印加すると垂直選択トランジスタ３−１−１，３−１−２がＯＮし、増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２が活性化する。ここで、電荷注入パルス１０７を垂直信号線リセットトランジスタの共通ゲート５２に印加し、垂直信号線に電荷を注入した後ＯＦＦにする。
【００８１】
注入電荷の一部が活性化された増幅トランジスタのゲートチャネルを通り排出され、垂直信号線８−１，８−２にフォトダイオードの電圧に対応した信号電圧が現れる。このとき、クランプトランジスタの共通ゲート５５にクランプパルス１０９を印加し、クランプトランジスタ１７−１，１７−２をＯＮし、クランプ容量１６−１，１６−２のクランプトランジスタ側の電圧をクランプトランジスタの共通ソース５４の電圧に固定したのちＯＦＦする。
【００８２】
次に、リセット線７−１から信号リセットパルス１０２−１をリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２に印加し、フォトダイオードの信号電荷を排出し、雑音検出用電荷注入パルス１２４を垂直信号線リセットトランジスタの共通ゲート５２に印加し垂直信号線に電荷を注入した後ＯＦＦにする。すると、垂直信号線８−１，８−２に増幅トランジスタのしきい値バラツキによる雑音電圧が現れる。
【００８３】
このとき、クランプ容量１６−１，１６−２のクランプトランジスタ側の電圧は垂直信号線の電圧変化分、即ち信号電圧から雑音電圧を差し引いた雑音のない信号電圧がクランプトランジスタの共通ソース５４の電圧に重畳され現れる。共通ソースの電圧も雑音を持っていない。
【００８４】
サンプルホールドトランジスタの共通ゲート５６にサンプルホールドパルス１１０を印加し、この雑音のない信号電圧をサンプルホールドトランジスタ１８−１，１８−２を介してホールド容量１９−１，１９−２に伝える。
【００８５】
しかる後、水平選択トランジスタ１２−１，１２−２を順次通して雑音のない信号を読み出す。
【００８６】
この型のノイズキャンセラで重要なパルスであるクランプパルス１０９とサンプルホールドパルス１１０の後縁は、電荷注入パルス１０７及び雑音検出用電荷注入パルス１２４がＯＦＦした後の期間にある。その理由は、図４の説明で前述した通りである。
【００８７】
クランプパルス１０９の前縁については図５（ａ）で説明したのと同様に、電荷注入パルス１０７の後縁より前にあるか又は、その後縁直後のアドレスされた行の増幅トランジスタが強反転状態にある期間内にある。サンプルホールドパルス１１０の前縁についても、雑音検出用電荷注入パルス１２４の後縁に対して同様なことが要求される。
【００８８】
図１７は図１６の改良版で、アドレスパルスを信号と雑音の検出に合わせて２つに分けている。図１８はダミーのアドレスパルス１１５−１（１１５−２）、ダミーの電荷注入パルス１２５、ダミーのクランプパルス１１７を加えたものである。これらの方法は上述したように、雑音・信号の取り込みを決める重要なクランプパルス１０９・サンプルホールドパルス１１０の２つの後縁の時刻におけるセルの状態がなるべく同じ条件になるようにしたものでる。
【００８９】
図２０は、図１９のセンサの動作タイミングチャートである。
【００９０】
図１２のタイミングチャートに示すように、水平アドレス線６−１からアドレスパルス１０１を印加すると垂直選択トランジスタ３−１−１，３−１−２がＯＮし、増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２が活性化する。ここで、電荷注入パルス１０７を垂直信号線リセットトランジスタの共通ゲート５２に印加し垂直信号線に電荷を注入した後ＯＦＦにする。注入電荷の一部が活性化された増幅トランジスタのゲートチャネルを通り排出され、垂直信号線８−１，８−２にフォトダイオードの電圧に対応した信号電圧が現れる。
【００９１】
このとき、スライスソースリセットトランジスタ２２−１，２２−２の共通ゲート５８にスライスソースリセットパルス１１８を印加し、予め十分な電荷が注入されているスライス容量２１−１，２１−２の共通端子５７に、第１のスライスパルス１１９を印加し、スライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートチャネルを通して余分な電荷をスライストランジスタのドレインに排出する。この余分な電荷は、スライスドレインリセットトランジスタ２３−１，２３−２の共通ゲート６１にスライス電荷リセットパルス１２１を印加することにより、スライスドレインリセットトランジスタ２３−１，２３−２の共通ドレイン６０に排出する。
【００９２】
次に、リセット線７−１から信号リセットパルス１０２−１をリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２に印加し、フォトダイオードの信号電荷を排出し、雑音検出用電荷注入パルス１２４を垂直信号線リセットトランジスタの共通ゲート５２に印加し垂直信号線に電荷を注入した後ＯＦＦにする。すると、垂直信号線８−１，８−２に増幅トランジスタのしきい値バラツキによる雑音電圧が現れる。
【００９３】
このとき、スライス容量２１−１，２１−２の共通端子５７に第２のスライスパルス１２０を印加すると、スライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートに接続された垂直信号線８−１，８−２の電圧の変化分、即ち信号から雑音を差し引いた雑音成分のない信号電圧にスライス容量をかけた増幅された信号電荷がスライス電荷蓄積容量２４−１，２４−２に転送される。
【００９４】
しかる後、水平選択トランジスタ１２−１，１２−２を順次ＯＮして雑音のない信号を読み出す。
【００９５】
この型のノイズキャンセラで重要なパルスは、スライス容量の電荷をプリセットする第１のスライスパルス１１９と信号と雑音の差分に比例する電荷をスライストランジスタのドレインに転送する第２のスライスパルスである。これらのパルスの後縁は、負荷トランジスタを活性化する負荷トランジスタ活性パルス１０６が印化された期間の中にある。特許請求の範囲で記述されている第１の雑音抑圧パルスが第１のスライスパルスに、第２の雑音抑圧パルスが第２のスライスパルスに相当する。
【００９６】
第１のスライスパルス１１９の前縁は電荷注入パルス１０７に対して、相関二重サンプリング型ノイズキャンセラのクランプパルスのような制約はない。理由は、垂直信号線８−１，８−２はスライストランジスタ２０−１，２０−２のゲートに接続されており、増幅信号になる電荷を垂直信号線から供給する必要がないためである。即ち、電荷注入パルス１０７がＯＦＦした後、第１にスライスパルス１１９を印加してもよい。第２のスライスパルス１２０と雑音検出用電荷注入パルス１２４の関係についても同様のことが成り立つ。
【００９７】
図２１は図２０の改良版である。アドレスパルスが２つに分けてある。図２２はさらに改善したものである。第１のアドレスパルスの前にダミーのアドレスパルス１１５−１（１１５−２）を発生している。同様に電荷注入パルス１０７の前にダミーの電荷注入パルス１２５を発生する。さらに、ダミーにアドレスパルス１１５−１（１１５−２）・ダミーの電荷注入パルス１２５に同期してダミーのスライスパルス１２２を第１のスライスパルス１１９の前に発生する。スライス電荷リセットパルス１２１の前にダミーのスライス電荷リセットパルス１２３を発生することも可能である。
【００９８】
［実施形態３］
図２３は、図７の構成にフォトダイオード１−１−１，…と増幅トランジスタ２−１−１，…のゲートの間に電荷転送トランジスタ２５−１−１，２５−１−２，〜，２５−２−２を挿入したもので、そのゲートは垂直シフトレジスタ５から出る転送制御線２６−１，２６−２に接続されている。
【００９９】
この型のセルを持つセンサの駆動は、図２４（負荷トランジスタと相関二重サンプリング型ノイズキャンセラを有する）に示すように、アドレスされた行（ここでは第１行）のリセットトランジスタ４−１−１，４−１−２にリセット線７−１より検出容量リセットパルス１２８−１を印加し電荷検出ノードをリセットする。このとき、増幅トランジスタ２−１−１，２−１−２のしきい値バラツキを含んだ雑音電圧が垂直信号線８−１，８−２に現れる。
【０１００】
次に、電荷転送パルス１２７−１を転送制御線２６−１より電荷転送トランジスタ２５−１−１，２５−１−２に印加し電荷検出ノードにフォトダイオード１−１−１，１−１−２の信号電荷を転送すると、垂直信号線８−１，８−２に信号電圧が現れる。このように時系列に現れる雑音電圧と信号電圧の差を、図８と同様に、相関二重サンプリング型のノイズキャンセラで取り出し出力する。次の行もほぼ同様に動作し読み出すことができる。
【０１０１】
ここでも負荷トランジスタの共通ゲート５１には雑音と信号を垂直信号線に取り出すときのみ負荷トランジスタ活性パルス１０６を印加している。ノイズキャンセラの部分に関して図８と異なるのは、雑音と信号がくる順番が逆になっていることであり、動作は全く同じで出力される信号の極性が逆になる。
【０１０２】
図２５は、図８を改良した図９とほぼ同様に、図２４の駆動タイミングを改良したものである。雑音・信号の取り込みを決める重要なクランプパルス１０９・サンプルホールドパルス１１０の２つの後縁の時刻におけるセルの状態がなるべく同じ条件になるようにそれぞれの後縁がある時刻に対して、第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）を別々に発生する。同様に、第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４を別々に発生する。
【０１０３】
さらに、クランプパルス１０９の後縁と第１のアドレスパルス１１１−１（１１１−２）の前縁との間の時間と、サンプルホールドパルス１１０の後縁と第２のアドレスパルス１１２−１（１１２−２）の前縁との間の時間をほぼ等しくする。同様に、クランプパルス１０９の後縁と第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前縁との間の時間と、サンプルホールドパルス１１０の後縁と第２の負荷トランジスタ活性パルス１１４の前縁との間の時間をほぼ等しくする。
【０１０４】
図２６は、図９を改良した図１０とほぼ同様に、図２５の駆動タイミングを改良したものである。サンプルホールドパルスの後縁の時刻におけるセルの状態は、第２のアドレスパルスの前縁だけでなく第１のアドレスパルスの影響も受けている。クランプパルスの後縁の時刻におけるセルの状態をサンプルホールドパルスの後縁と同等にするために、第１のアドレスパルスの前にダミーのアドレスパルス１１５−１（１１５−２）を発生している。同様に、負荷トランジスタ活性パルスについても第１の負荷トランジスタ活性パルス１１３の前にダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６を発生する。
【０１０５】
さらに、ダミーにアドレスパルス１１５−１（１１５−２）・ダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６に同期してダミーのクランプパルス１１７をクランプパルス１０９の前に発生する。これらのダミーのパルスは３つ一緒に使う必要はなく１つでも効果があることは図１０の時と同じである。
【０１０６】
図２７は、図２３のセル構成のものに図１１の負荷トランジスタ・スライス型ノイズキャンセラを組み合わせたものである。図２８、図２９、図３０もそれぞれ図２４、図２５、図２６のセルの駆動と図１２、図１３、図１４の負荷トランジスタ・ノイズキャンセラの駆動を組み合わせたものとほぼ同じである。
【０１０７】
信号と雑音がくる順番が逆になるため、スライストランジスタのチャネルの型を図１２、図１３、図１４のものとは逆にする方がよい。そのため、スライス容量の共通端子５７に印加するパルスの極性が逆になる。そのため、第１のスライスパルス１１９、第２のスライスパルス１２０、ダミーのスライスパルス１２２の代わりに極性の逆の第３のスライスパルス１２９、第４のスライスパルス１３０、ダミーの反転スライスパルス１３１を用いる。
【０１０８】
図３１は、図２３のセル構成のものに図１５の垂直信号線リセットトランジスタ・相関二重サンプリング型ノイズキャンセラを組み合わせたものである。図３２、図３３、図３４もそれぞれ図２４、図２５、図２６のセルの駆動と図１６、図１７、図１８の垂直信号線リセットトランジスタ・ノイズキャンセラの駆動を組み合わせたものとほぼ同じである。
【０１０９】
図３５は、図２３のセル構成のものに図１９の垂直信号線リセットトランジスタ・スライス型ノイズキャンセラを組み合わせたものである。図３６、図３７、図３８もそれぞれ図２４、図２５、図２６のセルの駆動と図２０、図２１，図２２の垂直信号線リセットトランジスタ・ノイズキャンセラの駆動を組み合わせたものとほぼ同じである。図２７、図２８、図２９、図３０と同様にスライストランジスタのチャネルの型とスライスパルスの極性は逆になる。
【０１１０】
図３９は、図２３に示す回路のセンサの動作図である。図２４の動作方法と異なるところは、電荷検出容量リセットパルス１２８−１を印加したあとすぐに電荷転送パルス１２７−１を印加し、信号電荷を電荷検出ノードに転送し信号電圧を垂直信号線８−１，８−２に発生させる。次に、第２の検出容量リセットパルス１３３−１を印加し電荷検出ノードの信号電荷を排出する。その後、すぐに第２の電荷転送パルス１３２−１を印加する。このときは殆ど転送される電荷はないので、垂直信号線８−１，８−２には雑音電圧が誘起される。
【０１１１】
このように時系列に現れる雑音電圧と信号電圧の差を、図８と同様に相関二重サンプリング型のノイズキャンセラで取り出し出力する。次の行もほぼ同様に動作し読み出すことができる。ここでも負荷トランジスタの共通ゲート５１には雑音と信号を垂直信号線に取り出すときのみ負荷トランジスタ活性パルス１０６を印加している。
【０１１２】
この動作方法では、信号を取り出す時と雑音を取り出し時で検出容量リセットパルス１２８−１・電荷転送パルス１２７−１の印加と第２の検出容量リセットパルス１３３−１・第２の電荷転送パルス１３２−１の印加が等価になるため、信号と雑音の取り出しが同一条件に近い条件で取り出せる。
【０１１３】
図４０は、アドレスパルス・負荷トランジスタ活性パルスを２つに分離したものである。図４１は、ダミーのアドレスパルス１１５−１，１１５−２・ダミーの負荷トランジスタ活性パルス１１６・ダミーのクランプパルス１１７に加えて検出容量リセットパルス１２８−１，１２８−２の前にダミーの検出容量リセットパルス１３４−１，１３４−２を印加している。
【０１１４】
図４２は、図２７のセンサの動作タイミング図である。セルの動作は図３９、ノイズキャンセラの動作は図２８とほぼ同じである。信号・雑音の発生の順序が図２８の動作と逆になるのでノイズキャンセラのスライスパルスの極性が逆になり、図１１のセンサを図１２の動作タイミングで動かしたときと同じになる。ダミーのスライス電荷リセットパルス１２３を印加する事もできる。
【０１１５】
図４３は、アドレスパルス・負荷トランジスタ活性パルスを２回発生したものである。図４４は、ダミーのアドレスパルス・ダミーの負荷トランジスタ活性パルス・ダミーのスライスパルスに加え第２のダミーのスライス電荷リセットパルス１３５を印加したものである。
【０１１６】
図４５は、図３１に示すセンサの動作図である。セルは図３９、ノイズキャンセラは図３２の動作を組み合わせたものである。図４６は、アドレスパルスを２つに分けたものである。図４７は、図４１のセルの動作と図３４のノイズキャンセラの動作を組み合わせたものである。
【０１１７】
図４８は、図３５に示すセンサの動作図である。図３９のセルの動作と図３６のノイズキャンセラの動作を組み合わせたものとほぼ同じである。スライスパルスの極性が逆になっていることとダミーのスライス電荷リセットパルスを発生させてもよいことである。図４９は、アドレスパルスを２つに分けたものである。図５０は図４１のセルの動作と図３８のノイズキャンセラの動作を組み合わせたものとほぼ同じである。第２のダミーのスライス電荷リセットパルス１３５を発生できることとスライスパルスの極性が逆になるところが異なる。
【０１１８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【０１１９】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、フォトダイオードの信号を増幅し垂直信号線及び増幅信号蓄積容量に伝達する期間のみに負荷トランジスタに電流を流しそれ以外の時は流れる電流の量を小さくすることにより、消費電力を下げることができる。
【０１２０】
また、垂直信号線リセットトランジスタにより垂直信号線を短い時間でリセットし、垂直信号線リセットトランジスタに電流を流さないときに最終的な信号の取り込みを行うことにより、消費電力・信号取り扱い範囲の両方を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】負荷トランジスタをパルス駆動する増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図２】図１の負荷トランジスタのパルス駆動における動作タイミング図。
【図３】負荷トランジスタのパルス駆動と共に垂直信号線のリセット駆動を行う増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図４】図３のリセット駆動における動作タイミング図。
【図５】電荷注入パルスと信号取り込みパルスの位相関係を説明する図。
【図６】垂直信号線リセット駆動で信号取り扱い範囲が広いことを説明する図。
【図７】相関二重サンプリング型ノイズキャンセラと負荷トランジスタを用いた固体撮像装置の回路構成図。
【図８】図７の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図９】図７の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図１０】図７の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのクランプパルスを用いるもの。
【図１１】スライス型ノイズキャンセラと負荷トランジスタを用いた増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図１２】図１１の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図１３】図１１の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図１４】図１１の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図１５】相関二重サンプリング型ノイズキャンセラと垂直信号線リセットトランジスタを用いた増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図１６】図１５の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図１７】図１５の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図１８】図１５の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのクランプパルスを用いたもの。
【図１９】スライス型ノイズキャンセラと垂直信号線リセットトランジスタを用いた増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図２０】図１９の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図２１】図１９の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図２２】図１９の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図２３】電荷転送トランジスタをもったセルで相関二重サンプリング型ノイズキャンセラと負荷トランジスタを用いた固体撮像装置を示す回路構成図。
【図２４】図２３の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図２５】図２３の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図２６】図２３の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのクランプパルスを用いるもの。
【図２７】電荷転送トランジスタゲートを持ったセルでスライス型ノイズキャンセラと負荷トランジスタを用いた固体撮像装置を示す回路構成図。
【図２８】図２７の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図２９】図２７の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図３０】図２７の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図３１】電荷転送トランジスタをもったセルで相関二重サンプリング型ノイズキャンセラと垂直信号線リセットトランジスタを用いた増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図３２】図３１の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図３３】図３１の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図３４】図３１の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのクランプパルスを用いたもの。
【図３５】電荷転送トランジスタをもったセルでスライス型ノイズキャンセラと垂直信号線リセットトランジスタを用いた増幅型固体撮像装置を示す回路構成図。
【図３６】図３５の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図３７】図３５の駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図３８】図３５の駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図３９】図２３で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図４０】図２３で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図４１】図２３で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのクランプパルスを用いるもの。
【図４２】図２７で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルス、１回の負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図４３】図２７で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しの対して別々のアドレスパルス、負荷トランジスタ活性パルスを用いるもの。
【図４４】図２７で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの負荷トランジスタ活性パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図４５】図３１で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図４６】図３１で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図４７】図３１で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのクランプパルスを用いたもの。
【図４８】図３５で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して１回のアドレスパルスを用いるもの。
【図４９】図３５で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、信号と雑音の読み出しに対して別々のアドレスパルスを用いるもの。
【図５０】図３５で信号・雑音の順に検出する駆動タイミングチャートで、ダミーのアドレスパルス、ダミーの電荷注入パルス、ダミーのスライスパルス、ダミーのスライス電荷リセットパルスを用いるもの。
【図５１】従来の増幅型固体撮像装置の一例を示す回路構成図。
【図５２】図５１の固体撮像装置の動作タイミングチャート。
【図５３】増幅トランジスタと負荷トランジスタで構成される回路の信号取り扱い範囲が狭いことを説明する図。
【符号の説明】
１−１−１，１−１−２，〜，１−２−２：フォトダイオード
２−１−１，２−１−２，〜，２−２−２：増幅トランジスタ
３−１−１，３−１−２，〜，３−２−２：垂直選択トランジスタ
４−１−１，４−１−２，〜，４−２−２：リセットトランジスタ
５：垂直シフトレジスタ
６−１，６−２：水平アドレス線
７−１，７−２：リセット線
８−１，８−２：垂直信号線
９−１，９−２：負荷トランジスタ
１０−１，１０−２：信号取り込みトランジスタ
１１−１，１１−２：増幅信号蓄積容量
１２−１，１２−２：水平選択トランジスタ
１３：水平シフトレジスタ
１４−１，１４−２：負荷トランジスタ
１５−１，１５−２：垂直信号線リセットトランジスタ
１６−１，１６−２：クランプ容量
１７−１，１７−２：クランプトランジスタ
１８−１，１８−２：サンプルホールドトランジスタ
１９−１，１９−２：ホールド容量
２０−１，２０−２：スライストランジスタ
２１−１，２１−２：スライス容量
２２−１，２２−２：スライスソースリセットトランジスタ
２３−１，２３−２：スライスドレインリセットトランジスタ
２４−１，２４−２：スライス電荷蓄積容量
２５−１−１，２５−１−２，〜，２５−２−２：電荷転送トランジスタ
２６−１，２６−２：転送制御線
４９：信号取り込みトランジスタの共通ゲート
５０：水平信号線
５１：パルス駆動する負荷トランジスタの共通ゲート電極
５２：垂直信号線リセットトランジスタの共通ゲート電極
５３：垂直信号線リセットトランジスタの共通ソース
５４：クランプトランジスタの共通ソース
５５：クランプトランジスタの共通ゲート
５６：サンプルホールドトランジスタの共通ゲート
５７：スライス容量の共通端子
５８：スライスソースリセットトランジスタの共通ゲート
６０：スライスドレインリセットトランジスタの共通ドレイン
６１：スライスドレインリセットトランジスタの共通ゲート
１０１−１，１０１−２：アドレスパルス
１０２−１，１０２−２：信号リセットパルス
１０３：信号取り込みパルス
１０４−１，１０４−２：水平選択パルス
１０５−１，１０５−２：出力信号
１０６：負荷トランジスタ活性パルス
１０７：電荷注入パルス
１０８：信号取り込みパルス１０３の前縁
１０９：クランプパルス
１１０：サンプルホールドパルス
１１１−１，１１１−２：第１のアドレスパルス
１１２−１，１１２−２：第２のアドレスパルス
１１３：第１の負荷トランジスタ活性パルス
１１４：第２の負荷トランジスタ活性パルス
１１５−１，１１５−２：ダミーのアドレスパルス
１１６：ダミーの負荷トランジスタ活性パルス
１１７：ダミーのクランプパルス
１１８：スライスソースリセットパルス
１１９：第１のスライスパルス
１２０：第２のスライスパルス
１２１：スライス電荷リセットパルス
１２２：ダミーのスライスパルス
１２３：ダミーのスライス電荷リセットパルス
１２４：雑音検出用電荷注入パルス
１２５：ダミーの電荷注入パルス
１２６：ダミーのクランプパルス
１２７−１，１２７−２：電荷転送パルス
１２８−１，１２８−２：検出容量リセットパルス
１２９：第３のスライスパルス
１３０：第４のスライスパルス
１３１：ダミーの反転スライスパルス
１３２−１，１３２−２：第２の電荷転送パルス
１３３−１，１３３−２：第２の検出容量リセットパルス
１３４−１，１３４−２：ダミーの検出容量リセットパルス
１３５：第２のダミーのスライス電荷リセットパルス
２０１：検出信号を垂直信号線・増幅信号蓄積容量に取り出す期間
２０２：期間２０１以外の期間

Claims (31)

1. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられた行信号蓄積手段と、垂直信号線の信号を行信号蓄積手段に伝達する信号取り込み手段と、行信号蓄積手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平信号線と行信号蓄積手段をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、
   水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
   垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線駆動補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
   垂直信号線の信号を行信号蓄積手段に取り込むときに信号取り込み手段に印加する信号取り込みパルスの後縁が、アドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間にあることを特徴とする固体撮像装置。
2. 垂直信号線駆動補助手段が、負荷ＭＯＳトランジスタであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
3. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられた行信号蓄積手段と、垂直信号線の信号を行信号蓄積手段に伝達する信号取り込み手段と、行信号蓄積手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平信号線と行信号蓄積手段をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、
   水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
   垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間があり、
   垂直信号線の信号を行信号蓄積手段に取り込むときに信号取り込み手段に印加する信号取り込みパルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあることを特徴とする固体撮像装置。
4. 信号取り込みパルスの前縁が、垂直信号線駆動パルスがＯＮ期間内又はその前のＯＦＦの期間内にあることを特徴とする請求項３記載の固体撮像装置。
5. 増幅手段がＭＯＳトランジスタであり、信号取り込みパルスの前縁が垂直信号線駆動パルスがＯＦＦ後、選択された行の増幅トランジスタが強反転状態にある期間内にあることを特徴とする請求項３記載の固体撮像装置。
6. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平信号線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、
   水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
   垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
   選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出される前で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、
   選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が選択された行の信号電荷排出手段により排出された後で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
7. 選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が選択された行の信号電荷排出手段により排出される前で、第２の水平期間に発生する第１のアドレスパルスと第１の垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、
   選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が選択された行の信号電荷排出手段により排出された後で、第２の水平期間に発生する第２のアドレスパルスと第２の垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項６記載の固体撮像装置。
8. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第１の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項７記載の固体撮像装置。
9. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，信号電荷排出手段，行選択手段，及び増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、これらの垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、これらの垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、この水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の固体撮像装置において、
   水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
   垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、
   雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
   かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出された後でかつアドレスパルス内にあり、
   アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
10. 垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化する第１のアドレスパルス内にあり、
    雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、第１のアドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
    かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が信号電荷排出手段により排出された後でかつ第２のアドレスパルス内にあり、
    第２のアドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項９記載の固体撮像装置。
11. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第１の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項１０記載の固体撮像装置。
12. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段と，増幅手段からなる感光セルを２次状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、
    水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
    垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁があり、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後で、かつアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
13. 垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化する第１のアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、かつ第１のアドレスパルスと第１の垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁があり、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後で、第２のアドレスパルスと第２の垂直信号線駆動パルスのパルスを発生しそのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項１２記載の固体撮像装置。
14. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第３の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項１３記載の固体撮像装置。
15. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、
    水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
    垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、アドレスパルスと垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、
    電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後でアドレスパルスと垂直信号線駆動パルスとのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
16. 電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出し、信号蓄積手段から電荷転送手段により電荷電圧変換手段に殆ど信号の無い空転送をする第２の転送動作後、アドレスパルスと垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項１５記載の固体撮像装置。
17. 水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
    垂直選択手段から第２の水平期間に発生し、垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され、選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化する第１のアドレスパルスと、垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスとがオーバーラップしている期間が存在し、
    選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、第１のアドレスパルスと第１の垂直信号線駆動パルスのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁があり、
    電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後で第２のアドレスパルスと第２の垂直信号線駆動パルスを発生しそのオーバーラップ期間内に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項１６記載の固体撮像装置。
18. 電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出し、信号蓄積手段から電荷転送手段により電荷電圧変換手段に殆ど信号の無い空転送をする第２の転送動作後、第２のアドレスパルスと第２の垂直信号線駆動パルスを発生しそのオーバーラップ期間内に雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み雑音との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項１７記載の固体撮像装置。
19. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第１の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項１８又は１８に記載の固体撮像装置。
20. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、
    水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
    垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、
    雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
    かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後でかつアドレスパルス内にあり、
    アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み信号との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
21. 垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される前で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化する第１のアドレスパルス内にあり、
    雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込みその状態を保持する第３の雑音抑圧パルスの後縁が、第１のアドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
    かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送された後でかつ第２のアドレスパルス内にあり、
    第２のアドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込み信号との差信号を発生する第４の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項２０記載の固体撮像装置。
22. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第１の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項２１記載の固体撮像装置。
23. 半導体基板上に光電変換手段，信号電荷蓄積手段，電荷電圧変換手段，信号電荷蓄積手段から電荷電圧変換手段に信号電荷を転送する電荷転送手段，電荷電圧変換手段から電荷を排出する信号電荷排出手段，行選択手段，増幅手段からなる感光セルを２次元状に配列した撮像領域と、この撮像領域に行方向に配された複数の垂直選択線と、垂直選択線を駆動する垂直選択手段と、増幅手段の出力を読み出す列方向に配された複数の垂直信号線と、複数の垂直信号線に設けられた複数の垂直信号線駆動補助手段と、垂直信号線の端に設けられ垂直信号線に時間差を持って現れる雑音と信号を取り込み差し引く雑音抑圧手段と、この雑音抑圧手段に隣接して行方向に配された水平信号線と、この水平選択線と雑音抑圧手段の出力をつなぐ水平読み出し手段と、水平読み出し手段を駆動する水平選択手段と、を備えた増幅型の撮像装置において、
    水平信号線に水平読み出し手段を介して信号が読み出されている第１の水平期間とそれ以外の第２の水平期間が存在し、
    垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化するアドレスパルス内にあり、
    雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、アドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
    かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後でかつアドレスパルス内にあり、
    アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする固体撮像装置。
24. 第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出し、信号蓄積手段から電荷転送手段により電荷電圧変換手段に殆ど信号の無い空転送をする第２の転送動作後で、かつアドレスパルス内にあり、
    アドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項２３記載の固体撮像装置。
25. 垂直信号線駆動補助手段に印加され垂直信号線補助手段に電流を流す第１の垂直信号線駆動パルスの後縁が、選択された行の信号電荷蓄積手段に蓄積された信号電荷が電荷転送手段により電荷電圧変換手段に転送される第１の転送動作後で、垂直選択手段から第２の水平期間内に発生し垂直選択線を介して伝達され行選択手段に印加され選択された単数又は複数の行の増幅手段を活性化する第１のアドレスパルス内にあり、
    雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する信号を取り込みその状態を保持する第１の雑音抑圧パルスの後縁が、第１のアドレスパルスがＯＮでかつ第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間にあり、
    かつ第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出した後で、かつ第２のアドレスパルス内にあり、
    第２のアドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項２４記載の固体撮像装置。
26. 第２の垂直信号線駆動パルスの後縁が、電荷電圧変換手段の信号電荷を電荷排出手段を介して排出し、信号蓄積手段から電荷転送手段により電荷電圧変換手段に殆ど信号の無い空転送をする第２の転送動作後で、かつ第２のアドレスパルス内にあり、
    第２のアドレスパルスがＯＮでかつ第２の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦの期間に、雑音抑圧手段に印加され垂直信号線に発生する雑音を取り込み信号との差信号を発生する第２の雑音抑圧パルスの後縁があることを特徴とする請求項２５記載の固体撮像装置。
27. 第１のアドレスパルス、第１の垂直信号線駆動パルス及び第１の雑音抑圧パルスの前に単数又は複数のダミーのアドレスパルス、単数又は複数のダミーの垂直信号線駆動パルス及び単数又は複数のダミーの雑音抑圧パルスが存在することを特徴とする請求項２３〜２６のいずれかに記載の固体撮像装置。
28. 雑音抑圧手段が電圧領域で雑音と信号の差信号を作る型のもので、第１の雑音抑圧パルスの前縁が第１の垂直信号線駆動パルス内又はその前にあり、かつ第２の雑音抑圧パルスの前縁が第２の垂直信号線抑圧パルス内又はその前にあることを特徴とする請求項９〜１１，２３〜２６のいずれかに記載の固体撮像装置。
29. 雑音抑圧手段が電圧領域で雑音と信号の差信号を作る型のもので、第３の雑音抑圧パルスの前縁が第１の垂直信号線駆動パルス内又はその前にあり、かつ第４の雑音抑圧パルスの前縁が第２の垂直信号線抑圧パルス内又はその前にあることを特徴とする請求項２０〜２２のいずれかに記載の固体撮像装置。
30. 増幅手段がＭＯＳトランジスタであり、雑音抑圧手段が電圧領域で雑音と信号の差信号を作る型のもので、第１の雑音抑圧パルスの前縁が第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦ後アドレスされている増幅トランジスタが強反転状態にある期間にあることを特徴とする請求項９〜１１，２３〜２６のいずれかに記載の固体撮像装置。
31. 増幅手段がＭＯＳトランジスタであり、雑音抑圧手段が電圧領域で雑音と信号の差信号を作る型のもので、第３の雑音抑圧パルスの前縁が第１の垂直信号線駆動パルスがＯＦＦ後アドレスされている増幅トランジスタが強反転状態にある期間にあることを特徴とする請求項２０〜２２のいずれかに記載の固体撮像装置。

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