JP3675278B2 - 点欠陥検出装置及びその方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光変調装置の点欠陥を検出する点欠陥検出装置及びその方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光変調装置である液晶パネル上の輝点や黒点などの点欠陥を検出する方法としては、検査対象の液晶パネルを液晶プロジェクタにセットし、暗室内において実際に投影し、その投影されたものを検査員の目視検査により検出していた。
その検査方法としては、液晶プロジェクタにセットした液晶パネルにパターンジェネレータを接続し、そのパターンジェネレータから、全白、全黒、中間調、横線、斜線、白黒、黒白等の各種検査パターンを切り替えて出力して、プロジェクタによりその検査パターンを投影し、その投影された検査パターンにより、黒点、輝点、中間調輝点などの欠陥、また、隣接する画素間のショートによる欠陥を検出するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の点欠陥の検出では、検査員の目視検査で点欠陥の検出を行うため、検査対象の液晶パネルが液晶プロジェクタにおいてどの色に使用されるかにより検査基準が異なり、さらに微少な欠陥や微妙な輝度変化を見分けなければならないことから、検査員による検査レベルのばらつきが生じることがあり、検査員になるためのトレーニング期間が数ヶ月程度必要であり、すぐには検査を行う事ができないないなど問題点があり、また、暗室内において各種検査パターンを切り替えて目視検査するという作業を繰り返し行うため、作業員にはストレスの多い作業となるなど問題点があった。
【０００４】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたものであり、検査員などによる目視検査を行うことなく、光変調装置の点欠陥を検出できる点欠陥検出装置及びその方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る点欠陥検出装置は、検査対象となる光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、処理装置は、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる画像撮り込み装置のノイズを、空間フィルタを使用した演算処理により除去するノイズ除去機能と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能と、を含むものである。
【０００６】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、検査対象となる光変調装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件で、光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、処理装置は、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能とを含むものである。
【０００７】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光変調装置に出力する信号を生成するパターン生成装置をさらに備えたものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光変調装置に出力する信号を生成するパターン生成装置と、光変調装置がセットされ、光変調装置の表示に基づいた画像を投影する画像投影装置とをさらに備え、投影されたパターンを画像撮り込み装置が撮り込むものである。
【０００８】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、光変調装置に光を照射する光源と、光変調装置にパターンを表示させるパターン生成装置とをさらに備え、画像撮り込み装置は、光源からの光が光変調装置によって変調され、光変調装置から出射する光を撮り込むものである。
【０００９】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、画像撮り込み装置は、光変調装置の表示に基づいた画像を、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込むものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置の処理装置は、さらに、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データの輝度むらを補正する機能を含むものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、輝度むらを補正する機能は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィルタを使用して補正を行うものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、輝度むらを補正する機能は、空間フィルタを使用した演算処理により補正を行うものである。
【００１０】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、点欠陥強調機能は、空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の強調を行うものである。
【００１１】
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、点欠陥検出機能から出力された点欠陥情報を表示する表示装置を備えるものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、表示装置は、点欠陥情報を点欠陥の種類別に分類した情報として表示するものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置は、表示装置は、点欠陥情報をその点欠陥の種類と欠陥位置の情報として表示するものである。
【００１２】
また、本発明に係る点欠陥検出装置の、ノイズ除去機能、点欠陥強調機能及び点欠陥検出機能は、コンピュータ装置による演算処理により実行されるものである。
また、本発明に係る点欠陥検出装置の光変調装置は、液晶パネルである。
【００１３】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込む工程と、空間フィルタを使用した演算処理により、撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除去する工程と、点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、点欠陥部が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報を検出する工程と、からなるものである。
【００１４】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置の点欠陥検出方法において、光変調装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件で、光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込む工程と、撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除去する工程と、点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、点欠陥部が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報を検出する工程と、からなるものである。
【００１５】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置にパターンを表示させ、パターンにより前記光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込むものである。
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置にパターンを表示させ、光変調装置によって変調された光に基づいた画像を投影し、投影された画像を撮り込むものである。
【００１６】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置に光を照射し、光変調装置にパターンを表示させ、パターンにより光変調装置によって変調された光に基づく画像を撮り込むものである。
【００１７】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、光変調装置によって変調された光を撮り込む際、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込むものである。
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、撮り込まれた画像データの輝度むらを補正する工程からなるものである。
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、輝度むらを補正する工程は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィルタを使用して補正を行うものである。
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、輝度むらを補正する工程は、空間フィルタを使用した演算処理により補正を行うものである。
【００１８】
また、本発明に係る点欠陥検出方法は、点欠陥部を強調する際、空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の強調処理を行うものである。
また、本発明に係る点欠陥検出方法において、光変調装置は液晶パネルである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は本発明の一実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図である。
図において、１は検査対象の光変調装置である液晶パネル、２は画像投影装置であるプロジェクタであり、液晶パネル１を外部からセットできるようになっている。３は液晶パネル１に各種パターンを出力するパターン生成装置であるパターンジェネレータ、４はスクリーン、５はスクリーンに投影された画像を撮影する画像撮り込み装置であるＣＣＤカメラであり、液晶パネル１の解像度以上の解像度を有するＣＣＤを搭載している。６はパターンジェネレータ３及びＣＣＤカメラ５を制御し、液晶パネル１の点欠陥を検出するコンピュータ装置であり、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２を含んでいる。７はコンピュータ装置６に接続された表示装置である。
また、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２の動作はコンピュータ装置６上で実行されるプログラムにより実現されているものである。
【００２０】
次に、この実施の形態の点欠陥検出動作について説明する。
まず、プロジェクタ２に検査対象の液晶パネル１をセットし、コンピュータ装置６によりパターンジェネレータ３を制御し液晶パネル１上に特定のパターンを表示させ、それをプロジェクタ２によりスクリーン４に投影する。
そして、スクリーン４上に投影された画像をＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮影データの画像をコンピュータ装置６に出力し、コンピュータ装置６内のＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２などの処理により点欠陥検出処理を行い液晶パネル１の点欠陥の検出結果を表示装置７などに表示するなどして出力する。
【００２１】
ここで、コンピュータ装置６による点欠陥検出の動作について説明する。
まず、ＣＣＤカメラ５にも素子特性のばらつきなどにより隣接する素子よりも著しく明るい又は暗い画素が存在している。
そして、このようなＣＣＤカメラ５でスクリーン４上に投影された画像を撮影した撮影データの画像としては、図２に示すように、ＣＣＤカメラ５の素子特性のばらつきなどによるＣＣＤノイズ（図２のａ部）と液晶パネル１の輝点の点欠陥による欠陥部（図２のｂ部）の両方が混在した画像となっている。
なお、ここでは、投影された画像の光学的な輝度むらを、プロジェクタ２に光学的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィルタを用いるか、コンピュータ装置６側でシェーディング処理を施すなどして改善しているものとして説明する。
【００２２】
この図２に示すような画像に基づいて、液晶パネル１の点欠陥の検出を行うと、液晶パネル１の点欠陥による欠陥部の情報だけではなく、ＣＣＤカメラ５の素子特性のばらつきなどによるＣＣＤノイズの情報も液晶パネル１の点欠陥として検出してしまうことになる。
そこで、ＣＣＤノイズ除去機能１０では、図２に示すように、ＣＣＤカメラ５のＣＣＤノイズはＣＣＤ素子１画素分として現れ、液晶パネル１の点欠陥は、ＣＣＤカメラ５の解像度を液晶パネル１の解像度以上にしているので、ＣＣＤ素子の数画素分として現れるため、これを利用してＣＣＤカメラ５で撮影した画像に対して空間フィルタを使用しＣＣＤノイズの除去を行っている。
【００２３】
この実施の形態では、空間フィルタとして、２×２Ｏｐｅｎ（収縮＋膨張）フィルタを使用してＣＣＤノイズの除去処理を行っている。
２×２Ｏｐｅｎフィルタは、収縮と膨張を実行するフィルタで、暗い背景に明るいオブジェクトのある画像では小さな点を消す作用がある。
この２×２Ｏｐｅｎ（収縮＋膨張）フィルタにより図２に示す画像を処理した結果は、図３に示すように、ＣＣＤカメラ５の素子特性のばらつきなどによるＣＣＤノイズが除去され、液晶パネル１の点欠陥のみの情報を持つ画像となる。
【００２４】
そして、図３に示すＣＣＤノイズを除去した画像では、微少なレベルの輝点欠陥などの検出が難しいため、点欠陥強調機能１１により、空間フィルタを使用して点欠陥の強調処理を行っている。
この実施の形態では、空間フィルタとして輝点欠陥の強調には７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ、黒点欠陥の強調には７×７Ｗｅｌｌフィルタを使用して、点欠陥の強調処理を行っている。
【００２５】
７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び７×７Ｗｅｌｌフィルタは共に、周囲に対して孤立しているかを検出するため、着目する画素の値を、その周囲の画素の値との差がより強調されるされるように重み付けをして畳み込み演算するためのフィルタであり、例えば図４に示すような空間フィルタである。図４において、図４の（ａ）は７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ、図４の（ｂ）は７×７Ｗｅｌｌフィルタの一例を示している。
【００２６】
この７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタにより図３に示す画像を処理した結果は、図５に示すように輝度の小さい輝点欠陥が強調され点欠陥が検出しやすい画像となっている。
なお、この７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタによる点欠陥の強調処理では、ＣＣＤカメラ５で撮影された画像のエッジ部の処理が正確にできないため、この実施の形態では背景画像を膨張させ、実際の投影範囲より大きい画像として演算している。
従って、強調処理後の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出すことにより、図６に示すように投影範囲のエッジ部の点欠陥の強調も正確に処理され、点欠陥を容易に検出する事ができるようになっている。
【００２７】
また、点欠陥が、図７に示すように黒点欠陥の場合は、７×７Ｗｅｌｌフィルタにより点欠陥の強調処理を行い、図８に示すような画像とし、さらに、強調処理後の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出すことにより、図９に示すように投影範囲のエッジ部の点欠陥の強調も正確に処理され、点欠陥を容易に検出する事ができるようになっている。
【００２８】
そして、点欠陥検出機能１２では、これらの強調処理された画像や元画像などに基づいて、点欠陥の種類や位置や個数を検出し、例えば、図１０や図１１に示すような検出結果を表示装置７などに表示する。
【００２９】
この実施の形態では、検査対象の液晶パネル１がセットされたプロジェクタ２によりスクリーンに投影し、その投影された画像をＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮影した画像を、コンピュータ装置６により空間フィルタを用いて処理して点欠陥の検出を行うようにしたので、検査員などによる目視検査を行うことなく、液晶パネルの点欠陥を検出することが可能となり、点欠陥検出の自動化により欠陥の判定レベルの統一が図れ、検査員をストレスの多い作業から解放することが可能となる。
また、空間フィルタを用いて画像を処理するので、ＣＣＤノイズが除去でき、点欠陥を強調して、より正確な点欠陥の検出を行うことが可能となる。
【００３０】
実施の形態２．
この実施の形態は、実施の形態１において、プロジェクタ２によりスクリーンに投影した画像をＣＣＤカメラ５で撮影するのではなく、検査対象の液晶パネル１に光を照射し、その光源の光の照射による液晶パネル上の表示画像を直接ＣＣＤカメラ５で撮影するようにしたものである。
図１２は本発明の他の実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図である。
図において、１は検査対象の液晶パネル、３は液晶パネル１に各種パターンを出力するパターンジェネレータ、５は液晶パネル上の表示画像を撮影するＣＣＤカメラであり、液晶パネル１の解像度以上の解像度を有するＣＣＤを搭載している。６はパターンジェネレータ３及びＣＣＤカメラ５を制御し、液晶パネル１の点欠陥を検出するコンピュータ装置であり、ＣＣＤノイズ除去機能１１、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２を含んでいる。７はコンピュータ装置６に接続された表示装置、８は液晶パネル１に光を照射する光源、９は液晶パネル１を透過する光を減衰させる高速シャッターや減光フィルタなどの減衰手段である。
【００３１】
次に、この実施の形態の動作について説明する。
まず、検査対象の液晶パネル１に光源から光を照射し、コンピュータ装置６によりパターンジェネレータ３を制御し液晶パネル１上に特定のパターンを表示させ、光源８の光の照射による液晶パネル１上の表示画像を減衰手段９を介してＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮影データの画像をコンピュータ装置６に出力し、コンピュータ装置６により点欠陥検出処理を行い液晶パネル１の点欠陥の検出結果を表示装置７などに表示するなどして出力する。
【００３２】
コンピュータ装置６による点欠陥検出の動作については、実施の形態１と同様であり、コンピュータ装置６のＣＣＤノイズ除去機能１１、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２により各種空間フィルタを使用して、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像を処理し、点欠陥の検出を行う。
【００３３】
この実施の形態では、検査対象の液晶パネル１に光源８から光を照射し、光源８の光の照射による液晶パネル１上の表示画像を減衰手段９を介して、ＣＣＤカメラ５で撮影し、その撮影した画像を、コンピュータ装置６により空間フィルタを用いて処理して点欠陥の検出を行うようにしたので、検査員などによる目視検査を行うことなく、液晶パネルの点欠陥を検出することが可能となり、点欠陥検出の自動化により欠陥の判定レベルの統一が図れ、検査員をストレスの多い作業から解放することが可能となる。
また、空間フィルタを用いて画像を処理するので、ＣＣＤノイズが除去でき、点欠陥を強調して、より正確な点欠陥の検出を行うことが可能となる。
【００３４】
なお、実施の形態１，２では、検査対象の液晶パネル１を透過型の液晶パネルとして説明したが、反射型の液晶パネルでもよく、また、ＤＭＤ（デジタルミラーデバイス）などの検査にも適用することができる。
【００３５】
また、実施の形態１，２では、点欠陥を強調する空間フィルタとして、７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び７×７Ｗｅｌｌフィルタを使用したが、図１３に示すような５×５Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び５×５Ｗｅｌｌフィルタなどの他のＴｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタを空間フィルタとして使用してもよい。
図１３において、図１３の（ａ）は５×５Ｔｏｐｈａｔフィルタ、図１３の（ｂ）は５×５Ｗｅｌｌフィルタの一例を示している。
なお、Ｔｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタによる重み付けは、図４及び図１３に示すものに限定されるものではなく、他の重み付けを有するＴｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタを使用してもよい。
【００３６】
また、実施の形態１では、コンピュータ装置６を使用して点欠陥の検出処理を行っているが、これに限らずＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作を行うものであれば、ＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを使用してもよい。
この場合、プロジェクタ２内に、パターンジェネレータ３とＣＣＤカメラ５を内蔵させ、さらに、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作を行うＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを組み込むことにより、１筐体で点欠陥検出装置を構成すれば、設置場所をとらず、簡単に液晶パネルの点欠陥の検出を行うことが可能となる。
【００３７】
また、実施の形態２でも同様に、コンピュータ装置６を使用して点欠陥の検出処理を行っているが、これに限らずＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作を行うものであれば、ＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを使用してもよい。
この場合も、１筐体内にパターンジェネレータ３、ＣＣＤカメラ５、光源８及び減衰手段９を内蔵させ、さらに、ＣＣＤノイズ除去機能１０、点欠陥強調機能１１及び点欠陥検出機能１２による点欠陥検出処理の動作を行うＣＰＵボードや専用ＬＳＩなどを組み込むことにより、１筐体で点欠陥検出装置を構成することができ、設置場所をとらず、また、その筐体を完全密封の状態にすれば、暗室内で作業する必要もなく、作業員のストレスを軽減でき、簡単に液晶パネルの点欠陥の検出を行うことが可能となる。
【００３８】
また、実施の形態１，２では、投影された画像の光学的な輝度むらを改善しているものとして説明しているが、ここで、この光学的な輝度むらを改善するシェーディング処理について説明する。
まず、ＣＣＤカメラ５で撮影した画像から、液晶パネルの点欠陥やＣＣＤノイズを除去した輝度むらの情報のみの画像を生成する。
そして、元画像から輝度むらの情報のみの画像を減算または除算することにより、輝度むらのない画像を生成する。
ここでは、輝度むらの情報のみの画像を、１１×１１のＯｐｅｎフィルタを作用させた後、１１×１１の膨張処理を施すことにより生成させている。
【００３９】
また、実施の形態１，２ではＣＣＤカメラ５での画像の撮り込みは、ＣＣＤカメラ５のカメラ絞りやシャッター速度などの調整により、通常の撮り込みを行い１００％輝点でもＣＣＤカメラ５のＣＣＤが飽和しないようにしているが、微弱な輝点欠陥をより検出できるように、ＣＣＤカメラ５のカメラ絞りやシャッター速度などの調整により、１００％付近の輝点は飽和させるようにして、微弱な輝点欠陥をより正確に検出できるようにしてもよい。
この場合、１００％付近の輝点欠陥は、通常の撮り込みで検出し、微弱な輝点欠陥の検出は、１００％付近の輝点を飽和させるようにＣＣＤカメラを調整する撮り込みで検出するようにしてもよい。
【００４０】
また、実施の形態１，２ではＣＣＤカメラ５での画像を撮り込んでいるが、液晶パネルの表示に基づいた表示画像を撮り込むことのできるものであれば、他の装置などで撮り込むようにしてもよい。
【００４１】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、処理装置により、画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、画像撮り込み装置のノイズを空間フィルタを使用した演算処理により除去し、ノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行い、点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力するようにしたので、検査員などによる目視検査を行うことなく、光変調装置の点欠陥を検出することができ、点欠陥検出の自動化により欠陥の判定レベルの統一が図れ、検査員をストレスの多い作業から解放することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図である。
【図２】ＣＣＤカメラ５で撮影した画像の一例を示す図である。
【図３】２×２Ｏｐｅｎフィルタによる処理後の画像を示す図である。
【図４】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタ及び７×７Ｗｅｌｌフィルタの一例を示す図である。
【図５】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタによる処理後の画像を示す図である。
【図６】７×７Ｔｏｐｈａｔフィルタによる強調処理後の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出した画像を示す図である。
【図７】黒点欠陥のの点欠陥を有する画像の一例を示す図である。
【図８】７×７Ｗｅｌｌフィルタによる処理後の画像を示す図である。
【図９】７×７Ｗｅｌｌフィルタによる強調処理後の画像から実際の投影範囲のみのデータを取り出した画像を示す図である。
【図１０】検出結果を表示例を示す図である。
【図１１】検出結果を表示例を示す図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態に係る点欠陥検出装置の構成を示す図である。
【図１３】Ｔｏｐｈａｔフィルタ及びＷｅｌｌフィルタの他の例を示す図である。
【符号の説明】
１ 検査対象の液晶パネル
２ プロジェクタ
３ パターンジェネレータ
４ スクリーン
５ ＣＣＤカメラ
６ コンピュータ装置
７ 表示装置
８ 光源
９ 減衰手段
１０ ＣＣＤノイズ除去機能
１１ 点欠陥強調機能
１２ 点欠陥検出機能

Claims (26)

1. 検査対象となる光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、
   前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、
   を備えた点欠陥検出装置において、
   前記処理装置は、
   前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる前記画像撮り込み装置のノイズを、空間フィルタを使用した演算処理により除去するノイズ除去機能と、
   前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、
   前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能と
   を含むことを特徴とする点欠陥検出装置。
2. 検査対象となる光変調装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件で、前記光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、
   前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、
   を備えた点欠陥検出装置において、
   前記処理装置は、
   前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、
   前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、
   前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能と
   を含むことを特徴とする点欠陥検出装置。
3. 前記光変調装置に出力する信号を生成するパターン生成装置をさらに備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の点欠陥検出装置。
4. 前記光変調装置に出力する信号を生成するパターン生成装置と、
   前記光変調装置がセットされ、前記光変調装置の表示に基づいた画像を投影する画像投影装置とをさらに備え、
   前記画像撮り込み装置は投影されたパターンを撮り込むことを特徴とする請求項１又は２記載の点欠陥検出装置。
5. 前記光変調装置に光を照射する光源と、
   前記光変調装置にパターンを表示させるパターン生成装置とをさらに備え、
   前記画像撮り込み装置は、前記光源からの光が前記光変調装置によって変調され、前記光変調装置から出射する光を撮り込むことを特徴とする請求項１又は２記載の点欠陥検出装置。
6. 前記画像撮り込み装置は、前記光変調装置の表示に基づいた画像を、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込むことを特徴とする請求項５記載の点欠陥検出装置。
7. 前記処理装置は、
   さらに、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データの輝度むらを補正する機能を含むことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の点欠陥検出装置。
8. 前記輝度むらを補正する機能は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィルタを使用して補正を行うことを特徴とする請求項７記載の点欠陥検出装置。
9. 前記輝度むらを補正する機能は、空間フィルタを使用した演算処理により補正を行うことを特徴とする請求項７記載の点欠陥検出装置。
10. 前記点欠陥強調機能は、空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の強調を行うことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれかに記載の点欠陥検出装置。
11. 前記点欠陥検出機能から出力された点欠陥情報を表示する表示装置を備えることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれかに記載の点欠陥検出装置。
12. 前記表示装置は、前記点欠陥情報を点欠陥の種類別に分類した情報として表示することを特徴とする請求項１１記載の点欠陥検出装置。
13. 前記表示装置は、点欠陥情報をその点欠陥の種類と欠陥位置の情報として表示することを特徴とする請求項１１又は１２記載の点欠陥検出装置。
14. 前記ノイズ除去機能、点欠陥強調機能及び点欠陥検出機能は、コンピュータ装置による演算処理により実行されることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれかに記載の点欠陥検出装置。
15. 前記光変調装置は、液晶パネルであることを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれかに記載の点欠陥検出装置。
16. 光変調装置の点欠陥検出方法において、
    光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込む工程と、
    空間フィルタを使用した演算処理により、撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除去する工程と、
    点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、
    点欠陥部が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報を検出する工程と、
    からなる点欠陥検出方法。
17. 光変調装置の点欠陥検出方法において、
    前記光変調装置の１００％付近の輝点は飽和させる条件で、光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込む工程と、
    撮り込まれた画像データから点欠陥部以外のノイズを除去する工程と、
    点欠陥部以外のノイズが除去された画像データに対し、点欠陥を強調する工程と、
    点欠陥部が強調された画像データ基づいて、点欠陥情報を検出する工程と、
    からなる点欠陥検出方法。
18. 前記光変調装置にパターンを表示させ、該パターンにより前記光変調装置によって変調された光に基づく画像パターンを撮り込むことを特徴とする請求項１６又は１７記載の点欠陥検出方法。
19. 前記光変調装置にパターンを表示させ、前記光変調装置によって変調された光に基づいた画像を投影し、投影された画像を撮り込むことを特徴とする請求項１６又は１７記載の点欠陥検出方法。
20. 前記光変調装置に光を照射し、前記光変調装置にパターンを表示させ、該パターンにより前記光変調装置によって変調された光に基づく画像を撮り込むことを特徴とする請求項１６又は１７記載の点欠陥検出方法。
21. 前記光変調装置によって変調された光を撮り込む際、光を減衰させる減衰手段を介して撮り込むことを特徴とする請求項２０記載の点欠陥検出方法。
22. 撮り込まれた画像データの輝度むらを補正する工程からなる請求項１６から請求項２１のいずれか記載の点欠陥検出方法。
23. 前記輝度むらを補正する工程は、光学的に場所による透過率を変化させたグラディエントフィルタを使用して補正を行うことを特徴とする請求項２２記載の点欠陥検出方法。
24. 前記輝度むらを補正する工程は、空間フィルタを使用した演算処理により補正を行うことを特徴とする請求項２２記載の点欠陥検出方法。
25. 点欠陥部を強調する際、空間フィルタを使用した演算処理により点欠陥部の強調処理を行うことを特徴とする請求項１６から請求項２４のいずれかに記載の点欠陥検出方法。
26. 前記光変調装置は液晶パネルであることを特徴とする請求項１６から請求項２５のいずれかに記載の点欠陥検出方法。

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