JP3673744B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一対のスクリューロータを回転させて気体の真空吸引と圧送とを行うことのできる昇圧機能を備えた真空ポンプに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
真空ポンプを用いて粉体や固形分等(例えば切粉、生ゴミ、塵芥、灰、石炭、汚泥、砂、セメント、小麦粉、雪等)の空気輸送を行う技術において、近年、イニシャルコストの削減を図るべく、配管のサイズダウンや、遠距離輸送や大量輸送のための高密度輸送が行われつつあり、風圧が2〜3.5kg/cm2Gと高くなる傾向にある。
【0003】
この圧力領域は通常のブロアー領域(上記圧力よりも低い)やコンプレッサの圧力(上記圧力よりも高く7〜8kg/cm2G程度)から外れており、空気輸送にブロアーを用いる場合は多段とし、コンプレッサを用いる場合は減圧して対応している。
【0004】
また、空気輸送の場合、一般には真空回収して圧送するという使い方が多く、この場合、真空ポンプとコンプレッサの二台が必要になる。例えば、真空ポンプでセパレータタンク内に粉体を吸引し、タンク内の粉体をロータリーバルブで一定量づつ配管中に落下させつつブロアー(昇圧力1Kg/cm2G以下のもの)又はコンプレッサ(昇圧力1Kg/cm2Gを越えるもの)の圧縮空気で圧送する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来のスクリュー真空ポンプをコンプレッサとして使用した場合、スクリューロータには、吐出圧Pdを受けて、Fa≒π/4(Da2−Db2)Pdなるスラスト力(軸力)が働き、この力がスクリューロータの固定側のベアリングに作用するため、ベアリング寿命を著しく短くしてしまうという問題があった。
【0006】
上記Da=スクリュー外径、Db=スクリュー谷(底)径、Pd=吐出圧である。例えば真空ポンプ専用として使用した場合、寿命Lh=3万時間のものが、圧力3kg/cm2Gのコンプレッサとして使用した場合は寿命Lh=数千時間と極端に短くなってしまう。
【0007】
そこで、ベアリングをサイズアップすべくロータシャフト径を大きくすると、スクリュー谷径が大きくなり、スクリューロータによる一回転当りの空気の押し除き量が少なくなってしまい、それを補うべくスクリューロータの回転数を増すと、振動や騒音が大きくなると共に潤滑性を高めなければならないという問題を生じ、押し除き量を増やすべくスクリューロータの外径を増せば、ポンプ自体が大型化するという問題を生じる。
【0008】
本発明は、上記した点に鑑み、圧力2〜3.5kg/cm2G程度の昇圧機として使用した場合でもベアリングの寿命を延ばすことができ、且つ吸入側を締め切って真空ポンプとしても使用できる、昇圧機能を備えた真空ポンプを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1に係る真空ポンプは、軸直角断面形状がエピトロコイド、円弧、擬アルキメデス曲線からなる一対のスクリューロータを噛み合わせた状態でケーシング内に回動自在に軸支させ、該一対のスクリューロータの回動でロータ軸方向に気体を圧縮して吐出させる真空ポンプにおいて、前記ケーシングの吸入側において前記一対のスクリューロータのシャフトに各々バランスピストンを設け、該バランスピストンで該スクリューロータ側の収容室と該バランスピストン側の加圧室とを区画させ、該加圧室に吐出圧を作用させて、昇圧時の該スクリューロータのスラスト力を打ち消すようにし、前記各バランスピストンが複数枚のプレート部と該プレート部間の隙間とを備え、一方のバランスピストンの該隙間に他方のバランスピストンの該プレート部が回転自在に進入したことを特徴とする。
上記構成により、一対のスクリューロータの回転で吸入側が低圧となり、吐出側が高圧となって、一対のスクリューロータが吸入側に押圧され、スクリューロータのシャフトの軸受(ベアリング)にスラスト力(軸方向の力)が作用しようとするが、吐出側の圧力がバランスピストンに作用してバランスピストンをシャフトと一体に吐出側に押圧するから、ベアリングのスラスト力が打ち消され、ベアリングに無理な力がかからない。
【0010】
また、複数枚のプレート部の間の隙間でラビリンスシールが構成され、プレート部の外周面と収容室の内周面とが非接触であっても、加圧室から収容室への圧力洩れが極めて小さく抑えられる。両バランスピストンのプレート部が交互に位置することで、両バランスピストン間における隙間洩れが防止される。
【0011】
請求項2に係る真空ポンプは、請求項1記載の真空ポンプにおいて、前記バランスピストンの外径をD1,谷径をD2、前記スクリューロータの外径をDa,谷径をDb、前記シャフトの軸間距離をHとした時、H=(D1+D2)/2=(Da+Db)/2であることを特徴とする。
上記構成により、バランスピストンの外径D1がスクリューロータの外径Daに等しく、バランスピストンの谷径D2がスクリューロータの谷径Dbに等しいから、圧力が作用するバランスピストンの面積とスクリューロータの面積とが等しく、吐出圧で押圧されて生じるスラスト力がバランスピストンとスクリューロータとで同一となり(力の方向は逆である)、シャフトの軸受に作用するスラスト力が確実に打ち消される。
【0012】
請求項3に係る真空ポンプは、請求項1又は2記載の真空ポンプにおいて、前記吐出圧を前記バランスピストンに作用させる時は昇圧機として運転し、真空ポンプとして働かせる時は、吐出側の気体をクーラを介して前記スクリューロータ側の収容室の吐出側に近い位置に冷気として吸引させることを特徴とする。
上記構成により、昇圧機として吐出側を高圧とした場合は上述の如くバランスピストンにより軸受の摩耗等が防止され、真空ポンプとして吸入側を真空とし、吐出側を大気圧とした場合は、クーラからの冷気で吐出側が冷却され、例えば粉体等の吸引回収が確実に行われると共に、スクリューロータが冷却される。
【0013】
請求項4に係る真空ポンプは、請求項3記載の真空ポンプにおいて、前記ケーシングの吐出口を前記クーラに連通させ、該クーラを第一の入口弁を介して前記加圧室に連通させると共に、第二の入口弁を介して前記吐出側に近い位置に連通させ、前記昇圧機又は真空ポンプとして働かせる際に両入口弁を選択的に開閉することを特徴とする。
上記構成により、昇圧機として働かせる時は第一の入口弁を閉じて第二の入口弁を開け、真空ポンプとして働かせる時は第一の入口弁を開けて第二の入口弁を閉じる。吐出口から出た高圧気体の一部がクーラに導入されて冷却され、入口弁を経てバランスピストン側の加圧室又は収容室の吐出側に導入される。加圧室又は収容室の吐出側は冷気で冷却される。
【0014】
請求項5に係る真空ポンプは、請求項1〜4の何れか1項に記載の真空ポンプにおいて、前記加圧室の入口にオリフィスを設け、該オリフィスを介して前記吐出圧を該加圧室に作用させることを特徴とする。
上記構成により、加圧室内の圧力が必要以上に高くなることが防止され、これにより、バランスピストンから収容室内へのリークの増加や真空ポンプの容積効率の低下が防止される。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は、本発明に係る真空ポンプの一実施形態の内部構造を示す断面図である。
【0016】
この真空ポンプ1は、金属製のケーシング2の内部に右螺旋と左螺旋の一対のスクリューロータ3,4を噛み合わせた状態に設け、ケーシング2の一方のギヤケース室5内で一対のスクリューロータ3,4の各シャフト6,7の一端部を各タイミングギヤ8を介して回動自在に連結させ、ケーシング2の他方のベアリングカバー9の内部で一対のスクリューロータ3,4の各シャフト6,7の他端部を各ベアリング10で回動自在に支持させ、ケーシング2の一方に吸入口11を設け、ケーシング2の他方に吐出口12を設けた真空ポンプ1であって、吸入口11側でケーシング2の内部に一対のバランスピストン13,14を設け、一方のバランスピストン13を一方のスクリューロータ3のシャフト6に固定し、他方のバランスピストン7を他方のスクリューロータ4のシャフト7に固定して、各バランスピストン13,14を各スクリューロータ3,4と一体に回動自在とし、バランスピストン13,14を境に一方に加圧室16を形成し、他方(スクリューロータ側)に前記吸入口11に続く収容室17を位置させ、吐出圧による一対のスクリューロータ3,4の軸方向の付勢力を、加圧口15からバランスピストン13,14に作用する圧力で相殺して、ベアリング10にかかる過大な軸方向負荷をなくしたことを特徴とするものである。
【0017】
ケーシング2は一対のスクリューロータ3,4を並列に収容するように幅方向(軸直交方向)に略眼鏡状に形成され、軸方向の一方に吸入口11を有し、他方に吐出口12を有している。スクリューロータ3,4は既存のものであり、図4で詳細に後述する。ケーシング2とベアリングカバー9、ギヤケース室5との間は隔壁18,19で気密に区画されている。本形態でケーシング2とギヤケース(符号5で代用する)は一体である。一対のスクリューロータ3,4の各シャフト6,7は各隔壁18,19を貫通してギヤケース室5とベアリングカバー9内に突出している。
【0018】
一方の隔壁18側で各シャフト6,7は一方のベアリングであるコロ軸受20で回動自在に支持され、ギヤケース室5内のタイミングギヤ8にキーとテーパ部材とで固定されている。コロ軸受20は内輪と外輪と両輪の間の円柱状の複数のコロとで成り、シャフト6,7を軸方向にある程度移動可能に支持しており、シャフト6,7が使用時の熱膨張で伸びる等しても軸方向に伸びを吸収可能である。一対のタイミングギヤ8は相互に歯合されている。隔壁18とバランスピストン13,14との間に狭い加圧室(空室)16が形成され、加圧室16は加圧口(入口)15で外部に続いている。
【0019】
ケーシング2の他方の隔壁19の外側のベアリングカバー9内で各シャフト6,7は他方のベアリングであるアンギュラ玉軸受10で支持され、一方のシャフト6は外側に延長されてその延長部がダブルメカシール21で密封されつつモータ22(図3)に接続される。アンギュラ玉軸受10は三つが一組となってそのうちの二つがスラスト力を受ける三連式組合せアンギュラ玉軸であり、各内輪と外輪と両輪の間の複数のボールとで成り、各内輪はシャフト6,7の外周面に固く密着固定され、各外輪は共通のホルダ23に固定され、ホルダ23は隔壁19に続く枠壁24に固定されている。三連式組合せアンギュラ玉軸受10は前側の二つと後側の一つとでボールの接触角を相違させてある。
【0020】
アンギュラ玉軸受10はコロ軸受20に較べて転がり抵抗が低く、高回転に向いている。コロ軸受20はアンギュラ玉軸受10と違ってシャフト6,7の軸方向移動が許容されており、スラスト力を受けず、ラジアル方向(径方向)の重荷重を受ける。三連式組合せアンギュラ玉軸10はスラスト力に強いが、吐出圧がスクリューロータ3,4に作用した際におけるスラスト力を打ち消してベアリング寿命をさらに向上させるべく、前記バランスピストン13,14を設定している。
【0021】
バランスピストン13,14は、図2にその要部断面図を示す如く、左右一組のものを前後対称に配置して構成され、左右の各バランスピストン13,14は金属製の円盤状のプレート25を軸方向に複数枚(本形態では四枚)積み重ねて構成され、各プレート25は中央に突出した小径のボス部25aと、ボス部25aと同心で且つボス部25aよりも若干板厚の薄い大径のプレート主体部(プレート部)25bとで構成されている。
【0022】
各ボス部25aは軸方向に接合され、各プレート主体部25bは平行に位置し、各プレート主体部25bの間に環状の隙間26が構成され、この隙間26に隣のバランスピストン(13又は14)のプレート主体部25bが回転自在に進入している。各プレート主体部25bは相互に若干の隙間を存して非接触で位置している。なお、熱膨張係数の小さな材料を用いて、両バランスピストン13,14の隙間をより小さくして、隙間洩れを少なくすることも可能である。
【0023】
各プレート主体部25bの外径すなわちバランスピストン13,14の外径は各スクリューロータ3,4の外径と等しく、各ボス部25aの外径すなわちバランスピストン13,14の谷径はスクリューロータ3,4の谷径に等しい。スクリューロータ3,4の外径をDa、スクリューロータ3,4の谷径をDb、バランスピストン13,14の外径をD1、バランスピストン13,14の谷径をD2、一対のスクリューロータ3,4のシャフト6,7の軸間距離をHとした時、H=(D1+D2)/2=(Da+Db)/2である。
【0024】
バランスピストン13,14の各ボス部25aの内径側がキー27でシャフト6,7に周方向不動に位置決め固定され、バランスピストン13,14の前端がスクリューロータ3,4の谷部28の端面28aに当接し、バランスピストン13,14の後端がストッパプレート29に当接し、バランスピストン13,14はスクリューロータ3,4とシャフト6,7と一体に軸方向に若干の距離(ベアリングの遊び程度の距離)で移動可能である。スクリューロータ3,4とシャフト6,7はキー等の手段で周方向と軸方向に不動に固定されている。
【0025】
バランスピストン13,14の複数枚のプレート主体部25bとその間の隙間26とでラビリンスシールが構成され、それにより、加圧口15からの気体圧力(空気圧)も対してプレート主体部25bの外周面とケーシング2の内筒部30の内周面との間の隙間h’からの圧力洩れが少なくなっている。この僅かな隙間h’によってバランスピストン13,14とケーシング2との接触焼付が防止されている。
【0026】
なお、加工が可能であれば複数枚のプレート25ではなく、一本の短円柱状の金属部材に環状の隙間26を複数並列に形成してバランスピストン13,14を構成させてもよい。プレート主体部25間の隙間26はポンプ作用を奏するものではなく、バランスピストン13,14を境とした前後の空室間(収容室17と加圧室16)の密封を確保するためにある。
【0027】
両方のバランスピストン13,14の各プレート主体部25bは互い違いに位置して軸方向の若干の隙間hを存して交互に回動自在に歯合している。一対のバランスピストン13,14は一対のスクリューロータ3,4と同様に、ケーシング2内の例えば略眼鏡状の空室を径方向にラップ(連通)させた形状(略8の字状)の収容室17内に収容されて、各スクリューロータ3,4と一体に回転自在である。ケーシング2内において一方の隔壁18と各バランスピストン13,14との間の加圧室16は加圧口15に続いている。
【0028】
図3に、真空ポンプ1と外部配管及びモータ22との接続状態を示す如く、加圧口15は絞り部であるオリフィス31と第一の入口弁32とを経て外部の配管33に続き、配管33は図3で左回りに見てフィルタ34を介して送冷クーラ35に続き、送冷クーラ35は短い配管を経てケーシング2の前端側の吐出口12に続いている。また、第一の入口弁32から右回りに見て逆止め弁36と第二の入口弁37を経てケーシング2の送冷口(入口)38に続いている。送冷口38は吐出口12とは径方向のほぼ180゜反対側に位置し、軸方向で見れば送冷口38は吐出口12よりもやや吸入口11寄りに位置している。
【0029】
吐出口12は図1の如くスクリューロータ3,4の吐出側の空室17に連通している。送冷クーラ35は冷却水入口39と螺旋状の冷却水通路40と冷却水出口41と内側の吐出空気通路とを有し、吐出口12から吐出された気体を冷却して加圧口32側に送る。フィルタ34は送冷クーラ35で冷却された気体から塵芥等を取り除く。第一の入口弁32は開閉自在であり、開操作で、吐出圧の負荷された気体をオリフィス31を介してバランスピストン13,14側の加圧室16(図1)に送る(この際、第二の入口弁36は閉じておく)。オリフィス31は圧送時(昇圧機として使用時)の加圧室16や収容室17内の過大な圧力上昇を防ぐ。
【0030】
第二の入口弁37も開閉自在であり、第一の入口弁32を閉じた状態で送冷クーラ35からの冷却気体を送冷口38からケーシング2内のスクリューロータ3,4の吐出側の収容室17に送る。逆止弁36は低真空時における送冷口38からの気体の逆流を防ぐ。
【0031】
図3で、符号11はケーシング2の吸入口、22はモータをそれぞれ示し、吸入口11は例えば外部の真空回収する側の粉体と空気の入ったセパレータタンク等に配管接続され、モータ22は軸継手41を介して図1の駆動側のシャフト6に接続されている。
【0032】
以下に本発明の昇圧機能を備えた真空ポンプ1の作用を詳細に説明する。
先ず、真空ポンプ1を昇圧機(コンプレッサ)として使用する場合、図3の第一の入口弁32を開けて、第二の入口弁37を閉じる。モータ22の駆動で、図1の駆動側のスクリューロータ3が回転し、同時にタイミングギヤ8を介して従動側のスクリューロータ4が駆動側3とは反対方向に回転し、吐出側12に向かうに従って気体が圧縮されて圧力が高くなる(一例として2〜3.5Kg/cm2G程度になる)。
【0033】
吐出側の圧力が高くなると、各スクリューロータ3,4に図2の矢印Faの如く吸入側に向かう軸力が作用し、吐出側で各スクリューロータ3,4のシャフト6,7に密着したベアリング(アンギュラ玉軸受)10の内輪が矢印Faの方向に押され、ベアリング10に軸力(ベアリングを傷めようとする力)が作用する傾向となる。
【0034】
ところが図3で圧縮気体は吐出口12から矢印の如く図示しない配管に送られると共に、圧縮気体の一部が送冷クーラ35やフィルタ34を経て第一の入口弁32からオリフィス31を通って吸入側のバランスピストン13,14の加圧室16に送り込まれるから、バランスピストン13,14が図2の矢印P1の如く圧力を一端面で均等に受けてスクリューロータ3,4を軸力Faとは反対方向に押圧し、これによりベアリング10に作用する軸力Faが打ち消される。
【0035】
すなわち、同じ大きさの吐出圧がスクリューロータ3,4とバランスピストン13,14とに同時に且つ逆向きに作用することで、スクリューロータ3,4の軸力が相殺され、これにより、ベアリング10の寿命が著しく延びることになる。
【0036】
コロ軸受20は上記の如く軸力吸収性を有するので軸力Faを全く受けず、アンギュラ玉軸受10に全ての軸力Faが作用する。
【0037】
空気を圧送する際、第一の入口弁32に導入される気体は送冷クーラ35で冷却される必要がある。それによりバランスピストン13,14が冷却される(吸気側が冷やされる)。真空使用時には第一の入口弁32は閉止される。
【0038】
スクリューロータ3,4の外径をDa、スクリューロータの谷径をDb、吐出圧をPd、軸力をFaとすると、Fa≒π/4(Da2−Db2)Pdである。スクリューロータ3,4には半径方向のラジアル荷重として交番荷重(正負等大の繰り返し荷重)が作用するが、上記軸力に較べて遙かに小さな荷重であり、何ら問題になるものではない。
【0039】
第一の入口弁32と加圧口15との間にはオリフィス31が設けられているが、これは、バランスピストン13,14からの隙間洩れが加圧室16内の圧力の作用で大きくなるために、ベアリング10の寿命と隙間洩れによる効率低下を考慮して圧力絞りを入れて、必要以上の圧力上昇を防いだことによる。
【0040】
隙間洩れ量は一般に次の式で与えられる。
G=0.000313VF√{P1/(Z+1.5)U1×60}
ここで、G;隙間洩れ量、P1;高圧側圧力Kg/cm2ab、U;比容積RT/P1m3、R;気体常数=29.27Kgfm/KgfK、P0;低圧側圧力1.033Kg/cm2ab、Z;ラビリンスの絞り段数、f;絞り部の平均隙間面積、V;流量係数、Pc;臨界圧力Kg/cm2、Pc=0.85P1/√(Z+1.5)である。√は大括弧で括られた数値全体にかかるものである。
【0041】
このように、オリフィス31は高圧側(加圧室側)の圧力P1を調節し、隙間洩れ量Gを抑制し、容積効率の悪化を防止する。オリフィス31に代えて入口弁32でその役目を代用させることもできるが、前もってオリフィス31で絞りを効かせておくことで、入口弁32は全開か全閉かの操作で済み、作業(制御)が容易である。
【0042】
例えば吐出圧が2Kg/cm2Gまではベアリング10の寿命はLh=3万Hrs以上ある訳であるから、吐出圧Pdが2Kg/cm2G以上場合、例えばPd=3.5Kg/cm2Gの時は、P1=3.5−2=1.5(Kg/cm2)にすれば、寿命Lh=3万Hrsが達成されることになる。ここで、加圧室16の圧力P1=3.5Kg/cm2Gにすれば、寿命Lh=∝(ほぼ全く破損することがない)となるが、その代わりバランスピストン13,14からの隙間洩れ量Gが増え、真空ポンプ(昇圧機)1の容積効率は低下する。
【0043】
容積効率を向上させるには、バランスピストン13,14の外周とケーシング2の内周との間の隙間や各バランスピストン13,14間の隙間を小さくして隙間洩れを少なくすることが必要である。この隙間を小さくするために、例えばノビナイト鋳鉄という、熱膨張係数が通常の鉄に較べて1/5程度のものをバランスピストン材やケーシング材に使用することも有効であり、これをスクリューロータ材に適用することも可能である。
【0044】
次に、真空ポンプ1を真空引き用に使用する場合は、図3の第一の入口弁32を閉じて第二の入口弁37を開く。ケーシング2の吸入口11には、例えば吸引する側の気体と溶剤(液体)の入ったタンク等を接続しておく。吸入口11を吸入弁(図示せず)で締め切ることも可能である。第一,第二の入口弁32,37の切替を電気的に行わせることも可能である。
【0045】
前記昇圧機として作動させた場合と同様にモータ22の駆動で一対のスクリューロータ3,4が回り、例えば粉体等が吸引されてセパレータタンク内に回収される。
【0046】
図3で吐出口12へ排出された気体の一部が送冷クーラ35へ導入されて冷却された後、配管33の途中のフィルタ34で濾過され、逆止弁36を通って第二の入口弁37からケーシング2の送冷口38を経て吐出側に近い(吐出口12とはほぼ180゜反対側の)収容室17内に導入される。これにより、収容室17及びスクリューロータ3,4が冷却され、例えば収容室17内の溶剤の凝縮が促進されて、スクリューロータ3,4による吸引力が増大し、真空ポンプとして大いに作用することになる。
【0047】
スクリューロータ3,4は図1の如くモータ22(図3)に直結した右螺旋の駆動側3と、タイミングギヤ8を介して回動する左螺旋の従動側4とで成り、各スクリューロータ3,4は同一形状のものが180゜反転した状態で摺動自在に歯合されている。各スクリューロータ3,4は谷部28(図2)と、谷部28の外側の非対称の螺旋歯42とを備え、谷部28の内側にシャフト6,7を備えている。
【0048】
図4に一対のスクリューロータ3,4の噛み合わせた状態の軸直角方向断面を示す如く、各螺旋歯42は、谷部28(図2)の外周を構成する小径のほぼ1/4周の円弧43と、円弧43の一方に続く擬アルキメデス曲線44と、円弧43の他方に続くエピトロコイド曲線45と、螺旋歯外周の大きな円弧46とで構成され、擬アルキメデス曲線44の裾側とエピトロコイド曲線45の裾側は大きな円弧46に滑らかに続いている。図4で符号47は回転中心を示す。
【0049】
一対のスクリューロータ3,4がケーシング2内で矢印の如く逆向きに回転し、あるところまで圧縮なしで等容積で移動し、サイドケース9側の隔壁19に設けた吐出ポート12a(図1)がスクリューロータ4の端面で閉止された状態から開になる直前の1/2回転のところで気体が圧縮されて、吐出ポート12aの開と同時に排出される。詳細については特開昭63−36085号公報参照。
【0050】
本発明におけるバランスピストン13,14(図1)は、上記曲線形状以外のスクリューロータを使う真空ポンプにも適用可能である。また、バランスピストン13,14は密封性さえ良ければ複数枚ではなく一枚であってもよく、また複数枚を一体化させたものでもよい。プレート主体部25b(図2)の枚数は二枚でも三枚でもそれ以上でもよいが、ラビリンスシールの観点から四枚程度が妥当である。
【0051】
また、上記実施例ではスクリューロータ3,4とシャフト6,7とバランスピストン13,14とは一体に同一回転数で回転するが、バランスピストン13,14を例えばスラストベアリング等を介してシャフト6,7とは別個に回転自在とすることも可能である。この場合、バランスピストン13,14は軸方向の隙間やガタ付きなくスクリューロータ3,4の端面28aに当接していることが必要である。
【0052】
図5は、参考までに上記真空ポンプの使用状態の一形態を示すものであり、図5で、符号1は真空ポンプ、51,52はサイレンサ、53はセパレータタンク、54はロータリバルブ、55〜58は弁、59,60は配管、61は吸引ホース、62は回収物である例えば粉体をそれぞれ示す。
【0053】
第一の弁55はサイレンサ51と真空ポンプ1の吸入口を結ぶ吸入側の配管59aに設けられ、第二の弁56はタンク53と吸入側の配管59aを接続する配管60に設けられ、第三の弁57は真空ポンプ1の吐出側の配管59bとサイレンサ52を結ぶ配管の途中に設けられ、第四の弁58はタンク53とロータリバルブ54の間に設けられている。
【0054】
吸引の際は、第二の弁56と第三の弁57を開け、圧送方向(矢印A方向)とは反対側の第一の弁55とタンク下側の第四の弁58とを閉めて、真空ポンプ1を作動させ、作業者が吸引ホース61で回収物62をタンク53内に回収する。
【0055】
回収物62’を圧送(空気輸送)する際は、逆に第二と第三の各弁56,57を閉め、第一と第四の各弁55,58を開けて、真空ポンプ1を作動させることで、タンク53内の回収物62’がロータリバルブ54で一定量づつベース配管59内に落下しつつ真空ポンプ1の吐出圧で圧送される。
【0056】
【発明の効果】
以上の如く、請求項1記載の発明によれば、昇圧機として働かせた際に、スクリューロータの軸受(ベアリング)に大きなスラスト力が作用しようとするが、バランスピストンがその力を打ち消すことで、ベアリングの負荷が軽減され、ベアリングの寿命が格段に延びる。これにより、真空ポンプを例えば吐出圧2〜3.5kg/cm2Gの昇圧機としても何ら問題なく使用することができ、粉体や固形物等の空気輸送における配管のサイズダウンや、遠距離輸送・大量輸送のための高密度輸送に、コンプレッサを使わずに真空ポンプだけで確実に対応することができる。
【0057】
また、ラビリンスシール作用によってバランスピストン側の加圧室からスクリューロータ側の収容室への圧力洩れが極めて小さく抑えられ、スクリューロータ側の圧縮効率の低下が防止される。
【0058】
請求項2記載の発明によれば、バランスピストンとスクリューロータとで圧力作用部の面積が等しいから、スラスト力がバランスピストンとスクリューロータとで同一となり(力の方向は逆)、ベアリングに作用するスラスト力が確実に打ち消されて、ベアリングの寿命が一層確実に向上する。
【0059】
請求項3記載の発明によれば、昇圧機として働かせた場合は上述の如くバランスピストンによりベアリングの摩耗等が防止され、真空ポンプとして働かせた場合は、クーラからの冷気で吐出側が冷却され、例えば粉体等の真空回収が確実に行われると共に、スクリューロータが冷却されて、スクリューロータの熱膨張によるケーシングとの接触・焼付が防止される。
【0060】
請求項4記載の発明によれば、各入口弁の開閉操作で昇圧機と真空ポンプとの使い分けを容易に行うことができる。また、バランスピストンが冷却されることで、バランスピストンの熱膨張によるケーシングとの接触や焼付が防止される。
【0061】
請求項5記載の発明によれば、加圧室内の圧力が必要以上に高くなることが防止され、これにより、バランスピストンから収容室内へのリークの増加や真空ポンプの容積効率の低下が防止される。それにより、バランスピストンによるスラスト力の打ち消し作用が確実に行われると共に、スクリューロータによる圧縮効率の低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る真空ポンプの一実施形態を示す横断面図である。
【図2】同じく真空ポンプのバランスピストン組付部を示す拡大断面図である。
【図3】真空ポンプとその駆動機構及び配管状態の外観を示す平面図である。
【図4】真空ポンプのスクリューロータの一形態を示す軸直角断面形状図(説明図)である。
【図5】真空ポンプの使用状態の一形態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 真空ポンプ
2 ケーシング
3,4 スクリューロータ
6,7 シャフト
12 吐出口
13,14 バランスピストン
16 加圧室
17 収容室
25b プレート主体部(プレート部)
26 隙間
31 オリフィス
32 第一の入口弁
35 送冷クーラ(クーラ)
37 第二の入口弁
Fa スラスト力
Claims (5)
- 軸直角断面形状がエピトロコイド、円弧、擬アルキメデス曲線からなる一対のスクリューロータを噛み合わせた状態でケーシング内に回動自在に軸支させ、該一対のスクリューロータの回動でロータ軸方向に気体を圧縮して吐出させる真空ポンプにおいて、
前記ケーシングの吸入側において前記一対のスクリューロータのシャフトに各々バランスピストンを設け、該バランスピストンで該スクリューロータ側の収容室と該バランスピストン側の加圧室とを区画させ、該加圧室に吐出圧を作用させて、昇圧時の該スクリューロータのスラスト力を打ち消すようにし、
前記各バランスピストンが複数枚のプレート部と該プレート部間の隙間とを備え、一方のバランスピストンの該隙間に他方のバランスピストンの該プレート部が回転自在に進入したことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記バランスピストンの外径をD 1 ,谷径をD 2 、前記スクリューロータの外径をDa,谷径をDb、前記シャフトの軸間距離をHとした時、H=(D 1 +D 2 )/2=(Da+Db)/2であることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記吐出圧を前記バランスピストンに作用させる時は昇圧機として運転し、真空ポンプとして働かせる時は、吐出側の気体をクーラを介して前記スクリューロータ側の収容室の吐出側に近い位置に冷気として吸引させることを特徴とする請求項1又は2記載の真空ポンプ。
- 前記ケーシングの吐出口を前記クーラに連通させ、該クーラを第一の入口弁を介して前記加圧室に連通させると共に、第二の入口弁を介して前記吐出側に近い位置に連通させ、前記昇圧機又は真空ポンプとして働かせる際に両入口弁を選択的に開閉することを特徴とする請求項3記載の真空ポンプ。
- 前記加圧室の入口にオリフィスを設け、該オリフィスを介して前記吐出圧を該加圧室に作用させることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の真空ポンプ。
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