JP3672766B2 - 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 - Google Patents
情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等の情報記録媒体（光ディスク）、その型であるスタンパ、原盤、及びその製造方法と製造装置である露光装置に係わる。特に、深さの異なるピットとグルーブを同一面上に持つ情報記録媒体とその型であるスタンパ、原盤及びその製造方法と製造装置である露光装置に係わる。
【０００２】
【従来技術】
従来、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等の光ディスクは、円盤状のガラス板にフォトレジスト膜を形成し、これを露光装置で回転させながらレーザー光を照射してフォトレジスト膜にらせん状の潜像を形成し、これを現像して潜像部分を溶解して、ピット、グルーブを形成し、これに導電膜をつけ電鋳してスタンパを作る。スタンパを型として成形板を多量に複製する。これに色素等の記録剤を塗布し、反射層、保護層を形成して光ディスクは作成される。
【０００３】
一般のＣＤ−Ｒの場合、情報領域にグルーブのみが形成され、ここにＣＤライターで情報が後で記録されるが、ハイブリッドＣＤ−Ｒは、一部に露光装置で情報が予め記録される。このハイブリッドＣＤ−Ｒの作成法を図１に説明する。
中間層を問に挟んでガラス枚１上に２層のフォトレジスト２，１２を形成し、深いピットと浅いグルーブを露光光量で作り分け、上層フォトレジスト１２の上面から下層フォトレジスト２の下面までの探さの深いピットと、上層フォトレジスト１２の上面から下層フォトレジスト２の上面までの深さの浅いグルーブを持つスタンパ７を作成する。これを成形して図１と同様に全面に記録剤９を塗布し、反射層１０、保護層１１を形成して一部に露光装置で情報が予め記録されたハイブリッドＣＤ−Ｒが作成される（図１参照）。
【０００４】
ハイブリッドＣＤ−Ｒの場合、ピッチ１．６μｍ、幅約０．３〜０．７μｍ、フォトレジスト膜と同じ深さの台形状のグルーブが情報領域１５に形成され、情報領域１５の内側の内周ミラー面１６と外側の外周ミラー面は露光されず、グルーブは形成されない。また、ハイブリッドＣＤ−Ｒ記録領域１０に台形状のグルーブが形成され、ＲＯＭ１３は、予め記録される情報の変調信号が、デジタル変調器２０に入力され、ピット１３が形成される。
【０００５】
露光装置について図３に説明する。レーザー光３をアナログ変調器２２で光量制御信号２１により光量を調整し、デジタル変調器２４でデジタル信号２３によりパルス光に変調し（ピットの場合。）、ビームエキスパンダー２７で太くしたレーザー光３を対物レンズ２０で集光してガラス板１上のフォトレジスト２に照射する。ガラス板１はターンテーブル２９で回転しながら一定速度で移動するので、図３のように一定ピッチでらせん状に潜像４が形成される。これを現像すれば、ピット、グルーブが形成する。
【０００６】
ＣＤ−Ｒの場合、ピッチ１．６μｍで幅約０．３〜０．７μｍ、フォトレジスト膜厚と同じ探さの台形状のグルーブが情報領域１５に形成され、情報領域１５の内側の内周ミラー面１６と、外側の外周ミラー面１７は露光されず、グルーブは形成されない。また、ハイブリッドＣＤ−ＲCD−Rは、記録領域１９に台形状のグルーブ１４が形成され、ＲＯＭ領域１８は、予め記録される情報の変調信号が、デジタル変調器２４に入力され、ピット１３が形成される。
【０００７】
次に、他の従来例について説明する。この特許のハイブリッドＣＤ−Ｒに関する部分は、図１のように原盤のミラー面のレジストを露光と現像で取り除いてしまい、ミラー面の平坦化とスタンパ剥錐後のレジスト除去の簡略化を実現している。中間層６を介して２層レジストを形成した原盤では、ガラス剥離時に図２のようにスタンパの情報領域１５との境界のミラー面にレジストが残る。このような場合この残ったレジストをアセトン等の溶剤で除去しようとすると、図２のように境界にレジスト、中間層材料が残ってしまう場合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来法では、ミラー面のレジストの除去を露光と現像で実現しているが、実際に露光で完全に除去するためには大きな露光光量が必要でまた、ピッチを小さくしなければならないため、ミラー面全体のレジストを完全に除去する、ためには長大な露光時間が必要であった。
【０００９】
すなわち、本発明の目的は下記課題を解決することにある。
１．前記ミラー面のレジストの除去（特にミラー面と情報領域の境界にレジストが残りやすい問題）の問題を解決し、かつ、上記の露光時間の短縮を実現し、さらにはスタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤、および該情報記録媒体の原盤の作成方法を提供すること、および
２．スタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤を作成できる露光装置を提供すること。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記情報記録媒体の原盤、情報記録媒体の原盤作製用の露光装置、および情報記録媒体の原盤の製造方法を提供することにより、解決することができた。
１．深さの異なるピット及びグルーブが形成された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作製用の原盤であって、内周ミラー面および／または外周ミラー面と情報領域の間にミラー面と情報領域を分離する深い溝が作成されたものであることを特徴とする情報記録媒体の原盤。
２．フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の情報記録媒体の原盤の製造方法。
３．前記の「深い溝」とは、ピットと同じ深さが望ましいが、グルーブ深さより深ければ効果がある。フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光する機能を有し、更にピッチとピッチを切り替える際に所定時間円盤状のガラス基板の送りを停止させる手段を有することを特徴とする情報記録媒体の原盤作製用の露光装置。
【００１１】
以下、本発明を図面に基づいて具体的に説明する。
本発明の第１の実施例を図４に示す。露光工程以外の情報記録媒体の作成工程は、従来例（図１参照）と同様である。Ｎｉスタンパ７上に下層ポジ型フォトレジスト膜２として、ポジ型フォトレジストを塗布して形成し、中間層としてＰＶＡ６を形成し、さらに上層フォトレジスト膜１２としてポジ型フォトレジストを塗布する。これを内周からグルーブは低い光量で、ピットは高い光量で露光する。この時、最内周グルーブ露光開始時に３秒間以上横送りを停止させたまま回転させながら露光し、その後グルーブの露光を開始する。また、最外周グルーブ終了後にも、回転させながら３秒間以上横送りを停止させたまま露光する。これにより、光量をそのままでも、同じトラックを繰り返し露光することになるので、ガラス板面まで露光され、ミラー面と、情報領域を分離する深い溝３５、３６を作成できる。これにより、図４のように、ガラス剥維後のレジスト除去でミラー面と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑えられる。この方法により作成されたＣＤ−Ｒハイブリッドディスクを図７に示す。ミラー面と情報領域の境界、特に内側の境界３３にレジスト残りが発生すると塗布ムラを発生させる原因になっていたが、これをなくすことができる。
【００１２】
本発明の第２の実施例を図５に示す。２層のフォトレジストが形成された原盤を内周ミラー面１６の途中から情報記録媒体のピッチの約１／２以下で露光開始する。露光開始位置は、ミラー面と情報領域の境界のレジスト残りをなくすためだけであれば、最内周グルーブより１ｍｍ以上内周からスタートすればよいが、記録剤の塗布性をよくするため、記録剤が塗布される半径より内側からスタートする。ＣＤ−Ｒの場合には約２０ｍｍから記録材が塗布され、２０ｍｍの少し内側から情報領域のピッチの約１／２以下で露光開始し、情報領域でピッチを切り換える。これにより、グルーブと同じ深さのミラー面１７を情報領域の開始位置まで作成することができる。
【００１３】
情報領域露光終了後、再度ピッチを情報記録媒体のピッチの約１／２以下にしで情報領域の終了位置から１ｍｍ以上露光する。これにより、グルーブと同じ探さのミラー面を外周に作成することができる。倍速露光した場合、半径１９ｍｍから６１ｍｍまで露光すると、ミラー面作成に要する時間は、約９分増加するだけである。図５のように、ガラス剥離後のレジスト除去で境界部３３、３４中間層が除去されているので、ミラー面と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑えられる。この方法により作成されたＣＤ−Ｒハイブリッドディスクは、ミラー面と情報領域の境界、特に内側の境界３５にレジスト残りがなく、また、平坦性が良い。
【００１４】
本発明の第３の実施例を図６に示す。２層のフォトレジスト２、１２が形成された原盤を第２の実施例と同様に内周ミラー面の途中から情報記録媒体のピッチの約１／２以下で露光開始する。情報領域との境界まで露光し、ここでピッチを情報領域のピッチに切り換える前に３秒間以上横送りを停止させたまま回転させながら露光し、その後グルーブの露光を開始する。これにより、情報領域と内周ミラー面の境界にギャップ３５を作成でき、さらに、グルーブと同じ深さのミラー面を内周に作成することができる。
【００１５】
また、最外周グルーブ終了後にも、回転させながら３秒間以上横送りを停止させたまま露光し、その後ピッチを情報記録媒体のピッチの約１／２以下に切り換えて情報領域の終了位置から１以上露光する。これにより、情報領域と外周ミラー面の境界にギャップ３６を作成でき、さらに、グルーブと同じ探さのミラー面を外周に作成することができる。この時の露光機のピッチの制御を図９に示す。この制御方法により、第２の実施例と同様１０分以下の露光時間の増加でグルーブ探さのミラー面とギャップを作成でき、レジスト除去時のレジスト残りをなくし、高品質なＣＤ−Ｒハイブリッドディスクを作成できる。
【００１６】
【効果】
請求項１
ミラー面と情報領域の間に深い溝を設けたので、ガラス基板剥離時のレジスト除去工程でスタンパのミラー面の情報領域との境界にレジストが残りにくく、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げる。これにより、スタンパ歩留まりの改善と、情報記録媒体の高品質化が計れる。
請求項２
ピットと略同じ探さの溝を設けたので、ガラス基板剥離時のレジスト除去工程で境界部に中間層が残らないので、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げ、かつ、ピットと略同じ深さの溝なのでその作成が容易である。
請求項３
情報領域との境界部のミラー面をグルーブと略同じ深さにしたので、ガラス剥離時にスタンパのミラー面の情報領域との境界に中間層が残らないので、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げる。かつ、グルーブと略同じ深さのミラー面をレジストが残る可能性のある境界部だけにしたので、短時間で作成できる。
請求項４〜５
グルーブ深さのミラー面と、ピット深さのミラー面と情報領域を分離するギャップを短時間で作製できる。
請求項６
短時間に情報領域の境界部の上層レジストと中間層を現像工程で除去できる原盤を作製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例のＣＤ−Ｒの作製工程を説明した図である。
【図２】従来例のＣＤ−Ｒの作製工程において、レジスト、中間層材料が残存することを説明した図である。
（ａ）ガラス板剥離時の状態。
（ｂ）レジストの除去途中工程の状態。
（ｃ）情報領域境界にレジスト、中間層材料が残存した状態。
【図３】露光装置を説明した図である。
【図４】第一の実施例を説明した図である。
【図５】第二の実施例を説明した図である。
【図６】第三の実施例を説明した図である。
【図７】請求項３で作製された原盤から作られた情報記録媒体〔ミラー面１６の情報領域との境界部にグルーブと同じ深さのミラー面３７（通常のミラー面は深さ０）と深い溝３５（ピットと同じ深さを有する。）〕。
【図８】分離する溝を有する原盤から作られた情報記録媒体。
【図９】第三の実施例の露光機によるピッチ制御を説明した図である。
【符号の説明】
１ ガラス板
２ 下層フォトレジスト膜
３ レーザー光
４ 潜像
６ 中間層
７ Ｎｉスタンパ
８ 成形板
９ 記録剤
１０ 反射層
１１ 保護層
１２ 上層フォトレジスト層
１３ ピット
１４ グルーブ
１５ 情報領域
１６ 内周ミラー面
１７ 外周ミラー面
１８ ＲＯＭ領域
１９ 記録領域
２０ レーザー
２１ 光量制御信号
２２ アナログ変調器
２３ デジタル信号
２４ デジタル変調器
２６ ミラー
２７ ビームエキスパンダー
２８ 対物レンズ
２９ ターンテーブル
３３ 情報領域と内周ミラー面の境界
３４ 情報領域と外周ミラー
３５ 内周のギャップ
３６ 外周のギャップ
３７ グルーブ深さの内周ミラー
３８ グルーブ深さの外周ミラー
【発明の属する技術分野】
ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等の情報記録媒体（光ディスク）、その型であるスタンパ、原盤、及びその製造方法と製造装置である露光装置に係わる。特に、深さの異なるピットとグルーブを同一面上に持つ情報記録媒体とその型であるスタンパ、原盤及びその製造方法と製造装置である露光装置に係わる。
【０００２】
【従来技術】
従来、ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｋ Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等の光ディスクは、円盤状のガラス板にフォトレジスト膜を形成し、これを露光装置で回転させながらレーザー光を照射してフォトレジスト膜にらせん状の潜像を形成し、これを現像して潜像部分を溶解して、ピット、グルーブを形成し、これに導電膜をつけ電鋳してスタンパを作る。スタンパを型として成形板を多量に複製する。これに色素等の記録剤を塗布し、反射層、保護層を形成して光ディスクは作成される。
【０００３】
一般のＣＤ−Ｒの場合、情報領域にグルーブのみが形成され、ここにＣＤライターで情報が後で記録されるが、ハイブリッドＣＤ−Ｒは、一部に露光装置で情報が予め記録される。このハイブリッドＣＤ−Ｒの作成法を図１に説明する。
中間層を問に挟んでガラス枚１上に２層のフォトレジスト２，１２を形成し、深いピットと浅いグルーブを露光光量で作り分け、上層フォトレジスト１２の上面から下層フォトレジスト２の下面までの探さの深いピットと、上層フォトレジスト１２の上面から下層フォトレジスト２の上面までの深さの浅いグルーブを持つスタンパ７を作成する。これを成形して図１と同様に全面に記録剤９を塗布し、反射層１０、保護層１１を形成して一部に露光装置で情報が予め記録されたハイブリッドＣＤ−Ｒが作成される（図１参照）。
【０００４】
ハイブリッドＣＤ−Ｒの場合、ピッチ１．６μｍ、幅約０．３〜０．７μｍ、フォトレジスト膜と同じ深さの台形状のグルーブが情報領域１５に形成され、情報領域１５の内側の内周ミラー面１６と外側の外周ミラー面は露光されず、グルーブは形成されない。また、ハイブリッドＣＤ−Ｒ記録領域１０に台形状のグルーブが形成され、ＲＯＭ１３は、予め記録される情報の変調信号が、デジタル変調器２０に入力され、ピット１３が形成される。
【０００５】
露光装置について図３に説明する。レーザー光３をアナログ変調器２２で光量制御信号２１により光量を調整し、デジタル変調器２４でデジタル信号２３によりパルス光に変調し（ピットの場合。）、ビームエキスパンダー２７で太くしたレーザー光３を対物レンズ２０で集光してガラス板１上のフォトレジスト２に照射する。ガラス板１はターンテーブル２９で回転しながら一定速度で移動するので、図３のように一定ピッチでらせん状に潜像４が形成される。これを現像すれば、ピット、グルーブが形成する。
【０００６】
ＣＤ−Ｒの場合、ピッチ１．６μｍで幅約０．３〜０．７μｍ、フォトレジスト膜厚と同じ探さの台形状のグルーブが情報領域１５に形成され、情報領域１５の内側の内周ミラー面１６と、外側の外周ミラー面１７は露光されず、グルーブは形成されない。また、ハイブリッドＣＤ−ＲCD−Rは、記録領域１９に台形状のグルーブ１４が形成され、ＲＯＭ領域１８は、予め記録される情報の変調信号が、デジタル変調器２４に入力され、ピット１３が形成される。
【０００７】
次に、他の従来例について説明する。この特許のハイブリッドＣＤ−Ｒに関する部分は、図１のように原盤のミラー面のレジストを露光と現像で取り除いてしまい、ミラー面の平坦化とスタンパ剥錐後のレジスト除去の簡略化を実現している。中間層６を介して２層レジストを形成した原盤では、ガラス剥離時に図２のようにスタンパの情報領域１５との境界のミラー面にレジストが残る。このような場合この残ったレジストをアセトン等の溶剤で除去しようとすると、図２のように境界にレジスト、中間層材料が残ってしまう場合がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来法では、ミラー面のレジストの除去を露光と現像で実現しているが、実際に露光で完全に除去するためには大きな露光光量が必要でまた、ピッチを小さくしなければならないため、ミラー面全体のレジストを完全に除去する、ためには長大な露光時間が必要であった。
【０００９】
すなわち、本発明の目的は下記課題を解決することにある。
１．前記ミラー面のレジストの除去（特にミラー面と情報領域の境界にレジストが残りやすい問題）の問題を解決し、かつ、上記の露光時間の短縮を実現し、さらにはスタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤、および該情報記録媒体の原盤の作成方法を提供すること、および
２．スタンパ剥離時のレジスト除去がしやすく、ミラー面と情報領域の境界の欠陥が少ない情報記録媒体の原盤を作成できる露光装置を提供すること。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記情報記録媒体の原盤、情報記録媒体の原盤作製用の露光装置、および情報記録媒体の原盤の製造方法を提供することにより、解決することができた。
１．深さの異なるピット及びグルーブが形成された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作製用の原盤であって、内周ミラー面および／または外周ミラー面と情報領域の間にミラー面と情報領域を分離する深い溝が作成されたものであることを特徴とする情報記録媒体の原盤。
２．フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の情報記録媒体の原盤の製造方法。
３．前記の「深い溝」とは、ピットと同じ深さが望ましいが、グルーブ深さより深ければ効果がある。フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光する機能を有し、更にピッチとピッチを切り替える際に所定時間円盤状のガラス基板の送りを停止させる手段を有することを特徴とする情報記録媒体の原盤作製用の露光装置。
【００１１】
以下、本発明を図面に基づいて具体的に説明する。
本発明の第１の実施例を図４に示す。露光工程以外の情報記録媒体の作成工程は、従来例（図１参照）と同様である。Ｎｉスタンパ７上に下層ポジ型フォトレジスト膜２として、ポジ型フォトレジストを塗布して形成し、中間層としてＰＶＡ６を形成し、さらに上層フォトレジスト膜１２としてポジ型フォトレジストを塗布する。これを内周からグルーブは低い光量で、ピットは高い光量で露光する。この時、最内周グルーブ露光開始時に３秒間以上横送りを停止させたまま回転させながら露光し、その後グルーブの露光を開始する。また、最外周グルーブ終了後にも、回転させながら３秒間以上横送りを停止させたまま露光する。これにより、光量をそのままでも、同じトラックを繰り返し露光することになるので、ガラス板面まで露光され、ミラー面と、情報領域を分離する深い溝３５、３６を作成できる。これにより、図４のように、ガラス剥維後のレジスト除去でミラー面と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑えられる。この方法により作成されたＣＤ−Ｒハイブリッドディスクを図７に示す。ミラー面と情報領域の境界、特に内側の境界３３にレジスト残りが発生すると塗布ムラを発生させる原因になっていたが、これをなくすことができる。
【００１２】
本発明の第２の実施例を図５に示す。２層のフォトレジストが形成された原盤を内周ミラー面１６の途中から情報記録媒体のピッチの約１／２以下で露光開始する。露光開始位置は、ミラー面と情報領域の境界のレジスト残りをなくすためだけであれば、最内周グルーブより１ｍｍ以上内周からスタートすればよいが、記録剤の塗布性をよくするため、記録剤が塗布される半径より内側からスタートする。ＣＤ−Ｒの場合には約２０ｍｍから記録材が塗布され、２０ｍｍの少し内側から情報領域のピッチの約１／２以下で露光開始し、情報領域でピッチを切り換える。これにより、グルーブと同じ深さのミラー面１７を情報領域の開始位置まで作成することができる。
【００１３】
情報領域露光終了後、再度ピッチを情報記録媒体のピッチの約１／２以下にしで情報領域の終了位置から１ｍｍ以上露光する。これにより、グルーブと同じ探さのミラー面を外周に作成することができる。倍速露光した場合、半径１９ｍｍから６１ｍｍまで露光すると、ミラー面作成に要する時間は、約９分増加するだけである。図５のように、ガラス剥離後のレジスト除去で境界部３３、３４中間層が除去されているので、ミラー面と情報領域の境界にレジスト残りが発生することを抑えられる。この方法により作成されたＣＤ−Ｒハイブリッドディスクは、ミラー面と情報領域の境界、特に内側の境界３５にレジスト残りがなく、また、平坦性が良い。
【００１４】
本発明の第３の実施例を図６に示す。２層のフォトレジスト２、１２が形成された原盤を第２の実施例と同様に内周ミラー面の途中から情報記録媒体のピッチの約１／２以下で露光開始する。情報領域との境界まで露光し、ここでピッチを情報領域のピッチに切り換える前に３秒間以上横送りを停止させたまま回転させながら露光し、その後グルーブの露光を開始する。これにより、情報領域と内周ミラー面の境界にギャップ３５を作成でき、さらに、グルーブと同じ深さのミラー面を内周に作成することができる。
【００１５】
また、最外周グルーブ終了後にも、回転させながら３秒間以上横送りを停止させたまま露光し、その後ピッチを情報記録媒体のピッチの約１／２以下に切り換えて情報領域の終了位置から１以上露光する。これにより、情報領域と外周ミラー面の境界にギャップ３６を作成でき、さらに、グルーブと同じ探さのミラー面を外周に作成することができる。この時の露光機のピッチの制御を図９に示す。この制御方法により、第２の実施例と同様１０分以下の露光時間の増加でグルーブ探さのミラー面とギャップを作成でき、レジスト除去時のレジスト残りをなくし、高品質なＣＤ−Ｒハイブリッドディスクを作成できる。
【００１６】
【効果】
請求項１
ミラー面と情報領域の間に深い溝を設けたので、ガラス基板剥離時のレジスト除去工程でスタンパのミラー面の情報領域との境界にレジストが残りにくく、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げる。これにより、スタンパ歩留まりの改善と、情報記録媒体の高品質化が計れる。
請求項２
ピットと略同じ探さの溝を設けたので、ガラス基板剥離時のレジスト除去工程で境界部に中間層が残らないので、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げ、かつ、ピットと略同じ深さの溝なのでその作成が容易である。
請求項３
情報領域との境界部のミラー面をグルーブと略同じ深さにしたので、ガラス剥離時にスタンパのミラー面の情報領域との境界に中間層が残らないので、スタンパのレジスト除去後にレジスト等が残ることを防げる。かつ、グルーブと略同じ深さのミラー面をレジストが残る可能性のある境界部だけにしたので、短時間で作成できる。
請求項４〜５
グルーブ深さのミラー面と、ピット深さのミラー面と情報領域を分離するギャップを短時間で作製できる。
請求項６
短時間に情報領域の境界部の上層レジストと中間層を現像工程で除去できる原盤を作製できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例のＣＤ−Ｒの作製工程を説明した図である。
【図２】従来例のＣＤ−Ｒの作製工程において、レジスト、中間層材料が残存することを説明した図である。
（ａ）ガラス板剥離時の状態。
（ｂ）レジストの除去途中工程の状態。
（ｃ）情報領域境界にレジスト、中間層材料が残存した状態。
【図３】露光装置を説明した図である。
【図４】第一の実施例を説明した図である。
【図５】第二の実施例を説明した図である。
【図６】第三の実施例を説明した図である。
【図７】請求項３で作製された原盤から作られた情報記録媒体〔ミラー面１６の情報領域との境界部にグルーブと同じ深さのミラー面３７（通常のミラー面は深さ０）と深い溝３５（ピットと同じ深さを有する。）〕。
【図８】分離する溝を有する原盤から作られた情報記録媒体。
【図９】第三の実施例の露光機によるピッチ制御を説明した図である。
【符号の説明】
１ ガラス板
２ 下層フォトレジスト膜
３ レーザー光
４ 潜像
６ 中間層
７ Ｎｉスタンパ
８ 成形板
９ 記録剤
１０ 反射層
１１ 保護層
１２ 上層フォトレジスト層
１３ ピット
１４ グルーブ
１５ 情報領域
１６ 内周ミラー面
１７ 外周ミラー面
１８ ＲＯＭ領域
１９ 記録領域
２０ レーザー
２１ 光量制御信号
２２ アナログ変調器
２３ デジタル信号
２４ デジタル変調器
２６ ミラー
２７ ビームエキスパンダー
２８ 対物レンズ
２９ ターンテーブル
３３ 情報領域と内周ミラー面の境界
３４ 情報領域と外周ミラー
３５ 内周のギャップ
３６ 外周のギャップ
３７ グルーブ深さの内周ミラー
３８ グルーブ深さの外周ミラー
Claims (6)
- 深さの異なるピット及びグルーブが形成された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体作製用の原盤であって、内周ミラー面および／または外周ミラー面と情報領域の間にミラー面と情報領域を分離する深い溝が作成されたものであることを特徴とする情報記録媒体の原盤。
- ミラー面と情報領域を分離する深い溝の探さが、ピットと略同じ探さである請求項１記載の情報記録媒体の原盤。
- 深さの異なるピット及びグルーブが形成された円盤状の基板上に記録層を有する情報記録媒体の原盤であって、内周ミラー面および／または外周ミラー面の少なくとも一部をグルーブと略同じ探さにする請求項１〜２のいずれかに記載の情報記録媒体の原盤。
- フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の情報記録媒体の原盤の製造方法。
- ピッチとピッチを切り換える際に所定時間送りを停止する請求項４記載の情報記録媒体の原盤の製造方法。
- フォトレジスト膜が形成された円盤状のガラス基板を回転させながら集光したレーザー光をらせん状に露光して前記フォトレジスト膜に情報を記録し、かつ内周ミラー面、情報領域、外周ミラー面を、情報領域のピッチの１／２以下のピッチ、情報領域のピッチ、情報領域のピッチの１／２以下とピッチを切り換えて連続的に露光する機能を有し、更にピッチとピッチを切り替える際に所定時間円盤状のガラス基板の送りを停止させる手段を有することを特徴とする情報記録媒体の原盤作製用の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14402799A JP3672766B2 (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP14402799A JP3672766B2 (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 |
Publications (2)
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| JP2000339779A JP2000339779A (ja) | 2000-12-08 |
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Family Applications (1)
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| JP14402799A Expired - Fee Related JP3672766B2 (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 情報記録媒体の原盤、該原盤製造方法、および該原盤作製用の露光装置 |
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-
1999
- 1999-05-24 JP JP14402799A patent/JP3672766B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2000339779A (ja) | 2000-12-08 |
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