JP3659824B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は基板搬送装置に関し、特にプラズマCVD(chemical vapor deposition)装置、スパッタリング装置、ドライエッチング装置など、真空中で薄膜を形成又は処理する装置の真空容器内、又は真空容器とこれと接する大気下装置間を移動する基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
周知の如く、プラズマCVD装置などの真空容器内、あるいは真空容器内外へ成膜用基板を搬入,移動,搬出させるために基板搬送用台車が使用されている。しかし、後述する真空容器(図6、7)のように、真空容器を構成する各真空室の出入口にはゲート弁が存在するため、連続したレールを設けて前記台車の走行位置をガイドすることはできない。
【0003】
そこで、従来、図1(A)、(B)に示すような基板搬送台車1が使用されている。ここで、図1(A)は前記基板搬送台車の概略的な斜視図、図1(B)は図1(A)の正面図を示す。
【0004】
図中の符番2は、台車1の進行方向Pに沿う両端部に台車取付レール部3、3を有する台車支持体を示す。前記台車取付レール部3の台車進行方向Pに沿う側部には、真空容器(図示せず)底面に支持部材4a、ネジ5を用いてガイド用支持コロ6が配置されている。この支持コロ6は、台車1の進行方向に対して横方向の保持を保持するためのものである。前記台車取付レール部3の台車進行方向Pに沿う下部には、真空容器底面に支持部材4b、ネジ5を介して台車支持体2の荷重を支持する荷重支持用コロ7が配置されている。前記各コロ6,7は中に玉軸受を有し、容易に回転するようになっている。このように基板搬送台車を構成することにより、台車を真空容器底面に沿ってスムーズに走行させることが可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板搬送台車によれば、経年的にガイド用支持コロ6、荷重支持用コロ7が固定位置から外れると、基板搬送台車1のスムーズな走行ができなくなりる。その結果、搬送台車が振動を発生し、最悪時には搬送中の基板に外傷を与えることになる。また、ガイド用支持コロ6や荷重支持用コロ7に内臓された真空軸受には寿命があり、定期的に交換によるメンテナンスをする必要がある。
【0006】
このため、ガイド用支持コロ6や荷重支持用コロ7には定期的なメンテナンスを必要としているが、メンテナンスにあたり次のような課題がある。
(1)真空容器を有する装置を停止して真空容器を大気開放にするために、装置立ち下げ/立ち上げに余計な時間を必要とする。
【0007】
(2)ガイド用支持コロ6や荷重支持用コロ7の数が非常に多いため、この交換/調整に非常に長い時間を必要とする。例えば、プラズマCVD装置では、基板搬送台車1台当たり50個以上の支持コロがあり、この調整には8時間以上必要とされる。
【0008】
(3)真空容器のゲート弁前後の支持コロは基板搬送台車が進入した際にその走行位置を修正・ガイドするために、他の支持コロよりも衝撃荷重を受け易く、経年的位置ずれや内蔵する軸受の短寿命化を促進し易い。
【0009】
本発明は、こうした事情を考慮してなされたもので、台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状である構成とすることにより、装置立ち下げ/立ち上げの時間を短縮するとともに、コロの交換/調整用の時間を短縮して作業性を向上しえる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【0010】
また、本発明は、台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の内側に組み込まれて台車の進行方向を保持する断面形状が逆凹型のレール案内部材と、この案内部材と摺動した状態で前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状である構成とすることにより、コロの使用による経年的位置ずれや内蔵する軸受の短寿命化を抑制しうる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本願第1の発明は、真空容器と該真空容器と隣接する大気下の装置間をゲート弁を介して通過して移動する基板搬送装置において、
台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状であることを特徴とする基板搬送装置である。
【0012】
本願第2の発明は、真空容器と該真空容器と隣接する大気下の装置間をゲート弁を介して通過して移動する基板搬送装置において、
台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の内側に組み込まれて台車の進行方向を保持する断面形状が逆凹型のレール案内部材と、この案内部材と摺動した状態で前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状であることを特徴とする基板搬送装置である。
【0013】
本発明において、前記ガイドレールとしては、例えば第1支持コロ及び第2支持コロの夫々に接するように断面四角形状をした構成のもの(第2図参照)、あるいは断面凸形状をしている構成のもの(第4図、第5図)が挙げられる。こうした構成の場合、台車の荷重を支持する第2支持コロを台車内に分散して設置するため、台車走行の安定性が向上する。特に、大型の搬送台車や高速移動のものに適する。また、ガイドレールの形状を断面四角形状とした場合、レールの製作を容易にできる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
(実施例1)
図2(A)、(B)を参照する。ここで、図2(A)は基板搬送装置の概略的な斜視図、図2(B)は図2(A)の正面図を示す。
図中の符番11は、断面形状が逆凹型の台車を示す。この台車11の内側には、該台車11の進行方向を保持する複数の第1支持コロ12aと、前記台車11の荷重を保持する複数の第2支持コロ12bとが配置されている。前記第1支持コロ12aは真空用軸受(図示せず)を内蔵し、台車11の内側頂部から下方向に突出する吊下部13の先端にネジ14により回動自在に取り付けられている。また、第2支持コロ12bは真空用軸受(図示せず)を内蔵し、台車11の内側頂部から下方向に突出する吊下部15の側部にネジ16により回動自在に取り付けられている。前記台車11の内側には、第1支持コロ12a、第2支持コロ12bに接するガイドレール17が図示しない真空容器の底面に設けられている。前記第1支持コロ12a、第2支持コロ12bとガイドレール17との間の隙間設置などの調整は、予め真空容器の外側で調整しておくことが可能である。
【0015】
図6(A)、(B)は、真空容器内のガイドレール17の端部形状の状況を示すもので、図6(A)は平面図、図6(B)は図6(A)の側面図を示す。なお、図6において、符番21は真空容器、符番22はゲート弁を示す。前記ガイドレール17は全ての両端部で傾斜角θ(2°〜5°)、長さ20〜30mmのテーパとなっており、エッジ部はR(=5から10R)がとられている。これにより、台車11はゲート弁22間で切断されたガイドレール17間をスムーズに移動可能となる。上記構成の基板搬送装置は、例えばこうした図6のような真空容器内で使用される。
【0016】
上記実施例1によれば、ガイドレール17を調整用治具として準備することにより、大気下にて台車11内の支持コロ12a,12bの調整が可能となる。また、予め支持コロ12a,12bを調整することで、真空容器内での作業はなくなり、真空容器を有する装置を停止する無駄を省くことができる。このため、他のメンテナンス工事にて併せて台車ごと交換するか、装置の運用で台車を大気下へ搬出して調整済みのものに交換することが可能で、このための作業は極めて短時間で終了する。
【0017】
また、従来の場合と比べ、支持コロの数量は同程度必要となるが、装置より離れて大気の下で調整が可能となれば、作業性が大幅に改善され、従来の半分程度の作業時間での調整が期待できる。更に、ガイドレール17の端部は図6に示すようにテーパが形成されているため、支持コロ12a,12b系が保有する僅かなガタ分に起因して支持コロ12a,12bに及ぼす衝撃荷重を緩和できる。
【0018】
(実施例2)
図3を参照する。なお、図1と同部材は同符号を付して説明を省略する。実施例2に係る基板搬送装置は、実施例1の台車に加えて断面形状が逆凹形状のレール用案内部材24を台車11の両端部の内側に配置したことを特徴とする。ここで、案内部材24としては、ガイドレール17との摺り特性が良くかつ頑丈で衝撃を吸収しやすい材料が望ましく、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)材などの真空容器内での使用可能なエンジニアリングプラスチック材が使用可能である。
【0019】
上述した実施例1の基板搬送装置は従来と比べ様々なメリットを有するが、台車がゲート弁22位置を通過する際、ガイドレール17を切り離して設置することになる。しかし、台車が次のガイドレール17に進入する際に、台車内の支持コロ12a,12b系が保有する僅かなガタ分のために、必ずしもスムーズに進入できるとは限らず、時として台車内の支持コロ12a,12bの最初のものに強い衝撃荷重を与える可能性がある。
【0020】
しかるに、実施例2の装置では、ガイドレール17との摺り特性が良く頑丈でかつ衝撃を吸収しやすい材質からなるレール用案内部材24を台車11の両端部の内側に配置した構成となっているため、実施例1の場合と比べ、ゲート弁位置で切り離した次のガイドレール17へ進入する際、台車11に設けた支持コロ12a,12bよりも先に走行位置を修正・ガイドすることができる。従って、経年的位置ずれや内蔵軸受の短寿命化を抑制できる。
【0021】
(実施例3)
図4(A)、(B)を参照する。ここで、図4(A)は基板搬送装置の概略的な斜視図、図4(B)は図4(A)の正面図を示す。図2と同部材は同符号を付して説明を省略する。
【0022】
図中の符番31aは、台車11の内側に配置されて台車11の進行方向を保持する複数の第1支持コロを示す。また、符番31bは、台車11の内側に配置されて前記台車11の荷重を保持する複数の第2支持コロを示す。前記第1支持コロ31aは真空用軸受(図示せず)を内蔵し、台車11の内側頂部から下方向に突出する吊下部32の先端にネジ33により回動自在に取り付けられている。また、第2支持コロ31bは真空用軸受(図示せず)を内蔵し、台車11の内側壁から横方向に突出する突起部33にネジ34により回動自在に取り付けられている。前記台車11の内側には、第1支持コロ31a、第2支持コロ31bに接する、断面凸形状のガイドレール35が図示しない真空容器の底面に設けられている。前記第1支持コロ31a、第2支持コロ31bとガイドレール35との間の隙間設置などの調整は、予め真空容器の外側で調整しておくことが可能である。
【0023】
図7(A)、(B)は、真空容器内のガイドレール35の端部形状の状況を示すもので、図7(A)は平面図、図7(B)は図7(A)の側面図を示す。なお、図7において、符番21は真空容器、符番22はゲート弁を示す。前記ガイドレール35は全ての両端部で傾斜角θ(2°〜5°)、長さ20〜30mmのテーパとなっており、エッジ部はR(=5から10R)がとられている。上記構成の基板搬送装置は、例えばこうした図7のような真空容器内で使用される。
【0024】
上記実施例3によれば、ガイドレール35を調整用治具として準備することにより、大気下にて台車11内の支持コロ31a,31bの調整が可能となる。また、台車11内の支持コロ31a,31bの調整が可能となる。更に、予め支持コロ31a,31bを調整することで、真空容器内での作業はなくなり、真空容器を有する装置を停止する無駄を省くことができる。このため、他のメンテナンス工事にて併せて台車ごと交換するか、装置の運用で台車を大気下へ搬出して調整済みのものに交換することが可能で、このための作業は極めて短時間で終了する。
【0025】
また、従来の場合と比べ、支持コロの数量は同程度必要となるが、装置から離れて大気の下で調整が可能となれば、作業性が大幅に改善され、従来の半分程度の作業時間での調整が期待できる。更に、ガイドレール35の端部は図7に示すようにテーパが形成されているため、支持コロ31a,31b系が保有する僅かなガタ分に起因して支持コロ31a,31bに及ぼす衝撃荷重を緩和できる。
(実施例4)
図5を参照する。なお、図4と同部材は同符号を付して説明を省略する。実施例4に係る基板搬送装置は、実施例3の台車に加えて断面形状が逆凹形状のレール用案内部材36を台車11の両端部の内側に配置したことを特徴とする。ここで、案内部材36としては、ガイドレール35との摺り特性が良くかつ頑丈で衝撃を吸収しやすい材料が望ましく、例えばPEEK(ポリエーテルエーテルケトン)材などの真空容器内での使用可能なエンジニアリングプラスチック材が使用可能である。
【0026】
上述した実施例3の基板搬送装置は従来装置と比べメリットを有するが、台車がゲート弁22位置を通過する際、ガイドレール35を切り離して設置することになる。しかし、台車が次のガイドレール35に進入する際に、台車内の支持コロ31a,31b系が保有する僅かなガタ分のために、必ずしもスムーズに進入できるとは限らず、時として台車内の支持コロ31a,31bの最初のものに強い衝撃荷重を与える可能性がある。
【0027】
しかるに、実施例4の装置では、ガイドレール35との摺り特性が良く頑丈でかつ衝撃を吸収しやすい材質からなるレール用案内部材36を台車11の両端部の内側に配置した構成となっているため、実施例3の場合と比べ、ゲート弁位置で切り離した次のガイドレール35へ進入する際、台車11に設けた支持コ31a,31bよりも先に走行位置を修正・ガイドすることができる。従って、経年的位置ずれや内蔵軸受の短寿命化を抑制できる。
【0028】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状である構成とすることにより、装置立ち下げ/立ち上げの時間を短縮するとともに、コロの交換/調整用の時間を短縮して作業性を向上しえる基板搬送装置を提供できる。
【0029】
また、本発明によれば、台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の内側に組み込まれて台車の進行方向を保持する断面形状が逆凹型のレール案内部材と、この案内部材と摺動した状態で前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状である構成とすることにより、コロの使用による経年的位置ずれや内蔵する軸受の短寿命化を抑制しうる基板搬送装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の基板搬送台車の説明図。
【図2】本発明の実施例1に係る基板搬送装置の説明図。
【図3】本発明の実施例2に係る基板搬送装置の説明図。
【図4】本発明の実施例3に係る基板搬送装置の説明図。
【図5】本発明の実施例4に係る基板搬送装置の説明図。
【図6】本発明の実施例1に係る基板搬送装置荷使用されるガイドレールの説明図。
【図7】本発明の実施例3に係る基板搬送装置荷使用されるガイドレールの説明図。
【符号の説明】
11…台車、
12a、31a…第1支持コロ、
12b、31b…2支持コロ、
13、15、32…吊下部、
17、35…ガイドレール、
21…真空容器、
22…ゲート弁、
24、36…レール用案内部材、
34…突起部。
Claims (2)
- 真空容器と該真空容器と隣接する大気下の装置間をゲート弁を介して通過して移動する基板搬送装置において、
台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状であることを特徴とする基板搬送装置。 - 真空容器と該真空容器と隣接する大気下の装置間をゲート弁を介して通過して移動する基板搬送装置において、
台車と、この台車に配置されて台車の進行方向に対して横方向を保持する第1支持コロと、前記台車に配置されて台車の荷重を支持する第2支持コロと、前記台車の内側に組み込まれて台車の進行方向を保持する断面形状が逆凹型のレール案内部材と、この案内部材と摺動した状態で前記台車の走行位置をガイドする,大気下で調整用治具として機能するガイドレールとを備え、前記ガイドレールは前記ゲート弁位置で分断されており、その長手方向両端部の上面及び両側面は傾斜角2°〜5°でかつ5〜10Rの曲面が形成されたテーパ形状であることを特徴とする基板搬送装置。
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