JP3657701B2 - 光検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光検出素子の冷却機能を備えた光検出装置に関するものであるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、撮像素子に冷却素子を取り付けた構造の検出装置としては、特開平6−216402号公報に記載されるものが知られている。この公報に記載される装置は、放射線検出器であって、この公報の図1に示されるように、密封されたパッケージ内部に冷却素子であるペルチェ素子が配置され、そのペルチェ素子上に撮像素子であるCCDが取り付けられた構造となっている。この種の検出装置において、撮像素子としてPN接合型やPIN型などを利用したものを用いた場合、その撮像素子に高い逆バイアスを印加しなければならない。このバイアス印加により撮像素子内に大きな電流が流れ、撮像素子の内部で熱が発生し、その熱に起因して撮像素子内でノイズが生ずることとなる。これらの発熱およびノイズを抑えるために、撮像素子に冷却素子を取り付けて、撮像素子を効率良く冷却できる構造とされている。そして、冷却素子および撮像素子の具体的な取付構造としては、冷却素子のコールドサイド上に撮像素子が熱伝導性樹脂により接着して取り付けられ、冷却素子のホットサイドがパッケージに熱伝導性樹脂により接着して取り付けられた構造とされている。そして、冷却素子のペルチェ効果により撮像素子が吸熱により冷却され、冷却素子で発せられる熱をパッケージを通じて放出している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の検出装置にあっては、以下のような問題点がある。まず第一には、冷却素子により撮像素子が十分に冷却できないという問題点がある。すなわち、パッケージ内は冷却素子による冷却効果を高めるために真空状態とするのが望ましいが、接着に用いた熱伝導性樹脂からガスが放出されるため、パッケージ内を常に低い圧力に維持すること困難である。また、パッケージが金属などで形成されている場合、熱伝導性樹脂の熱伝導率がパッケージに比べ小さくなり、冷却素子から放出される熱を効率良く伝導することができない。このように、放出されたガスによる熱対流の発生や熱伝導性の低下により、冷却素子の冷却性能を十分に発揮することができず、パッケージ内の撮像素子が十分に冷却されない。
【0004】
第二には、冷却素子の放熱面の反り及びその取付状態にバラツキを生じ、撮像素子の冷却が安定して行えないという問題点がある。すなわち、冷却素子の取付は熱伝導性樹脂を塗り付けたパッケージ内面へ冷却素子を押し付けることにより行われるが、その押し付け方によって冷却素子とパッケージの間の熱伝導性樹脂の厚みが微妙に変わってしまう。複数の光検出装置を製造する場合、その取付状態を同一とし冷却素子の放熱性能をバラツキなく一定とするのは困難である。また、光検出装置をベーキングすると、熱伝導性樹脂が冷却素子またはパッケージの表面から剥離するおそれがあり、そのような場合には冷却素子の冷却機能が発揮できない。
【0005】
そこで本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであって、真空中で光検出素子を効率良く冷却できる光検出装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明は、密封されたハウジング内に光検出素子および冷却素子が配設された光検出装置において、冷却素子のコールドサイド側に光検出素子が取り付けられ、その冷却素子のホットサイドがハウジング内の放熱体へ金属箔を挟んで押圧されていることを特徴とする。
【0007】
このような発明によれば、冷却素子の取付に起因してガス放出を伴わないため、光検出素子の周囲を真空状態に維持することが可能となる。また、冷却素子から発せられる熱が金属箔を通じて効率良く放熱体へ伝導されることとなる。更に、冷却素子や放熱体の表面に反りがあっても、柔軟な金属箔を介して冷却素子と放熱体が密着してそれらの間に間隙が生じないので、熱伝導性が低減することがない。
【0008】
また本発明は、前述の冷却素子のホットサイドが弾力的に放熱体側へ押し付けていることを特徴とする。
【0009】
このような発明によれば、冷却素子が弾力的に保持されるから、押圧力の強過ぎによる冷却素子の破損、押圧力の弱過ぎによる冷却素子の位置ズレなどの不具合が回避可能となる。
【0010】
更に本発明は、前述の金属箔が銅製であることを特徴とする。このような発明によれば、低いコストでありながら高い熱伝導性が得られる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づき、本発明に係る光検出装置の実施形態の一例について説明する。尚、各図において同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【0012】
(実施形態1)
図1は光検出装置の断面図である。図1において、光検出装置1は、入射する光の検出を行う装置であって、密封されたハウジング11の内部空間12に冷却素子2および光検出素子3が配設された構造とされている。光検出素子3は、ハウジング11に設けられた透光性の面板13を通じて入射する光を受けて光電変換を行う素子であって、たとえばCCD、MOS型撮像素子または赤外線エリアセンサなどが用いられる。この光検出素子3には複数の端子31が設けられ、ハウジング11の内外を貫通するピン14へ接続されており、電気信号の入出力が行えるようになっている。
【0013】
冷却素子2は、光検出素子3を冷却するためのものであって、たとえば電流供給により吸熱機能を有するペルチェ素子などが用いられる。図1においては、冷却素子2として、セラミック板の間に半導体を挟んだ層体を三層構造としたペルチェ素子が図示されているが、二層以下または四層以上の構造を有するものであってもよい。この冷却素子3には、吸熱を行うコールドサイド21と熱を放出するホットサイド22とが設けられており、電流が供給されることによりそれぞれ熱の吸収または放出が行われる。この冷却素子2で冷却して光検出素子3をより低温な状態とするほど、光検出素子3内で生ずるノイズが低減できるため、光検出素子3の出力におけるS/N比の向上が図られることとなる。従って、光検出素子3を効率良く冷却することが光検出装置1の特性向上のために非常に重要である。
【0014】
冷却素子2と光検出素子3との取付構造は、たとえば、図1のように、冷却素子2のコールドサイド21にスペーサ15を介して光検出素子3が取り付けられた構造とされる。スペーサ15は、熱伝導性に優れた素材で形成され、光検出素子3の冷却素子2へ取付を容易するために配設されるものであって、その内部には温度センサが配置されている(図示なし)。スペーサ15と冷却素子2の取付は、スペーサ15側に固定したホルダ16で冷却素子2を掛止するなどして行えばよい。また、光検出素子3とスペーサ15の取付は、ねじ止めなどにより行えばよい。なお、冷却素子2と光検出素子3をスペーサ15を介さずに直接取り付ける場合もある。
【0015】
図1に示すように、ハウジング11の底面には放熱体4が設けられ、内部空間12内で発生した熱を外部へ放熱可能となっている。すなわち、放熱体4は、熱伝導性に優れた素材、例えば銅などの金属で形成され、その一部がハウジング11の外部へ露出しており、ハウジング11内の冷却素子3から放出される熱をハウジング11外部へ伝導して放熱する構造となっている。また、放熱体4は、図1に示すように、本体である放熱ブロック41に対し、冷却素子2が取り付けられるスペーサ42を着脱自在な構造としておくことが望ましい。このように構造とすることにより、スペーサ42へ冷却素子2などの部品の取付作業とハウジング11への部品の取付作業が分業して行え、また、スペーサ42側のみの交換が容易に行えるため、光検出装置1の製造作業が効率良く行える。スペーサ42と放熱ブロック41との連結はねじ止めなどにより行えばよい。
【0016】
放熱体4のスペーサ42には、金属箔である銅箔5を介して冷却素子2が取り付けられている。すなわち、スペーサ42の表面に銅箔5が配置され、その銅箔5を挟み込む状態で冷却素子2のホットサイド22がスペーサ42側へ押圧されている。この押圧は、ばね板43などを利用して冷却素子2を弾力的にスペーサ42側へ押し付けて行うのが望ましい。たとえば、図2に示すように、ねじ止めなどによりばね板43の一端をスペーサ42に固定し、その他端を冷却素子2に掛止させて冷却素子2をスペーサ42へ弾力的に押し付けることにより、固定端の固定状態(ねじ止め状態など)にかかわらず冷却素子2がほぼ一定の押圧力で押し付けられる。このため、押圧力の強過ぎによる冷却素子の破損、押圧力の弱過ぎによる冷却素子のズレなどが回避できる。従って、放熱体4への冷却素子2の取付が容易であって、取付作業の効率化が図れる。なお、図2において、ばね板43の掛止側の端部はL字形を呈しているが、冷却素子2を掛止できればL字形に限られるものではなく、その他の形状であってもよい。更に、放熱体4のスペーサ42側へ冷却素子2を押圧することができれば、押圧手段としてばね板43以外のものを用いてもよい。
【0017】
銅箔5は、放熱体4と冷却素子2との間に間隙が形成されるのを防止して、冷却素子2の熱を放熱体4へ効率良く伝導させるために配されるものであって、冷却素子2の底面やスペーサ42の表面の反り(たとえば、冷却素子の底板がセラミック板である場合の反りは10〜50μm程度)に応じて厚さ20〜120μm程度のものが用いられる。この銅箔5は、薄板状であって柔軟性があるため、接合される表面などの反りに対応して変形し、放熱体4と冷却素子2との両側の接合面にそれぞれ密着することとなる。このため、銅箔5の介在により、放熱体4と冷却素子2との間に間隙が生ずることがなく、冷却素子2から放熱体4への熱伝導が有効に行われる。また、銅箔5は、低コストでありながら十分な熱伝導性を有しており、冷却素子2と放熱体4の取付に適している。なお、金属箔としては、銅箔5に限られるものではなく、熱伝導性および柔軟性を有するものであれば、金、銀またはアルミなどその他の金属箔であってもよい。
【0018】
次に、光検出装置1の動作について説明する。
【0019】
図1において、まず、ピン14に所定の電圧を印加して光検出装置1に電源を投入する。すると、光検出素子3に電流が供給され、面板13を通じて入射する光を受けて光電変換可能な状態となる。また、冷却素子2にも電流が供給され、ペルチェ効果などにより、コールドサイド21で熱が吸収されて低温状態となり、ホットサイド22で熱が放出されて高温状態となる。このとき、光検出素子3は電流供給により熱を発する。しかし、この熱は冷却素子2のコールドサイド21の吸熱作用によりスペーサ15を介して吸収されるため、光検出素子3の低温状態が維持される。
【0020】
一方、冷却素子2のホットサイド22から放出された熱は、放熱体4内を伝導してハウジング11外、即ち光検出装置1外へ放出される。このとき、ホットサイド22が柔軟性有する銅箔5を挟んで放熱体4に密着しているから、ホットサイド22と放熱体4との間に熱伝導を妨げる間隙が存在せず、ホットサイド22の熱が銅箔5を通じて放熱体4へ確実に伝導されていく。また、銅箔5は熱伝導性に優れているから、熱伝導が効率良く行われる。更に、冷却素子2(ホットサイド22)と放熱体4との取付構造に樹脂からなる接着剤などが用いられていないので、内部空間12内にガスが放出されることがなく、その真空状態が確実に維持される。このため、ホットサイド22または放熱体4の熱が内部空間12を通じて熱対流により光検出素子3へ伝わることがなく、光検出素子3の低温状態に影響を及ぼすことがない。
【0021】
このように、冷却素子2におけるホットサイド22の放熱が効率良く、かつ、確実に行われるため、冷却素子2の冷却機能が十分に発揮されて光検出素子3の冷却が確実に行え、低温状態に維持することができる。従って、光検出素子3にの出力おけるノイズを低減でき、光検出装置1としての検出感度の向上が図れる。
【0022】
次に、光検出装置における冷却特性について説明する。
【0023】
図3に示す測定系にて、実際の光検出装置1の冷却特性の測定を行った。冷却素子2としてペルチェ素子を用い、冷却素子2のコールドサイド21にスペーサ15を取り付けホットサイド22に放熱体4を取り付けたものを被測定体とした。そして、この被測定体を真空オーブン61内の空冷式の放熱ブロック40上に載置し、真空オーブン61内を温度を20°C、圧力を2Torrに保った状態とした。
【0024】
この状態において、真空オーブン61の外部の電源64により冷却素子2へ所定の電圧を印加し、スペーサ15内に設置した温度センサ62により冷却温度を検出し記録計63にて冷却温度を測定した。被測定体における放熱体4に対する冷却素子2の取付構造については、前述した光検出装置1と同様に放熱体4との間に銅箔5を挟み込んで冷却素子2を押圧した構造としたものと、冷却素子2の押圧は行うが銅箔5を挟み込まない取付構造のものについて、それぞれ測定を行った。
【0025】
測定の結果、本発明に係る取付構造(図3に示すもの:銅箔5あり)のものについては冷却温度が−51°Cであり、良好な結果が得られた。一方、銅箔5の介在なし(銅箔5なし)のものについては冷却温度−43°Cであり、冷却素子2の冷却性能が十分に発揮できなかった。このことから、放熱体4に対し冷却素子2を単に押圧するだけでなく、放熱体4と冷却素子2との間に銅箔5を介在させることによりホットサイド22と放熱体4との熱伝導性が向上し、冷却素子2のホットサイド22における放熱が効率良く行われて、非常に良い冷却特性が得られることが分かった。
【0026】
(実施形態2)
前述の光検出装置1は、冷却素子2と放熱体4との間に金属箔(例えば、銅箔5)を介在させるものであったが、冷却素子2とスペーサ15との間にも金属箔を介在させてスペーサ15の取付を行ってもよい。すなわち、冷却素子2のホットサイド22側だけでなく、コールドサイド21側にも金属箔を介在させて冷却素子2と光検出素子3の取付を行い、吸熱効率を向上させてよい。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
【0028】
すなわち、冷却素子が金属箔を挟んで放熱体へ押圧されて取り付けられることにより、その冷却素子の取付に際しガス放出を伴う熱伝導性樹脂などを用いる必要がない。このため、光検出素子の周囲を真空状態に維持することが可能となり、熱対流により光検出素子の温度上昇が回避できる。また、冷却素子から発せられる熱が金属箔を通じて効率良く放熱体へ伝導されるから、冷却素子による冷却が効率良く行われる。更に、冷却素子や放熱体の表面に反りがあっても、柔軟な金属箔がそれらの間に密着するから、熱伝導性が低減することがない。従って、光検出素子を低温状態に維持することができ、光検出装置としての検出感度を向上させることができる。
【0029】
また、冷却素子が弾力的に放熱体側へ押し付けられて押圧されることにより、冷却素子をほぼ一定した押圧力で保持でき、押圧力の強過ぎによる冷却素子の破損、押圧力の弱過ぎによる冷却素子の位置ズレなどの不具合が回避できる。
【0030】
更に、金属箔を銅製とすることにより、低コストでありながら冷却素子と放熱体間の高い熱伝導性が得られ、熱伝導性に優れた冷却素子の取付が低コストで行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】光検出装置の説明図である。
【図2】光検出装置における冷却素子の取付構造の拡大説明図である。
【図3】冷却特性測定における測定系の説明図である。
【符号の説明】
1…光検出装置、11…ハウジング、2…冷却装置、21…コールドサイド、
22…ホットサイド、3…光検出素子、4…放熱体、5…銅箔(金属箔)
Claims (3)
- 密封されたハウジング内に光検出素子および冷却素子が配設された光検出装置において、
前記冷却素子のコールドサイド側に前記光検出素子が取り付けられ、その冷却素子のホットサイドが前記ハウジング内の放熱体へ金属箔を挟んで押圧されていることを特徴とする光検出装置。 - 前記冷却素子のホットサイドが弾力的に放熱体側へ押し付けられていることを特徴とする請求項1に記載の光検出装置。
- 前記金属箔が銅製であることを特徴とする請求項1または2に記載の光検出装置。
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