JP3634775B2

JP3634775B2 - 感光体塗工装置および方法

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Publication number: JP3634775B2
Application number: JP2001224247A
Authority: JP
Inventors: 博亮堺
Original assignee: Kyocera Mita Corp
Current assignee: Kyocera Document Solutions Inc
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Filing date: 2001-07-25
Publication date: 2005-03-30
Anticipated expiration: 2021-07-25
Also published as: JP2003033700A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光体用基体を上方の液外から下方の塗工槽内の塗工液に浸漬させて引き上げ、感光体用基体の外面に塗工液を塗布する感光体の浸漬塗工技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、複写機等の感光体ドラムの製造に際し、ドラムを塗工液に浸漬させることによってドラム外面に塗工液を塗布する、浸漬塗工の技術が知られている。
【０００３】
図６は従来の塗工装置での感光体ドラムの浸漬塗工を説明するための図である。
【０００４】
従来の塗工装置では、上端が密閉された基体（ドラム）１０６が、下方（矢印Ａの向き）に移動されることにより、塗工タンク１０１内に蓄えられた塗工液に浸漬される。その後、基体１０６を塗工液から引き上げられることにより、塗工液が基体１０６に塗布され、これを乾燥することによって感光層が形成される。
【０００５】
基体１０６の浸漬により塗工タンク１０１からあふれ出た塗工液は、オーバーフロー槽１０２に回収され循環槽１０３に送られる。循環槽１０３では塗工液の粘度等が均質化されて塗工液が調製され、調整された塗工液がポンプ１０４により塗工タンク１０１に戻される。これらの塗工装置では、基体１０６は把持部１０７により上端が密閉されて塗工液中に浸漬されるため、塗工液を、基体内面に付着させることなく簡便に基体外面に塗布することができる。
【０００６】
本件特許出願の発明者らは、特願２０００−２５２２９０号において、上記のような従来の塗工装置対する次に示すような改良を提案している。
【０００７】
図７は改良の施された塗工装置を用いての浸漬塗工を説明するための図である。
【０００８】
この改良塗工装置では、省液治具（挿入部材に相当）１０５が用いられ、さらに、基体１０６の下方（矢印Ｄ_５の向き）への移動時には、基体１０６の内側の空間１１０内の空気（および塗工液の蒸気等、以下、空気は塗工液の蒸気等を含むことがある）がエアチューブ１０８内を矢印Ｄ_７の向きに流れて外部に排出され、また、基体１０６の上方（矢印Ｄ_６の向き）への移動時には、外部からの空気がエアチューブ１０８内を矢印Ｄ_８の向きに流れて基体１０６の内側の空間１１０内に吸入される。
【０００９】
すなわち、これらの改良塗工装置では、省液治具１０５により、塗工タンク１０１の小容量化、循環される塗工液の低減等が図られ、さらに、エアチューブ１０８等により、省液治具１０５による、基体１０６の下方への移動に際しての、基体１０６の内側からの気泡の発生、また、基体１０６の上方への移動に際しての、（空間１１０の気圧低下による一時的な塗工液面の上昇に基づく）塗工液の急激な流出等の不具合が防止されることとなっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような改良塗工装置では、より詳細には、常にオーバーフローの状態が保たれるよう、ポンプにより一定流量の塗工液が塗工タンク１０１に向けて送られており、また、特に、基体１０６の一定速度での下方への移動に伴って、基体１０６の下端が省液治具１０５上面に達した瞬間に、基体１０６の内側からの空気の吸入が開始されるため、オーバーフロー槽１０２に流出する塗工液の量（以下、塗工液のオーバーフロー量とすることがある。）が急激に増大する。また、基体１０６の上方への移動に伴っては、基体１０６の下端が省液治具１０５上面に達した瞬間に、基体１０６の内側の空間１１０への空気の吸入が停止されるため、オーバーフロー量が急激に減少する。
【００１１】
図８は上述の改良塗工装置での塗工液のオーバーフロー量の変化を示す図であり、図９は塗工液のオーバーフロー量に応じて変化する塗工液面の盛り上がりを示す図である。ここでは、説明の便宜上、下端が下方の位置ｘ_１にあった基体１０６が、単位時間後に省液治具１０５の上面に対応する位置ｘ_０に達し、その後さらに単位時間後に上方の位置ｘ_２に達するものとする。
【００１２】
塗工タンク１０１に流入する塗工液の流量をＱ_０、基体１０６の上方への移動に際して、基体１０６の下端が位置ｘ_１から位置ｘ_０に達するまでの塗工液のオーバーフロー量（流量）をＱ_１、基体１０６の下端が位置ｘ_０から位置ｘ_２に達するまでのオーバーフロー量をＱ_２とすると、Ｑ_０とＱ_１との差は図８に示す厚肉円筒状空間（基体１０６下端が位置ｘ_１にある時の省液治具１０５の外面と基体１０６の外面との間の空間）の容積Ｖ_１にほぼ等しく、Ｑ_０とＱ_２との差は図８に示す円柱状空間の容積Ｖ_２にほぼ等しいといえる。
【００１３】
すなわち、基体１０６下端が位置ｘ_０を通過する前後で、塗工液のオーバーフロー量は、Ｑ_１からＱ_２に、容積（Ｖ_２−Ｖ_１）分急激に減少し、この急激な変化が、塗工液面の表面張力による盛り上がりを図９（ａ）に示す状態（盛り上がりの高さｄ_１）から図９（ｂ）に示す状態（盛り上がりの高さｄ_２、ｄ_１＞ｄ_２）に変化させ、その直後塗工液面を揺動させる。
【００１４】
改良塗工装置では、これらのようにして、基体１０６外面に塗布される塗工液の均一性が阻害され、膜厚ムラが生じる。
【００１５】
本発明はこれらに着眼してなされたものであり、その目的は、塗布される塗工液の均一性を阻害することなく、用いられる塗工液の量を省液治具により少なく抑えることのできる感光体塗工装置および方法を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明に係る第１の感光体塗工装置は、筒状の感光体用基体の上端を把持部により密閉しつつ把持し、把持された感光体用基体を上下に移動させることによって、所定の塗工槽に一定の流量で流入され塗工槽を常に満たす塗工液に、感光体用基体を浸漬させて引き上げ、感光体用基体の外面に塗工液を塗布する感光体塗工装置である。
【００１７】
本感光体塗工装置には、感光体用基体の下方への移動により感光体用基体の内部に挿入され、上面が塗工液面下に位置する塗工槽内の挿入部材と、感光体用基体の下方への移動に際して、把持部、感光体用基体の内面、塗工液の液面および挿入部材により形成される空間内の気体の一部を外部に誘導し、感光体用基体の上方への移動に際して、前記空間に気体を外部から誘導する誘導手段とを有している。
【００１８】
さらに、感光体用基体の上方への移動に際して、感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過する際、気体の誘導を停止するように誘導手段を制御する制御手段を有している。
【００１９】
そして、誘導手段が気体の誘導を停止する際、気体を誘導する量を漸次減少させる緩衝手段が設けられている。
【００２０】
本発明に係る第２の感光体塗工装置は、誘導手段がエアシリンダであり、緩衝手段が弾性部材であり、エアシリンダのシリンダ内部と前記空間内部とが気体通路によって連通している。さらに、エアシリンダのピストンまたはシリンダの移動を感光体用基体の移動に連動させる連動手段を有し、誘導手段のピストンまたはシリンダが移動を終了する位置で、緩衝手段が動作するように設置されている。
【００２１】
本発明に係る第３の感光体塗工装置は、緩衝手段が前記誘導手段または前記空間に連通する気体通路に設けられた弁であることを特徴とする。
【００２２】
これらの感光体塗工装置では、誘導手段は感光体用基体直下の塗工液面から前記空間内に突出する挿入部材の体積の、感光体の下方への移動に伴って増大分に相当する流量にて気体を外部へ誘導し、感光体用基体の上方への移動に伴っての減少分を補う流量にて、気体を外部から前記空間に誘導するものとすることができる。
【００２３】
本発明に係る第１の感光体塗工方法は、上記第１の感光体塗工装置を用いて行うことができる。すなわち、感光体用基体の下方への移動により、挿入部材が感光体用基体の内部に挿入されるとともに、誘導手段が把持部、感光体用基体の内面、塗工液の液面および挿入部材により形成される空間内の気体の一部を外部に誘導する。
【００２４】
さらに、感光体用基体の上方への移動により、挿入部材が感光体用基体の内部から抜き取られるとともに、誘導手段が前記空間に気体を外部から誘導する。感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過する際、制御手段が気体の誘導を停止し、停止に際しては緩衝手段が気体の誘導量を漸次減少させる。
【００２５】
このため、従来、感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過したときに生じていた、塗工液面の揺動を緩和して、オーバーフロー量の急激な変化を抑制することができる。
【００２６】
本発明に係る第２の感光体塗工方法は、第２の感光体塗工装置を用いて行うことができる。すなわち、連動手段により誘導手段のピストンまたはシリンダと、感光体用基体とが連動して移動し、その移動に伴い、誘導手段のシリンダ内部または前記空間に、両者を連通する気体通路を介して気体が誘導される。ここで、緩衝手段は、誘導手段のピストンまたはシリンダが移動を終了するときに、当該ピストンまたはシリンダの移動速度が漸次減少するように動作する。
【００２７】
この第２の感光体塗工方法では、誘導手段がエアシリンダであるので、前記空間とシリンダ内部との間で気体の誘導を行うことができるため、装置の小型化が可能となる。さらに、緩衝手段として弾性部材を使用するため、複雑なシーケンス制御（例えば、移動速度の変更とそのタイミング制御）が必要ないばかりか、装置の小型化も実現できる。
【００２８】
本発明の第３の感光体塗工方法は、第３の感光体塗工装置を用いて行うことができる。すなわち、制御手段が気体の誘導を停止するときに、緩衝手段である弁の開度を漸次減少させて閉状態とすることを特徴とする。
【００２９】
この方法によれば、弁が半開き（全開でも全閉でもない状態）であるので、圧損が発生して気体の流量が急激に変化するのを抑制することができる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態の１つである感光体塗工装置について説明する。
【００３１】
図１は本発明の実施の形態の１つである感光体塗工装置の全体構成を示す図である。
【００３２】
本感光体塗工装置は、塗工液を蓄えるための円筒形の塗工タンク１と、基体６の浸漬により塗工タンク１からあふれ出た塗工液を回収するための、塗工タンク１上端部に接するようドーナツ状に形成されたオーバーフロー槽２と、オーバーフロー槽２にて回収された塗工液の粘度等を均質化し塗工液を調製するための循環槽３と、循環槽３内の塗工液を塗工タンク１に戻すためのポンプ４と、塗工タンク１の容積を低減させるための円柱状の省液治具５（基体６のドラム形状に合わせた形状）とを有している。
【００３３】
また、本感光体塗工装置は、基体６を上下に移動させるために、基体６の上端を密閉しつつ把持する把持部７と、把持部７に接続され、ボールねじ１０の雄ねじにはまり合う雌ねじの形成された可動部材８と、可動部材８を上下に移動可能に支持する支持部９と、回転により可動部材８を上下に移動させるためのボールねじ１０と、ボールねじ１０を回転させるモータ１１と、所定の入力に応じてモータ１１の回転を制御するためのモータ制御装置１２とを有している。
【００３４】
より詳細には、把持部７は、耐溶媒性のＯリング７２を挟み合う第１部材７１と第２部材７３とを含んでおり、第１部材７１と第２部材７３とには、Ｏリング７２に接触する部分にテーパが形成されている。Ｏリング７２は、第１部材７１と第２部材７３とが近接することによって押し広げられて基体６の内面に密着し、基体６は、上端が密閉された状態で把持部７に把持されることとなる。
【００３５】
上記のような構成の把持部７により把持された基体６は、モータ１１の（矢印Ｄ１の向きへの）回転により下方（矢印Ｄ３の向き）に移動され、塗工タンク１内に蓄えられた塗工液に浸漬され、塗工後の基体６が、モータ１１の（矢印Ｄ２の向きへの）回転により上方（矢印Ｄ４の向き）に移動され、塗工タンク１内の塗工液から引き上げられる。
【００３６】
さらに、これらのような基体６の上下への移動に伴って基体６の内側に形成される空間（後述する図２の空間１００）から空気を抜き出しまたこの空間に空気を送り込むために、本感光体塗工装置は、エアシリンダ１５のエア室１６０と基体６の内側の空間との間で空気の流れを誘導するエアチューブ１３と、昇降移動をガイドしつつエアシリンダ１５を保持するシリンダ保持部１４と、シリンダ保持部１４に固定されているピストンシャフト１５３に対して昇降することにより空気を吸い込みまた吐き出すエアシリンダ１５とを含んでおり、把持部７の第１部材７１、第２部材７３には、それぞれ、エアチューブ１３に接続される空気孔７４、７５が設けられる。
【００３７】
より詳しくは、可動部材８のワイヤ接続部８１に一端が接続されているワイヤ１４１が定滑車１４２、１４３および動滑車１５１、１５２（エアシリンダ１５に取り付けられている）に導かれ、他端がシリンダ保持部１４のワイヤ接続部１４６に接続されており、シリンダ保持部１４上を上下に延びる２本のスライドレール１４４およびスライドレール１４５（図中でスライドレール１４４に重なっている）により、滑り車１５４、１５５および滑り車１５６、１５７の取り付けられているエアシリンダ１５の昇降がガイドされる。
【００３８】
特に、このワイヤ１４１の長さは、基体６の下方への移動に際し、基体６下端が省液治具５の上面近傍に達したら、エアシリンダ１５が基体６と連動するように調節されている。
【００３９】
緩衝手段である、ばね１６はエアシリンダ１５の下方に設置されている。このばね１６の上端は、基体６下端が省液治具５上面近傍の位置にあるときに、エアシリンダ１５の底面に当接するように位置合わせされている。
【００４０】
実際、本感光体塗工装置では、次に示すようなエアシリンダ１５の動作が基体６に対する塗工液の塗布に伴われる。
【００４１】
図２は基体６の下方への移動に伴うエアシリンダ１５の動作を説明するための図である。
【００４２】
可動部材８の下方（矢印Ｄ３の向き）への移動により、ワイヤ接続部８１近傍のワイヤ１４１が下方に引っ張られ、エアシリンダ１５が上昇される。エアシリンダ１５が上昇されると、シリンダ内面１５８とピストン１５９上面とにより形成されているエア室１６０の容積が増大され、基体６内側の空間１００（把持部７下面、基体６内面、基体６直下の塗工液面１２０および省液治具５によって形成される空間）内の空気が、エアチューブ１３内を矢印Ｄ５の向きに流されエア室１６０に排出されることとなる。
【００４３】
また、図３は基体６の上方への移動に伴うエアシリンダ１５の動作を説明するための図である。
【００４４】
可動部材８の上方（矢印Ｄ４の向き）への移動に伴って、エアシリンダ１５は自重により降下する。エアシリンダ１５が降下すると、エア室１６０の容積が減少され、上記のようにして排出されたエア室１６０内の空気が、エアチューブ１３内を矢印Ｄ６の向きに流され基体６内側の空間１００内に吸入されることとなる。
【００４５】
基体６の上方への移動に伴い、基体６下端が省液治具５上面を通過する際、本感光体塗工装置は図１に示すようになる。ここで、基体６がさらに上方へ移動すると、ばね１６はエアシリンダ１５底面に当接するため収縮し、エアシリンダ１５の重量と釣合ったところで停止する。このため、エアシリンダ１５は急激に停止せずに、減速の度合いを増しながら最終的に停止する。
【００４６】
以上のように、エアシリンダ１５の移動の停止が緩やかに行われるため、このときの空間１００内に吸入される空気量も漸次減少し、塗工液のオーバーフロー量が急激に変化することがない。
【００４７】
図４は本願の塗工装置での塗工液のオーバーフロー量の変化を示す図である。ここでは、説明の便宜上、下端が下方の位置ｘ_１にあった基体６が、所定の時間後に省液治具５の上面に対応する位置ｘ_０に達し、その後さらに同じ時間後に上方の位置ｘ_２に達して、空間１００内への空気の吸入が停止するものとする。
【００４８】
塗工タンク１に流入する塗工液の流量をＱ_０、基体６の上方への移動に際して、基体６の下端が位置ｘ_１から位置ｘ_０に達するまでの塗工液のオーバーフロー量（流量）をＱ_１、基体１０６の下端が位置ｘ_０から位置ｘ_２に達するまでのオーバーフロー量をＱ_２とすると、Ｑ_０とＱ_１との差は図４に示す厚肉円筒状空間（基体６下端が位置ｘ_１にある時の省液治具５の外面と基体６の外面との間の空間）の容積Ｖ_１にほぼ等しく、Ｑ_０とＱ_２との差は図４に示す容積Ｖ_２にほぼ等しいといえる。
【００４９】
ここで、空気の吸入量が減少していく分、容積Ｖ_２は漸次増大し、最終的に基体６の外径を直径とする円を底面積Ｓとする円柱空間にほぼ等しくなる。基体６が単位時間に移動した距離ｄｘにおける容積Ｖ_２の変化量ｄＶ_２は下記式（１）：
ｄＶ_２＝｛Ｓ−ｆ（ｘ）｝ｄｘ（１）
（ここで、ｆ（ｘ）は緩衝手段によって決まる、空間１００内に吸入された空気量を高さｄｘの円柱に見立てた場合の底面積を表す。）
のようになる。
【００５０】
本実施形態においては、緩衝手段としてばね１６を用いているので、ｆ（ｘ）は次第に減少の度合いを増しながら位置ｘ_２で０になる。位置ｘ０と位置ｘ２との距離は、ばね１６のばね定数が大きいほど、またエアシリンダ１５の重量が小さいほど長くなり、塗工液のオーバーフロー量の変動が緩やかになる。
【００５１】
本実施形態では緩衝手段としてばねを用いたが、ばねの代わりにエアシリンダ（エア室を密閉したもの）、ゴムなどの弾性部材を用いてもよい。また、エアシリンダ１５の停止時に、シリンダ内面１５８とピストン１５９下面で形成される空間を弁により密閉することにより、エアシリンダ１５そのものを弾性部材として兼用することができる。
【００５２】
図５は本発明の他の実施形態である感光体塗工装置の全体構成を示す図である。
【００５３】
本塗感光体工装置は、エアチューブ１３に弁１７を備えており、所定の入力により弁１７の開度を制御するための開度制御装置１８を有している。ピストンシャト１５３は可動部材８に固定されており、可動部材８の昇降に伴い、基体６とともに移動する。
【００５４】
基体６の上方への移動に伴い、基体６下端が省液治具５上面を通過する際、開度制御装置１８は弁１７の開度制御を開始する。ここで、基体６がさらに上方へ移動すると、弁１９は開状態から閉状態に漸次変化する設定になっている。このため、エアチューブ１３内の弁１７の位置で発生する圧損が次第に大きくなり、空間１００に吸入される空気量が次第に減少していく。従って、塗工液のオーバーフロー量が急激に変化することがない。
【００５５】
なお、上記のように緩衝手段を弁１９とした場合は、誘導手段としてエアシリンダ１５以外にも、ブロワを使用することができる。
【００５６】
以上、記載した実施の形態では緩衝手段として、弾性部材（ばね１６）または弁１７を用いているが、モータ制御装置１２を緩衝手段とし、感光体用基体６の移動速度を直接制御することによっても、同様の効果が得られる。
【００５７】
【発明の効果】
本発明の感光体塗工装置および感光体塗工方法によると、感光体用基体の上方への移動に伴い、感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過する際、制御手段が気体の誘導を停止し、停止に際しては緩衝手段が気体の誘導量を漸次減少させる。このため、従来のように、感光体基体の下端が塗工液面下の挿入部材上面に対応する鉛直位置を通過する際に、塗工槽（塗工タンク）からあふれ出る塗工液の量が急激に変化することが防止され、感光体用基体外面に塗布される塗工液の均一性を阻害することなく、用いられる塗工液の量が省液治具により少なく抑えられることとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の１つである感光体塗工装置の全体構成を示す図である。
【図２】本感光体塗工装置での基体６の下方への移動に伴うエアシリンダ１５の動作を説明するための図である。
【図３】本感光体塗工装置での基体６の上方への移動に伴うエアシリンダ１５の動作を説明するための図である。
【図４】本感光体塗工装置での塗工液のオーバーフロー量の変化を示す図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である感光体塗工装置の全体構成を示す図である。
【図６】従来の塗工装置での感光体ドラムの浸漬塗工を説明するための図である。
【図７】改良の施された塗工装置を用いての浸漬塗工を説明するための図である。
【図８】改良塗工装置での塗工液のオーバーフロー量の変化を示す図である。
【図９】塗工液のオーバーフロー量に応じて変化する塗工液面の盛り上がりを示す図である。
【符号の説明】
１塗工タンク
２オーバーフロー槽
４ポンプ
５省液治具
６基体
７把持部
８可動部
１３エアチューブ
１５エアシリンダ
１６ばね
１７弁
１８開度制御装置
１００基体６内部の空間

Claims

筒状の感光体用基体の上端を把持部により密閉しつつ把持し、把持された感光体用基体を上下に移動させることによって、所定の塗工槽に一定の流量で流入され塗工槽を常に満たす塗工液に、感光体用基体を浸漬させて引き上げ、感光体用基体の外面に塗工液を塗布する感光体塗工装置であって、
感光体用基体の下方への移動により感光体用基体の内部に挿入され、上面が塗工液面下に位置する塗工槽内の挿入部材と、
感光体用基体の下方への移動に際して、把持部、感光体用基体の内面、塗工液の液面および挿入部材により形成される空間内の気体の一部を外部に誘導し、感光体用基体の上方への移動に際して、前記空間に気体を外部から誘導する誘導手段とを有し、
さらに、感光体用基体の上方への移動に際して、感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過する際、気体の誘導を停止するように誘導手段を制御する制御手段を有し、
前記誘導手段が気体の誘導を停止する際、気体を誘導する量を漸次減少させる緩衝手段を有することを特徴とする感光体塗工装置。
前記誘導手段がエアシリンダであり、前記緩衝手段が弾性部材であり、
エアシリンダのシリンダ内部と前記空間内部とが気体通路によって連通しており、
エアシリンダのピストンまたはシリンダの移動を感光体用基体の移動に連動させる連動手段を有し、
前記緩衝手段は、当該ピストンまたはシリンダが移動を終了する位置で、動作するように設置されることを特徴とする請求項１に記載の感光体塗工装置。
前記緩衝手段は、前記誘導手段または前記空間に連通する気体通路に設けられた弁であることを特徴とする請求項１に記載の感光体塗工装置。
筒状の感光体用基体の上端を把持部により密閉しつつ把持し、把持された感光体用基体を上下に移動させることによって、所定の塗工槽に一定の流量で流入され塗工槽を常に満たす塗工液に、感光体用基体を浸漬させて引き上げ、感光体用基体の外面に塗工液を塗布する感光体塗工方法であって、
挿入部材はその上面が塗工液面下に位置するように塗工装置内に設けられており、
感光体用基体の下方への移動により、挿入部材が感光体用基体の内部に挿入されるとともに、誘導手段が把持部、感光体用基体の内面、塗工液の液面および挿入部材により形成される空間内の気体の一部を外部に誘導し、
感光体用基体の上方への移動により、挿入部材が感光体用基体の内部から抜き取られるとともに、誘導手段が前記空間に気体を外部から誘導し、感光体用基体の下端が挿入部材の上面を通過する際、制御手段が気体の誘導を停止し、停止に際しては緩衝手段が気体の誘導量を漸次減少させることを特徴とする感光体塗工方法。
前記誘導手段がエアシリンダであり、
連動手段によりエアシリンダのピストンまたはシリンダと、感光体用基体とが連動して移動し、
その移動に伴い、エアシリンダのシリンダ内部または前記空間に、両者を連通する気体通路を介して気体が誘導され、
前記緩衝手段は、エアシリンダのピストンまたはシリンダが移動を終了するときに、当該ピストンまたはシリンダの移動速度が漸次減少するように動作することを特徴とする請求項４に記載の感光体塗工方法。
前記緩衝手段は、前記誘導手段または前記空間に連通する気体通路に設けられた弁であり、
前記制御手段が気体の誘導を開始するときに、前記弁の開度を開状態とし、前記制御手段が気体の誘導を停止するときに、前記弁の開度を漸次減少させて閉状態とすることを特徴とする請求項４に記載の感光体塗工方法。