JP3628956B2 - 加振型接触検出プローブ - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検体の微細な表面形状を計測する形状測定機などに使用される加振型接触検出プローブに関する。詳しくは、計測値の最も信頼性の高い形状計測を実現している機械的接触の度合いを検出する加振型接触検出プローブに関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体の三次元回路構造やマイクロマシンの構造などを被検体とする微細計測に用いられる接触検出プローブは、スタイラスのサイズ自体が微小であり、また、スタイラスの支持体側とスタイラス側とで合わせてプローブとしてきわめて高精度に校正されているため、プローブ全体では機能、性能に相当して高価である。
【０００３】
実際の使用に際しては、微細なスタイラスの更に微細な先端接触部の摩耗、汚れなどによる性能劣化により、スタイラスを交換しなければならない事態が発生する。そのため、スタイラスの交換に際して、迅速、容易、低廉なスタイラスの着脱、および、交換後の容易、迅速な再校正が期待されている。
従来の接触検出プローブは、被検体の表面に沿って別の走査機構により走査運動を行うスタイラス支持体に機械的に結合され、被検体と接触する接触部位を有しかつ軸状の形状を持ったスタイラスと、電気的交流エネルギの印加により前記スタイラスに弾性振動を励起させる加振素子と、前記接触部位の被検体との接触に応じて変化する前記振動の挙動を検出する検出素子とを備えた構造である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のような構造では、加振素子、検出素子に関して微細、多数の電気的な接続箇所をもっているため、通常のプラグ、リセクタクルの接点を介して電気的接続がなされるコネクタの類では、性能上の要求であるクロストークを回避するには形状とサイズの点で微細なスタイラスには適合できず、しかも、スタイラスの交換の度にこれら電気的接続換えを行うのは、作業自体が困難であり、容易性、迅速性の点で大きな問題であった。
一方、スタイラスの交換の度にスタイラス側のみではなく、スタイラスの支持側も含めてプローブ全体を交換対象とすれば、容易性、迅速性は得られるが、きわめて高価になる。
【０００５】
本発明の目的は、スタイラスの交換の際、スタイラスに付属する加振素子、検出素子の電気的接続の変更をなくすこと、具体的には、微細スタイラスを含む交換後の再校正が容易、迅速になされ、各種諸条件を保ちながらスタイラスに付属する加振素子、検出素子の電気的接続変更の手間をなくすことが可能な加振型接触検出プローブを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
スタイラスの交換の際、交換部位をスタイラス側のみとした場合、更新の可能性のある挙動パラメータは、加振周波数と検出利得であるが、スタイラス交換時に、これらのデータをスタイラス支持側の制御装置に指令することで制御装置におけるコンピュータにより整合させることは可能であるから、再調整は容易、迅速に実現できる。
また、スタイラスを含む交換部位の機械的寸法的校正は予め別途校正手段で済ませることが可能であり、スタイラス交換時に交換部位の取り付けの位置的再現性が確保されれば、交換後、わずかな機械的計測値を得るだけで機械的な再校正も迅速、容易に実現できる。
このような背景を踏まえ、本発明の加振型接触検出プローブでは、次の構成を採用することによって、スタイラスの交換の際、スタイラスに付属する加振素子、検出素子の電気的接続の変更をなくすことができるようにしたものである。
【０００７】
請求項１に記載の発明は、 被検体と接触する接触部位を有しかつ軸状の形状を持ったスタイラスと、電気的交流エネルギの印加により前記スタイラスに弾性振動を励起させる加振素子と、前記接触部位の被検体との接触に応じて変化する前記振動の挙動を検出する検出素子とを有する加振型接触検出プローブにおいて、前記加振素子に前記電気的交流エネルギを印加する加振エネルギ伝達手段と、前記検出素子に接続された検出信号伝達手段と、互いに填め合わされるスタイラス支持体およびスタイラス組立と、填め合わされたスタイラス支持体およびスタイラス組立の外側に装着される外筒スリーブとを備え、前記加振エネルギ伝達手段は、加振エネルギ源に接続される１次側コイルを有する第１組１次側磁気回路と、前記加振素子に接続される２次側コイルを有する第１組２次側磁気回路とを含み、 前記検出信号伝達手段は、前記検出素子に接続される１次側コイルを有する第２組１次側磁気回路と、検出信号を取り出すための２次側コイルを有する第２組２次側磁気回路とを含み、前記スタイラス、加振素子、検出素子、第１組２次側磁気回路および第２組１次側磁気回路は前記スタイラス組立にて一体化され、前記第１組１次側磁気回路および第２組２次側磁気回路は前記スタイラス支持体にて一体化され、前記スタイラス組立とスタイラス支持体とが填め合わされかつこれらの外側に外筒スリーブが装着された際、前記第１組の１次側磁気回路と２次側磁気回路間、並びに、前記第２組の１次側磁気回路と２次側磁気回路間それぞれの間で電磁的結合が成立し、かつ、前記スタイラス支持体に対する前記スタイラスの機械的相対位置が再現可能に構成され、前記填め合わせとその解除の際、前記スタイラス支持体側、および、前記スタイラス組立側の電気接続の無変更を特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、スタイラス、加振素子、検出素子、第１組２次側磁気回路および第２組１次側磁気回路を一体化して組み込んだスタイラス組立と、第１組１次側磁気回路および第２組２次側磁気回路を一体化して組み込んだスタイラス支持体とを、互いに填め合わせ可能に構成したので、スタイラスを交換する際、スタイラス組立の交換のみでよいから、微細スタイラスを含む交換後の再校正が容易かつ迅速にでき、各種諸条件を保ちながらスタイラスに付属する加振素子、検出素子の電気的接続の変更の手間をなくすことができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記第２組の１次側と２次側磁気回路は、前記スタイラス組立側の他の電磁気系統、および、前記スタイラス支持体側の他の電磁気系統とは電磁気的に結合しない構造に配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、検出信号を伝達する第２組の１次側、２次側磁気回路が、スタイラス組立およびスタイラス支持体側の他の電磁気系統とは電磁気的に結合しない構造であるから、加振エネルギの電磁気量に対して相対的に微弱な検出信号のＳ／Ｎ比を劣化させることがない。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記スタイラス組立とスタイラス支持体とが填め合わされる際、前記１組の１次側コイルと２次側コイル、前記第２組の１次側コイルと２次側コイルのそれぞれは、前記スタイラスの軸方向に沿ってそれぞれ同芯に配置されていることを特徴とする。
この構成によれば、各組のコイル群がスタイラスの軸方向に沿って同芯に配置される構造であるから、組み込みやすく、製造しやすい。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記第１組の１次側コイルと２次側コイル、および、前記第２組の１次側コイルと２次側コイルは、それぞれトロイダルコイルによって構成されていることを特徴とする。
この構成によれば、各組のコイル群がトロイダルコイルによって構成されているから、磁束の漏洩を少なくできる。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１または請求項３に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記スタイラス組立とスタイラス支持体とは、填め合わせた後では全体で円形筒構造もしくは多角形筒構造の中心軸と平行に分割される構造の一方と他方であることを特徴とする。
この構成によれば、スタイラス組立とスタイラス支持体とを填め合わせると、全体で円形筒構造もしくは多角形筒構造になるから、コンパクトに構成することができるとともに、分解、填め込みも簡単にできる。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１または請求項３に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記スタイラス組立とスタイラス支持体とは、共通軸を有する内外の同芯円形筒構造もしくは同芯多角形筒構造の外筒および内筒の、一方と他方であることを特徴とする。
この構成によれば、スタイラス組立とスタイラス支持体とを軸方向に填め合わせることができ、しかも、固定にあたっては、たとえば、セットスクリュなどで簡単に固定することができる。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記検出素子の増幅回路を有し、この増幅回路は、前記第１組の２次側コイルより電気的交流エネルギの一部を用いて発生された電源により作動されることを特徴とする。
この構成によれば、検出信号が用途に対して過度に微弱である場合は、増幅回路によって検出信号を増幅できる。しかも、その増幅回路を、第１組の第２次側コイルより電気的交流エネルギの一部を利用して作動させることができるから、効率的に構成できる。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、前記検出素子の増幅回路を有し、この増幅回路は、前記第１組および第２組とは独立の第３組のコイルにより供給された電気的交流エネルギを用いて発生された電源により作動されることを特徴とする。
この構成によれば、請求項７において、第１組の２次側コイルで受信した伝達量に余裕がない場合は、第１組および第２組とは独立の第３組のコイルにより供給された電気的交流エネルギを用いて作動させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態の説明にあたって、同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
［第１実施形態］
図１に第１実施形態の加振型接触検出プローブＰ１を示す。この加振型接触検出プローブＰ１は、スタイラス２、加振素子４および検出素子６を有するスタイラスアッセンブリ１と、前記加振素子４に電気的交流エネルギを印加する加振エネルギ伝達手段１０と、前記検出素子６に接続された検出信号伝達手段２０と、互いに填め合わされるスタイラス支持体３０およびスタイラス組立４０と、磁性体からなる外筒スリーブ５０とを備えている。
【００１７】
スタイラスアッセンブリ１は、先端に被検体と接触する接触部位２Ａを有しかつ軸状の形状を持ったスタイラス２と、このスタイラス２の中間部を保持した素子装着弾性体３と、この素子装着弾性体３の片面に装着され電気的交流エネルギの印加によりスタイラス２に弾性振動（スタイラス２の軸方向振動：矢印方向振動）を励起させる圧電素子からなる加振素子４と、この加振素子４に接続された加振素子電気接続リード線５と、前記素子装着弾性体３の他の片面に装着され前記スタイラス２の接触部位２Ａの被検体との接触に応じて変化する前記振動の挙動を検出する圧電素子からなる検出素子６と、この検出素子６に接続された検出素子電気接続リード線７とを備えている。
【００１８】
加振エネルギ伝達手段１０は、第１組１次側磁気回路１１と、第１組２次側磁気回路１２とを有する。
第１組１次側磁気回路１１は、加振エネルギ源に接続される１次側コイル１１Ａと、ヨーク１１Ｂと、磁芯１１Ｃとから構成されている。
第１組２次側磁気回路１２は、前記加振素子４に加振素子電気接続リード線５を介して接続される２次側コイル１２Ａと、ヨーク１２Ｂと、磁芯１２Ｃとから構成されている。
【００１９】
検出信号伝達手段２０は、第２組１次側磁気回路２１と、第２組２次側磁気回路２２とを有する。
第２組１次側磁気回路２１は、前記検出素子６に検出素子電気接続リード線７を介して接続される１次側コイル２１Ａと、ヨーク２１Ｂと、磁芯２１Ｃとから構成されている。
第２組２次側磁気回路２２は、検出信号を取り出すための２次側コイル２２Ａと、ヨーク２２Ｂと、磁芯２２Ｃとから構成されている。
【００２０】
スタイラス支持体３０には、前記第１組１次側磁気回路１１および第２組２次側磁気回路２２が一体的に収納配置されている。つまり、第１組１次側磁気回路１１および第２組２次側磁気回路２２は、スタイラス支持体３０にて一体化されている。なお、スタイラス支持体３０は、第１組１次側磁気回路１１のヨーク１１Ｂおよび第２組２次側磁気回路２２のヨーク２２Ｂを兼ねている。
スタイラス組立４０には、前記スタイラス２、加振素子４、検出素子６、第１組２次側磁気回路１２および第２組１次側磁気回路２１が一体的に収納配置されている。つまり、スタイラス２、加振素子４、検出素子６、第１組２次側磁気回路１２および第２組１次側磁気回路２１などは、スタイラス組立４０にて一体化されている。なお、スタイラス組立４０は、第１組２次側磁気回路１２のヨーク１２Ｂおよび第２組１次側磁気回路２１のヨーク２１Ｂを兼ねている。
【００２１】
ここで、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とは、互いに填め合わせた後では全体として円形筒構造に構成されている。従って、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とは、互いに填め合わせた後では全体として円形筒構造の中心軸と平行に分割される構造の一方と他方を構成している。
また、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とが填め合わされたとき、前記第１組の１次側コイル１１Ａと２次側コイル１２Ａ、前記第２組の１次側コイル２１Ａと２次側コイル２２Ａのそれぞれは、前記スタイラス２の軸方向（スタイラス組立４０およびスタイラス支持体３０の中心軸）に沿ってそれぞれ同芯に配置されている。
【００２２】
また、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とが填め合わされたとき、第１組１次側磁気回路１１の端面１１Ｌと第１組２次側磁気回路１２の端面１２Ｒ、および、第２組１次側磁気回路２１の端面２１Ｒと第２組２次側磁気回路２２の端面２２Ｌとは密接するように配置されているとともに、第１組２次側磁気回路１２の端面１２Ｌと第２組２次側磁気回路２２の端面２２Ｒとの間には隙間６０が設けられている。つまり、第１組の１次側磁気回路１１と２次側磁気回路１２間、および、前記第２組の１次側磁気回路２１と２次側磁気回路２２間では電磁気的に密な結合状態に維持され、第１組２次側磁気回路１２と第２組２次側磁気回路２２との間では電磁気的に粗の結合状態に維持されている。これにより、加振エネルギの電磁気量に対して相対的に微弱な検出信号のＳ／Ｎ比を劣化させないようになっている。換言すると、第２組の１次側、２次側磁気回路２１，２２（コイル群２１Ａ，２２Ａ）は、スタイラス組立４０側の他の電磁気系統、および、スタイラス支持体３０側の他の電磁気系統とは電磁気的に結合しない構造に配置されている。
【００２３】
なお、加振素子電気接続リード線５および検出素子電気接続リード線７のコイルとの間の配置に関しては、電磁気的なクロストークを回避するため、スタイラス組立４０において、スタイラス組立４０の磁性体による隔離、並びに、空間的に同居する際は互いに離すことが実際上重要である。このため、図１では、スタイラス組立４０の外部端面部位のこれらリード線を空間的に離した配置としてある。
【００２４】
以上において、組立にあたっては、スタイラス２、加振素子４、検出素子６、第１組２次側磁気回路１２および第２組１次側磁気回路２１を有するスタイラス組立４０と、第１組１次側磁気回路１１および第２組２次側磁気回路２２を有するスタイラス支持体３０と填め合わせる。こののち、その外側に外筒スリーブ５０を装着する。これにより、スタイラス支持体３０に対するスタイラス２の機械的相対位置が高精度に再現できる。
一方、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０との填め合わせを解除するには、まず、外筒スリーブ５０を取り外し、ついで、スタイラス支持体３０からスタイラス組立４０を外すのみでよい。この操作は、きわめて簡易かつ迅速に行うことができ、しかも、加振素子電気接続リード線５および検出素子電気接続リード線７に関する電気的接続操作は何も必要としない。
つまり、スタイラス２を交換する際、スタイラス組立４０の交換のみでよいから、微細スタイラスを含む交換後の再校正が容易、迅速にでき、各種諸条件を保ちながらスタイラス２に付属する加振素子４、検出素子６の電気的接続の変更の手間をなくすことができる。
【００２５】
［第２実施形態］
図２は本発明の第２実施形態の加振型接触検出プローブＰ２を示している。
この加振型接触検出プローブは、第１実施形態の加振型接触プローブＰ１に対して、第１組および第２組の磁気回路１１，１２、２１，２２を構成する１次コイル１１Ａ，２１Ａおよび２次コイル１２Ａ，２２Ａの形態が異なる。つまり、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とが填め合わされたとき、第１組のコイル１１Ａ，１２Ａと、第２組のコイル２１Ａ，２２Ａのそれぞれは、スタイラス２の軸方向に対して直交して配置され、同芯状ではない。
【００２６】
また、スタイラス支持体３０は、磁性体からなる円柱体を中心軸と平行な面で切断した平面３０Ａを有し、この平面３０Ａが前記端面１１Ｌ，２２Ｌを兼ねている。このため、スタイラス支持体３０側に配置される磁気回路１１，２２には、前記磁芯１１Ｃ，２２Ｃが設けられていない。
その代わり、スタイラス組立４０とは電磁気的に密な結合を実現するため、密着を要する部分が、スタイラス組立４０の３箇所となっている。つまり、スタイラス組立４０の磁芯１２Ｃ，２２Ｃと、それを挟んだ両側の部分（端面１２Ｒ，２１Ｒに相当）に対して平面３０Ａが密着する構成である。
【００２７】
第２実施形態によれば、コイルの断面積を軸方向に沿って拡大縮小など設計上自在であるため、コイルによる加振エネルギ、検出信号の伝達の容量を磁気回路の特性上、許容できる範囲で設計上の自由度が大きい。
ただ、スタイラス支持体３０にスタイラス組立４０が填め合わされる際、スタイラス支持体３０とスタイラス組立４０は、円形筒構造の中心軸に沿って平行に分割される構造の一方と他方であることは、前記第１実施形態と同じである。
【００２８】
［第３実施形態］
図３は本発明の第３実施形態の加振型接触検出プローブＰ３を示している。
この加振型接触検出プローブＰ３は、スタイラス支持体３０とスタイラス組立４０とが、共通軸を有する内外の同芯円形筒構造の外筒および内筒の、一方と他方とで構成されている。ここでは、スタイラス支持体３０が外筒３１によって、スタイラス組立４０が内筒４１によって構成されている。
【００２９】
外筒３１は、磁性体によって構成されたスリーブ３１Ａと、このスリーブ３１Ａの基端部に嵌合された嵌合部材３１Ｂとから構成されている。スリーブ３１Ａの内周面には、第１組の１次側コイル１１Ａと、第２組の２次側コイル２２Ａとが所定間隔隔てて配置されている。
【００３０】
内筒４１は、２つの挿入筒４１Ａ，４１Ｂと、この間に介在されたスペーサ４１Ｃと、これらを一体化する連結ボルト４１Ｄとから構成されている。挿入筒４１Ａの外周面には、前記第１組の１次側コイル１１Ａと対応する位置に第１組の２次側コイル１２Ａが配置され、また、挿入筒４１Ｂの外周面には、前記第２組の２次側コイル２２Ａと対応する位置に第２組の１次側コイル２１Ａが配置されている。ここで、外筒３１および挿入筒４１Ａ，４１Ｂは磁性体で構成され、第１組と第２組の電磁気的結合が密になるように構成されている。スペーサ４１Ｃは、隙間６０を作るために非磁性体で構成されている。
【００３１】
なお、第１組の１次側コイル１１Ａと２次側コイル１２Ａ、および、第２組の１次側コイル２１Ａと２次側コイル２２Ａとは、同一軸に対して平行、かつ、同芯にソレノイド状に形成されている。
【００３２】
第３実施形態によれば、スタイラス組立４０が、スタイラス支持体３０と同芯の円筒形状であるから、軸方向に填め合わせることができるとともに、固定するに当たっては、たとえば、セットスクリュなどで簡単に固定することができる。また、スタイラス支持体３０は、外筒スリーブ５０も兼ねているから、部品点数を削減することができ、安価に構成できる。
なお、この実施形態の場合、第１、第２実施形態に比べ、各組とも１次、２次側コイルが軸に対して平行になるので、同一材料、同一性能の条件ではスタイラス支持体３０の軸方向の長さは短くなるが、胴体径が大きくなる傾向がある。
【００３３】
以上の実施形態において、検出信号が用途に対して過度に微弱である場合は、検出信号を増幅するための増幅回路（直流電源で作動する集積回路）を、検出素子６と第２組の１次側コイル２１Ａとの間に接続することが望ましい。
この際、加振エネルギを伝達する媒体の電気的交流は、一定振幅、スタイラス２の弾性振動に対応する周波数（通常、ラジオ周波数に属する）一定の交流であるが、第１組の２次側コイル１２Ａで受信した伝達量に余裕がある場合は、２次側コイル１２Ａに前記加振素子４と並列に接続したＡＣ／ＤＣ変換の集積回路により、前記増幅回路に所定の直流電流を供給することができる。
【００３４】
また、２次側コイル１２Ａで受信した伝達量に余裕がない場合は、新たに、第３組の磁気回路を付設し、その１次側コイルを前記スタイラス支持体３０に設け、２次側コイルを前記スタイラス組立４０に設け、この２次側コイルに前記ＡＣ／ＤＣ変換の集積回路を接続し、これにより、前記増幅回路に所定の直流電流を供給するようにしてもよい。
【００３５】
また、第１および第２実施形態では、スタイラス組立４０とスタイラス支持体３０とは、互いに填め合わせた後では全体として円形構造の中心軸と平行に分割される構造の一方と他方とで構成したが、互いに填め合わせた後では多角形筒構造の中心軸と平行に分割される構造の一方と他方とで構成してもよい。
また、第３実施形態では、スタイラス支持体３０とスタイラス組立４０とは、共通軸を有する内外の同芯円形筒構造の外筒３１および内筒４１の、一方と他方とで構成したが、同芯多角形筒構造の外筒および内筒の、一方と他方とで構成してもよい。
【００３６】
また、各実施形態で説明した磁気回路１１，１２，２１，２２のヨークや磁芯、つまり、磁路となるコア部は、これまでの形式に限定されるものでなく、たとえば、図４に示すような、一般的に磁束の漏れが少ないとされるトロイダル状のコアであってもよい。
【００３７】
【発明の効果】
本発明の加振型接触検出プローブによれば、スタイラスの交際の際、微細スタイラスを含む交換後の再校正が容易、迅速になされ、各種諸条件を保ちながらスタイラスに付属する加振素子、検出素子の電気的接続の変更の手間を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の加振型接触検出プローブを示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第２実施形態の加振型接触検出プローブを示す分解斜視図である。
【図３】本発明の第３実施形態の加振型接触検出プローブを示す断面図である。
【図４】前記各実施形態における磁気回路の変形例を示す図である。
【符号の説明】
２ スタイラス
２Ａ 接触部位
４ 加振素子
６ 検出素子
１０ 加振エネルギ伝達手段
１１ 第１組１次側磁気回路
１１Ａ １次側コイル
１２ 第１組２次側磁気回路
１２Ａ ２次側コイル
２０ 検出信号伝達手段
２１ 第２組１次側磁気回路
２１Ａ １次側コイル
２２ 第２組２次側磁気回路
２２Ａ ２次側コイル
３０ スタイラス支持体
４０ スタイラス組立

Claims (8)

1. 被検体と接触する接触部位を有しかつ軸状の形状を持ったスタイラスと、電気的交流エネルギの印加により前記スタイラスに弾性振動を励起させる加振素子と、前記接触部位の被検体との接触に応じて変化する前記振動の挙動を検出する検出素子とを有する加振型接触検出プローブにおいて、
   前記加振素子に前記電気的交流エネルギを印加する加振エネルギ伝達手段と、前記検出素子に接続された検出信号伝達手段と、互いに填め合わされるスタイラス支持体およびスタイラス組立と、填め合わされたスタイラス支持体およびスタイラス組立の外側に装着される外筒スリーブとを備え、
   前記加振エネルギ伝達手段は、加振エネルギ源に接続される１次側コイルを有する第１組１次側磁気回路と、前記加振素子に接続される２次側コイルを有する第１組２次側磁気回路とを含み、
   前記検出信号伝達手段は、前記検出素子に接続される１次側コイルを有する第２組１次側磁気回路と、検出信号を取り出すための２次側コイルを有する第２組２次側磁気回路とを含み、
   前記スタイラス、加振素子、検出素子、第１組２次側磁気回路および第２組１次側磁気回路は前記スタイラス組立にて一体化され、前記第１組１次側磁気回路および第２組２次側磁気回路は前記スタイラス支持体にて一体化され、
   前記スタイラス組立とスタイラス支持体とが填め合わされかつこれらの外側に外筒スリーブが装着された際、前記第１組の１次側磁気回路と２次側磁気回路間、並びに、前記第２組の１次側磁気回路と２次側磁気回路間それぞれの間で電磁的結合が成立し、かつ、前記スタイラス支持体に対する前記スタイラスの機械的相対位置が再現可能に構成され、
   前記填め合わせとその解除の際、前記スタイラス支持体側、および、前記スタイラス組立側の電気接続の無変更を特徴とする加振型接触検出プローブ。
2. 請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記第２組の１次側と２次側磁気回路は、前記スタイラス組立側の他の電磁気系統、および、前記スタイラス支持体側の他の電磁気系統とは電磁気的に結合しない構造に配置されていることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
3. 請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記スタイラス組立とスタイラス支持体とが填め合わされる際、前記１組の１次側コイルと２次側コイル、前記第２組の１次側コイルと２次側コイルのそれぞれは、前記スタイラスの軸方向に沿ってそれぞれ同芯に配置されていることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
4. 請求項２に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記第１組の１次側コイルと２次側コイル、および、前記第２組の１次側コイルと２次側コイルは、それぞれトロイダルコイルによって構成されていることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
5. 請求項１または請求項３に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記スタイラス組立とスタイラス支持体とは、填め合わせた後では全体で円形筒構造もしくは多角形筒構造の中心軸と平行に分割される構造の一方と他方であることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
6. 請求項１または請求項３に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記スタイラス組立とスタイラス支持体とは、共通軸を有する内外の同芯円形筒構造もしくは同芯多角形筒構造の外筒および内筒の、一方と他方であることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
7. 請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記検出素子の増幅回路を有し、この増幅回路は、前記第１組の２次側コイルより電気的交流エネルギの一部を用いて発生された電源により作動されることを特徴とする加振型接触検出プローブ。
8. 請求項１に記載の加振型接触検出プローブにおいて、
   前記検出素子の増幅回路を有し、この増幅回路は、前記第１組および第２組とは独立の第３組のコイルにより供給された電気的交流エネルギを用いて発生された電源により作動されることを特徴とする加振型接触検出プローブ。

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