JP3622652B2 - 異方性バルク交換スプリング磁石およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサなどに好適に用いられる高出力磁石材料に係わり、とくに異方性バルク交換スプリング磁石およびこのような磁石の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
永久磁石材料としては、化学的に安定で定コストなフェライト磁石や、高性能の希土類系磁石が実用化されている。
【０００３】
これらの材料は、磁石化合物としてはほぼ単一の化合物から構成されているが、近年、高保磁力の永久磁石材料と、高磁束密度の軟磁性材料を複合化した交換スプリング磁石が注目を集め、研究が進められている。このような交換スプリング磁石は、高い最大エネルギ積が期待されており、理論的には１００ＭＧＯｅ以上の極めて高い磁石特性が可能とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在開発されている交換スプリング磁石は、等方性磁石であり、得られる最大エネルギ積も２０ＭＧＯｅ程度の低い値に留まっている。
【０００５】
これは、交換スプリング磁石を構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して、特性向上がなされないことが最大の原因と考えられ、交換結合を示すような微細で且つ結晶方向が揃った異方性交換スプリング磁石を実現するために多くの研究がなされている。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、従来の交換スプリング磁石における上記課題に着目してなされたものであって、高密度で結晶粒が異方性である交換スプリング磁石材料と、このような磁石材料の製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含み、残部がＦｅ（鉄）及び不可避的不純物から成り、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成としたことを特徴としており、異方性バルク交換スプリング磁石におけるこのような構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【０００８】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、請求項２に記載しているように、さらに添加剤としてＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０１〜５原子％添加することができ、実施の一形態として、請求項３に係わる交換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲にあるものとすることができる。
【０００９】
本発明の請求項４に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧することによって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃った磁石とするようにしており、交換スプリング磁石の製造方法の実施形態として請求項５に係わる製造方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようになすことができ、同じく交換スプリング磁石製造の実施形態として請求項６に係わる製造方法においては、降温過程において５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度で降温するようになすことができる。さらに、請求項７に係わる製造方法においては、降温過程において型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の加圧力で加圧することができ、請求項８に係わる製造方法においては、降温過程において外部から磁場を印加するようになすことができ、請求項９に係わる製造方法においては、そのときの磁場強度を５ｋＯｅ以上とすることができ、このような異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としたことを特徴としている。
【００１０】
さらに、本発明の請求項１０に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持つ構成としたことを特徴としており、本発明の請求項１２ないし請求項１６に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサおよびトルクセンサにおいては、いずれも本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を用いていることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、請求項１に記載しているように、ソフト相とハード相を有し、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃ったものとなっており、このような磁石材料は、希土類元素を含み、且つ水素反応させていない結晶質合金粉末を磁場中で配向させつつ加圧成形し、これを７００℃以上の温度で水素吸蔵、および脱水素処理し、その後の降温過程で加圧することによって得られる。
【００１２】
このような磁石材料において、ソフト相とは磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けて磁力を帯びやすい相であり、ハード相とは磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けにくく、自身の磁力を変化させにくい相であって、磁石性能に影響を及ぼすものである。このとき、従来は交換スプリング磁石を構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して特性向上がなされなかったが、本発明に係わる交換スプリング磁石においては、この結晶粒をハード相の磁化容易軸一方向に揃えた磁石材料であることから、これによって出力特性が顕著区向上することになる。さらにこの結果として本発明に係わる磁石材料においては、７．７ｇ／ｃｍ３以上という従来得られなかった高密度磁石材料が得られ、一層の性能向上が実現することになる。
【００１３】
本発明の上記異方性バルク交換スプリング磁石においては、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％の範囲で含んでいることから、磁気特性が向上する。なお、この範囲外ではソフト相とハード相の構成比のバランスが崩れ、良好な磁石特性が得られなくなってしまう。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、さらにＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素が合計で０．０１〜５原子％添加されているので、焼結時の結晶粒成長が抑えられ、磁石特性が向上することになる。このとき、これらの添加量が０．０５原子％に満たない場合には、添加剤としての効果が得られず、逆に５原子％を超えた場合には、非磁性化合物増加による磁気特性の劣化という不都合が生じる傾向がある。
【００１５】
本発明の請求項３に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、その結晶粒径を５０ｎｍ〜５μｍの範囲としたことにより、磁気特性が良好となる。すなわち、結晶粒径が５０ｎｍよりも小さいと結晶粒界が増大して磁束密度が低下してしまい、反対に５μｍを超えると交換結合が弱まって磁石特性が低下してしまうことになる。
【００１６】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、請求項４に記載しているように、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するようにしており、以上の工程によって得られた焼結体は、ハード相とソフト相で構成され、ハード相の磁化容易軸が一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石となる。
【００１７】
このとき、原料粉末としては、例えば上記のように、希土類元素含有量が２〜１３原子％、Ｂ含有量が１〜２５原子％に調整された結晶質合金を５μｍ以下程度の粒径に粉砕して得られた粉末を用いることができ、この原料粉末を金型に入れて磁場中配向させ、例えば１〜２ｔｏｎ／ｃｍ２程度の圧力で加圧して圧縮成形体を得る。得られた成形体をこの状態、すなわち金型に入れたままで、水素フロー中で７００℃以上、例えば７００〜９００℃で１〜３時間保持して水素化処理を施した後、同程度の温度で減圧状態にして脱水素反応させる。そして、その後の降温時に、例えば３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の圧力で加圧する。
【００１８】
粉砕工程は、得られた異方性バルク交換スプリング磁石の結晶粒径を５０ｎｍ〜５μｍの範囲とするために必要であり、例えばハンマーなどの工具やボールミルなどの装置による機械的外力によって粉砕することができるが、その方法については特に限定されない。
【００１９】
次いで、得られた粉末に磁場をかけることによって、ハード相の結晶中の磁化容易軸が配向磁場方向に揃うようになり、成形体が異方性を備えることになる。このとき、圧縮成形を行うことにより、粉末はある程度の塊状をなし、次工程での取り扱いが容易になる。ただし、この段階で得られた結晶質磁石合金成形体は、保磁力が極めて小さく、永久磁石として使用することができない。
【００２０】
次に、水素フロー中でにおいて７００℃以上に保持した後、同程度の温度で水素化および脱水素処理を行うが、この成形体を公知の水素吸蔵、脱水素処理（ＨＤＤＲ）することによって、配向性を維持したまま結晶粒を微細化して保磁力が発現され、永久磁石としての使用に耐えるものとなる。このとき、前記ＨＤＤＲ（脱水素）処理を７００℃以上で行うことにより、保磁力と配向性が確保されることになる。そして、ＨＤＤＲ処理後の降温過程において焼結体を加圧することによって、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石が実現する。
【００２１】
これまで、ＨＤＤＲ処理は、保磁力を発現する磁石粉末を製造するために用いられてきており、一旦ＨＤＤＲ処理で作製された粉末を磁場中成形して再度加圧および加熱することによりバルク体を得ることが提案されているが、この方法では熱処理過程がＨＤＤＲ処理にバルク作製処理を加えた２工程となって結晶粒径の増加を招くため、磁石特性が低下してしまい、微細な結晶粒を維持することがとくに要求される交換スプリング磁石に対しては、永久磁石としては全く機能しないものになってしまっていた。
【００２２】
本発明においては、交換スプリング磁石の微細構造を維持するためＨＤＤＲ処理の降温過程で加圧することによってこの問題を解消し、高密度化された異方性バルク磁石を得るようにしている。このとき、降温過程における加圧処理と同時に外部から改めて磁場を印加することによって配向性が高められる。
【００２３】
原料粉末を配向させるに際しては、請求項５に記載しているように、外部磁界を１０ｋＯｅ以上が望ましい。すなわち、外部磁界が１０ｋＯｅ未満では配向度が低下して磁石特性の劣化が顕著となる傾向があることによる。
【００２４】
ＨＤＤＲ処理後の降温過程における降温条件としては、請求項６に記載しているように、５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度を採用することが望ましい。これは、冷却速度が５Ｋ／ｍｉｎ．に満たない場合には、結晶粒乃成長が顕著となって磁石特性が劣化する傾向があることによる。
【００２５】
また、ＨＤＤＲ処理後の降温過程における加圧条件については、請求項７に記載しているように、型温が４００℃以上の温度範囲にあるときに加圧することが望ましく、加圧圧力を３ｔｏｎ／ｃｍ２以上とすることが望ましい。これは、焼結体の高密度化に望ましい条件であり、この範囲を外れると高性能磁石が実現できないことがあることによる。
【００２６】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、ＨＤＤＲ処理後の降温過程において焼結体を加圧することを特徴としているが、請求項８に記載しているように、加圧と同時に外部磁場を印加することによって、さらに磁石特性が向上する。これは、降温時に印加された外部磁場によって成長する微結晶の成長方向が制御され、結果として得られる磁石の配向性が向上することによる。降温時の外部磁場の印加方向は、ＨＤＤＲ処理前に磁場中配向させるために印加した磁場方向に平行または垂直方向の何れかとした場合に磁石特性が最も向上する結果が得られる。また、このときの磁場強度としては、請求項９に記載しているように、５ｋＯｅ以上の場合に良好な特性が得られることが確認されている。
【００２７】
このような製造方法により、本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石を製造するためのそうちとしては、請求項１０に記載しているように、原料粉末を成形するための型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持った製造装置を使用することができる。
【００２８】
また、製造された本発明の異方性バルク交換スプリング磁石は、極めて大きな最大エネルギ積を有しているので、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサ、さらには電気自動車やハイブリッド電気自動車の駆動用モータに使用することによって、デバイスの高出力化および小型化、高効率化を実現することができ、特にエンジンと駆動モータを併せ備える必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用することにより、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆動用モータを搭載することができるようになり、環境問題を一気に解決できる可能性を有する。
【００２９】
【発明の効果】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成としたものであるから、出力特性が向上する。このとき、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂを１〜２５原子％含む請求項１の交換スプリング磁石においては、ソフト相とハード相の構成比のバランスを良好なものとして磁気特性をさらに向上させることができるという極めて顕著な効果がもたらされる。
また、さらにＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を添加剤として、合計で０．０１〜５原子％含む請求項２に係わる交換スプリング磁石においては、燒結時の結晶粒成長を制御して磁石特性を一層向上させることができる。
【００３０】
本発明の請求項３に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲にあるものであるから、磁束密度の低下や交換結合の劣化を防止して磁気特性を良好なものとすることができる。
【００３１】
本発明の請求項４に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するようにしているので、ソフト相とハード相を有し、ハード相の磁化容易軸が一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石を得ることができる。
【００３２】
本発明の請求項５に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようにしているので、配向度を向上させて、目的の異方性磁石を得ることができ、請求項６に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、降温に際して５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度で降温するようにしているので、結晶粒成長を抑えつつ冷却することができ、請求項７に係わる交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温に際して、型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の加圧力で加圧するようにしているので、燒結体を高密度化することができ、高性能磁石を実現することができる。
【００３３】
また、請求項８に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温過程において外部から磁場を印加するようにしていることから、配向性をさらに高めて、磁石特性を一層向上させルことができ、請求項９に係わる交換スプリング磁石の製造方法においては、このときの磁場強度を５ｋＯｅ以上としているので、外部磁場の印加による上記効果をより確実なものとすることができるという効果がもたらされる。
【００３４】
本発明の請求項１０に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ備えたものであるから、上記製造方法に基づいて、本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を円滑に製造することができる。
【００３５】
さらに、本発明の請求項１１ないし請求項１５に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサにおいては、いずれも本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を適用したものであるから、これらデバイスの高出力化、小型化、高効率化が可能になるという極めて優れた効果がもたらされる。とくに、エンジンと駆動モータを併せ持つ必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用すれば、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆動用モータを搭載することが可能となる。
【００３６】
【実施例】
以下に、本発明を実施例に基づいてより具体的に説明する。
【００３７】
実施例１
ＮｄｘＦｅ９４−ｘＢ６で表され、ｘを１〜１５まで変化させた組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解し、ジェットミルにより４μｍに粉砕して得られた粉末を磁場中プレスして成形したのち、ＨＤＤＲ処理を行い、その後の降温過程で加圧および磁場を印加して、異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。得られたバルク体は、最大２５ｋＯｅの直流ＢＨトレーサにて磁場中プレス時の磁場印加方向と、これに垂直な方向における磁化曲線を測定し、これらの曲線の違いによって異方性の有無を確認した。
【００３８】
なお、磁場中プレス時の印加磁場は１５ｋＯｅとし、ＨＤＤＲ処理は、８５０℃×２時間の水素吸蔵処理と、８５０℃×１時間の脱水素処理からなるものとした。また、降温過程においては、１０ｋＯｅの磁場中において、５ｔｏｎ／ｃｍ２で加圧しながら２０Ｋ／ｍｉｎ．の冷却速度で４００℃まで冷却し、その後加圧圧力を開放した。
【００３９】
図１は、得られた磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値とｘ値（Ｎｄ量）、すなわち希土類元素量の関係を示す異方性バルク交換スプリング磁石ものであって、希土類元素量が２〜１３原子％において良好な磁石特性が得られることが確認された。
【００４０】
実施例２
Ｎｄ９Ｆｅ９１−ｙＢｙで表され、ｙを１〜３０まで変化させた組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解したのち、上記実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。
【００４１】
図２は、得られた磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値とｙ値、すなわちＢ量の関係を示すものであって、Ｂ量が１〜２５原子％の範囲において良好な磁石特性が得られることが確認された。
【００４２】
実施例３
実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成を有し、通常のＨＤＤＲ処理を行った粉末を用いて、これをそれぞれの温度でホットプレスして得られたバルク体の保持力の相対値を同組成の上記実施例と比較した。
【００４３】
その結果は図３に示すとおりで、ホットプレスによって得られたバルク体は熱処理工程を２回経ているために、保持力は低下し、磁石特性が劣化していることが確認された。
【００４４】
実施例４
実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成の合金に対して、添加剤として、表１に示す各種元素をＦｅに置換する形で添加した合金粉末を用い、実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値を表１に併せて示す。表１から明らかなように、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕよりなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０１〜５原子％含んだ場合に磁石特性が向上していることが判明した。
【００４５】
【表１】
【００４６】
実施例５
Ｎｄ９Ｆｅ８４Ｖ１Ｂ６の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程の降温速度のみを変化させた。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値と降温速度との関係を図４に示す。図から明らかなように、降温速度が５Ｋ／ｍｉｎ．以上で温度を低下させた場合に、良好な磁石特性が得られた。
【００４７】
実施例６
図５は、Ｎｄ９Ｆｅ８３Ｃｕ３Ｂ６の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程において異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程における加圧圧力と加圧時の温度範囲を変化させた場合の密度変化を示したものであって、良好な磁石特性を備えた高密度の磁石は、加圧圧力が３ｔｏｎ／ｃｍ２以上で、かつ加圧温度範囲が４００℃以上で得られることが確認された。
【００４８】
実施例７
図６は、Ｎｄ４Ｆｅ７１Ｃｕ５Ｂ２０の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程における外部磁場強度を変化させた場合の外部磁場強度と得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値との関係を示すものである。なお、外部磁場の印加方向は、粉末を磁場中プレスによって配向させたときの磁場方向に平行とした。図から明らかなように、外部磁場強度が５ｋＯｅ以上のときに磁石特性が向上することが判明した。
【００４９】
実施例８
図７は、本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石１を用いた電気自動車またはハイブリッド電気自動車、あるいは燃料電池自動車用の駆動用モータの構造を示すものであって、このようなバルク磁石１は、駆動用モータの小型化および軽量化、高性能化を可能にし、クリーンエネルギー化に大きくする寄与するものである。なお、図中において記号２，３，４は、それぞれロータ部、スロット（巻線）、ステータ部を示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＮｄｘＦｅ９４−ｘＢ６の組成を有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）と希土類元素量の関係を示すグラフである。
【図２】Ｎｄ９Ｆｅ９１−ｙＢｙの組成を有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）とＢ量の関係を示すグラフである。
【図３】Ｎｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成を有しホットプレスによって得られた磁石の保磁力（相対値）を本発明に係わる同組成の異方性バルク交換スプリング磁石と比較して示すグラフである。
【図４】Ｎｄ９Ｆｅ８４Ｖ１Ｂ６の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の保磁力（相対値）に及ぼす降温速度の影響を示すグラフである。
【図５】Ｎｄ９Ｆｅ８３Ｃｕ３Ｂ６の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の密度に及ぼす降温過程における加圧圧力と加圧時の温度範囲の影響を示すグラフである。
【図６】Ｎｄ４Ｆｅ７１Ｃｕ５Ｂ２０の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）に及ぼす降温過程における印加磁場の影響を示すグラフである。
【図７】本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石を用いた自動車の駆動用モータの構造を示す概略図である。
【符号の説明】
１ 異方性バルク交換スプリング磁石
【発明の属する技術分野】
本発明は、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサなどに好適に用いられる高出力磁石材料に係わり、とくに異方性バルク交換スプリング磁石およびこのような磁石の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
永久磁石材料としては、化学的に安定で定コストなフェライト磁石や、高性能の希土類系磁石が実用化されている。
【０００３】
これらの材料は、磁石化合物としてはほぼ単一の化合物から構成されているが、近年、高保磁力の永久磁石材料と、高磁束密度の軟磁性材料を複合化した交換スプリング磁石が注目を集め、研究が進められている。このような交換スプリング磁石は、高い最大エネルギ積が期待されており、理論的には１００ＭＧＯｅ以上の極めて高い磁石特性が可能とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、現在開発されている交換スプリング磁石は、等方性磁石であり、得られる最大エネルギ積も２０ＭＧＯｅ程度の低い値に留まっている。
【０００５】
これは、交換スプリング磁石を構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して、特性向上がなされないことが最大の原因と考えられ、交換結合を示すような微細で且つ結晶方向が揃った異方性交換スプリング磁石を実現するために多くの研究がなされている。
【０００６】
【発明の目的】
本発明は、従来の交換スプリング磁石における上記課題に着目してなされたものであって、高密度で結晶粒が異方性である交換スプリング磁石材料と、このような磁石材料の製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含み、残部がＦｅ（鉄）及び不可避的不純物から成り、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成としたことを特徴としており、異方性バルク交換スプリング磁石におけるこのような構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【０００８】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、請求項２に記載しているように、さらに添加剤としてＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０１〜５原子％添加することができ、実施の一形態として、請求項３に係わる交換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲にあるものとすることができる。
【０００９】
本発明の請求項４に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧することによって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃った磁石とするようにしており、交換スプリング磁石の製造方法の実施形態として請求項５に係わる製造方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようになすことができ、同じく交換スプリング磁石製造の実施形態として請求項６に係わる製造方法においては、降温過程において５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度で降温するようになすことができる。さらに、請求項７に係わる製造方法においては、降温過程において型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の加圧力で加圧することができ、請求項８に係わる製造方法においては、降温過程において外部から磁場を印加するようになすことができ、請求項９に係わる製造方法においては、そのときの磁場強度を５ｋＯｅ以上とすることができ、このような異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としたことを特徴としている。
【００１０】
さらに、本発明の請求項１０に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持つ構成としたことを特徴としており、本発明の請求項１２ないし請求項１６に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサおよびトルクセンサにおいては、いずれも本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を用いていることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、請求項１に記載しているように、ソフト相とハード相を有し、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃ったものとなっており、このような磁石材料は、希土類元素を含み、且つ水素反応させていない結晶質合金粉末を磁場中で配向させつつ加圧成形し、これを７００℃以上の温度で水素吸蔵、および脱水素処理し、その後の降温過程で加圧することによって得られる。
【００１２】
このような磁石材料において、ソフト相とは磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けて磁力を帯びやすい相であり、ハード相とは磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けにくく、自身の磁力を変化させにくい相であって、磁石性能に影響を及ぼすものである。このとき、従来は交換スプリング磁石を構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して特性向上がなされなかったが、本発明に係わる交換スプリング磁石においては、この結晶粒をハード相の磁化容易軸一方向に揃えた磁石材料であることから、これによって出力特性が顕著区向上することになる。さらにこの結果として本発明に係わる磁石材料においては、７．７ｇ／ｃｍ３以上という従来得られなかった高密度磁石材料が得られ、一層の性能向上が実現することになる。
【００１３】
本発明の上記異方性バルク交換スプリング磁石においては、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％の範囲で含んでいることから、磁気特性が向上する。なお、この範囲外ではソフト相とハード相の構成比のバランスが崩れ、良好な磁石特性が得られなくなってしまう。
【００１４】
また、本発明の請求項２に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、さらにＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素が合計で０．０１〜５原子％添加されているので、焼結時の結晶粒成長が抑えられ、磁石特性が向上することになる。このとき、これらの添加量が０．０５原子％に満たない場合には、添加剤としての効果が得られず、逆に５原子％を超えた場合には、非磁性化合物増加による磁気特性の劣化という不都合が生じる傾向がある。
【００１５】
本発明の請求項３に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、その結晶粒径を５０ｎｍ〜５μｍの範囲としたことにより、磁気特性が良好となる。すなわち、結晶粒径が５０ｎｍよりも小さいと結晶粒界が増大して磁束密度が低下してしまい、反対に５μｍを超えると交換結合が弱まって磁石特性が低下してしまうことになる。
【００１６】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、請求項４に記載しているように、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するようにしており、以上の工程によって得られた焼結体は、ハード相とソフト相で構成され、ハード相の磁化容易軸が一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石となる。
【００１７】
このとき、原料粉末としては、例えば上記のように、希土類元素含有量が２〜１３原子％、Ｂ含有量が１〜２５原子％に調整された結晶質合金を５μｍ以下程度の粒径に粉砕して得られた粉末を用いることができ、この原料粉末を金型に入れて磁場中配向させ、例えば１〜２ｔｏｎ／ｃｍ２程度の圧力で加圧して圧縮成形体を得る。得られた成形体をこの状態、すなわち金型に入れたままで、水素フロー中で７００℃以上、例えば７００〜９００℃で１〜３時間保持して水素化処理を施した後、同程度の温度で減圧状態にして脱水素反応させる。そして、その後の降温時に、例えば３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の圧力で加圧する。
【００１８】
粉砕工程は、得られた異方性バルク交換スプリング磁石の結晶粒径を５０ｎｍ〜５μｍの範囲とするために必要であり、例えばハンマーなどの工具やボールミルなどの装置による機械的外力によって粉砕することができるが、その方法については特に限定されない。
【００１９】
次いで、得られた粉末に磁場をかけることによって、ハード相の結晶中の磁化容易軸が配向磁場方向に揃うようになり、成形体が異方性を備えることになる。このとき、圧縮成形を行うことにより、粉末はある程度の塊状をなし、次工程での取り扱いが容易になる。ただし、この段階で得られた結晶質磁石合金成形体は、保磁力が極めて小さく、永久磁石として使用することができない。
【００２０】
次に、水素フロー中でにおいて７００℃以上に保持した後、同程度の温度で水素化および脱水素処理を行うが、この成形体を公知の水素吸蔵、脱水素処理（ＨＤＤＲ）することによって、配向性を維持したまま結晶粒を微細化して保磁力が発現され、永久磁石としての使用に耐えるものとなる。このとき、前記ＨＤＤＲ（脱水素）処理を７００℃以上で行うことにより、保磁力と配向性が確保されることになる。そして、ＨＤＤＲ処理後の降温過程において焼結体を加圧することによって、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石が実現する。
【００２１】
これまで、ＨＤＤＲ処理は、保磁力を発現する磁石粉末を製造するために用いられてきており、一旦ＨＤＤＲ処理で作製された粉末を磁場中成形して再度加圧および加熱することによりバルク体を得ることが提案されているが、この方法では熱処理過程がＨＤＤＲ処理にバルク作製処理を加えた２工程となって結晶粒径の増加を招くため、磁石特性が低下してしまい、微細な結晶粒を維持することがとくに要求される交換スプリング磁石に対しては、永久磁石としては全く機能しないものになってしまっていた。
【００２２】
本発明においては、交換スプリング磁石の微細構造を維持するためＨＤＤＲ処理の降温過程で加圧することによってこの問題を解消し、高密度化された異方性バルク磁石を得るようにしている。このとき、降温過程における加圧処理と同時に外部から改めて磁場を印加することによって配向性が高められる。
【００２３】
原料粉末を配向させるに際しては、請求項５に記載しているように、外部磁界を１０ｋＯｅ以上が望ましい。すなわち、外部磁界が１０ｋＯｅ未満では配向度が低下して磁石特性の劣化が顕著となる傾向があることによる。
【００２４】
ＨＤＤＲ処理後の降温過程における降温条件としては、請求項６に記載しているように、５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度を採用することが望ましい。これは、冷却速度が５Ｋ／ｍｉｎ．に満たない場合には、結晶粒乃成長が顕著となって磁石特性が劣化する傾向があることによる。
【００２５】
また、ＨＤＤＲ処理後の降温過程における加圧条件については、請求項７に記載しているように、型温が４００℃以上の温度範囲にあるときに加圧することが望ましく、加圧圧力を３ｔｏｎ／ｃｍ２以上とすることが望ましい。これは、焼結体の高密度化に望ましい条件であり、この範囲を外れると高性能磁石が実現できないことがあることによる。
【００２６】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、ＨＤＤＲ処理後の降温過程において焼結体を加圧することを特徴としているが、請求項８に記載しているように、加圧と同時に外部磁場を印加することによって、さらに磁石特性が向上する。これは、降温時に印加された外部磁場によって成長する微結晶の成長方向が制御され、結果として得られる磁石の配向性が向上することによる。降温時の外部磁場の印加方向は、ＨＤＤＲ処理前に磁場中配向させるために印加した磁場方向に平行または垂直方向の何れかとした場合に磁石特性が最も向上する結果が得られる。また、このときの磁場強度としては、請求項９に記載しているように、５ｋＯｅ以上の場合に良好な特性が得られることが確認されている。
【００２７】
このような製造方法により、本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石を製造するためのそうちとしては、請求項１０に記載しているように、原料粉末を成形するための型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持った製造装置を使用することができる。
【００２８】
また、製造された本発明の異方性バルク交換スプリング磁石は、極めて大きな最大エネルギ積を有しているので、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサ、さらには電気自動車やハイブリッド電気自動車の駆動用モータに使用することによって、デバイスの高出力化および小型化、高効率化を実現することができ、特にエンジンと駆動モータを併せ備える必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用することにより、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆動用モータを搭載することができるようになり、環境問題を一気に解決できる可能性を有する。
【００２９】
【発明の効果】
本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成としたものであるから、出力特性が向上する。このとき、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂを１〜２５原子％含む請求項１の交換スプリング磁石においては、ソフト相とハード相の構成比のバランスを良好なものとして磁気特性をさらに向上させることができるという極めて顕著な効果がもたらされる。
また、さらにＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を添加剤として、合計で０．０１〜５原子％含む請求項２に係わる交換スプリング磁石においては、燒結時の結晶粒成長を制御して磁石特性を一層向上させることができる。
【００３０】
本発明の請求項３に係わる異方性バルク交換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲にあるものであるから、磁束密度の低下や交換結合の劣化を防止して磁気特性を良好なものとすることができる。
【００３１】
本発明の請求項４に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するようにしているので、ソフト相とハード相を有し、ハード相の磁化容易軸が一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石を得ることができる。
【００３２】
本発明の請求項５に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようにしているので、配向度を向上させて、目的の異方性磁石を得ることができ、請求項６に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、降温に際して５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度で降温するようにしているので、結晶粒成長を抑えつつ冷却することができ、請求項７に係わる交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温に際して、型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の加圧力で加圧するようにしているので、燒結体を高密度化することができ、高性能磁石を実現することができる。
【００３３】
また、請求項８に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温過程において外部から磁場を印加するようにしていることから、配向性をさらに高めて、磁石特性を一層向上させルことができ、請求項９に係わる交換スプリング磁石の製造方法においては、このときの磁場強度を５ｋＯｅ以上としているので、外部磁場の印加による上記効果をより確実なものとすることができるという効果がもたらされる。
【００３４】
本発明の請求項１０に係わる異方性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ備えたものであるから、上記製造方法に基づいて、本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を円滑に製造することができる。
【００３５】
さらに、本発明の請求項１１ないし請求項１５に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサにおいては、いずれも本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を適用したものであるから、これらデバイスの高出力化、小型化、高効率化が可能になるという極めて優れた効果がもたらされる。とくに、エンジンと駆動モータを併せ持つ必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用すれば、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆動用モータを搭載することが可能となる。
【００３６】
【実施例】
以下に、本発明を実施例に基づいてより具体的に説明する。
【００３７】
実施例１
ＮｄｘＦｅ９４−ｘＢ６で表され、ｘを１〜１５まで変化させた組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解し、ジェットミルにより４μｍに粉砕して得られた粉末を磁場中プレスして成形したのち、ＨＤＤＲ処理を行い、その後の降温過程で加圧および磁場を印加して、異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。得られたバルク体は、最大２５ｋＯｅの直流ＢＨトレーサにて磁場中プレス時の磁場印加方向と、これに垂直な方向における磁化曲線を測定し、これらの曲線の違いによって異方性の有無を確認した。
【００３８】
なお、磁場中プレス時の印加磁場は１５ｋＯｅとし、ＨＤＤＲ処理は、８５０℃×２時間の水素吸蔵処理と、８５０℃×１時間の脱水素処理からなるものとした。また、降温過程においては、１０ｋＯｅの磁場中において、５ｔｏｎ／ｃｍ２で加圧しながら２０Ｋ／ｍｉｎ．の冷却速度で４００℃まで冷却し、その後加圧圧力を開放した。
【００３９】
図１は、得られた磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値とｘ値（Ｎｄ量）、すなわち希土類元素量の関係を示す異方性バルク交換スプリング磁石ものであって、希土類元素量が２〜１３原子％において良好な磁石特性が得られることが確認された。
【００４０】
実施例２
Ｎｄ９Ｆｅ９１−ｙＢｙで表され、ｙを１〜３０まで変化させた組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解したのち、上記実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。
【００４１】
図２は、得られた磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値とｙ値、すなわちＢ量の関係を示すものであって、Ｂ量が１〜２５原子％の範囲において良好な磁石特性が得られることが確認された。
【００４２】
実施例３
実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成を有し、通常のＨＤＤＲ処理を行った粉末を用いて、これをそれぞれの温度でホットプレスして得られたバルク体の保持力の相対値を同組成の上記実施例と比較した。
【００４３】
その結果は図３に示すとおりで、ホットプレスによって得られたバルク体は熱処理工程を２回経ているために、保持力は低下し、磁石特性が劣化していることが確認された。
【００４４】
実施例４
実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成の合金に対して、添加剤として、表１に示す各種元素をＦｅに置換する形で添加した合金粉末を用い、実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリング磁石を作製した。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値を表１に併せて示す。表１から明らかなように、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕよりなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０１〜５原子％含んだ場合に磁石特性が向上していることが判明した。
【００４５】
【表１】
実施例５
Ｎｄ９Ｆｅ８４Ｖ１Ｂ６の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程の降温速度のみを変化させた。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値と降温速度との関係を図４に示す。図から明らかなように、降温速度が５Ｋ／ｍｉｎ．以上で温度を低下させた場合に、良好な磁石特性が得られた。
【００４７】
実施例６
図５は、Ｎｄ９Ｆｅ８３Ｃｕ３Ｂ６の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程において異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程における加圧圧力と加圧時の温度範囲を変化させた場合の密度変化を示したものであって、良好な磁石特性を備えた高密度の磁石は、加圧圧力が３ｔｏｎ／ｃｍ２以上で、かつ加圧温度範囲が４００℃以上で得られることが確認された。
【００４８】
実施例７
図６は、Ｎｄ４Ｆｅ７１Ｃｕ５Ｂ２０の組成の合金粉末を用いて、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石を作製するに際して、降温過程における外部磁場強度を変化させた場合の外部磁場強度と得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値との関係を示すものである。なお、外部磁場の印加方向は、粉末を磁場中プレスによって配向させたときの磁場方向に平行とした。図から明らかなように、外部磁場強度が５ｋＯｅ以上のときに磁石特性が向上することが判明した。
【００４９】
実施例８
図７は、本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石１を用いた電気自動車またはハイブリッド電気自動車、あるいは燃料電池自動車用の駆動用モータの構造を示すものであって、このようなバルク磁石１は、駆動用モータの小型化および軽量化、高性能化を可能にし、クリーンエネルギー化に大きくする寄与するものである。なお、図中において記号２，３，４は、それぞれロータ部、スロット（巻線）、ステータ部を示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】ＮｄｘＦｅ９４−ｘＢ６の組成を有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）と希土類元素量の関係を示すグラフである。
【図２】Ｎｄ９Ｆｅ９１−ｙＢｙの組成を有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）とＢ量の関係を示すグラフである。
【図３】Ｎｄ９Ｆｅ８５Ｂ６の組成を有しホットプレスによって得られた磁石の保磁力（相対値）を本発明に係わる同組成の異方性バルク交換スプリング磁石と比較して示すグラフである。
【図４】Ｎｄ９Ｆｅ８４Ｖ１Ｂ６の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の保磁力（相対値）に及ぼす降温速度の影響を示すグラフである。
【図５】Ｎｄ９Ｆｅ８３Ｃｕ３Ｂ６の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の密度に及ぼす降温過程における加圧圧力と加圧時の温度範囲の影響を示すグラフである。
【図６】Ｎｄ４Ｆｅ７１Ｃｕ５Ｂ２０の組成の有する異方性バルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）に及ぼす降温過程における印加磁場の影響を示すグラフである。
【図７】本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁石を用いた自動車の駆動用モータの構造を示す概略図である。
【符号の説明】
１ 異方性バルク交換スプリング磁石
Claims (15)
- ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含み、残部がＦｅ（鉄）及び不可避的不純物から成り、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っていることを特徴とする異方性バルク交換スプリング磁石。
- ソフト相とハード相を有する交換スプリング磁石であって、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０１〜５原子％含み、残部がＦｅ（鉄）及び不可避的不純物から成り、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っていることを特徴とする異方性バルク交換スプリング磁石。
- 結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１又は２に記載の異方性バルク交換スプリング磁石。
- 希土類元素を含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧し、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃った磁石とすることを特徴とする異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させることを特徴とする請求項４に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 降温過程において、５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷却速度で降温することを特徴とする請求項４又は５に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 降温過程において、型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ２以上の加圧力で加圧することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 降温過程において、外部から磁場を印加することを特徴とする請求項４〜７のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 磁場強度が５ｋＯｅ以上であることを特徴とする請求項８記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。
- 原料粉末を成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持つことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造装置。
- 請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあることを特徴とするモータ。
- 請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあることを特徴とする磁界センサ。
- 請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあることを特徴とする回転センサ。
- 請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあることを特徴とする加速度センサ。
- 請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあることを特徴とするトルクセンサ。
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