JP3617544B2 - 過酸化水素含有排水の処理方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は過酸化水素をカタラーゼにより分解除去する過酸化水素含有排水の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
過酸化水素は最終的に酸素と水とに分解するクリーンな酸化剤なので,電子部品の洗浄液,綿あるいは木材,パルプの漂白剤,食品包装材料の殺菌剤,化学研磨液として使用されている。したがって,この過酸化水素を使用している半導体製造工場,繊維工場,メッキ工場などからはこの過酸化水素を含む排水が排出される。従来,この排水中の過酸化水素を分解除去するためには,亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を使用する処理方法,白金などの貴金属系触媒や金属酸化物と接触させる方法,活性炭と接触させる方法,あるいは生体触媒であるカタラ−ゼを使用する処理方法が行われている。
【0003】
亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を使用する方法では,過酸化水素との等モルの反応のために添加量を調整することが難しく,過酸化水素を完全に分解するためには通常は過剰量を添加する必要がある。これらの還元剤は過剰量を添加すれば残留して排水のCOD値に影響を与えるので好ましくない。また,白金触媒や二酸化マンガンなどの金属酸化物を使用する方法では,その触媒効果を高めるために接触面積を大きくしなければならず,微粉末にしたり活性炭や樹脂などへ担持したりする必要がある。しかも触媒の溶出漏洩があり,処理水を汚染するほか,溶出にともない過酸化水素の分解活性が低下するといった問題がある。そして活性炭と接触させる方法では活性炭の粉末が流出したりするほか,定期的な交換が必要であったり,過酸化水素を完全には分解できないことがある。
【0004】
この中でカタラーゼを使用する過酸化水素の分解方法は,常温での分解効率が高いこと,薬剤添加量が少なくて済むことという利点がある。また,カタラ−ゼは触媒として作用するので,過酸化水素濃度の変動にもある程度まで対応できる。しかしながら,過酸化水素含有排水中にはカタラーゼ阻害物質が含まれる場合があり,カタラーゼが有効に作用しない場合がある。この問題の解決のために,活性炭処理などの方法を併用して過酸化水素を分解していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は,上記問題点を解決するため,カタラ−ゼを有効に作用させて,カタラーゼ阻害物質を含有する排水に含まれる過酸化水素を効率的に分解除去できる過酸化水素含有排水の処理方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は,過酸化水素含有排水をpH5未満に調整して,カタラーゼと接触させて過酸化水素を分解除去する処理方法である。
【0007】
カタラーゼ阻害物質を含む排水について原因を調べた結果,還元性物質であるヒドロキシルアミンなどが認められた。このような阻害物を含む過酸化水素含有排水としては半導体工場の排水,金属工場の排水などが挙げられる。ただし,これらの阻害物が排水に含まれるようになった経路は不明であるので,例示した工場排水以外の過酸化水素含有排水にもこれらの阻害物が含まれる可能性はある。
【0008】
上記のカタラーゼ阻害物質を含む排水の阻害特性を詳細に調べた結果,中性〜アルカリ性では強い阻害作用を示すが,酸性条件下では著しく軽減されることもつきとめられた。この阻害作用は可逆的であり,カタラーゼの活性が阻害された状態(中性〜アルカリ性)であってもpHを阻害解除領域(酸性)にまで下げれば,活性が回復して過酸化水素の分解が始まる。逆に低いpH条件下で過酸化水素の分解反応中であっても,pHを高めれば分解反応は停止に向かう。
【0009】
本発明では,pHを5未満,好ましくは2〜4に調整して,上記阻害物質を含む過酸化水素含有水を処理する。pHは低いほど阻害物質とカタラーゼとの相互作用が軽減できる。ところで,一般に酵素は生物によって生産されるので,由来となる生物の種類の違いによって作用温度範囲,作用pH範囲などの反応特性が異なる。カタラーゼも酵素であり,種類によっては過酸化水素分解反応の至適pH,pH安定性が異なる。したがって,カタラーゼの中には,酸性領域では,至適な使用条件から外れてしまうカタラーゼもある。このようなカタラーゼであっても酸性条件下では阻害の解除が認められ使用可能である。ただし,pHの使用範囲が狭くなるので酸性においても活性の高いカタラーゼを使用することが好ましい。本発明で述べる方法が有効に適用でき得るカタラーゼとしては,酸性においても活性の高いカタラーゼならばそれが由来する生物の種類等にかかわらずどのようなカタラ−ゼでも使用することができ,例えば,アスクスーパー25(商品名;三菱ガス化学株式会社製のカタラーゼ)などが挙げられる。
【0010】
pHの調節は水酸化ナトリウム,水酸化カリウム,水酸化カルシウム,塩酸,硫酸等で行う。pHの調整はカタラーゼ投入前が好ましいが,投入中あるいは投入後であっても差し支えない。所定pHに調整され次第,直ちにカタラーゼは作用を開始して過酸化水素を分解し始める。
【0011】
カタラ−ゼを作用させるときの水温は0〜80℃,好ましくは10〜60℃である。しかし,過酸化水素の分解反応に適する温度条件もカタラーゼの種類によって異なるであろうから,使用するカタラーゼの作用できる温度範囲を設定することが肝要である。
【0012】
【実施例】
次に本発明を実施例により説明するが,本発明はこれに限定されない。
比較例1
りん酸,水酸化カリウム及びりん酸カリウムで所定のpHに調整された溶液に過酸化水素を300mg/lとなるように溶解した。これを過酸化水素水溶液として,中性から酸性領域で活性の高い前記アスクスーパー25の30℃における活性を測定した。pH7における活性を100として各pHにおける相対活性を表した。結果を表1に示した。
【0013】
比較例2
比較例1と同じ過酸化水素水溶液を用いて,中性からアルカリ性領域で活性の高い他の市販のカタラーゼの30℃における活性を測定した。pH7における活性を100として各pHにおける相対活性を表した。結果を表2に示した。
【0014】
実施例1
阻害物を含むウェーハプロセス排水に300mg/lとなるように過酸化水素を添加して,りん酸,りん酸カリウム緩衝液,水酸化カリウムで所定のpHになるように調整した。このウェーハプロセス排水で前記アスクスーパー25の30℃における活性を測定した。比較例1のpH7における活性を100として各pHにおける相対活性を表した。結果を表1に示した。
【0015】
実施例2
実施例1で調製したウェーハプロセス排水を用いて,比較例2で使用したものと同じ市販品カタラーゼの30℃における活性を測定した。比較例2のpH7における活性を100として相対活性で表した。結果を表2に示した。
【0016】
【表1】
【0017】
表1から明かのようにpH5以下では阻害が解除されて活性が回復する。特にpH2〜3ではほとんど阻害されることなく活性が発現している。
【0018】
【表2】
【0019】
表2でもpH5以下で活性が回復しつつあることが解る。しかしながら,比較例2の結果ではこの酵素の使用可能なpH範囲が4以上なので,阻害の解除は認められるが,本発明の適用できる範囲はpH4〜5が適当である。
【0020】
表1,2から,pHを5未満にすることにより,排水中に存在するカタラーゼ阻害物質による阻害が解除されることがわかる。ただし一般に酵素は種類によってその適用条件に差異があるので,実装置で使用する場合は実施例2に見られるようにpHの条件範囲は使用する酵素の性質を考慮して用いることが肝要である。
【0021】
【発明の効果】
以上の通り,本発明によれば,pHを5未満に調整することによって,カタラーゼ阻害物質を含む排水であっても,排水中の過酸化水素を効率よくカタラーゼで分解除去できる。
Claims (1)
- ヒドロキシルアミンを含む過酸化水素含有排水を、pH5未満の反応条件下で耐酸性を有するカタラーゼを用いて処理することにより、排水中に含まれる過酸化水素の分解除去を行うことを特徴とする、ヒドロキシルアミンを含む過酸化水素含有排水の処理方法。
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