JP3615645B2 - オゾンガスの充填貯蔵方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する分野】
本発明は、運搬貯蔵容器内に所定濃度のオゾンガスを加圧状態で貯蔵する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に運搬貯蔵容器への高圧ガスの充填は、圧縮機で圧縮された高圧ガスを貯蔵運搬容器内に注入して充填されるのであるが、圧縮機での圧縮は断熱圧縮に近いため、T2/T1=(P2/P1)( γ -1/ γ )の関係式が成立する。このため、例えば酸素を20℃・1気圧から50気圧に一段で圧縮すると、その到達温度は約620℃となる。自然放熱したり、圧縮ガスを冷却水で強制冷却したりすることを考慮しても、200℃に近い温度になることは免れない。
【0003】
一方、オゾンのような自己分解性のガスは温度が高くなるほど自己分解が著しくなることから、このような自己分解性ガスを圧縮する場合に圧縮機を用いることは不向きである。このため、従来、オゾンを加圧状態で貯蔵したものはなく、オゾンを使用する際には使用個所の近傍でオゾナイザーで生成したものを使用していた。
【0004】
本発明は、このような点に着目して、各種濃度のオゾンガスを加圧状態で貯蔵容器に充填貯蔵する方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、本発明は、内表面を不動態化処理したオゾンガスの運搬貯蔵容器に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしたことを特徴としている。
【0006】
【作用】
本発明では、所定濃度のオゾンガスを内表面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器内に加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしていることから、例えば、オゾナイザーで発生した5 VOL%のオゾンガスをダイヤフラムポンプ等で9Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧して、内面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器に充填し、その後、運搬貯蔵容器に150Kg/cm2(ゲージ圧)で酸素を貯蔵している酸素ボンベから酸素を注入して容器内圧が50Kg/cm2(絶対圧)になるまで昇圧すると対酸素比0.9 VOL%のオゾンを貯蔵することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1はオゾンガス充填装置の概略図を示し、図中符号(1)はオゾン原料として使用する液化酸素貯蔵容器、(2)は液化酸素供給路(3)に配置した蒸発器、(4)はオゾナイザー、(5)はダイヤフラムコンプレッサー、(6)はオゾンを貯蔵する運搬容器であり、このオゾン運搬貯蔵容器(6)の内面は不動態化処理を施してある。そして、このオゾン充填は屋内で行われ、充填後のオゾン運搬貯蔵容器(6)は低温室に保存するようにしてある。
【0008】
本発明では、まず、オゾナイザー(4)で生成された5 VOL%のオゾンガスをダイヤフラムポンプ(5)を用いて9Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧し、この昇圧したオゾンガスを内面を不動態化処理した運搬貯蔵容器(6)に9Kg/cm2(絶対圧)となるまで注入する。このとき、運搬貯蔵容器(6)は洗浄処理したのち乾燥させ、しかる後真空引きした状態で保管してあることから、運搬貯蔵容器(6)内は供給されたオゾンガス濃度を維持することができる。
【0009】
内部に9Kg/cm2(絶対圧)の5 VOL%オゾンガスを封入している運搬貯蔵容器(6)に、150Kg/cm2(ゲージ圧)の圧力で充填されている高圧酸素ガス容器(図示略)を接続し、運搬貯蔵容器(6)内の内圧が50Kg/cm2(絶対圧)になるまで高圧酸素ガス容器から酸素ガスを徐々に注入する。このため、運搬貯蔵容器内には、
(9×0.05)/50=0.009
すなわち、対酸素比0.9 VOL%のオゾンガスが50Kg/cm2(絶対圧)で貯蔵されることになる。このとき、酸素ガスを徐々に注入して加圧することにより、運搬貯蔵容器内では断熱圧縮にならず、温度上昇することがあってもガスの温度を20〜40℃の範囲に抑えることができ、オゾンの自己分解を極力抑制することができる。
なお、このとき注入する希釈用の酸素ガスは冷却したものを使用している。このように冷却した希釈用ガスを使用すると温度上昇を抑制することができる。
【0010】
なお、供給するオゾンガスの濃度や供給圧力、あるいは、希釈用の酸素ガスの充填圧力を変えることにより、任意の濃度のオゾンガスを貯蔵することができる。
【0011】
また上記の実施態様では、希釈用のガスとして酸素を使用しているが、この希釈用のガスは窒素などの酸素以外のガスであってもよい。
【0012】
図2は、オゾナイザーから発生させた大気圧下5 VOL%(残り酸素)のオゾンガスを、ダイヤフラムポンプで9Kg/cm2(絶対圧)まで昇圧して、あらかじめ内面を不動態化処理したSUS304製シリンダ(貯蔵容器)に充填し、このシリンダを25℃(室温)で保存した場合と、3℃(冷蔵庫内)で保存した場合での、保存日数に対するオゾン濃度の変化を示す。
【0013】
図2によれば、5 VOL%のオゾンガスを予め内面を不動態化処理した貯蔵容器に絶対圧で9Kg/cm2 に充填した場合には、内面を不動態化処理していないものにくらべると、はるかに長期間オゾンの自己分解を抑制することができることがわかる。また、同じように内面を不動態化処理した貯蔵容器を使用しても、保存温度が低い方がオゾンの自己分解を抑制して長期間高濃度を維持できることがわかる。
【0014】
図3は、5 VOL%、9Kg/cm2(絶対圧)で貯蔵容器に充填した後、酸素ガスで50Kg/cm2(絶対圧)になるまで希釈したガスを室温保存した場合での保存日数に対するオゾン濃度の変化を示す。
【0015】
図3によれば、0.9VOL%という低い初期濃度であるが、オゾン濃度に大きな変化はなく、1カ月経過後でも0.6VOL%のオゾン濃度を維持していることがわかる。
【0016】
【発明の効果】
本発明では、内表面に不動態化処理を施した運搬貯蔵容器内に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填していることから、運搬貯蔵容器に充填したオゾンガスの濃度と、その容器内に追加充填する所定温度以下の希釈ガス量とで任意の濃度の加圧オゾンガスを運搬貯蔵容器内に充填し、保存しておくことができる。これにより、従来不可能とされていた低濃度オゾンガスの貯蔵保存を一定期間であるが可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】オゾンガス充填装置の概略図である。
【図2】容器に貯蔵したオゾンガスの保存温度によるオゾン濃度変化を示すグラフである。
【図3】高圧保存したオゾンガスの濃度変化を示すグラフである。
Claims (1)
- 内表面に不動態化処理を施したオゾンガスの運搬貯蔵容器に所定濃度のオゾンガスを加圧充填し、オゾンガスが収容されている運搬貯蔵容器に高圧希釈用ガス容器から冷却した希釈ガスを、運搬貯蔵容器内の圧力が所定圧力になるまで充填するようにしたオゾンガスの充填貯蔵方法。
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JP30509097A JP3615645B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | オゾンガスの充填貯蔵方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP30509097A JP3615645B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | オゾンガスの充填貯蔵方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH11141797A JPH11141797A (ja) | 1999-05-28 |
JP3615645B2 true JP3615645B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=17940992
Family Applications (1)
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JP30509097A Expired - Lifetime JP3615645B2 (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | オゾンガスの充填貯蔵方法 |
Country Status (1)
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KR102388800B1 (ko) * | 2018-04-02 | 2022-04-20 | 삼성전자주식회사 | 박막 증착 방법 및 박막 증착 장치 |
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1997
- 1997-11-07 JP JP30509097A patent/JP3615645B2/ja not_active Expired - Lifetime
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