JP3615628B2 - 半導体チップの製造方法及びその実装方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して実装される半導体チップに適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
配線基板の実装面上に半導体チップを実装する実装技術として、CCB(Controlled Collapse Bonding)実装技術がある。このCCB実装技術は、配線基板の実装面の電極パッドと半導体チップの主面の外部端子との間にバンプ電極を介在して両者間を電気的にかつ機械的に接続する技術である。このCCB実装技術は、配線基板の実装面上に半導体チップをその占有面積内において実装することができるので、実装面積並びに信号伝搬経路を縮小することができる。
【0003】
前記半導体チップの外部端子は、通常、アルミニウム(Al)膜又はアルミニウム合金(例えば、アルミニウムに珪素(Si)及び銅(Cu)が添加された合金)膜で形成されている。また、バンプ電極は、通常、錫(Sn)を含有する金属材、例えば鉛(Pb)−錫(Sn)組成の金属材で形成されている。
【0004】
前記鉛−錫組成の金属材からなるバンプ電極は、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜からなる外部端子に対して被着性(ボンダビリティ)が低い。そこで、半導体チップの外部端子上にBLM(Ball Limiting Metallization)と称される下地電極を形成し、半導体チップの外部端子とバンプ電極との被着性を高め、両者間を電気的にかつ機械的に接続している。
【0005】
前記下地電極は、半導体チップの最終保護膜に形成された開口を通してその下層に形成された外部端子と電気的にかつ機械的に接続されている。この下地電極は、例えば特開昭61−194744号公報に記載されているように、外部端子の表面側から、クロム(Cr)膜、銅(Cu)膜、金(Au)膜の夫々を順次積層した積層構造で構成されている。金膜は銅膜の表面の酸化を防止する目的で形成されている。この金膜は、半導体チップの外部端子にバンプ電極を溶融接続する際、バンプ電極内に拡散し吸収される。銅膜は、半導体チップの外部端子にバンプ電極を溶融接続する際、バンプ電極の錫と反応してCu−Sn金属間化合物層(合金層)を生成する母材として使用され、半導体チップの外部端子とバンプ電極との被着性を高める目的で形成されている。Cr膜は、半導体チップの最終保護膜との接着性を高める目的及び銅膜と外部端子との反応を抑える目的で形成されている。つまり、半導体チップの外部端子とバンプ電極は、バンプ電極の錫と下地電極の銅膜との反応によって生成されたCu−Sn金属間化合物層を介して間接的に接続されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
近年、CCB実装技術においては、樹脂基板からなる配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装する試みが成されている。樹脂基板からなる配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装するには、バンプ電極の融点を樹脂基板からなる配線基板の耐熱温度よりも低く設定しなければならない。例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂又はポリイミド樹脂を含浸させた樹脂基板で配線基板を形成した場合、配線基板の耐熱温度は260[℃]×60〜120[秒]程度なので、バンプ電極の融点を260[℃]以下に設定しなければならない。バンプ電極の融点を260[℃]以下に設定するには、錫の含有量が多い金属材でバンプ電極を形成するのが有効である。例えば、37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材でバンプ電極を形成した場合、バンプ電極の融点は183[℃]程度となり、96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材でバンプ電極を形成した場合、バンプ電極の融点は221[℃]程度となるので、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板の実装面上に半導体チップを実装することができる。
【0007】
しかしながら、錫の含有量が多い金属材でバンプ電極を形成した場合、半導体チップの外部端子にバンプ電極を溶融接続する時に以下の問題が生じる。
【0008】
半導体チップの外部端子とバンプ電極は、バンプ電極の錫と下地電極の銅膜との反応によって生成されたCu−Sn金属間化合物層を介して間接的に接続される。このCu−Sn金属間化合物層はバンプ電極を溶融した時に生成される。
【0009】
前記Cu−Sn金属間化合物層は、Cr膜に対して接着性が低く剥離し易い特性がある。また、Cu−Sn金属間化合物層は、バンプ電極の錫と下地電極のCu膜との反応によって生成されるので、バンプ電極の錫の含有量[重量%]に比例して膜厚が厚くなる。このため、錫の含有量が多い金属材でバンプ電極を形成した場合、バンプ電極の錫と下地電極の銅膜との反応によって生成されるCu−Sn金属間化合物層の膜厚が厚くなり、Cu−Sn金属間化合物層がクロム膜に接触し、クロム膜からCu−Sn金属間化合物層が剥離する不具合が発生する。この不具合は、下地電極の銅の膜厚を錫の含有量に応じて厚くし、Cu−Sn金属間化合物層とクロム膜との接触を抑制すれば防止できるが、銅膜の膜厚に比例して下地電極の膜応力が増加し、半導体チップの最終保護膜にクラック(亀裂)等の機械的損傷が発生する。
【0010】
従って、半導体チップの外部端子に錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することはできない。また、半導体チップの外部端子に錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することができないので、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装することはできない。
【0011】
本発明の目的は、半導体チップの外部端子に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することが可能な技術を提供することにある。
【0012】
また、本発明の他の目的は、耐熱温度の低い樹脂基板からなる実装基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装することが可能な技術を提供することにある。
【0013】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0015】
外部端子上に下地電極を有する半導体チップであって、前記下地電極をクロム(Cr)膜で形成する。
【0016】
上述した手段によれば、外部端子に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を溶融接続する際、バンプ電極の錫と下地電極のクロム膜との反応によってCr−Sn金属間化合物層が生成される。このCr−Sn金属間化合物層はクロム膜に対して接着性が高いので、半導体チップの外部端子とバンプ電極とを強固に接続することができる。また、錫とクロム膜との反応速度は錫と銅膜との反応速度に比ベて遅いので、これに相当する分、クロム膜の膜厚を薄くすることができ、下地電極の膜応力を低減することができる。従って、半導体チップの外部端子に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することができる。
【0017】
また、半導体チップの外部端子に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することができるので、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装することができる。
【0018】
また、Cu膜を廃止しているので、これに相当する分、半導体チップの製造コストを低減することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0020】
なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0021】
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1である半導体装置の断面図であり、図2は、図1の要部拡大断面図であり、図3は、実装工程が施される前の状態を示す半導体チップの平面図である。
【0022】
図1に示すように、半導体装置は、配線基板7の実装面上にバンプ電極5を介在して半導体チップ1を実装している。
【0023】
前記配線基板7は、例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂又はポリイミド樹脂を含浸させた樹脂基板で形成されている。この樹脂基板からなる配線基板7は、260[℃]×60〜120[秒]程度の耐熱温度を有する。
【0024】
前記配線基板7の実装面には複数個の電極パッド8が配置されている。また、配線基板7の実装面と対向するその裏面には複数個の電極パッド10が配置されている。電極パッド8、電極パッド10の夫々は、配線基板7の配線を介して電気的に接続されている。電極パッド8、電極パッド10の夫々は、例えば銅(Cu)膜で形成されている。
【0025】
前記複数個の電極パッド8の夫々には、下地電極9を介在して球形状のバンプ電極5が電気的にかつ機械的に接続されている。バンプ電極5は、例えば96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材で形成されている。この金属材からなるバンプ電極5は221[℃]程度の融点を有する。下地電極9は、詳細に図示していないが、例えば、電極パッド8の表面側からニッケル(Ni)膜、金(Au)膜の夫々を順次積層した積層構造で構成されている。ニッケル膜は例えば10[μm]程度の膜厚で形成され、金膜は例えば1[μm]程度の膜厚で形成されている。金膜は、電極パッド8にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極5内に拡散し吸収される。ニッケル膜は、電極パッド8にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極5の錫と反応してNi−Sn金属間化合物層を生成する母材として使用される。つまり、配線基板7の電極パッド8とバンプ電極5は、バンプ電極5の錫と下地電極9のニッケル膜との反応によって生成されたNi−Sn金属間化合物層を介して電気的にかつ機械的に接続されている。
【0026】
前記複数個の電極パッド10の夫々には、下地電極11を介在して球形状のバンプ電極13が電気的にかつ機械的に接続されている。バンプ電極13は、例えば37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材で形成されている。この金属材からなるバンプ電極13は、183[℃]程度の融点を有する。下地電極11は、詳細に図示していないが、例えば、電極パッド10の表面側からニッケル(Ni)膜、金(Au)膜の夫々を順次積層した積層構造で構成されている。ニッケル膜は例えば10[μm]程度の膜厚で形成され、金膜は例えば1[μm]程度の膜厚で形成されている。金膜は、電極パッド10にバンプ電極13を溶融接続する際、バンプ電極13内に拡散し吸収される。ニッケル膜は、電極パッド10にバンプ電極13を溶融接続する際、バンプ電極13の錫と反応してNi−Sn金属間化合物層を生成する母材として使用される。つまり、配線基板7の電極パッド10とバンプ電極13は、バンプ電極13の錫と下地電極11のニッケル膜との反応によって生成されたNi−Sn金属間化合物層を介して電気的にかつ機械的に接続されている。
【0027】
前記半導体チップ1は、例えば単結晶珪素からなる半導体基板1Aを主体とする構造で構成されている。半導体基板1Aの素子形成面(図1において下面)には論理回路システム、記憶回路システム、或はそれらの混合回路システムが塔載されている。また、半導体基板1Aの素子形成面上には複数個の外部端子2が配置されている。この複数個の外部端子2の夫々は、半導体基板1Aの素子形成面上に形成された配線層のうち、最上層の配線層に形成され、半導体基板1Aの素子形成面上に形成された層間絶縁膜1Bによって半導体基板1Aから絶縁分離されている。この複数個の外部端子2の夫々は、アルミニウム(Al)膜、又は、珪素(Si)若しくは銅(Cu)或は両者が添加されたアルミニウム合金膜で形成されている。
【0028】
前記複数個の外部端子2の夫々にはバンプ電極5が電気的にかつ機械的に接続されている。つまり、半導体チップ1の外部端子2は、221[℃]程度の融点を有する96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を介在して配線基板7の電極パッド8と電気的にかつ機械的に接続されている。
【0029】
前記半導体チップ1の外部端子とバンプ電極5との間には、図2に示すように、下地電極3が介在されている。下地電極3は、半導体チップ1の最終保護膜1Cに形成された開口1C1を通してその下層に形成された外部端子2に電気的にかつ機械的に接続されている。最終保護膜1Cは、例えば酸化珪素膜又は窒化珪素膜で形成されている。
【0030】
前記下地電極3は高融点金属膜であるクロム(Cr)膜で形成されている。クロム膜は、半導体チップ1の外部端子2にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極13の錫と反応してCr−Sn金属間化合物層を生成する母材として使用される。つまり、半導体チップ1の外部端子とバンプ電極5は、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜との反応によって生成されたCr−Sn金属間化合物層を介して電気的にかつ機械的に接続されている。
【0031】
前記下地電極3の表面は、外部端子2にバンプ電極5を接続する前の段階において、例えば金(Au)膜で被覆されている。金膜は、下地電極3の表面の酸化を防止する目的で形成されている。金膜は、外部端子2にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極13内に拡散し吸収される。
【0032】
前記配線基板7と半導体チップ1との間の隙間領域には、図1及び図2に示すように、樹脂12が充填されている。樹脂12は、例えば、エポキシ系熱硬化樹脂にシリカ充填剤、硬化促進剤、カップリング剤等を添加した絶縁性樹脂で形成されている。このように、配線基板7と半導体チップ1との間の隙間領域に樹脂12を充填することにより、バンプ電極5の機械的強度を樹脂12の機械的強度で補うことができるので、配線基板7と半導体チップ1との熱膨張係数の差に起因するバンプ電極5の破損を防止することができる。
【0033】
前記下地電極3の平面形状は、図3に示すように、円形状で形成されている。
【0034】
次に、前記半導体チップ1の製造方法について、図4乃至図6(製造方法を説明するための要部断面図)を用いて説明する。
【0035】
まず、単結晶珪素からなる半導体基板1Aで構成された半導体ウエーハを準備する。
【0036】
次に、前記半導体ウエーハの素子形成面に半導体素子、その素子形成面上に配線、層間絶縁膜1B、外部端子2、最終保護膜1C等を形成し、この半導体ウエーハに実質的に同一の回路システムが塔載された半導体チップ形成領域を複数個行列状に形成する。
【0037】
次に、図4に示すように、前記最終保護膜1Cに外部端子2の表面を露出する開口1C1を形成する。
【0038】
次に、図5に示すように、前記開口1C1から露出された外部端子2の表面上を含む最終保護膜1Cの表面上に高融点金属膜であるクロム(Cr)膜3A、金属膜である金(Au)膜3Bの夫々をスパッタリング法で連続的に堆積する。クロム膜3A、金膜3Bの夫々は例えば0.1[μm]程度の膜厚で形成される。
【0039】
次に、前記金膜3B、クロム膜3Aの夫々にパターンニングを施し、図6に示すように、前記外部端子2の表面上に、クロム膜3Aで形成され、かつ表面が金膜3Bで被覆された下地電極3を形成する。このパターンニングは、フォトリソグラフィ技術で形成されたフォトレジスト膜をマスクにして行なわれる。クロム膜3Aは酸化珪素膜及び窒化珪素膜に対して接着性が高いので、クロム膜3Aからなる下地電極3は酸化珪素膜又は窒化珪素膜からなる最終保護膜1Cに対して強固に固定される。また、クロム膜3Aはアルミニウム膜又はアルミニウム合金膜に対して接着性が高いので、クロム膜3Aからなる下地電極3はアルミニウム膜又はアルミニウム合金膜からなる外部端子2に対して強固に固定される。また、下地電極3の表面はAu膜3Bで被覆されているので、下地電極3の表面は酸化されない。
【0040】
次に、前記半導体ウエーハに形成された半導体チップ形成領域間をダイシングし、半導体ウエーハを各半導体チップ毎に分割することにより、図3に示す半導体チップ1が形成される。
【0041】
次に、前記半導体装置の製造方法を説明しながら前記半導体チップ1の実装方法について、図7乃至図11(実装方法を説明するための断面図)を用いて説明する。
【0042】
まず、外部端子2上にクロム膜で形成された下地電極3を有する半導体チップ1を準備する。下地電極3の表面は金膜3Bで被覆されている。
【0043】
次に、図7に示すように、前記半導体チップ1の下地電極3上に96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材で形成されたバンプ電極5を配置する。このバンプ電極5は、例えばガラスマスクを用いたボール供給法で配置される。
【0044】
次に、熱処理を施して前記バンプ電極5を溶融し、図8に示すように、このバンプ電極5と前記半導体チップ1の外部端子2とを接続する。熱処理は、バンプ電極5の融点(この場合、221[℃])よりも若干高い240[℃]程度の窒素ガス雰囲気中で行う。この工程において、下地電極3の表面を被覆していた金膜3Bはバンプ電極5内に拡散し吸収される。また、図9に示すように、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜3Aとの反応によってCr−Sn金属間化合物層6が生成される。このCr−Sn金属間化合物層6はクロム膜3Aに対して接着性が高いので、半導体チップ1の外部端子2とバンプ電極5を強固に接続することができる。また、錫とクロム膜3Aとの反応速度は錫と銅膜との反応速度に比ベて遅いので、これに相当する分、クロム膜3Aの膜厚を薄くすることができ、下地電極3の膜応力を低減することができる。
【0045】
次に、前記半導体チップ1を配線基板7の実装面上に配置すると共に、半導体チップ1の外部端子2に接続されたバンプ電極5を配線基板7の実装面の電極パッド8上に配置する。
【0046】
次に、熱処理を施して前記バンプ電極5を溶融し、図10に示すように、このバンプ電極5と前記配線基板7の実装面の電極パッド8とを接続する。この工程において、図11に示すように、Cr−Sn金属間化合物層6の膜厚は、半導体チップ1の外部端子2にバンプ電極5を接続した時よりも若干厚くなるが、外部端子2の表面には接触していない。
【0047】
次に、前記配線基板7と半導体チップ1との間の隙間領域に樹脂12を充填し、その後、前記配線基板7の裏面の電極パッド10に球形状のバンプ電極13を接続することにより、図1に示す半導体装置がほぼ完成する。
【0048】
なお、半導体装置は製品として出荷され、その後、半導体装置は、図12(要部断面図)に示すように、モジュール基板15の実装面上にバンプ電極13を介在して実装される。この半導体装置の実装は、熱処理を施してバンプ電極13を溶融することにより行なわれる。熱処理は、バンプ電極5の融点(この場合、183[℃])よりも若干高い温度雰囲気中で行う。この工程において、バンプ電極5はバンプ電極13よりも高い融点を有する金属材で形成されているので、バンプ電極5は溶融されない。
【0049】
このように、本実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。
【0050】
(1)外部端子2上に下地電極3を有する半導体チップ1であって、前記下地電極3を高融点金属膜であるクロム(Cr)膜3Aで形成することにより、半導体チップ1の外部端子2に、錫(Sn)の含有量が多い96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜3Aとの反応によってCr−Sn金属間化合物層6が生成される。このCr−Sn金属間化合物層6はクロム膜3Aに対して接着性が高いので、半導体チップ1の外部端子2とバンプ電極5を強固に接続することができる。また、錫とクロム膜3Aとの反応速度は錫と銅膜との反応速度に比ベて遅いので、これに相当する分、クロム膜3Aの膜厚を薄くすることができ、下地電極3の膜応力を低減することができる。従って、半導体チップ1の外部端子2に錫の含有量が多い96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を接続することができる。
【0051】
また、半導体チップ1の外部端子2に錫の含有量が多い組成の金属材からなるバンプ電極5を接続することができるので、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板7の実装面上にバンプ電極5を介在して半導体チップ2を実装することができる。
【0052】
また、銅膜を廃止しているので、これに相当する分、半導体チップ2の製造コストを低減することができる。
【0053】
(2)前記下地電極3の表面を金膜3Bで被覆することにより、下地電極3の表面の酸化を防止することができるので、下地電極3とバンプ電極5との濡れ性を確保することができる。
【0054】
(3)配線基板7の実装面上にバンプ電極5を介在して実装される半導体チップ1の実装方法であって、外部端子2上に、クロム膜3Aで形成された下地電極3を有する半導体チップ1を準備する工程と、前記半導体チップ1の下地電極3上に錫の含有量が多い96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を配置する工程と、前記バンプ電極5を溶融し、このバンプ電極5と前記半導体チップ1の外部端子2とを接続する工程を備えることにより、半導体チップ1の外部端子2に、錫(Sn)の含有量が多い96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜3Aとの反応によってCr−Sn金属間化合物層6が生成される。このCr−Sn金属間化合物層6はクロム膜3Aに対して接着性が高いので、半導体チップ1の外部端子2とバンプ電極5を強固に接続することができる。また、錫とクロム膜3Aとの反応速度は錫と銅膜との反応速度に比ベて遅いので、これに相当する分、クロム膜3Aの膜厚を薄くすることができ、下地電極3の膜応力を低減することができる。従って、半導体チップ1の外部端子2に錫の含有量が多い96.5[重量%]錫(Sn)−3.5[重量%]銀(Ag)組成の金属材からなるバンプ電極5を接続することができる。
【0055】
(4)前記バンプ電極5と前記半導体チップ1の外部端子2を接続する工程の後に、前記バンプ電極5を溶融し、このバンプ電極5と配線基板7の実装面の電極パッド8を接続する工程を備えることにより、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板7の実装面上にバンプ電極5を介在して半導体チップ1を実装することができる。
【0056】
なお、前記半導体チップ1の外部端子2に、232[℃]程度の融点を有する錫で形成されたバンプ電極5を接続してもよい。この場合においても、前述の実施形態と同様の効果が得られる。
【0057】
また、前記下地電極3は、チタン(Ti)膜、タングステン(W)膜、モリブデン(Mo)膜のいずれかの高融点金属膜で形成してもよい。この場合においても、前述の実施形態と同様の効果が得られる。
【0058】
また、前記下地電極3の表面は、ニッケル(Ni)膜又は錫(Sn)膜で形成してもよい。この場合においても、前述の実施形態と同様の効果が得られる。
【0059】
また、前記Cr−Sn金属間化合物層6はアルミニウム膜又はアルミニウム合金膜に対しても接着性が高いので、半導体チップ1の外部端子2の表面に接触させてもよい。
【0060】
(実施形態2)
本発明の実施形態2である半導体装置の概略構成を図13(要部断面図)に示す。
【0061】
図13に示すように、半導体装置は、配線基板7の実装面上に半導体チップ1及び半導体部品16を実装している。半導体チップ1はバンプ電極5を介在して配線基板7の実装面上に実装されている。
【0062】
前記配線基板7は、例えば、ガラス繊維にエポキシ樹脂又はポリイミド樹脂を含浸させた樹脂基板で形成されている。この樹脂基板からなる配線基板7は、260[℃]×60〜120[秒]程度の耐熱温度を有する。
【0063】
前記半導体チップ1の外部端子2はバンプ電極5を介在して配線基板7の電極パッド8に電気的にかつ機械的に接続されている。バンプ電極5は、例えば37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材で形成されている。この金属材からなるバンプ電極5は183[℃]程度の融点を有する。
【0064】
前記半導体部品16のリード16Aは、半田17を介在して配線基板7の電極パッド8Aに電気的にかつ機械的に接続されている。半田17は、バンプ電極5と同様の金属材で形成されている。
【0065】
前記バンプ電極5は、配線基板7の実装面上に半導体チップ1を実装する前の段階において、図14(要部断面図)に示すように、半導体チップ1の外部端子2に接続されている。半導体チップ1の外部端子2とバンプ電極5との間には、前述の実施形態と同様に、下地電極3が介在されている。下地電極3は、半導体チップ1の最終保護膜1Cに形成された開口1C1を通してその下層に形成された外部端子2に電気的にかつ機械的に接続されている。最終保護膜1C1は、例えば酸化珪素膜又は窒化珪素膜で形成されている。
【0066】
前記下地電極3は高融点金属膜であるクロム(Cr)膜で形成されている。クロム膜は、半導体チップ1の外部端子2にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極5の錫と反応してCr−Sn金属間化合物層を生成する母材として使用される。つまり、半導体チップ1の外部端子とバンプ電極5は、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜との反応によって生成されたCr−Sn金属間化合物層を介して電気的にかつ機械的に接続されている。
【0067】
前記下地電極3の表面は、外部端子2にバンプ電極5を接続する前の段階において、例えば金(Au)膜で被覆されている。金膜は、下地電極3の表面の酸化を防止する目的で形成されている。金膜は、外部端子2にバンプ電極5を溶融接続する際、バンプ電極13内に拡散し吸収される。
【0068】
次に、前記半導体チップ14の製造方法について説明する。
【0069】
まず、単結晶珪素からなる半導体基板1Aで構成された半導体ウエーハを準備する。
【0070】
次に、前記半導体ウエーハの素子形成面に半導体素子、その素子形成面上に配線、層間絶縁膜1B、外部端子2、最終保護膜1C等を形成し、この半導体ウエーハに実質的に同一の回路システムが塔載された半導体チップ形成領域を複数個行列状に形成する。
【0071】
次に、前述の実施形態と同様の方法で、前記外部端子2の表面上に、クロム膜(3A)で形成され、かつ表面が金膜(3B)で被覆された下地電極3を形成する。
【0072】
次に、前記最終保護膜1Cの表面上にマスク20を形成する。このマスク20はフォトレジスト膜で形成されている。
【0073】
次に、前記半導体ウエーハの全面に鉛膜、錫膜の夫々を真空蒸着法で順次連続的に蒸着し、図15(要部断面図)に示すように、外部端子2の表面上に鉛膜、錫膜の夫々からなる積層体4を形成する。鉛膜、錫膜の夫々は、37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材となる膜厚で形成される。この工程において、マスク20の表面上にも同様の積層体4が形成される。
【0074】
次に、リフトオフ法を使用し、前記マスク20を除去すると共に、このマスク20の表面上の積層体4を除去する。
【0075】
次に、熱処理を施して前記積層体4を溶融し、図14に示すように、外部端子2の表面上に37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材からなる球形状のバンプ電極5を形成すると共に、このバンプ電極5を外部端子2に接続する。熱処理は、37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材の融点(183[℃])よりも若干高い温度雰囲気中で行う。この工程において、下地電極3の表面を被覆していた金膜3Bはバンプ電極5内に拡散し吸収される。また、前述の実施形態1と同様に、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜3Aとの反応によってCr−Sn金属間化合物層(6)が生成される。このCr−Sn金属間化合物層(6)はクロム膜3Aに対して接着性が高いので、半導体チップ1の外部端子2とバンプ電極5を強固に接続することができる。また、錫とクロム膜3Aとの反応速度は錫と銅膜との反応速度に比ベて遅いので、これに相当する分、クロム膜3Aの膜厚を薄くすることができ、下地電極3の膜応力を低減することができる。この工程により、外部端子2上に下地電極3及びバンプ電極5を有する半導体チップ1が形成される。
【0076】
次に、前記半導体装置の製造方法を説明しながら前記半導体チップ1の実装方法について、図13を用いて説明する。
【0077】
まず、外部端子2上にクロム膜で形成された下地電極3及びこの下地電極3上に錫の含有量が多い金属材で形成されたバンプ電極5を有し、外部端子2とバンプ電極5とが、バンプ電極5の錫と下地電極3のクロム膜との反応によって生成された金属間化合物層(6)を介して接続されている半導体チップ1を準備すると共に、配線基板7を準備する。配線基板7の電極パッド8Aの表面にはスクリーン印刷方法で半田ペースト材が形成されている。
【0078】
次に、前記配線基板7実装面上に半導体チップ1及び半導体部品16を配置すると共に、配線基板7の電極パッド8上に半導体チップ1のバンプ電極5を配置し、配線基板7の電極パッド8A上に半田ペースト材を介在して半導体部品16のリード16Aを配置する。
【0079】
次に、熱処理を施して前記バンプ電極5及び半田ペースト材を溶融し、前記バンプ電極5と配線基板7の電極パッド8とを接続すると共に、半導体部品16のリード16Aと配線基板7の電極パッド8Aとを接続する。熱処理は、37[重量%]鉛(Pb)−63[重量%]錫(Sn)組成の金属材の融点(183[℃])よりも若干高い温度雰囲気中で行う。この工程において、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板7の実装面上に半導体チップ1及び半導体部品16が実装される。
【0080】
次に、前記配線基板7と半導体チップ1との間の隙間領域に樹脂12を充填することにより、半導体装置がほぼ完成する。
【0081】
このように、本実施形態によれば、前述の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【0082】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0083】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【0084】
半導体チップの外部端子に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を接続することができる。
【0085】
また、耐熱温度の低い樹脂基板からなる配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して半導体チップを実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1である半導体装置の断面図である。
【図2】図1の要部拡大断面図である。
【図3】実装工程が施される前の状態を示す半導体チップの平面図である。
【図4】前記半導体チップの製造方法を説明するための断面図である。
【図5】前記半導体チップの製造方法を説明するための断面図である。
【図6】前記半導体チップの製造方法を説明するための断面図である。
【図7】前記半導体チップの実装方法を説明するための断面図である。
【図8】前記半導体チップの実装方法を説明するための断面図である。
【図9】前記半導体チップの実装方法を説明するための断面図である。
【図10】前記半導体チップの実装方法を説明するための断面図である。
【図11】前記半導体チップの実装方法を説明するための断面図である。
【図12】前記半導体装置を配線基板に実装した状態を示す要部断面図である。
【図13】本発明の実施形態2である半導体装置の要部断面図である。
【図14】実装工程が施される前の状態を示す半導体チップの要部断面図である。
【図15】前記半導体チップの製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
1…半導体チップ、2…外部端子、3…下地電極、3A…クロム膜、3B…金膜、4…積層体、5…バンプ電極、6…金属間化合物層、7…配線基板、8…電極パッド、9…下地電極、10…電極パッド、11…下地電極、12…樹脂、13…バンプ電極、15…配線基板、16…半導体部品、17…半田材。
Claims (8)
- 半導体ウエーハの素子形成面及びその上に半導体素子、配線、層間絶縁膜、外部端子、最終保護膜を形成し、この半導体ウエーハに実質的に同一の回路システムが搭載された半導体チップ形成領域を複数個行列状に形成する工程と、
前記最終保護膜に外部端子の表面を露出する開口を形成する工程と、
前記開口から露出された前記外部端子上にクロム膜、チタン膜、タングステン膜又はモリブデン膜のいずれかの高融点金属膜から成る下地電極を形成する工程と、
前記半導体ウエーハを各半導体チップに分割する工程と、
前記半導体チップの前記下地電極上に錫又は錫の含有量が多い金属材からなるバンプ電極を配置する工程と、
熱処理により前記バンプ電極を溶融して前記下地電極の高融点金属膜と前記バンプ電極中の錫との反応によるそれらの金属間化合物を形成することにより前記バンプ電極と前記外部端子とを接続する工程とを有することを特徴とする半導体チップの製造方法。 - 前記下地電極の形成工程は前記高融点金属膜上に金膜を形成する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記外部端子は、アルミニウム膜又はアルミニウム合金膜から成ることを特徴とする請求項1又は請求項2の何れか1項に記載の半導体チップの製造方法。
- 前記バンプ電極は、錫−銀組成の金属材から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の半導体チップの製造方法。
- 配線基板の実装面上にバンプ電極を介在して実装される半導体チップの実装方法であって、
外部端子上に、クロム膜、チタン膜、タングステン膜又はモリブデン膜のいずれかの高融点金属膜で形成された下地電極を有する半導体チップを準備する工程と、
前記半導体チップの下地電極上に錫又は錫を多く含有する金属材で形成されたバンプ電極を配置する工程と、
前記バンプ電極を溶融して前記下地電極の高融点金属膜と前記バンプ電極中の錫との反応によるそれらの金属間化合物を形成することにより前記バンプ電極と前記外部端子とを接続する工程を備えたことを特徴とする半導体チップの実装方法。 - 前記半導体チップを準備する工程において、前記下地電極は前記高融点金属膜とその表面を覆う金膜とで形成されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体チップの実装方法。
- 前記バンプ電極と前記外部端子とを接続する工程の後に、前記バンプ電極を溶融し、このバンプ電極と配線基板の実装面の電極パッドとを接続する工程を備えたことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の半導体チップの実装方法。
- 前記配線基板は樹脂基板で形成されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体チップの実装方法。
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