JP3614561B2 - 光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光歪素子に係り、特に低い電圧で分極処理ができ、高い効率で作動する光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法関する。
【0002】
【従来の技術】
近年マイクロマシンの研究が盛んに行われている。しかし、マイクロマシンを駆動するアクチュエータにエネルギを供給する際にリード線などを用いることは困難である。従って、このようなアクチュエータには遠方から非接触でエネルギを供給できることが望まれる。
【0003】
PLZTセラミックス(以下PLZTという):(Pb,La)(Zr,Ti)O3 は、光を吸収すると伸びるという「光歪効果」を有する強誘電体セラミックスであり、光歪素子として光エネルギを直接機械エネルギに変換することができる。
【0004】
このように、PLZTに光を照射し、非接触でエネルギを供給して、PLZTの駆動を制御することができ、PLZTをマイクロマシンのアクチュエータとして利用することが期待されている。
【0005】
しかしながら、光歪素子は、図4に示すように、略立方体形状のPLZT素子15の両端に電極16,16を配置し、この電極間16,16に10〜数10kV/cmの電界をかけることにより分極処理して製造する。
このような分極処理は、電極間距離が大きい程、高電圧を電極間に印加しなければならない。
【0006】
また、光歪効果とは、電極間距離dのPLZT素子に光が吸収された場合に光起電力効果により両電極間に電位差Vが生じ、これにより、強誘電体特有の圧電効果が生じ、PLZT素子の大きさが変化する現象をいう。
従って、同じ電位差Vが生じるのであれば、電極間の距離dが小さければ小さいほど、電界の強さEは大きくなり、単位長さ当たりの素子の伸び量は大きいものとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電極間の距離dが大きいと、図4に示すように、PLZT素子の外側を通る電束(図中矢印Aで示した)、即ち漏れた電束が多くなる。このような電束は、光歪効果に寄与しないから、その分だけ、光歪素子の伸び量は小さいものとなる。
【0008】
そこで、本願発明は、低電圧でも分極処理を行なうことができるものとして製造コストを低減できる光歪素子を提供することを目的とする。また、電束漏れを少なくして、高い効率で光歪効果を生じさせることとができる方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明において、上記の課題を解決するための手段は、光を照射することにより歪を生じる光歪素子において、n(nは整数)枚のPLZT薄板(1−1〜1−n)と、(n+1)枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)を交互に積み重ねて焼結処理により互いに接合し、該複数枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)のうち奇数番目の金属電極板と偶数番目の金属電極板との間に100〜150Vの電圧を印加してPLZT薄板(1−1〜1−n)の分極処理を行なうことを特徴とするものである。
そして、本発明では、この光歪素子に光を照射することにより積重ね方向に光歪効果を得ることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光歪素子の製造方法の実施の形態を説明する。
本例に係る光歪素子の製造方法は、図1に示すように、先ず、数十μmから数百μm程度の厚さに切り出したn枚(例えば200枚)のPLZT薄板1−1〜1−nと、数μmの厚さのn+1枚(201枚)の金属電極板2−1〜2−n+1を交互に組み合わせて、焼結処理により互いに接合する。
【0011】
そして、図1に示すように奇数(1、3、…、2M+1、…201:Mは自然数)番目の金属電極板を電源装置の+(プラス)極に、偶数(2、4、…、2M、…200:Mは自然数)番目の金属電極板を電源装置の−(マイナス)極に接続する。したがって、各PLZT薄板は電気的に並列に接続されていることとなる。
【0012】
この状態で、各金属電極板2−1〜2−n+1に電圧を引加すると、各金属電極板2−1〜2−n+1間に電位差が生じ各PLZT薄板1−1〜1−nに分極処理がなされる。この場合、上述した従来例で示した光歪素子と同一の電界強度Eを与えるために引加する電圧は従来例のものと比べると極めて小さいもので足り、電源装置の規模は小さいものでよいし、また分極処理の手間や電源装置の取り扱いも楽なものとなる。
【0013】
例えば、上述のように厚さ100μmのPLZT素子1−1〜1−200を200枚重ね合わせ、各PLZT素子の間に厚さ5μmの銀薄板2−1〜2−201を挟み込んで焼結接合した積層構造の光歪素子3を製造する場合を、100μmの200倍である2cmの単層構造のPLZT素子からなる光歪素子15(図4に示した)を製造する場合と比較して説明する。
【0014】
上記単層構造のPLZT素子を光歪素子15とするために分極させるには、両端縁部に設けた両電極16間に例えば20〜30kV程度の高電圧を引加する。
一方、本例に係る積層構造のPLZT薄板を光歪素子3とするために、上記単層のPLZT素子15と同一の電界強度Eを与えるのに必要な電圧は、200分の1、即ち100〜150Vでよい。分極の強さは、引加電圧の大きさではなく、電界Eの強さで決まるからである。
【0015】
この製造方法で製造された積層型の光歪素子3に光を照射すると、光歪効果により、光歪素子3がその分極方向と同じ方向に所定量伸びる。
【0016】
この積層構造の光歪素子3を上述した2cmの単層構造の光歪素子15と比較すると、本例に係る光歪素子では電束の漏れ(図2中矢印Bで示した)は、従来例に係る単層構造の光歪素子15の電束の漏れ(図4中矢印Aで示した)に比して少ないものとなる。
よって、同じエネルギ密度の光を照射した場合におけるPLZTに作用する電界は、本例に係る光歪素子3のほうが従来の単層構造の光歪素子15より大きくなり、伸びの量も大きくなる。
【0017】
本例に係る積層構造の光歪素子伸び量は、本例の金属電極板の厚さや材質等の他の物理的性質によって大きく異なることとなるので一概には特定できないが、本例に係る積層構造の光歪素子3は同寸法の単層構造の光歪素子15と比べて、少なくとも1.5倍程度となる。
【0018】
なお、上記実施例では、n枚のPLZT薄板とn+1枚の金属電極板とを交互に積み重ねる構造としたが、両端の金属電極板からの電荷の逃げを防止するため、図3に示すように両端の金属電極板2−1,2−n+1の両側にPLZT薄板4−1,4−2を1枚ずつ追加した構成としてもよい。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る光歪素子によれば、各PLZT薄板と各金属電極板とを交互に積み重ねて焼結処理により互いに接合し、100〜150Vの低電圧でPLZT薄板の分極処理を行なうようにしたことにより、高圧電源装置が不要となり、また処理における取扱が容易となって、製造コストを低減することができ、さらに光照射時の電束の漏れが少なく、光歪素子の伸び量の損失を小さくすることができ、高い効率で積重ね方向に光歪効果を生じさせることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光歪素子の原理及び実施の形態を示す光歪素子の断面図である。
【図2】実施の携帯に係る光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の斜視図である。
【図3】実施の携帯に係る光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の断面図である。
【図4】従来の光歪素子の製造方法で製造された光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の斜視図である。
【符号の説明】
1−1〜1−n PLZT
2−1〜2−n+1 金属電極板
【発明の属する技術分野】
本発明は、光歪素子に係り、特に低い電圧で分極処理ができ、高い効率で作動する光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法関する。
【0002】
【従来の技術】
近年マイクロマシンの研究が盛んに行われている。しかし、マイクロマシンを駆動するアクチュエータにエネルギを供給する際にリード線などを用いることは困難である。従って、このようなアクチュエータには遠方から非接触でエネルギを供給できることが望まれる。
【0003】
PLZTセラミックス(以下PLZTという):(Pb,La)(Zr,Ti)O3 は、光を吸収すると伸びるという「光歪効果」を有する強誘電体セラミックスであり、光歪素子として光エネルギを直接機械エネルギに変換することができる。
【0004】
このように、PLZTに光を照射し、非接触でエネルギを供給して、PLZTの駆動を制御することができ、PLZTをマイクロマシンのアクチュエータとして利用することが期待されている。
【0005】
しかしながら、光歪素子は、図4に示すように、略立方体形状のPLZT素子15の両端に電極16,16を配置し、この電極間16,16に10〜数10kV/cmの電界をかけることにより分極処理して製造する。
このような分極処理は、電極間距離が大きい程、高電圧を電極間に印加しなければならない。
【0006】
また、光歪効果とは、電極間距離dのPLZT素子に光が吸収された場合に光起電力効果により両電極間に電位差Vが生じ、これにより、強誘電体特有の圧電効果が生じ、PLZT素子の大きさが変化する現象をいう。
従って、同じ電位差Vが生じるのであれば、電極間の距離dが小さければ小さいほど、電界の強さEは大きくなり、単位長さ当たりの素子の伸び量は大きいものとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電極間の距離dが大きいと、図4に示すように、PLZT素子の外側を通る電束(図中矢印Aで示した)、即ち漏れた電束が多くなる。このような電束は、光歪効果に寄与しないから、その分だけ、光歪素子の伸び量は小さいものとなる。
【0008】
そこで、本願発明は、低電圧でも分極処理を行なうことができるものとして製造コストを低減できる光歪素子を提供することを目的とする。また、電束漏れを少なくして、高い効率で光歪効果を生じさせることとができる方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明において、上記の課題を解決するための手段は、光を照射することにより歪を生じる光歪素子において、n(nは整数)枚のPLZT薄板(1−1〜1−n)と、(n+1)枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)を交互に積み重ねて焼結処理により互いに接合し、該複数枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)のうち奇数番目の金属電極板と偶数番目の金属電極板との間に100〜150Vの電圧を印加してPLZT薄板(1−1〜1−n)の分極処理を行なうことを特徴とするものである。
そして、本発明では、この光歪素子に光を照射することにより積重ね方向に光歪効果を得ることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光歪素子の製造方法の実施の形態を説明する。
本例に係る光歪素子の製造方法は、図1に示すように、先ず、数十μmから数百μm程度の厚さに切り出したn枚(例えば200枚)のPLZT薄板1−1〜1−nと、数μmの厚さのn+1枚(201枚)の金属電極板2−1〜2−n+1を交互に組み合わせて、焼結処理により互いに接合する。
【0011】
そして、図1に示すように奇数(1、3、…、2M+1、…201:Mは自然数)番目の金属電極板を電源装置の+(プラス)極に、偶数(2、4、…、2M、…200:Mは自然数)番目の金属電極板を電源装置の−(マイナス)極に接続する。したがって、各PLZT薄板は電気的に並列に接続されていることとなる。
【0012】
この状態で、各金属電極板2−1〜2−n+1に電圧を引加すると、各金属電極板2−1〜2−n+1間に電位差が生じ各PLZT薄板1−1〜1−nに分極処理がなされる。この場合、上述した従来例で示した光歪素子と同一の電界強度Eを与えるために引加する電圧は従来例のものと比べると極めて小さいもので足り、電源装置の規模は小さいものでよいし、また分極処理の手間や電源装置の取り扱いも楽なものとなる。
【0013】
例えば、上述のように厚さ100μmのPLZT素子1−1〜1−200を200枚重ね合わせ、各PLZT素子の間に厚さ5μmの銀薄板2−1〜2−201を挟み込んで焼結接合した積層構造の光歪素子3を製造する場合を、100μmの200倍である2cmの単層構造のPLZT素子からなる光歪素子15(図4に示した)を製造する場合と比較して説明する。
【0014】
上記単層構造のPLZT素子を光歪素子15とするために分極させるには、両端縁部に設けた両電極16間に例えば20〜30kV程度の高電圧を引加する。
一方、本例に係る積層構造のPLZT薄板を光歪素子3とするために、上記単層のPLZT素子15と同一の電界強度Eを与えるのに必要な電圧は、200分の1、即ち100〜150Vでよい。分極の強さは、引加電圧の大きさではなく、電界Eの強さで決まるからである。
【0015】
この製造方法で製造された積層型の光歪素子3に光を照射すると、光歪効果により、光歪素子3がその分極方向と同じ方向に所定量伸びる。
【0016】
この積層構造の光歪素子3を上述した2cmの単層構造の光歪素子15と比較すると、本例に係る光歪素子では電束の漏れ(図2中矢印Bで示した)は、従来例に係る単層構造の光歪素子15の電束の漏れ(図4中矢印Aで示した)に比して少ないものとなる。
よって、同じエネルギ密度の光を照射した場合におけるPLZTに作用する電界は、本例に係る光歪素子3のほうが従来の単層構造の光歪素子15より大きくなり、伸びの量も大きくなる。
【0017】
本例に係る積層構造の光歪素子伸び量は、本例の金属電極板の厚さや材質等の他の物理的性質によって大きく異なることとなるので一概には特定できないが、本例に係る積層構造の光歪素子3は同寸法の単層構造の光歪素子15と比べて、少なくとも1.5倍程度となる。
【0018】
なお、上記実施例では、n枚のPLZT薄板とn+1枚の金属電極板とを交互に積み重ねる構造としたが、両端の金属電極板からの電荷の逃げを防止するため、図3に示すように両端の金属電極板2−1,2−n+1の両側にPLZT薄板4−1,4−2を1枚ずつ追加した構成としてもよい。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る光歪素子によれば、各PLZT薄板と各金属電極板とを交互に積み重ねて焼結処理により互いに接合し、100〜150Vの低電圧でPLZT薄板の分極処理を行なうようにしたことにより、高圧電源装置が不要となり、また処理における取扱が容易となって、製造コストを低減することができ、さらに光照射時の電束の漏れが少なく、光歪素子の伸び量の損失を小さくすることができ、高い効率で積重ね方向に光歪効果を生じさせることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光歪素子の原理及び実施の形態を示す光歪素子の断面図である。
【図2】実施の携帯に係る光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の斜視図である。
【図3】実施の携帯に係る光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の断面図である。
【図4】従来の光歪素子の製造方法で製造された光歪素子の電束の状態を示す光歪素子の斜視図である。
【符号の説明】
1−1〜1−n PLZT
2−1〜2−n+1 金属電極板
Claims (2)
- 光を照射することにより歪を生じる光歪素子において、
n(nは整数)枚のPLZT薄板(1−1〜1−n)と、(n+1)枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)を交互に積み重ねて焼結処理により互いに接合し、
該複数枚の金属電極板(2−1〜2−n+1)のうち奇数番目の金属電極板と偶数番目の金属電極板との間に100〜150Vの電圧を印加してPLZT薄板(1−1〜1−n)の分極処理を行なうことを特徴とする光歪素子。 - 請求項1に記載の光歪素子に光を照射することにより積重ね方向に光歪効果を得る方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09672196A JP3614561B2 (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | 光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09672196A JP3614561B2 (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | 光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09285162A JPH09285162A (ja) | 1997-10-31 |
JP3614561B2 true JP3614561B2 (ja) | 2005-01-26 |
Family
ID=14172610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09672196A Expired - Fee Related JP3614561B2 (ja) | 1996-04-18 | 1996-04-18 | 光歪素子及びその光歪素子により光歪効果を得る方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3614561B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102722041A (zh) * | 2012-05-02 | 2012-10-10 | 清华大学 | Plzt电光可控相位延迟器 |
JP6998100B1 (ja) | 2021-10-04 | 2022-01-18 | 有限会社シューテックプロ | 蜂の捕獲用具 |
-
1996
- 1996-04-18 JP JP09672196A patent/JP3614561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102722041A (zh) * | 2012-05-02 | 2012-10-10 | 清华大学 | Plzt电光可控相位延迟器 |
CN102722041B (zh) * | 2012-05-02 | 2014-11-26 | 清华大学 | Plzt电光可控相位延迟器 |
JP6998100B1 (ja) | 2021-10-04 | 2022-01-18 | 有限会社シューテックプロ | 蜂の捕獲用具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09285162A (ja) | 1997-10-31 |
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Legal Events
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