JP3605994B2 - 2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、フローティングゲートとコントロールゲートの2層ゲート電極を有する不揮発性の半導体記憶装置の製造方法に関し、特にEPROM、EEPROM、フラッシュメモリ等に適用して好適である。
【0002】
【従来の技術】
電気的な書き込みが可能な不揮発性メモリとして、EPROMが知られている。このEPROMのフローティングゲートとコントロールゲートの間における層間絶縁膜として、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜、シリコン酸化膜の3層構造を有するいわゆるONO膜を用いるものがある。
【0003】
このONO膜を用いると、多結晶シリコンからなるフローティングゲートとコントロールゲートの2層ゲート間容量を大きくすると同時に低リーク、高耐圧にできるという利点がある。
しかし、その反面多数のキャリア捕獲準位をシリコン窒化膜とシリコン酸化膜との界面あるいはシリコン窒化膜中に有しているため、フローティングゲートへの書き込み後において、そのキャリア捕獲準位にトラップされたキャリアが熱拡散等して窒化膜中を移動してしまう。このため、しきい値変動(Vtシフト)が起こって初期的な電荷保持率の低下が発生するという問題がある(Pan etal.,”A Scaling Methodology for Oxide−Nitride−Oxide interpoly Dielectricfor EPROM Applications” IEEE TRANSACTIONS ON ELCTRON DEVICES VOL.17,No.6,June 1990参照)。
【0004】
この問題を解決するものとして、シリコン窒化膜を薄くすることによってキャリアの移動量を少なくする方法がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、高耐圧を確保するためには、絶縁膜を所定の膜厚にする必要があるため、シリコン窒化膜以外のシリコン酸化膜の膜厚を厚くしなければならないが、比誘電率の小さいシリコン酸化膜を厚くすると総合的なゲート間容量が小さくなってしまうという問題が生じる。
【0006】
本発明は上記問題に鑑みたもので、ゲート間容量を小さくせずに、キャリア捕獲準位にトラップされたキャリアの移動による初期的な電荷保持率の低下を抑制することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記問題を解決するために以下の手段を採用する。請求項1に記載の発明においては、2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法において、シリコン窒化膜(5)と第1、第2のシリコン酸化膜(4、6)との界面あるいはシリコン窒化膜(5)内のキャリア捕獲準位にトラップされるキャリアを低減するための第1のアニール処理を施す工程と、基板(1)界面における界面準位密度を低減させるための第2のアニール処理を施す工程とを有し、パッシベーション膜(15)を形成した後に、第2のアニール処理を施し、その後、ウェハを恒温槽にて第2のアニール処理よりも低温かつ長時間で第1のアニール処理を施すことを特徴とする。
【0008】
このように、第1のアニール処理を施すことにより、ONO膜(20)におけるシリコン窒化膜(5)中あるいはシリコン窒化膜(5)と第1、第2のシリコン酸化膜(4、6)の界面における多数のキャリア捕獲準位を減少させることができるため、フローティングゲート(8)への書き込み時等において上記キャリア捕獲準位にトラップされるキャリアを減らすこと、及び上記書き込み後の熱拡散等によってシリコン窒化膜(5)中を移動するキャリアを少なくすることができる。
【0009】
これにより、フローティングゲート(8)への書き込み後の初期的な電荷保持率の低下を減らすことができる。
【0010】
また、請求項2に示すように第1のアニール処理の温度は175℃〜325℃の温度範囲の値に設定することができ、例えば請求項3に示すように処理温度を250℃、処理時間を50時間に設定することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。
本発明の一実施形態における2層ゲート型の不揮発性半導体装置の製造方法をEPROMに適用した場合について、図1に示すEPROMの製造工程図に基づき説明する。
【0012】
〔図1(a)に示す工程〕
まず、P型シリコン基板1上にLOCOS膜(図示しない)を形成して素子分離を行い、素子形成領域表面にゲート酸化膜2を形成する。そして、このゲート酸化膜2上に第1のポリシリコン層3を形成した後、この第1のポリシリコン層3上にリンをデポジションして、リンイオンを第1のポリシリコン層3内に熱拡散させる。その後、図示しないがフローティングゲート形成のためのフォトリソグラフィ・エッチングを行う。
【0013】
次に、熱酸化により第1のポリシリコン層3の上面にシリコン酸化膜4を形成する。そして、LP炉でシリコン酸化膜(第1の絶縁膜)4上にシリコン窒化膜5をデポジションする。この後、熱酸化によりシリコン窒化膜5上にシリコン酸化膜(第2の絶縁膜)6を形成する。これらによってONO膜(層間絶縁膜)20が形成される。
【0014】
続いて、ONO膜20上に第2のポリシリコン膜7を形成し、上記した第1のポリシリコン層3と同様の工程によって第2のポリシリコン層7内にリンイオンを熱拡散させる。
〔図1(b)に示す工程〕
その後、フォトリソグラフィ・エッチングによって第1、第2のポリシリコン層3、7及びONO膜20をパターニングしてフローティングゲート8及びコントロールゲート9を形成し、さらに熱酸化によりフローティングゲート8、ONO膜20及びコントロールゲート9の周囲にシリコン酸化膜10を形成する。
【0015】
〔図1(c)に示す工程〕
熱酸化膜10やフローティングゲート8及びコントロールゲート9をマスクにしてN型不純物のイオン注入を行い、ソース11、ドレイン12を形成する。なお、図示しないが、このソース11、ドレイン12形成以前に比較的低濃度のイオン注入を行うことによって電界緩和層を形成することもできる。
【0016】
〔図1(d)に示す工程〕
ウェハ全面にBPSG等からなる層間絶縁膜13を形成して、この層間絶縁膜にソース11、ドレイン12及びコントロールゲート9における外部引き出し電極用のコンタクトホールを開口する。
〔図1(e)に示す工程〕
金属配線材料としてAlを主成分とするAl合金膜を堆積して電気配線14をパターンニング形成し、プラズマCVD法により窒化膜をウェハ全面に堆積することによりパッシベーション膜15を形成する。
【0017】
この後、第2のアニール処理として、ウェハを450℃で数十分間(例えば、略30分間)程度の加熱処理を施し、P型シリコン基板1界面における界面準位(密度)を低減させる。
そして、ウェハを恒温槽に搬送し、この恒温槽内にて第1のアニール処理として、第2のアニール処理における温度よりも低温で長時間となる熱処理、具体的には175℃〜325℃(例えば、略250℃)の温度で約50時間の熱処理を施す。この第1のアニール処理により、ONO膜20におけるシリコン窒化膜5中やシリコン窒化膜5とシリコン酸化膜4、6との界面における多数のキャリア捕獲準位を低減することができる。
【0018】
次に、上記第1のアニール処理を施した場合と、この処理を施していない場合における放置時間−電荷保持特性の比較図を図2に示す。なお、電荷保持率は数式1によって表され、ウェハ内の5箇所におけるEPROMの電圧(Vt(t))を測定し、数式1を用いて電荷保持率を求めたものをプロットしたものである。但し、上記5箇所のEPROMにおける電荷保持率には図に示すように幅があるため、これらの平均値をプロットしている。
【0019】
【数1】
電荷保持率(%)=Vt(t)/Vt0×100
図2から明らかなように、書き込み後における電荷保持率は、放置時間初期において急速に低下しているが、第1のアニール処理を施した場合のほうがその低下が小さい。つまり、これはONO膜20におけるシリコン窒化膜5中やシリコン窒化膜5とシリコン酸化膜4、6との界面における多数のキャリア捕獲準位が減少しているためである。
【0020】
また、図2に示されるように、電荷保持率はフローティングゲート8への書き込み後、放置時間初期において急速に低下した後、一般にみられる電荷保持特性を示している。シリコン窒化膜5中のキャリア移動による電荷保持率の初期低下分を図中の点線に示すように外挿して電荷保持率100%からの減少分で定義すると、書き込み後放置時間初期の電荷保持率を調べてみると、第1のアニール処理を施したものは約97.0%となり、前記処理を施さないものは約95.8%となっている。
【0021】
さらに、電荷保持寿命をみてみると、例えば電荷保持率が95%まで低下する時間は、第1のアニール処理を施していないものは約55時間であるのに対し、前記処理を施したものは約110時間である。つまり、電荷保持寿命が約2倍以上に延びているといえる。
このように、第1のアニール処理を施すことにより、ONO膜20におけるシリコン窒化膜5中やシリコン窒化膜5とシリコン酸化膜4、6との界面における多数のキャリア捕獲準位を減少させることができるため、フローティングゲート8への書き込み時等において上記キャリア捕獲準位にトラップされるキャリアを減らすこと、及び上記書き込み時後の熱拡散等によってシリコン窒化膜5中を移動するキャリアを少なくすることができる。
【0022】
これにより、Vtシフト量を少なくすることができ、すなわちフローティングゲート8への書き込み後の初期的な電荷保持率の低下を減らすことができる。
なお、第2のアニール処理の後に第1のアニール処理を行っているが、第2のアニール処理の前に第1のアニール処理を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態におけるEPROMの製造方法を示す工程図である。
【図2】図1に示される方法により製造されたEPROMの電荷保持率特性図である。
【符号の説明】
1…P型シリコン基板、2…ゲート酸化膜、4、6…シリコン酸化膜、
5…シリコン窒化膜、11…ソース、12…ドレイン、13…層間絶縁膜、
14…電気配線、15…パッシベーション膜。
Claims (3)
- 基板(1)上にゲート絶縁膜(2)を介してフローティングゲート(8)を形成し、このフローティングゲート(8)の上に第1のシリコン酸化膜(4)、シリコン窒化膜(5)及び第2のシリコン酸化膜(6)を順に積層したONO膜(20)を形成し、このONO膜(20)上にコントロールゲート(9)を形成し、ウェハ全面にパッシベーション膜(15)を形成する2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法において、
前記シリコン窒化膜(5)と前記第1、第2のシリコン酸化膜(4、6)との界面あるいは前記シリコン窒化膜(5)内のキャリア捕獲準位にトラップされるキャリアを低減するための第1のアニール処理を施す工程と、前記基板(1)界面における界面準位密度を低減させるための第2のアニール処理を施す工程とを有し、
前記パッシベーション膜(15)を形成した後に、前記第2のアニール処理を施し、その後、前記ウェハを恒温槽にて前記第2のアニール処理よりも低温かつ長時間で前記第1のアニール処理を施すことを特徴とする2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1のアニール処理の温度は175℃〜325℃の温度範囲の値に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法。
- 前記第1のアニール処理において、熱処理温度は250℃であり、熱処理時間は50時間に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の2層ゲート型半導体記憶装置の製造方法。
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JPH10270576A JPH10270576A (ja) | 1998-10-09 |
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- 1997-03-25 JP JP07224397A patent/JP3605994B2/ja not_active Expired - Fee Related
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