JP3603941B2 - カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 - Google Patents
カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3603941B2 JP3603941B2 JP22909199A JP22909199A JP3603941B2 JP 3603941 B2 JP3603941 B2 JP 3603941B2 JP 22909199 A JP22909199 A JP 22909199A JP 22909199 A JP22909199 A JP 22909199A JP 3603941 B2 JP3603941 B2 JP 3603941B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- cathode
- anode
- current
- arc discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はカーボンナノチューブの製造方法および製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
カーボンナノチューブは、グラファイトを円筒形に巻いた形状を有するチューブであり、特異な物性を有していることから、材料科学からエレクトロニクスまでの広範囲の分野への適用が期待されている注目すべき新素材である。
このカーボンナノチューブは、へリウムガス中で2本の炭素電極を 1〜2mm 程度離した状態で直流アーク放電を起こしたときに、陽極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した堆積物中に形成される。
カーボンナノチューブの製造装置を図3により説明する。図3は従来の製造装置の構成図である。
図3に示すように、密閉容器1中にともに炭素電極からなる陽極2と陰極3とを配置する。なお、陽極2は電流導入端子2aに接続し、陰極3は電流導入端子3aに接続している。また、陽極2は、直線運動を可能とする微動機構4により、図3の紙面左右方向に移動可能となっている。そして、密閉容器1内には、低圧の不活性ガスAが導入され、排ガスBが排気される。
また給電設備5により電流導入端子2a、3aにアーク放電に必要な電流が供給される。7は圧力計である。
【0003】
以上の構成において、電流導入端子2aに(+)、電流導入端子3aに(−)を接続し、陽極2と陰極3との間隔を 1〜2mm 程度とし、直流電流を流しアーク放電を起こす。すると、陽極2の炭素が蒸発し、この蒸発した炭素が再結晶化することにより、陰極3先端に堆積物が形成される。
そして、陰極堆積物と陽極2との間を常に 1〜2mm 程度と一定に保つように、陰極堆積物の成長とともに微動機構4により陽極2を移動させていくことにより、陰極3の先端面に陰極堆積物が成長していき、この陰極堆積物内にカーボンナノチューブが生成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の製造方法においては、陰極堆積物が均一に生成しないという問題がある。
また、陰極堆積物が均一に生成しないとともに、陽極側の炭素電極先端の変形が大きくなるためカーボンナノチューブを一度生成する毎に電極を交換しなければならないという問題がある。このため、製造工程の自動化が困難であるという問題がある。
【0005】
本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、陰極堆積物を安定して製造することができ、また、陰極堆積物生成毎に電極を交換する必要がないため容易に製造工程を自動化することができるカーボンナノチューブの製造方法およびその製造装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、炭素電極からなる陽極と、該炭素電極に対向配置された耐熱性導電材料からなる陰極との間にアーク放電させる工程と、陰極面に生成された堆積物を該陰極面から採取する工程とを備えたカーボンナノチューブの製造方法において、上記アーク放電させる工程が、所定の放電電流を流してアーク放電を継続させる前に、上記所定の放電電流を越えた初期電流を流すことを特徴とする。
【0007】
また、上記初期電流の値が放電開始後に所定の放電電流値の 1.5〜3.0倍であることを特徴とする。
また、上記初期電流を流す期間が放電開始時より 10 秒以内であることを特徴とする。
【0008】
本発明のカーボンナノチューブの製造装置は、容器内に炭素電極からなる陽極と、耐熱性導電材料からなる陰極とを所定の間隔で対向して配置する手段と、陰極および陽極間にアーク放電を起こさせる手段とを備えたカーボンナノチューブの製造装置において、上記アーク放電を起こさせる手段が、放電開始時の初期電流値を、放電開始後の放電電流値を越えて設定できる手段を備えてなることを特徴とする。
【0009】
陰極堆積物が均一に生成しない原因を追及したところ、陰極堆積物の断面形状が放電開始時の放電状態に依存することが分かった。その状態を図4に示す。図4は従来の製造方法における陰極堆積物の生成状態を示す図である。放電開始時(図4(a))に、陽極2および陰極3の対向面2b、3bに凹凸や傾きなどがあると、放電の偏り9が生じる。放電がいったん偏り9の部分で発生すると放電電流がその部分に集中して流れるため、アーク放電が陽極面2b全面で発生しなくなる。その結果、偏り9部分にのみ堆積物が生成するので、放電終了後(図4(b))は、歪んだ形状の陰極堆積物8aとなることが分かった。
また、放電電流が集中して流れる結果、電流密度が上がり、いったん生成したカーボンナノチューブも焼結してしまうため、陰極堆積物8a内でのカーボンナノチューブの収率が少なくなる。
さらに、図4に示すように、陽極2の断面部分2cが不均一となる結果、陰極堆積物生成毎に電極を交換しなければならない。
【0010】
本発明は、このような知見に基づきなされたもので、アーク放電させる工程において、定常状態となる所定の放電電流を流してアーク放電を継続させる前に、定常状態の放電電流を越えた初期電流を流すことにより、放電開始の初期段階に陽極面全体に均一な放電を起こさせるものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態におけるカーボンナノチューブの製造装置に関して図1により説明する。図1はカーボンナノチューブの製造装置の構成図である。
図1に示すように、密閉容器1を備え、その中に炭素電極からなる陽極2と耐熱性導電材料からなる陰極3とが配置されている。耐熱性導電材料としては、炭素、黒鉛、銅などを挙げることができる。好ましい陽極と陰極の組み合わせは、ともに炭素電極である。
陽極2は直径 5〜20mmであり、陰極3は陽極2の直径より大きな直径を有している。なお、陽極2は電流導入端子2aに接続し、陰極3は電流導入端子3aに接続している。また、陽極2は直線運動を可能とする徴動機構(電極移動手段)4を備え、陽極2と陰極3の配置方向に移動可能とされている。この移動方向は、図1の紙面左右方向である。なお、陽極2を固定して陰極3が移動できるように構成してもよい。さらに、陰極3の直径を大きくして回転できるようにしてもよい。
アーク放電により陰極3の表面に堆積した陰極堆積物を採取するために、図示を省略した陰極堆積物採取器を陰極3の表面に配置することができる。
【0012】
本装置には、陽極2と陰極3との間にアーク放電を生じさせるための電力を供給するための給電設備5、放電電流値を調節するための電流調整設備6、密閉容器1内の雰囲気を調節するガス導入設備や排ガス排気設備等が備えられている。7は圧力計である。
電流調整装置6は、アーク放電時の電流値を任意に制御調節できる装置であれば使用することができる。具体的には、放電開始時の初期電流値を、放電開始後の放電電流値を越えて設定できればよい。好ましくは初期電流値が、放電が定常状態となる所定の放電電流の値の 1.5〜3.0倍に、また初期電流を流す期間が放電開始時より 10 秒以内となるように設定できる電流調整装置であればよい。例えばプログラム制御された定電流発生装置などを挙げることができる。また、電流調整装置6が給電設備5と一体となったものでもよい。
【0013】
次に、上述の製造装置を用いたカーボンナノチューブの製造方法について説明する。
まず、密閉容器1内を 10−3〜10−4Pa 程度の真空度とする。ついで、ガス導入管よりヘリウムガスなどのガスAを導入し、密閉容器1内の真空度が 104Pa 程度となるようにする。なお、ガスはへリウムガスに限るものではなく、アルゴンガスなどであってもよい。また、水素ガス、窒素ガスと酸素ガスとの混合ガス、窒素ガスと水素ガスとの混合ガス、窒素ガスまたは二酸化炭素ガスを用いるようにしてもよい。
【0014】
次に、陽極2が(+)で陰極3が(−)に接続された状態で給電設備5および電流調整装置6より直流電圧を印加し、陽極2と陰極3との間にアーク放電を生じさせる。
まず、定常状態となる所定の放電電流を越えた初期電流を流すことによりアーク放電を開始する。その状態を図2に示す。図2は本発明における陰極堆積物の生成状態を示す図である。
放電開始時に大きな初期電流を流すことにより陽極の全面2bでの放電が容易に起こりやすくなる(図2(a))。その結果、陰極堆積物8は陽極2とほぼ同じ径で丸く大きなものが生成する(図2(b))。
陽極の全面2bでの放電をさせるための初期電流値は、所定の放電電流の 1.5〜3.0倍、好ましくは 1.5〜2.0倍である。
初期電流値が 1.5倍未満であると陽極の全面2bで均一な放電が生じない場合があり、3.0倍を越えると、陰極堆積物が焼結などを起こしカーボンナノチューブの収率が悪くなる。
なお、所定の放電電流とは、放電が定常状態となる放電電流をいい、放電を継続させて陰極堆積物8を成長させることのできる電流値をいう。この電流値は、陽極の形状、種類、陰極との間隔、雰囲気等によっても異なるが、50〜400A/cm2、好ましくは 120〜255A/cm2である。
【0015】
初期電流を流す期間は、陽極の全面2bで均一な放電が生じればよく、具体的には放電開始時より 10 秒以内である。なお、均一な放電が生じさえすれば、より短い時間であってもよい。 10 秒を越えて流すと、陰極堆積物が焼結などを起こしカーボンナノチューブの収率が悪くなる。
【0016】
アーク放電が定常状態となった後、陰極堆積物8と陽極2との間を常に一定の距離、例えば 1mm程度の距離を保つように、陰極堆積物8の成長とともに微動機構4により陽極2を移動させていく。
この結果、陰極3先端に陰極堆積物8が柱状に成長していく。このとき、柱状に成長する陰極堆積物8の直径は、陽極2の直径にほぼ等しくなる。そのとき、陰極堆積物8の成長とともに、グラファイトからなる外側の固い殻の内側にカーボンナノチューブが形成されていく。この後、所望の大きさにまで陰極堆積物8を成長させた後、放電を停止し、密閉容器1内の真空度を低下させて大気圧に開放し、陰極3先端に成長した陰極堆積物8を採取して、その中央部分のカーボンナノチューブを取り出せば、多量のカーボンナノチューブを得ることができる。
【0017】
【実施例】
実施例1
図1に示す装置を用いてカーボンナノチューブを製造した。
陰極3は直径φ 30mm の黒鉛電極を用い、陽極2は直径φ10 mm 、長さ 30cm の黒鉛電極を用い、電極間隔は 1mmに設定した。密閉容器1内に水素ガスを満たし、その真空度を 104Pa 程度とした。
放電電流は、初期値を 200A×3 秒間、その後の定常値を 100A (電流密度 127/cm2)になるように電流調整装置6および給電設備5を設定してアーク放電を開始した。
アーク放電は陽極2全面に起った。微動機構4により陽極2を移動させることにより陰極3先端に陰極堆積物が生成した。陰極堆積物を採取した後、陽極2を交換することなく上記と同様に放電電流を設定してアーク放電を開始したところ、陽極2全面に放電が起った。この操作を 10 回繰り返したが全て陽極2全面にアーク放電がみられた。
【0018】
比較例1
放電電流の初期値および定常値をともに 100A に設定する以外は、実施例1と同一の方法で陰極堆積物を生成させる操作を 10 回繰り返した。陽極2全面にアーク放電がみられたのは初回だけであった。陽極2を交換することなくアーク放電を行なうと、全面放電がみられなかった。そのため、陰極堆積物を生成する毎に陽極2を交換しなければならなかった。
【0019】
本発明は、陰極堆積物を生成する毎に陽極2を交換することなく、確実に陽極2全面にアーク放電をさせることができるので、自動化によるカーボンナノチューブの連続製造が可能とする。
また、確実に陰極堆積物を生成させることができるので、カーボンナノチューブの収率を上げることができる。
さらに、陽極2を有効に使用することができるので、製造コストを低下させることができる。
【0020】
【発明の効果】
本発明は、アーク放電によるカーボンナノチューブの製造方法において、定常状態となる所定の放電電流を流してアーク放電を継続させる前に、その放電電流を越えた初期電流を流すので、陽極全面にアーク放電をさせることができる。その結果、再現性よく安定して大きな陰極堆積物を生成させることができ、収率よくカーボンナノチューブを製造することができる。
また、陰極堆積物生成毎の電極交換が不要となるので、自動化による連続生産が安定してでき、材料コストと生産コストを下げることができる。
【0021】
本発明のカーボンナノチューブの製造装置は、容器内に炭素電極からなる陽極と、耐熱性導電材料からなる陰極とを所定の間隔で対向して配置する手段と、陰極および陽極間にアーク放電を起こさせる手段とを備えたカーボンナノチューブの製造装置において、上記アーク放電を起こさせる手段が放電開始時の初期電流値を、放電開始後の放電電流値を越えて設定できる手段を備えてなるので、カーボンナノチューブを収率よく連続生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】カーボンナノチューブの製造装置の構成図である。
【図2】陰極堆積物の生成状態を示す図である。
【図3】従来の製造装置の構成図である。
【図4】従来の製造方法における陰極堆積物の生成状態を示す図である。
【符号の説明】
1 密閉容器
2 陽極
3 陰極
4 徴動機構
5 給電設備
6 電流調整装置
7 圧力計
8 陰極堆積物
9 放電の偏り
Claims (4)
- 炭素電極からなる陽極と、該炭素電極に対向配置された耐熱性導電材料からなる陰極との間にアーク放電させる工程と、前記陰極面に生成された堆積物を該陰極面から採取する工程とを備えたカーボンナノチューブの製造方法において、
前記アーク放電させる工程は、所定の放電電流を流してアーク放電を継続させる前に、前記所定の放電電流を越えた初期電流を流すことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 前記初期電流の値が前記所定の放電電流の値の 1.5〜3.0倍であることを特徴とする請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 前記初期電流を流す期間が放電開始時より 10 秒以内であることを特徴とする請求項1または請求項2記載のカーボンナノチューブの製造方法。
- 容器内に炭素電極からなる陽極と、耐熱性導電材料からなる陰極とを所定の間隔で対向して配置する手段と、前記陰極および陽極間にアーク放電を起こさせる手段とを備えたカーボンナノチューブの製造装置において、
前記アーク放電を起こさせる手段は、放電開始時の初期電流値を、放電開始後の放電電流値を越えて設定できる手段を備えてなることを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22909199A JP3603941B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22909199A JP3603941B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001048513A JP2001048513A (ja) | 2001-02-20 |
JP3603941B2 true JP3603941B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=16886621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22909199A Expired - Lifetime JP3603941B2 (ja) | 1999-08-13 | 1999-08-13 | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3603941B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1747895A (zh) * | 2003-02-10 | 2006-03-15 | 日本电气株式会社 | 纳米碳制造装置和纳米碳制造方法 |
-
1999
- 1999-08-13 JP JP22909199A patent/JP3603941B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001048513A (ja) | 2001-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5753088A (en) | Method for making carbon nanotubes | |
JP3877302B2 (ja) | カーボンナノチューブの形成方法 | |
US7625545B2 (en) | Process for producing carbon nanotubes by arc discharge | |
JP2541434B2 (ja) | カ―ボンナノチュ―ブの製造方法 | |
US20030064169A1 (en) | Plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus and method of producing carbon nanotube using the same | |
JP2526782B2 (ja) | 炭素繊維とその製造方法 | |
JP3986711B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造方法 | |
KR19990077943A (ko) | 단층카본나노튜브의제조방법 | |
JP2699852B2 (ja) | 単層カーボンナノチューブの製造法 | |
JP2001048512A (ja) | 垂直配向カーボンナノチューブの作製方法 | |
JP3603941B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
JP4693463B2 (ja) | 二層カーボンナノチューブを製造するための触媒とこれを用いる二層カーボンナノチューブの製造方法 | |
JPH07189040A (ja) | 円筒状黒鉛繊維の製造方法 | |
JP3837556B2 (ja) | カーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー又はキャピラリー及びカーボンナノチューブの形成方法 | |
KR100335382B1 (ko) | 회전 전극 플라즈마 장치, 및 이를 이용한 탄소 나노체합성 방법 | |
JP2000344505A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
JP3815421B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP4590621B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法および製造装置 | |
JP3861857B2 (ja) | カーボンナノチューブテープの製造方法 | |
CN100577560C (zh) | 碳纳米管和其制造方法、以及制造碳纳米管的设备 | |
JP4724929B2 (ja) | 炭素質材料の製造方法及び製造装置 | |
JP2006143496A (ja) | カーボンナノチューブの作製方法およびカーボンナノチューブの作製装置 | |
JP2003335509A (ja) | カーボンナノチューブカソードの製造方法 | |
JP2004323303A (ja) | 自己再生型カーボンナノチューブ・グラファイト混合膜の形成方法 | |
JP3735674B2 (ja) | カーボンナノチューブ育成製造装置とカーボンナノチューブ育成製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040531 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040914 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071008 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101008 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111008 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121008 Year of fee payment: 8 |