JP3601461B2 - ワーク付着物除去装置 - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004512 die casting Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、略円柱形状の穴部が形成されたワークにおいて、穴部の周面に付着した付着物を除去する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
従来、上記ワークの付着物を次の作業手順で除去していた。すなわち、初めに、電動モータでブラシを回転させる電動ブラシを用いて付着物を擦り落とす作業を行い、その後、圧縮空気を噴出する噴出ノズルを用いて付着物を吹き飛ばす作業を行っていた。
【0003】
しかし、擦り落とす作業と吹き飛ばす作業を別々に行うと、作業工数が多いためワークの原価低減が困難である。また、電動ブラシと噴出ノズルを単純に一体化した付着物除去装置を用いて両作業を同時に行おうとすると、装置が複雑で高価なものとなるためワークの原価低減が困難である。
【0004】
本発明は、上記点に鑑み、ワークの付着物を擦り落とす作業と吹き飛ばす作業を同時に行うことができる装置であり、かつ、簡素な構造である付着物除去装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、略円柱形状の穴部(11)が形成されたワーク(10)において、穴部(11)の周面(11a)に付着した付着物(12)を除去する装置であって、周面(11a)に向けて圧縮空気を噴出して付着物(12)を吹き飛ばすとともに、圧縮空気の噴出力により穴部(11)の円周方向に回転する噴出ノズル(20)と、噴出ノズル(20)に取り付けられて共に回転して付着物(12)を擦り落とすブラシ(30)とを備えることを特徴としている。
【0006】
これにより、噴出ノズル(20)から圧縮空気を噴出すると同時にブラシ(30)が回転するので、付着物(12)を擦り落とす作業と付着物(12)を吹き飛ばす作業を同時に行うことができる。そして、圧縮空気の噴出力によりブラシ(30)および噴出ノズル(20)を回転させるので、回転させるための専用の駆動源(電動モータ等)を必要としないため、付着物除去装置の構造を簡素にでき、ひいてはワーク(10)の原価低減を図ることができる。
【0007】
なお、本発明の穴部(11)とは、貫通穴および図1に例示する非貫通穴のいずれをも含む意味である。
【0008】
また、請求項2に記載の発明では、円周方向に回転可能に支持されて、穴部(11)の半径方向に放射状に延びる複数本の空気配管(22)を備え、噴出ノズル(20)は、複数本の空気配管(22)のそれぞれに圧縮空気の噴出口(22a)を形成して構成され、ブラシ(30)は、複数本の空気配管(22)のそれぞれに取り付けられていることを特徴としている。
【0009】
これにより、噴出口(22a)およびブラシ(30)は、穴部(11)の円周方向の複数箇所に備えられるので、空気配管(22)が1本の場合に比べて、短時間で付着物(12)を除去することができる。
【0010】
また、請求項3に記載の発明では、円周方向に回転可能に支持されて、穴部(11)の軸方向に延びるように形成された空気配管(22)を備え、噴出ノズル(20)は、空気配管(22)に圧縮空気の噴出口(22a)を軸方向に複数形成して構成され、ブラシ(30)は、空気配管(22)に軸方向に亘って複数本取り付けられていることを特徴としている。
【0011】
これにより、噴出口(22a)およびブラシ(30)は、穴部(11)の軸方向の複数箇所に備えられるので、噴出ノズル(20)が一回転する間に付着物(12)を除去できる面積を大きくすることができるため、短時間で付着物(12)を除去することができる。
【0012】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施形態に係る付着物除去装置およびワークを示す部分断面図であり、図2はA−A断面図である。
【0014】
図中の符号10は金属で成形された金属成形品(例えばダイカストにより成形されたアルミニウム)を示しており、各種バルブの構成部品である。この成形品10は図1の上下方向に延びる円柱形状であり、成形品10の下面には略円柱形状の穴部11が形成されている。そして、図中の符号12は穴部11の周面11aに付着した付着物を示している。付着物の具体例としては、成形品10を成形する工場内に浮遊する粉塵や金属の切削バリ等の異物が油とともに付着した場合等が挙げられる。
【0015】
以下に、上記付着物12を除去する場合を例に、本実施形態の付着物除去装置を説明する。なお、付着物12は、圧縮空気の力では吹き飛ばすことができず、ブラシで擦り落とす必要があるものであり。さらに、擦り落とされた付着物が再び穴部11の周面11aに付着するのを防止するために、穴部11の周面11aに圧縮空気を吹き付けなければならないものである。
【0016】
本実施形態の付着物除去装置は、作業台13に固定された支持部材14と、支持部材14に回転可能に支持される噴出ノズル20と、噴出ノズル20に取り付けられたブラシ30とから構成されている。
【0017】
支持部材14は作業台13から上方に向かって延びる円柱形状のシャフトである。そして、噴出ノズル20は、支持部材14に回転可能に組み付けられる円筒形状のハブ部材21の外周面に、ワーク10の穴部11の半径方向に放射状に延びる複数本(本実施形態では4本)の空気配管22を等間隔に接続して構成されている。そして、ハブ部材21の内部には圧縮空気を流通させる流通路(図示せず)が形成されており、この流通路は4本の空気配管22と連通するようになっている。そして、図示しないコンプレッサーをハブ部材21の流通路に接続することにより、コンプレッサーからの圧縮空気をハブ部材21を介して各空気配管22に流通させるようになっている。
【0018】
4本の空気配管22は、ワーク10の穴部11の軸方向(図1の上下方向)に延びて羽根形状に形成されている。そして、図1中の符号22aに示すように、各空気配管22のうち穴部11の周面11a近傍部分には圧縮空気の噴出口22aが穴部11の軸方向に複数形成されている。そして、噴出口22aから噴き出される圧縮空気の向きは、空気配管22に回転力を与える向きであるとともに、穴部11の周面11aに向かう向きに設定されている。本実施形態では、噴出口22aから噴き出される圧縮空気の向きを、噴出口22aの回転軌跡の略接線方向(図2の矢印Bに示す向き)に設定している。
【0019】
これにより、噴出ノズル20は、圧縮空気を噴出して付着物12を吹き飛ばすとともに、圧縮空気の噴出力によりワーク10の穴部11の円周方向(図2の矢印Cに示す向き)に回転することとなる。
【0020】
また、各空気配管22のうちハブ部材21から遠ざかる部分である外周端部分であってワーク10の穴部11の周面11aに対向する部分には、複数本の線材からなるブラシ30が穴部11の軸方向に亘って取り付けられている。そして、ブラシ30の先端は穴部11の周面11aに接触するように設定されている。これにより、噴出ノズル20が回転すると同時に、ブラシ30が付着物12を擦り落とすこととなる。
【0021】
なお、図2に示すように、空気配管22のうちハブ部材21から遠ざかる部分である外周端部分は、噴出口22aが形成される側に曲げられて形成されており、ブラシ30が穴部11の周面11aに斜めに接触するようになっている。この空気配管22の曲げの度合は、ブラシ30を構成する線材の曲げ変形による弾性力が、付着物12を擦り落とすのに適度な力となるように設定されている。
【0022】
以上の構成により、噴出ノズル20から圧縮空気を噴出すると同時にブラシ30が回転するので、付着物12を擦り落とす作業と付着物12を吹き飛ばす作業を同時に行うことができる。そして、圧縮空気の噴出力によりブラシ30および噴出ノズル20を回転させるので、回転させるための電動モータを必要としないため、付着物除去装置の構造を簡素にでき、ひいてはワーク10の原価低減を図ることができる。
【0023】
また、複数本の空気配管22のそれぞれに噴出口22aおよびブラシ30を備えるので、噴出口22aおよびブラシ30は、穴部11の円周方向の複数箇所に配置されることとなる。よって、空気配管22が1本の場合に比べて、短時間で付着物12を除去することができる。
【0024】
また、空気配管22はワーク10の穴部11の軸方向に延びて形成されるとともに、噴出口22aおよびブラシ30を軸方向の複数箇所に配置するので、噴出ノズル20が一回転する間に付着物12を除去できる面積を大きくすることができるため、短時間で付着物12を除去することができる。
【0025】
(他の実施形態)
上記実施形態の付着物除去装置では、ワーク10の穴部11の周面11aの付着物12のみを除去するようになっているが、穴部11の底面11bの付着物も同時に除去するようにしてもよい。具体的には、各空気配管22のうち穴部11の底面11bに対向する部分にブラシ30を取り付け、穴部11の底面11bに向けて圧縮空気を噴き出す噴出口22aを形成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る付着物除去装置およびワークを示す部分断面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【符号の説明】
10…ワーク、11…穴部、11a…周面、20…噴出ノズル、
22…空気配管、22a…噴出口、30…ブラシ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、略円柱形状の穴部が形成されたワークにおいて、穴部の周面に付着した付着物を除去する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
従来、上記ワークの付着物を次の作業手順で除去していた。すなわち、初めに、電動モータでブラシを回転させる電動ブラシを用いて付着物を擦り落とす作業を行い、その後、圧縮空気を噴出する噴出ノズルを用いて付着物を吹き飛ばす作業を行っていた。
【0003】
しかし、擦り落とす作業と吹き飛ばす作業を別々に行うと、作業工数が多いためワークの原価低減が困難である。また、電動ブラシと噴出ノズルを単純に一体化した付着物除去装置を用いて両作業を同時に行おうとすると、装置が複雑で高価なものとなるためワークの原価低減が困難である。
【0004】
本発明は、上記点に鑑み、ワークの付着物を擦り落とす作業と吹き飛ばす作業を同時に行うことができる装置であり、かつ、簡素な構造である付着物除去装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、略円柱形状の穴部(11)が形成されたワーク(10)において、穴部(11)の周面(11a)に付着した付着物(12)を除去する装置であって、周面(11a)に向けて圧縮空気を噴出して付着物(12)を吹き飛ばすとともに、圧縮空気の噴出力により穴部(11)の円周方向に回転する噴出ノズル(20)と、噴出ノズル(20)に取り付けられて共に回転して付着物(12)を擦り落とすブラシ(30)とを備えることを特徴としている。
【0006】
これにより、噴出ノズル(20)から圧縮空気を噴出すると同時にブラシ(30)が回転するので、付着物(12)を擦り落とす作業と付着物(12)を吹き飛ばす作業を同時に行うことができる。そして、圧縮空気の噴出力によりブラシ(30)および噴出ノズル(20)を回転させるので、回転させるための専用の駆動源(電動モータ等)を必要としないため、付着物除去装置の構造を簡素にでき、ひいてはワーク(10)の原価低減を図ることができる。
【0007】
なお、本発明の穴部(11)とは、貫通穴および図1に例示する非貫通穴のいずれをも含む意味である。
【0008】
また、請求項2に記載の発明では、円周方向に回転可能に支持されて、穴部(11)の半径方向に放射状に延びる複数本の空気配管(22)を備え、噴出ノズル(20)は、複数本の空気配管(22)のそれぞれに圧縮空気の噴出口(22a)を形成して構成され、ブラシ(30)は、複数本の空気配管(22)のそれぞれに取り付けられていることを特徴としている。
【0009】
これにより、噴出口(22a)およびブラシ(30)は、穴部(11)の円周方向の複数箇所に備えられるので、空気配管(22)が1本の場合に比べて、短時間で付着物(12)を除去することができる。
【0010】
また、請求項3に記載の発明では、円周方向に回転可能に支持されて、穴部(11)の軸方向に延びるように形成された空気配管(22)を備え、噴出ノズル(20)は、空気配管(22)に圧縮空気の噴出口(22a)を軸方向に複数形成して構成され、ブラシ(30)は、空気配管(22)に軸方向に亘って複数本取り付けられていることを特徴としている。
【0011】
これにより、噴出口(22a)およびブラシ(30)は、穴部(11)の軸方向の複数箇所に備えられるので、噴出ノズル(20)が一回転する間に付着物(12)を除去できる面積を大きくすることができるため、短時間で付着物(12)を除去することができる。
【0012】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施形態に係る付着物除去装置およびワークを示す部分断面図であり、図2はA−A断面図である。
【0014】
図中の符号10は金属で成形された金属成形品(例えばダイカストにより成形されたアルミニウム)を示しており、各種バルブの構成部品である。この成形品10は図1の上下方向に延びる円柱形状であり、成形品10の下面には略円柱形状の穴部11が形成されている。そして、図中の符号12は穴部11の周面11aに付着した付着物を示している。付着物の具体例としては、成形品10を成形する工場内に浮遊する粉塵や金属の切削バリ等の異物が油とともに付着した場合等が挙げられる。
【0015】
以下に、上記付着物12を除去する場合を例に、本実施形態の付着物除去装置を説明する。なお、付着物12は、圧縮空気の力では吹き飛ばすことができず、ブラシで擦り落とす必要があるものであり。さらに、擦り落とされた付着物が再び穴部11の周面11aに付着するのを防止するために、穴部11の周面11aに圧縮空気を吹き付けなければならないものである。
【0016】
本実施形態の付着物除去装置は、作業台13に固定された支持部材14と、支持部材14に回転可能に支持される噴出ノズル20と、噴出ノズル20に取り付けられたブラシ30とから構成されている。
【0017】
支持部材14は作業台13から上方に向かって延びる円柱形状のシャフトである。そして、噴出ノズル20は、支持部材14に回転可能に組み付けられる円筒形状のハブ部材21の外周面に、ワーク10の穴部11の半径方向に放射状に延びる複数本(本実施形態では4本)の空気配管22を等間隔に接続して構成されている。そして、ハブ部材21の内部には圧縮空気を流通させる流通路(図示せず)が形成されており、この流通路は4本の空気配管22と連通するようになっている。そして、図示しないコンプレッサーをハブ部材21の流通路に接続することにより、コンプレッサーからの圧縮空気をハブ部材21を介して各空気配管22に流通させるようになっている。
【0018】
4本の空気配管22は、ワーク10の穴部11の軸方向(図1の上下方向)に延びて羽根形状に形成されている。そして、図1中の符号22aに示すように、各空気配管22のうち穴部11の周面11a近傍部分には圧縮空気の噴出口22aが穴部11の軸方向に複数形成されている。そして、噴出口22aから噴き出される圧縮空気の向きは、空気配管22に回転力を与える向きであるとともに、穴部11の周面11aに向かう向きに設定されている。本実施形態では、噴出口22aから噴き出される圧縮空気の向きを、噴出口22aの回転軌跡の略接線方向(図2の矢印Bに示す向き)に設定している。
【0019】
これにより、噴出ノズル20は、圧縮空気を噴出して付着物12を吹き飛ばすとともに、圧縮空気の噴出力によりワーク10の穴部11の円周方向(図2の矢印Cに示す向き)に回転することとなる。
【0020】
また、各空気配管22のうちハブ部材21から遠ざかる部分である外周端部分であってワーク10の穴部11の周面11aに対向する部分には、複数本の線材からなるブラシ30が穴部11の軸方向に亘って取り付けられている。そして、ブラシ30の先端は穴部11の周面11aに接触するように設定されている。これにより、噴出ノズル20が回転すると同時に、ブラシ30が付着物12を擦り落とすこととなる。
【0021】
なお、図2に示すように、空気配管22のうちハブ部材21から遠ざかる部分である外周端部分は、噴出口22aが形成される側に曲げられて形成されており、ブラシ30が穴部11の周面11aに斜めに接触するようになっている。この空気配管22の曲げの度合は、ブラシ30を構成する線材の曲げ変形による弾性力が、付着物12を擦り落とすのに適度な力となるように設定されている。
【0022】
以上の構成により、噴出ノズル20から圧縮空気を噴出すると同時にブラシ30が回転するので、付着物12を擦り落とす作業と付着物12を吹き飛ばす作業を同時に行うことができる。そして、圧縮空気の噴出力によりブラシ30および噴出ノズル20を回転させるので、回転させるための電動モータを必要としないため、付着物除去装置の構造を簡素にでき、ひいてはワーク10の原価低減を図ることができる。
【0023】
また、複数本の空気配管22のそれぞれに噴出口22aおよびブラシ30を備えるので、噴出口22aおよびブラシ30は、穴部11の円周方向の複数箇所に配置されることとなる。よって、空気配管22が1本の場合に比べて、短時間で付着物12を除去することができる。
【0024】
また、空気配管22はワーク10の穴部11の軸方向に延びて形成されるとともに、噴出口22aおよびブラシ30を軸方向の複数箇所に配置するので、噴出ノズル20が一回転する間に付着物12を除去できる面積を大きくすることができるため、短時間で付着物12を除去することができる。
【0025】
(他の実施形態)
上記実施形態の付着物除去装置では、ワーク10の穴部11の周面11aの付着物12のみを除去するようになっているが、穴部11の底面11bの付着物も同時に除去するようにしてもよい。具体的には、各空気配管22のうち穴部11の底面11bに対向する部分にブラシ30を取り付け、穴部11の底面11bに向けて圧縮空気を噴き出す噴出口22aを形成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る付着物除去装置およびワークを示す部分断面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【符号の説明】
10…ワーク、11…穴部、11a…周面、20…噴出ノズル、
22…空気配管、22a…噴出口、30…ブラシ。
Claims (3)
- 略円柱形状の穴部(11)が形成されたワーク(10)において、前記穴部(11)の周面(11a)に付着した付着物(12)を除去する装置であって、
前記周面(11a)に向けて圧縮空気を噴出して前記付着物(12)を吹き飛ばすとともに、前記圧縮空気の噴出力により前記穴部(11)の円周方向に回転する噴出ノズル(20)と、
前記噴出ノズル(20)に取り付けられて共に回転して前記付着物(12)を擦り落とすブラシ(30)とを備えることを特徴とするワーク付着物除去装置。 - 前記円周方向に回転可能に支持されて、前記穴部(11)の半径方向に放射状に延びる複数本の空気配管(22)を備え、
前記噴出ノズル(20)は、前記複数本の空気配管(22)のそれぞれに前記圧縮空気の噴出口(22a)を形成して構成され、
前記ブラシ(30)は、前記複数本の空気配管(22)のそれぞれに取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のワーク付着物除去装置。 - 前記円周方向に回転可能に支持されて、前記穴部(11)の軸方向に延びるように形成された空気配管(22)を備え、
前記噴出ノズル(20)は、前記空気配管(22)に前記圧縮空気の噴出口(22a)を前記軸方向に複数形成して構成され、
前記ブラシ(30)は、前記空気配管(22)に前記軸方向に亘って複数本取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のワーク付着物除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001057259A JP3601461B2 (ja) | 2001-03-01 | 2001-03-01 | ワーク付着物除去装置 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002254045A JP2002254045A (ja) | 2002-09-10 |
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---|---|
JP (1) | JP3601461B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109013575A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-12-18 | 安徽通全孵化器管理有限公司 | 一种具有自动清洁内壁功能的工业废气处理用输送管 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007196236A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Hitachi High-Technologies Corp | エアブロワ及び円筒穴の内側表面の清掃方法 |
KR100753949B1 (ko) | 2006-02-07 | 2007-09-03 | 민병이 | 고압수에 의한 파이프 내부 세정장치 |
KR100753950B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-09-03 | 민병이 | 고압수에 의한 물탱크 내부 세정장치 |
KR102171167B1 (ko) * | 2018-08-28 | 2020-10-28 | 주식회사 포스코 | 호퍼 내 부착탄 제거 장치 |
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- 2001-03-01 JP JP2001057259A patent/JP3601461B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN109013575A (zh) * | 2018-08-02 | 2018-12-18 | 安徽通全孵化器管理有限公司 | 一种具有自动清洁内壁功能的工业废气处理用输送管 |
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---|---|
JP2002254045A (ja) | 2002-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040831 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |