JPH1154470A - スピン処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カップ体内部での乱気流の発生を防止し、こ
の乱気流を良好に排出することが可能なスピン処理装置
を提供すること。 【解決手段】 カップ体３２内部に設けられた保持テー
ブル２３に基板２４を保持して回転駆動させるスピン処
理装置２０において、上記カップ体３２の周辺部に設け
られ、上記保持テーブル２３の回転駆動により生じる気
流が導入されるチャンバ３５と、上記チャンバ３５に連
通して設けられ、このチャンバ３５内に導入された気流
を排出する排出口体３９と、を具備することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を回転させて
洗浄処理、乾燥処理を行うスピン処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、液晶表示装置の製造過程におい
ては、ワークとしての矩形状のガラス製の基板に回路パ
ターンを形成する成膜プロセスやフォトプロセスがあ
る。これらのプロセスでは、上記基板の処理と洗浄とが
繰り返し行われる。

【０００３】洗浄された基板を乾燥させ、あるいは洗浄
するためには、一般に図５に示すようなスピン処理装置
１が用いられている。このスピン処理装置１は、カップ
体２を有しており、このカップ体２内部に保持テーブル
３を収納している。

【０００４】このカップ体２の下底には排出口４が形成
されており、基板５から飛散した洗浄液や上記保持テー
ブル３の回転駆動によりこのカップ体２内部で生じる気
流を排出するようになっている。

【０００５】この保持テーブル３は駆動軸６を介してモ
ータ７に取り付けられ、モータ７の駆動力で保持テーブ
ル３を回転可能としている。そして上記基板５に対して
乾燥などの処理を行うためには、上記基板５を保持テー
ブル３に保持し、この保持テーブル３とともに高速回転
させ、それによって生じる遠心力を利用して上記基板５
に付着した洗浄液を除去している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の保持
テーブル３を高速回転させると、この高速回転に伴うカ
ップ体２内部での乱気流の発生が問題となっている。特
に、最近、液晶表示装置の大型化によって基板５も大き
くなってきている。例えば従来は300mm ×400mmの大き
さであったが、最近では550mm ×650mm の大きさの基板
５が用いられるようになってきている。

【０００７】そのため、この基板５の大型化によって上
記保持テーブル３の回転駆動に伴う乱気流の発生も増大
している。また、上記カップ体２内部では、気流は上記
保持テーブル３の回転に伴って同じ方向を有して回転す
る気流溜まりが生じ、そのためこのような気流溜まりが
上記保持テーブル３の周囲で発生すると、上記カップ体
２の下底に設けられた排出口４に効率良く気流を導けな
い、といった問題が発生している。

【０００８】本発明は上記の事情にもとづきなされたも
ので、その目的とするところは、カップ体内部での乱気
流の発生を防止し、この乱気流を良好に排出することが
可能なスピン処理装置を提供しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
カップ体内部に設けられた保持テーブルに基板を保持し
て回転駆動させるスピン処理装置において、上記カップ
体の周辺部に設けられ、上記保持テーブルの回転駆動に
より生じる気流が導入されるチャンバと、上記チャンバ
に連通して設けられ、このチャンバ内に導入された気流
を排出する排出口体と、を具備することを特徴とするス
ピン処理装置である。

【００１０】請求項２記載の発明は、上記チャンバ内部
には、このチャンバ内部に導入された気流を所定方向に
沿ってガイドする整流手段が設けられていることを特徴
とする請求項１記載のスピン処理装置である。

【００１１】請求項３記載の発明は、上記チャンバの上
記保持テーブル側の境界部分には、上記カップ体の径方
向外方に向かい傾斜して立設された逆流防止手段が設け
られていることを特徴とする請求項１または請求項２記
載のスピン処理装置である。

【００１２】請求項４記載の発明は、上記カップ体の内
壁面が上記整流手段に形成されていることを特徴とする
請求項２または請求項３記載のスピン処理装置である。
請求項５記載の発明は、基板をカップ体内部に設けられ
た保持テーブルに保持して回転駆動させるスピン処理装
置において、上記カップ体の周壁には、上記保持テーブ
ルの回転駆動によって生じ、このカップ体の内周壁に沿
って進行する気流が導入される向きに排出口体が設けら
れていることを特徴とするスピン処理装置である。

【００１３】請求項６記載の発明は、上記排出口体は上
記カップ体の内周壁の接線方向に向かう角度で設けられ
ていることを特徴とする請求項５記載のスピン処理装置
である。

【００１４】請求項１の発明によると、上記保持テーブ
ルの回転駆動により生じる気流が導入されるチャンバが
上記カップ体の周辺部に設けられ、このチャンバ内に導
入された気流を排出する排出口体が上記チャンバに連通
して設けられたため、保持テーブルの回転駆動によって
生じる気流がこのチャンバに導入されることによってカ
ップ体内部で生じる乱気流を抑えることが可能となって
いる。

【００１５】そのため、この乱気流の発生により気流に
含まれる洗浄液のミストが上記基板に舞い戻って付着
し、よって処理状態の悪化を防止することが可能となっ
ている。

【００１６】請求項２の発明によると、上記チャンバ内
部には、このチャンバ内部に導入された気流を所定方向
に沿ってガイドする整流手段が設けられているため、チ
ャンバ内部に導入された気流を所定方向に強制的にガイ
ドし、排出口体から良好に排出することが可能となって
いる。また、気流が所定の方向にガイドされるため、チ
ャンバ内部での乱気流の発生を防止することが可能とな
っている。

【００１７】請求項３の発明によると、上記チャンバの
上記保持テーブル側の境界部分には、上記カップ体の径
方向外方に向かい傾斜して立設された逆流防止手段が設
けられているため、このチャンバ内部に導入された気流
が上記保持テーブルに向かって戻るのを防止することが
可能となっている。そのため、この気流に含まれている
洗浄液のミストが舞い戻って付着するのを防止すること
が可能となり、基板の処理状態の悪化を防止することが
可能となっている。

【００１８】請求項４の発明によると、上記カップ体の
内壁面が上記整流手段に形成されているため、このスピ
ン処理装置の構成を単純化することが可能となってい
る。請求項５の発明によると、上記カップ体の周壁に
は、上記保持テーブルの回転駆動によって生じ、このカ
ップ体の内周壁に沿って進行する気流が導入される向き
に排出口体が設けられているため、この気流の進行を利
用して上記排出口体から気流を排出することが可能とな
っている。そのため、カップ体内部で生じる気流を速や
かに排出して、このカップ体内部での乱気流の発生を防
止している。

【００１９】請求項６の発明によると、上記排出口体は
上記カップ体の内周壁の接線方向に向かう角度で設けら
れているため、上記カップ体内部で生じる気流を効率良
く、かつ抵抗無く排出することが可能となっている。

【００２０】

【発明の実施の形態】

（第一の実施の形態）以下、本発明の第一の実施の形態
について、図１および図２に基づいて説明する。

【００２１】図１に示すスピン処理装置２０は、駆動源
としてのモータ２１が図示しない取付け部位に取り付け
られている。このモータ２１には、上方へ向かって延出
する駆動軸２２が連結されている。

【００２２】上記駆動軸２２の上端には、保持テーブル
２３が取り付けられている。この保持テーブル２３は、
上記モータ２１が作動することによって高速回転するよ
うになっている。この保持テーブル２３には、前工程で
ある、洗浄工程で洗浄された液晶表示装置に用いられる
矩形状の基板２４が後述するごとく保持されるようにな
っている。したがって、上記保持テーブル２３が高速回
転することで、上記基板２４に付着した洗浄液が遠心力
で除去されるようになっている。

【００２３】上記保持テーブル２３は、図２に示すよう
な円板状に形成された中心部２５と、この中心部２５の
外周に例えば９０度間隔で設けられたたそれぞれ２本で
対を成す２組のアーム２６，２７からなる本体部２８を
有する。各アーム２６，２７は直線状に形成されてお
り、この直線状のアーム２６，２７の先端は先端部２９
となっている。この先端部２９には基板２４の係合部を
形成する一対の第１のピン３０が周方向に所定間隔で離
間して立設されているとともに、第１のピン３０よりも
径方向内方で、一対の第１のピン３０の間の部分には、
第１のピン３０よりも高さ寸法が低い第２のピン３１が
立設されている。

【００２４】そのため、上記基板２４は角部を一対の第
１のピン３０に係合させ、それぞれの側辺部の下面を上
記第１のピン３０よりも基端側に設けられた第２のピン
３１の上端と係合させて保持されるようになっている。

【００２５】上記保持テーブル２３の周囲はカップ体３
２によって覆われており、この保持テーブル２３が高速
回転しても、保持テーブル２３により保持された基板２
４に付着している洗浄液が外部へ飛散するのを防止して
いる。

【００２６】このカップ体３２は、下カップ３２ａと上
カップ３２ｂより構成されている。上記下カップ３２ａ
は中心に向かうにつれて上方に傾斜したスロープ状に形
成され、このスロープの上端中心部分には通孔３３が形
成されている。

【００２７】上記下カップ３２ａの外周は、所定の高さ
だけ上方に突出した外周壁に形成されていて、この外周
壁の上端は外方に向かって折れ曲がった受けフランジ３
４となっている。そして、この受けフランジ３４に上記
上カップ３２ｂが載置される。

【００２８】上カップ３２ｂは、中心部が解放して形成
されており、上記保持テーブル２３へ基板２４を搬送可
能としている。この上カップ３２ｂは、中心側端部が所
定の長さだけ上向きとなるように折り曲げられ、これよ
り外周側は所定の水平面を成すように形成されている。
そして、この上カップ３２ｂの外周側と受けフランジ３
４とが例えばボルトなどによって結合されることによっ
て一体化されている。

【００２９】このカップ体３２内部の外周側には、チャ
ンバ３５が設けられている。すなわち、上記カップ体３
２の所定径離間した位置には、カップ体３２内部の外周
側をチャンバ３５に仕切る一対の仕切り部材が上方およ
び下方から延伸している。このうち、上方の仕切り部材
は、上記上カップ３２ｂの下面から下方に向かい略垂直
に延伸し、この上カップ３２ｂの全周に亘って設けられ
た仕切りリング３６である。また下方の仕切り部材は、
上記下カップ３２ａの下底に設けられた後述する逆流防
止部材３７である。

【００３０】上記仕切りリング３６は、一端側が上記上
カップ３２ｂに例えばネジにより係止されており、また
他端側は上記保持テーブル２３に保持された基板２４の
上面よりも上方に位置するように設けられている。これ
により仕切りリング３６は、上記保持テーブル２３およ
び上記基板２４の回転駆動によって生じる気流の流れを
妨げないようになっている。

【００３１】また上記逆流防止部材３７は、上記下カッ
プ３２ａの下底にネジによって取り付けられる底部３７
ａと、この底部３７ａの内径側端部より９０度以下の角
度、例えば４５度程度の傾斜角度を成して斜め上方に所
定長さだけ傾斜して立設された傾斜部３７ｂとより構成
されている。

【００３２】すなわち上記逆流防止部材３７は、上記傾
斜部３７ｂの上端がこの下端よりも外径側に位置するよ
うに設けられている。上記チャンバ３５内部には整流部
材３８が設けられている。この整流部材３８は、内径側
端部が上方に位置して上記上カップ３２ｂの下面に例え
ばボルトなどによって係止されるようになっている。ま
た、この内径側端部から外径側へ向かっては、徐々に傾
斜角度が大きくなる曲面状に形成されており、上記下カ
ップ３２ａの外周壁に外径側端部が近接するように設け
られている。

【００３３】上記チャンバ３５内部の下底には、複数の
排出口体３９が所定間隔で設けられている。この排出口
体３９は図示しないタンクに配管接続されていて、上記
チャンバ３５内部に進入した気流および洗浄液をスピン
処理装置２０の外部に排出するように設けられている。

【００３４】なお、本実施の形態では、上記チャンバ３
５よりも内径側に位置するカップ体３２の下底に洗浄液
が溜まるのを防止するため、上記逆流防止部材３７より
も内径側の下底に排出口体３９ａが形成されている。

【００３５】以上のような構成を有するスピン処理装置
２０の作用について、以下に説明する。上記保持テーブ
ル２３に基板２４を保持し、モータ２１を作動させて上
記保持テーブル２３および基板２４を回転駆動させる。
すると、この回転に伴って、上記基板２４に付着してい
る洗浄液が遠心力によって外方に飛散されるようにな
る。これとともに、上記保持テーブル２３および基板２
４の回転により、径方向外方へ向かう気流の流れが発生
するようになる。この気流には、上述の洗浄液が例えば
ミスト状となって含まれている。

【００３６】そしてこの気流は、上記仕切りリング３６
および上記逆流防止部材３７を通過して、チャンバ３５
内部へと導入される。このチャンバ３５内部に導入され
た気流は上記整流部材３８に衝突し、この進行角度が変
化して矢印Ａに示すように上記排出口体３９に向かって
進行する。そしてこの気流は、排出口体３９に導入さ
れ、カップ体３２外方へ向かって排出される。

【００３７】しかしながら、一部の気流は上記排出口体
３９より排出されず、矢印Ｂで示すように上記保持テー
ブル２３に戻るように進行する。しかしながら、この気
流は、上記逆流防止部材３７の傾斜部３７ｂに衝突し、
再び進行方向が上記排出口体３９へ向かうようになって
いる。

【００３８】このようなスピン処理装置２０によると、
上記カップ体３２内部に整流部材３８が取り付けられた
ため、上記保持テーブル２３の回転駆動により生じる気
流が上記排出口体３９へ向かって流れるようになる。こ
のため、カップ体３２内部の気流の排出効率が向上し、
上記カップ体３２内部での乱気流の発生を防止してい
る。

【００３９】これによって、大型の基板２４を回転駆動
させても、カップ体３２内部で乱気流が発生するのを効
果的に防止することが可能となっている。また、上記下
カップに逆流防止部材３７が設けられたため、上記排出
口体３９より排出されずに上記保持テーブル２３に向か
い戻る気流が生じても、この気流が再び排出口体３９へ
向かうように進行方向を変化させている。そのため洗浄
液のミストを含む気流が再び上記基板２４へ舞い戻り、
この基板２４の表面に洗浄液が付着するのを防止するこ
とが可能となっている。

【００４０】以上、本発明の第一の実施の形態について
述べたが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となって
いる。以下それについて述べる。上記実施の形態では、
カップ体３２内部に別途整流部材３８を設ける構成とし
ているが、このカップ体３２の外周側内壁面を傾斜状に
形成して同一の作用効果を生ずる構成としても構わな
い。

【００４１】また、上記チャンバ３５は、カップ体３２
内部に設ける構成とはせずに、カップ体３２の外部に設
けても構わない。この場合には、カップ体３２とチャン
バ３５を連通させ、保持テーブル２３で生じる気流を良
好に導入する構成であれば良い。

【００４２】さらに、上記実施の形態では、逆流防止部
材３７がチャンバ３５の下方の仕切り部材としての役割
をも有しているが、別途仕切り部材を具備し、逆流防止
部材３７をチャンバ３５の内方もしくは外方に設ける構
成としても構わない。

【００４３】（第二の実施の形態）以下、本発明の第二
の実施の形態について、図３および図４を参照しながら
説明する。

【００４４】なお、本実施の形態においては、上述の第
一の実施の形態と同じ構成については、同符号を用いて
説明するものとする。すなわち、図３および図４に示す
スピン処理装置４０では、上記モータ２１、駆動軸２
２、保持テーブル２３、基板２４、中心部２５、アーム
２６，２７、本体部２８、先端部２９、第１のピン３
０、第２のピン３１、通孔３３は同じ構成となってい
る。

【００４５】上記保持テーブル２３の周囲を覆うように
設けられているカップ体４１は、上述のカップ体３２と
同様に、下カップ４１ａと上カップ４１ｂとより構成さ
れている。上記上カップ４１ｂは、上述の上カップ３２
ｂと同様の構成となっており、この上カップ４１ｂは上
記下カップ４１ａの外周壁上端に形成された受けフラン
ジ４２に載置されるようになっている。そしてこの上カ
ップ４１ｂの外周側と受けフランジ４２とが例えばボル
トなどによって一体化されるようになっている。

【００４６】上記下カップ４１ａは、上記下カップ３２
ａと同様に、下底が中心に向かうにつれて上方に傾斜し
たスロープ状に形成され、このスロープの上端中心部分
が通孔３３となっている。

【００４７】ここで、上記保持テーブル２３および基板
２４は、図３のＰ−Ｐ線の断面図である図４の矢印Ｃに
示す方向に回転駆動されるようになっており、このとき
上記下カップ４１ａの周壁には図４に示す排出口体４３
が形成されている。この排出口体４３は、保持テーブル
２３および基板２４の矢印Ｃに示す方向への回転駆動に
よって生じる気流の排出を良好とするために、この周壁
の接線方向であって下カップ４１ａの内周壁に沿って矢
印Ｄに示す方向に進行している気流が直進する方向に複
数（本実施の形態では４個）形成されている。

【００４８】このような向きに形成された排出口体４３
は、上記カップ体４１の外壁に沿って巻回するように設
けられた蛇腹配管部４４と接続しており、この蛇腹配管
部４４がカップ体４１内部の排出を行う不図示の排出ポ
ンプに連結されている。この場合、上記蛇腹配管部４４
は、排出口体４３に進入した気流の進行を妨げるような
抵抗を生じないように気流の進行方向を曲げて上記排出
ポンプまでの気流の進行をガイドしている。

【００４９】なお、本実施の形態では、上記下カップ４
１ａの下底に洗浄液が溜まるのを防止するため、この下
底には上述の排出口体３９と同様の排出口体４５が複数
形成されている。

【００５０】また、上記蛇腹配管部４４はスペース効率
を考慮して上記カップ体４１の外壁に沿って巻回するよ
うに設けられているが、これ以外の取付け状態であって
も構わない。

【００５１】以上のような構成のスピン処理装置４０で
は、上記保持テーブル２３および基板２４が矢印Ｃに示
す方向に回転駆動すると、これに伴い気流は下カップ４
１ａの内周壁に沿って矢印Ｄに示す方向に進行する。

【００５２】ここで上記排出口体４３は、この下カップ
４１ａの周壁の接線方向かつ下カップ４１ａの内周壁に
沿い矢印Ｄに示す方向に進行する気流が直進する方向に
形成されているため、この気流は排出口体４３内部へ容
易に導入される。

【００５３】この排出口体４３内部へ導入された気流
は、さらに蛇腹配管部４４を通過して排出されるように
なっている。このような構成のスピン処理装置４０によ
ると、下カップ４１ａの周壁の接線方向かつ下カップ４
１ａの内周壁に沿い矢印Ｄに示す方向に進行する気流が
直進する方向に形成された排出口体４３が設けられてい
るため、この気流が進行しようとする力を利用してこの
排出口体４３より速やかに気流を排出することが可能と
なっている。

【００５４】そのため、上記カップ体４１内部で乱気流
が発生するのが防止されるようになっている。このよう
な乱気流の発生が防止されると、この乱気流に含まれる
洗浄液のミストが再び基板２４に舞い戻って付着するこ
とが防止され、よって基板２４の乾燥処理および洗浄処
理などの処理状態が向上するようになる。

【００５５】また、本実施の形態では周壁の接線方向に
向かう角度で上記排出口体４３が設けられているため、
カップ体４１内部で生じた気流に抵抗を生じさせずに効
率良く排出することが可能となっている。

【００５６】以上、本発明の第二の実施の形態について
説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっ
ている。以下それについて述べる。上記実施の形態で
は、排出口体４３が周壁の接線方向に向かう角度で設け
られているが、気流が進行しようとする力でこの排出口
体４３に導入されるならば、周壁に対して多少傾斜角度
を有して設けられていても構わない。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によると、上記保持テーブルの回転駆動により生じる
気流が導入されるチャンバが上記カップ体の周辺部に設
けられ、このチャンバ内に導入された気流を排出する排
出口体が上記チャンバに連通して設けられたため、保持
テーブルの回転駆動によって生じる気流がこのチャンバ
に導入されることによってカップ体内部で生じる乱気流
を制御することが可能である。そのため、この乱気流の
発生により気流に含まれる洗浄液のミストが上記基板に
舞い戻って付着し、よって処理状態の悪化を防止するこ
とができる。

【００５８】請求項２記載の発明によると、上記チャン
バ内部には、このチャンバ内部に導入された気流を所定
方向に沿ってガイドする整流手段が設けられているた
め、チャンバ内部に導入された気流を所定方向に強制的
にガイドし、排出口体から良好に排出することが可能と
なっている。また、気流が所定の方向にガイドされるた
め、チャンバ内部での乱気流の発生を防止することが可
能である。

【００５９】請求項３記載の発明によると、上記チャン
バの上記保持テーブル側の境界部分には、上記カップ体
の径方向外方に向かい傾斜して立設された逆流防止手段
が設けられているため、このチャンバ内部に導入された
気流が上記保持テーブルに向かって戻るのを防止するこ
とが可能となっている。そのため、この気流に含まれて
いる洗浄液のミストが舞い戻って付着するのを防止する
ことが可能となり、基板の処理状態の悪化を防止するこ
とが可能である。

【００６０】請求項４記載の発明によると、上記カップ
体の内壁面が上記整流手段に形成されているため、この
スピン処理装置の構成を単純化することが可能である。
請求項５記載の発明によると、上記カップ体の周壁に
は、上記保持テーブルの回転駆動によって生じ、このカ
ップ体の内周壁に沿って進行する気流が導入される向き
に排出口体が設けられているため、この気流の進行を利
用して上記排出口体から気流を排出することが可能とな
っている。そのため、カップ体内部で生じる気流を速や
かに排出して、このカップ体内部での乱気流の発生を防
止している。

【００６１】請求項６記載の発明によると、上記排出口
体は上記カップ体の内周壁の接線方向に向かう角度で設
けられているため、上記カップ体内部で生じる気流を効
率良く、かつ抵抗無く排出することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態に係わるスピン処理
装置の構成を示す側面図。

【図２】同実施の形態に係わる保持テーブルの形状を示
す平面図。

【図３】本発明の第二の実施の形態に係わるスピン処理
装置の構成を示す側面図。

【図４】同実施の形態に係わり、図３のＰ−Ｐ線でのカ
ップ体の断面形状を示す平面図。

【図５】従来のスピン処理装置の形状を示す側面図。

【符号の説明】

２０…スピン処理装置 ２３…保持テーブル ２４…基板 ３２…カップ体 ３２ａ…下カップ ３２ｂ…上カップ ３５…チャンバ ３６…仕切りリング ３７…逆流防止部材 ３８…整流部材 ３９，４３…排出口体 ４４…蛇腹配管部

フロントページの続き (72)発明者 山崎 貴弘 神奈川県横浜市栄区笠間町1000番地１ 株 式会社芝浦製作所大船工場内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カップ体内部に設けられた保持テーブル
   に基板を保持して回転駆動させるスピン処理装置におい
   て、 上記カップ体の周辺部に設けられ、上記保持テーブルの
   回転駆動により生じる気流が導入されるチャンバと、 上記チャンバに連通して設けられ、このチャンバ内に導
   入された気流を排出する排出口体と、 を具備することを特徴とするスピン処理装置。
2. 【請求項２】 上記チャンバ内部には、このチャンバ内
   部に導入された気流を所定方向に沿ってガイドする整流
   手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
   スピン処理装置。
3. 【請求項３】 上記チャンバの上記保持テーブル側の境
   界部分には、上記カップ体の径方向外方に向かい傾斜し
   て立設された逆流防止手段が設けられていることを特徴
   とする請求項１または請求項２記載のスピン処理装置。
4. 【請求項４】 上記カップ体の内壁面が上記整流手段に
   形成されていることを特徴とする請求項２または請求項
   ３記載のスピン処理装置。
5. 【請求項５】 基板をカップ体内部に設けられた保持テ
   ーブルに保持して回転駆動させるスピン処理装置におい
   て、 上記カップ体の周壁には、上記保持テーブルの回転駆動
   によって生じ、このカップ体の内周壁に沿って進行する
   気流が導入される向きに排出口体が設けられていること
   を特徴とするスピン処理装置。
6. 【請求項６】 上記排出口体は上記カップ体の内周壁の
   接線方向に向かう角度で設けられていることを特徴とす
   る請求項５記載のスピン処理装置。