JP3598921B2 - Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置 - Google Patents

Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3598921B2
JP3598921B2 JP35196799A JP35196799A JP3598921B2 JP 3598921 B2 JP3598921 B2 JP 3598921B2 JP 35196799 A JP35196799 A JP 35196799A JP 35196799 A JP35196799 A JP 35196799A JP 3598921 B2 JP3598921 B2 JP 3598921B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
substrate
height
chip
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP35196799A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001102401A (ja
Inventor
千明 今枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP35196799A priority Critical patent/JP3598921B2/ja
Publication of JP2001102401A publication Critical patent/JP2001102401A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3598921B2 publication Critical patent/JP3598921B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICチップを実装した基板上にモールドを設ける構造のIC実装構造を製造するための製造方法に関する。また、本発明は、そのようなIC実装構造の製造方法を用いた電気光学装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶の配向を制御することにより、その液晶を通過する光を変調して、数字、文字、図形等といった可視像を表示する電気光学装置である液晶装置は広く知られている。この液晶装置は、一般に、一方の基板に形成した走査電極と他方の基板に形成したデータ電極とをドットマトリクス状の複数の点で交差させることによって画素を形成し、それらの画素に印加する電圧を選択的に変化させることによって当該画素に属する液晶を通過する光を変調し、もって、文字等といった像を表示する。また、ドットマトリクス状の点画素に加えて又はそれに代えて、適宜の数字、図形等といったパターン状電極が各基板に形成されることもある。
【0003】
この液晶装置においては、一般に、液晶駆動用ICによって走査電極に走査電圧を印加し、さらにデータ電極にデータ電圧を印加することにより、選択された各画素部分を通過する光を変調する。このような液晶駆動用ICすなわちICチップを液晶装置の主体表示部分である液晶パネルに接続する方法には、従来から種々の方法が知られている。
【0004】
例えば、液晶装置を構成する液晶パネル基板にICチップを直接に実装する構造の、いわゆるCOG(Chip On Glass)方式が知られている。また、可撓性を持たない比較的硬質のプリント基板にICチップを実装し、そのICチップが実装されたプリント基板をヒートシールその他の導電接続部材を介して液晶装置の構成要素である基板に接続するという、いわゆるCOB(Chip On Board)方式も知られている。さらに、可撓性を備えた比較的薄い可撓性プリント基板(FPC:Flexible Printed Circuit)にICチップを実装し、そのICチップが実装された基板を液晶装置の構成要素である電気光学パネルに接続するという、いわゆるCOF(Chip On FPC(Flexible Printed Circuit))方式が知られている。
【0005】
上記のようなCOG、COB、COF等といった各方式のICチップの接続構造、すなわちIC実装構造においては、COGの場合の液晶基板上並びにCOB及びCOFの場合のプリント基板上に形成される配線パターンに汚れが付着するのを防止するため、それらの基板上にモールド、例えばシリコンモールドを形成することが従来から行われている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のIC実装構造において形成されるモールドに関しては、その外形寸法に何等かの規制を加えることは行われておらず、モールドはいわゆる塗りっぱなしの状態であった。ところで、IC実装構造を備えた液晶装置は、通常、携帯電話機、携帯情報端末機等といった各種の電子機器に組み付けられて使用される。このとき、上記のようにモールドが塗りっぱなしの状態であると、そのモールドの高さ寸法が大きくなり、そのため、電子機器への組み付けが難しいという問題があった。
【0007】
本発明は、上記の問題点に鑑みて成されたものであって、電子機器等といったIC利用機器への組み付けが容易であるIC実装構造及び液晶装置を製造することができる製造方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
(1) 上記目的を達成するため、本発明に係るIC実装構造の製造方法は、第1に、基板上にICチップを実装するIC実装工程と、ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、前記モールド高さ調整工程では、前記ICチップに対応する形状の切欠き部を有する除去部材を前記ICチップの実装された前記基板上を当該基板に対してほぼ平行に移動させ、前記除去部材によって前記ICチップの周囲に塗布された前記モールドを前記基板から除去することを特徴とする。
また、第2に、基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域への前記モールドの侵入を防止するマスキング部を有することを特徴とする。
第3に、基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域を前記モールドからマスキングするマスキング部を有することを特徴とする。
第4に、基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域への前記モールドのはみ出しを防止するように前記モールドを吸引する吸引部を有することを特徴とする。
第5に、基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材による前記モールドの押圧前に、前記端子領域をマスキング部材でマスキングする工程を備えることを特徴とする。
さらに、上記第1の発明において、前記除去部材を前記ICチップ上を始点として前記基板に対してほぼ平行に移動させて前記モールドを除去することを特徴とする。
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルを構成する基板に前記ICチップを実装してなるIC実装構造を有する電気光学装置の製造方法であって、前記IC実装構造は上記のいずれかに記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする。
また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルと、前記電気光学パネルに接続されるIC実装構造を有する電気光学装置の製造方法であって、前記IC実装構造は上記のいずれかに記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする。
また、本発明に係る電気光学装置は、互いに対向する一対の基板を有し、一方の前記基板に他方の前記基板と対向する位置から張出す張出し部を有し、前記張出し部にICチップが実装されてなる電気光学装置において、前記張出し部には外部との接続端子が形成された端子領域と有し、前記張出し部上には、前記ICチップが実装された実装領域及び前記端子領域を除いてモールドが形成され、前記モールドは、前記実装領域及び前記端子領域を除く前記張出し部上に塗布された後に、前記端子領域にモールドが侵入する或いははみ出すことを防止するようにして、その高さが前記ICチップの高さと同じか又はそれより低くなるように調整されてなることを特徴とする。
【0009】
このIC実装構造の製造方法によれば、モールド高さ調整工程においてモールドの高さ寸法がICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように設定されるので、このIC実装構造を電子機器等に組み付ける際のその組み付けが容易になる。また、IC実装構造を組み付ける電子機器等に関するその組み付け部分の設計自由度が高くなる。
【0010】
(2) 上記構成のIC実装構造の製造方法において、前記モールド高さ調整工程は、前記基板に塗布された硬化前の前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって実現できる。
【0011】
(3) また、(1)記載のIC実装構造の製造方法において、前記モールド高さ調整工程は、除去部材を前記基板に対してほぼ平行に移動させることによって前記基板に塗布された硬化前の前記モールドを前記基板から除去することによって実現できる。
【0012】
(4) 上記(2)記載のIC実装構造の製造方法において、前記基板は前記モールドが形成されない非塗布領域を有し、前記押圧部材は前記非塗布領域をマスキングするマスキング部を備えてもよい。
【0013】
この場合には、非塗布領域をマスキング部によってマスキングするため、非塗布領域にモールドが付着することを防止できる。
【0014】
(5) 上記(2)記載のIC実装構造の製造方法において、前記基板は前記モールドが形成されない非塗布領域を有し、硬化前の前記モールドを前記押圧部材によって押圧する前に、前記非塗布領域をマスキング部材でマスキングする工程を備えてもよい。
【0015】
この場合には、非塗布領域をマスキング部材によってマスキングするため、非塗布領域にモールドが付着することを防止できる。
【0016】
(6) 上記(4)または(5)のIC実装構造の製造方法において、前記非塗布領域は、外部回路が接続される端子が形成された領域であってもよい。
【0017】
(7) 上記(2)のIC実装構造の製造方法において、前記押圧部材には、前記モールドを吸引するための吸引部が設けられていてもよい。
【0018】
この場合には、余分なモールドを吸引部を介して吸引除去することができる。
【0019】
(8) 上記(1)〜(3)のいずれかのIC実装構造の製造方法において、前記基板には、外部回路との間の接続に用いられる端子が形成され、前記モールド塗布工程前に前記端子に前記外部回路を接続する工程を備えてもよい。
【0020】
この場合には、予め端子に外部回路が接続されているので、モールド高さ調整工程においてモールドが端子に付着することを防止できる。
【0021】
(9) 上記(1)のIC実装構造の製造方法において、前記基板は前記モールドが形成されない非塗布領域を有し、前記非塗布領域を始点として除去部材を前記基板に対してほぼ平行に移動させることによって前記基板に塗布された硬化前の前記モールドを前記基板から除去することによって行われてもよい。
【0022】
この場合には、非塗布領域を始点として除去部材を移動させるので、非塗布領域にモールドが付着することを防止できる。
【0023】
(10) 次に、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルにICチップを実装して成るIC実装構造とを有する電気光学装置を製造するための電気光学装置の製造方法であって、前記IC実装構造が上記(1)から(3)記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする。
【0024】
この発明に係る電気光学装置は、電気光学装置の構成要素である電気光学パネル基板それ自体がIC実装構造のための基板を構成するものであり、いわゆるCOG方式の液晶装置である。
【0025】
この電気光学装置の製造方法によれば、IC実装構造におけるモールドの高さ寸法がICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように設定されるので、製造された電気光学装置を電子機器等に組み付ける際のその組み付けが容易になる。また、電気光学装置を組み付ける電子機器等に関するその組み付け部分の設計自由度が高くなる。
【0026】
(11) さらに、本発明に係る他の電気光学装置の製造方法は、電気光学パネルに接続されるIC実装構造とを有する電気光学装置の製造方法において、前記IC実装構造は上記(1)から(3)記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする。
【0027】
この発明に係る電気光学装置は、電気光学装置を構成する電気光学パネルとIC実装構造とがそれぞれ別々に作製され、それらの作製後に両者が接続される構造の電気光学装置、例えばCOB方式やCOF方式の電気光学装置である。
【0028】
この電気光学装置の製造方法によれば、IC実装構造におけるモールドの高さ寸法がICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように設定されるので、製造された電気光学装置を電子機器等に組み付ける際のその組み付けが容易になる。また、電気光学装置を組み付ける電子機器等に関するその組み付け部分の設計自由度が高くなる。
【0029】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
以下、本発明に係るIC実装構造の製造方法を、液晶パネルを構成する基板にICチップとしての液晶駆動用ICを実装する場合を例に挙げて説明する。また、本発明に係る電気光学装置の製造方法を、COG方式の液晶装置を製造する場合を例に挙げて説明する。
【0030】
本発明に係るIC実装構造の製造方法及び液晶装置の製造方法を説明する前に、まず、それらの製造方法を用いて作製されるIC実装構造及び液晶装置について図1を参照して説明する。図1において、液晶装置1は、液晶パネル2にICチップとしての液晶駆動用IC3を実装することによって形成される。また、液晶パネル2の一方の面には、必要に応じて、バックライト等といった照明装置(図示せず)や光反射板(図示せず)等が設けられる。
【0031】
液晶パネル2は、互いに対向する一対の基板4a及び4bを有し、これらの基板はシール材7によってそれらの周囲が互いに接着される。これらの基板4a及び4bは、例えばガラス等といった硬質な光透過性材料や、プラスチック等といった可撓性を有する光透過性材料等によって形成された基板素材に電極その他の必要要素を形成することによって作製される。
【0032】
図2において、第1基板4aの基板素材8aの液晶側表面、すなわち第2基板4bに対向する面には、例えばコモン電極として作用する第1電極9aが所定のパターンに形成され、その上にオーバーコート層11aが形成され、さらにその上に配向膜12aが形成される。また、基板素材8aの外側表面には偏光板6aが貼着される。
【0033】
第1基板4aに対向する第2基板4bの基板素材8bの液晶側表面、すなわち第1基板4aに対向する面には、例えばセグメント電極として作用する第2電極9bが所定のパターンに形成され、その上にオーバーコート層11bが形成され、さらにその上に配向膜12bが形成される。また、基板素材8bの外側表面には偏光板6bが貼着される。偏光板6aの偏光軸と偏光板6bの偏光軸とは、可視像を表示するのに必要となる偏光透過性を得るために互いに所定の角度をもって対向する。
【0034】
第1電極9a及び第2電極9bは、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明電極によって1000オングストローム程度の厚さに形成され、オーバーコート層11a及び11bは、例えば酸化珪素、酸化チタン又はそれらの混合物等によって800オングストローム程度の厚さに形成され、そして配向膜12a及び12bは、例えばポリイミド系樹脂によって800オングストローム程度の厚さに形成される。
【0035】
第1電極9aは、図1に示すように、複数の直線パターンを互いに平行に配列することによって、いわゆるストライプ状に形成され、一方、第2電極9bは上記第1電極9aに交差するように複数の直線パターンを互いに平行に配列することによって、やはりストライプ状に形成される。これらの電極9aと電極9bとがドットマトリクス状に交差する複数の点が、像を表示するための画素を形成する。そして、それら複数の画素によって区画形成される領域が、文字等といった像を表示するための表示領域となる。
【0036】
以上のようにして形成された第1基板4a及び第2基板4bのいずれか一方の液晶側表面には、図2に示すように、複数のスペーサ13が分散され、さらにいずれか一方の基板の液晶側表面にシール材7が例えば印刷等によって図1に示すように枠状に設けられる。このシール材7の内部には図2に示すように導通材16が分散される。また、シール材7の一部には図1に示すように液晶注入口7aが形成される。
【0037】
両基板4a及び4bの間にはスペーサ13によって保持される均一な寸法、例えば5μm程度の間隙、いわゆるセルギャップが形成され、液晶注入口7aを通してそのセルギャップ内に液晶14が注入され、その注入の完了後、液晶注入口7aが樹脂等によって封止される。
【0038】
図1において、第1基板4aは第2基板4bの外側へ張り出す基板張出し部4cを有し、第1基板4a上の第1電極9aはその基板張出し部4cへ直接に延び出て配線パターン15となっている。また、第2基板4b上の第2電極9bは、シール材7の内部に分散した導通材16(図2参照)を介して、基板張出し部4c上の配線パターン15に接続している。符号20は、図示しない外部回路との間で電気的な接続をとるための外部接続端子を示している。なお、外部接続端子20が形成された領域は、非塗布領域を構成する。
【0039】
各電極9a及び9b、それらから延びる配線パターン15並びに外部接続端子20は、実際には極めて狭い間隔で多数本がそれぞれの基板4a及び4bの表面全域に形成されるが、図1及びこれから説明する各図では構造を分かり易く示すために実際の間隔よりも広い間隔でそれらの電極等を模式的に図示し、さらに一部の電極等の図示は省略してある。また、液晶が封入される領域内に形成される電極9a及び9bは、直線状に形成されることに限られず、適宜のパターン状に形成されることもある。
【0040】
図1において、液晶駆動用IC3の能動面3aには、IC側端子としての複数のバンプ21が形成される。本実施形態では液晶駆動用IC3を液晶パネル2の基板張出し部4cの上に直接に実装する構造の、いわゆるCOG(Chip On Glass )方式の液晶装置を考えることにする。液晶駆動用IC3を基板張出し部4cの上に実装するに際しては、まず、液晶駆動用IC3を実装すべき領域であってそのIC3とほぼ同じ面積の領域であるIC実装領域Jに、接着用材料としてのACF( Anisotropic Conductive Film:異方性導電膜)17を貼着し、次いで液晶駆動用IC3の能動面3aをACF17に貼り付け、これにより液晶駆動用IC3をIC実装領域Jに仮装着する。
【0041】
ACF17は、周知の通り、一対の端子間を異方性を持たせて電気的に一括接続するために用いられる導電性のある高分子フィルムであって、例えば図2に示すように、熱可塑性又は熱硬化性の樹脂フィルム22の中に多数の導電粒子19を分散させることによって形成される。
【0042】
このACF17を挟んで基板張出し部4cと液晶駆動用IC3とを熱圧着、すなわち加熱下で加圧することにより、液晶駆動用IC3を基板張出し部4cに接着すると共に、液晶駆動用IC3のバンプ21と基板張出し部4c上の配線パターン15との間及び液晶駆動用IC3のバンプ21と基板張出し部4c上の外部接続端子20との間において単一方向の導電性を持つ接続を実現する。
【0043】
なお、基板張出し部4cの表面には、液晶駆動用IC3が装着された部分及び外部接続端子20の周辺部分を除いて、モールド10が設定された一様な高さT1で設けられている。このモールド10は、例えばシリコンモールドによって形成されていて、基板張出し部4c上の配線パターン15に汚れが付着することを防止するために設けられる。
【0044】
以上のように構成された液晶装置1に関して、液晶駆動用IC3によって第1電極9a又は第2電極9bのいずれか一方に対して行ごとに走査電圧を印加し、さらにそれらの電極の他方に対して表示画像に基づいたデータ電圧を画素ごとに印加することにより、両電圧の印加によって選択された各画素部分を通過する光変調し、もって、基板4a又は4bの外側に文字、数字等といった像を表示する。
【0045】
上記の液晶装置1は、基板張出し部4cを1つの基板と考えたときに、その基板の上にICチップとしての液晶駆動用IC3を実装することによって形成されるIC実装構造を含んで構成されている。以下、上記構成から成る液晶装置1及びそれに含まれるIC実装構造を製造するための製造方法について、図3に示す工程図を参照にして説明する。
【0046】
まず、図4に示すように、液晶パネル2を構成する第1基板4aの複数個分の大きさを有する大判の第1基板母材18aの個々の液晶パネル基板部分4aに、第1電極9a、配線パターン15及び外部接続端子20をITOを材料として周知のパターン形成法、例えばフォトリソグラフィー法によって形成する(図3の工程P1)。図1に示すように、配線パターン15及び外部接続端子20の先端が集まる領域が液晶駆動用IC3を実装するためのIC実装領域Jになる。
【0047】
次に、オーバーコート層11a(図2参照)を図4の第1基板母材18aの表面に、例えば酸化珪素、酸化チタンを材料としてオフセット印刷によって形成する(図3の工程P2)。そしてその上に、例えばポリイミド系樹脂を材料としてオフセット印刷によって配向膜12a(図2参照)を形成する(図3の工程P3)。さらにその上に、例えばエポキシ系樹脂の中に導通材を分散して成る材料を用いてスクリーン印刷によってシール材7を枠形状に形成する(図3の工程P4)。これにより、図4に示すような、大判の第1基板母材18aが形成される。なお、図4では、便宜上オーバーコート層及び配向膜の図示を省略してある。
【0048】
他方、図5に示すように、液晶パネル2を構成する第2基板4bの複数個分の大きさを有する大判の第2基板母材18bの個々の液晶パネル基板部分4bに、第2電極9bをITOを材料として周知のパターン形成法、例えばフォトリソグラフィー法によって形成する(図3の工程P5)。
【0049】
次に、オーバーコート層11b(図2参照)を図5の第2基板母材18bの表面に、例えば酸化珪素、酸化チタンを材料としてオフセット印刷によって形成する(図3の工程P6)。そしてその上に、例えばポリイミド系樹脂を材料としてオフセット印刷によって配向膜12b(図2参照)を形成する(図3の工程P7)。これにより、図5に示すような、大判の第2基板母材18bが形成される。なお、図5では、便宜上オーバーコート層及び配向膜の図示を省略してある。
【0050】
以上により、第1基板母材18a(図4)及び第2基板母材18b(図5)が作製された後、図3の工程P8において、第1基板母材18aと第2基板母材18bとをシール材7を間に挟んで重ね合わせ、さらに圧着すること、すなわち加熱下で加圧することにより、両基板を互いに貼り合わせる。
【0051】
この貼り合わせにより、第2基板4b上の第2電極9bの先端(図5参照)と、第1基板4a上の配線パターン15(図4参照)とがシール材7中に分散された導通材16(図2参照)によって互いに導電接続される。以上により、液晶パネル2を複数個含む大きさの大判パネル構造が形成される。なお、第1基板母材18aと第2基板母材18bとを貼り合わせる際には、図4に示す第1基板母材18a又は図5に示す第2基板母材18bのいずれか一方を図示の状態から裏返した状態で他方の基板母材と貼り合わす。
【0052】
以上のようにして大判のパネル構造が作製された後、このパネル構造に対して第1ブレイク工程を実施する(図3の工程P9)。具体的には、パネル構造を構成する第1基板母材18aに関して図4に示す第1切断線L10に沿って該基板母材を切断し、一方、第2基板母材18bに関して図5に示す第1切断線L11に沿って該基板母材を切断する。
【0053】
これにより、液晶注入口7aが外部に露出した状態の複数の液晶パネル2が一列に並んだ状態の、いわゆる短冊状の中判パネル構造が複数個作製される。その後、中判パネル構造に含まれる複数の液晶パネル部分に関して、外部へ露出する液晶注入口7aを通して液晶を注入し、さらにその注入の完了後にその液晶注入口7aを樹脂によって封止する(図3の工程P10)。
【0054】
次に、工程P11において中判パネル構造に対して第2ブレイクを実行する。すなわち、中判パネル構造の状態にある第1基板母材18a(図4)及び第2基板母材18b(図5)の両方を第2切断線L2に沿って切断し、これにより、図1に示す液晶パネル2であって偏光板6a及び6bが貼着されていないものを1個ずつ分断する。
【0055】
その後、個々の液晶パネル部分のIC実装領域J(図1参照)にACF17を貼着し、さらにそのACF17の上に液晶駆動用IC3を貼着、すなわち仮装着し、さらに加熱された圧着ヘッドによってそれらの液晶駆動用IC3を押圧することにより、各液晶パネル部分のIC実装領域Jに液晶駆動用IC3を実装する(図3の工程P12)。
【0056】
その後、図6に示すように、基板張出し部4cの表面であって、液晶駆動用IC3が装着された部分及び外部接続端子20の周辺部分を除いた領域にモールド、例えばシリコンモールド10を塗布する(図3の工程P13)。このとき、モールド10に関する高さ寸法T0については特別な配慮は加えられず、よって、例えば図7に示すように、モールド10の高さT0は全領域又は一部の領域において液晶駆動用IC3の高さT2よりも高くなるのが一般的である。
【0057】
その後、モールド10が硬化する前に図3の工程P14においてモールド高さ調整工程を実行する。具体的には、図6に示すように、液晶駆動用IC3を収容可能な大きさの凹部23を備えた押圧部材24を図7の矢印Aのように基板張出し部4cに対して直角方向、すなわち液晶駆動用IC3の高さ方向に沿って移動させて、さらに図2に鎖線で示すように、モールド10の高さが液晶駆動用IC3の高さT2と同じか又はそれよりも低くなるような高さT1となるまで、押圧部材24によってモールド10を押し込む。このとき、液晶駆動用IC3は押圧部材24に形成した凹部23の中に収容される。
【0058】
これにより、最終的に基板張出し部4c上に残るモールド10の高さ寸法が液晶駆動用IC3の高さT2と同じか又はそれよりも低くなるような高さT1、例えば0.1mm程度の高さに設定される。このようなモールド10は、主に、基板張出し部4c上に形成された配線パターン15に汚れが付着することを防止する。なお、図6において、外部接続端子20の周囲部分にモールド10を設けないのは次の理由に依る。すなわち、外部接続端子20には、携帯電話機等といった外部機器との間で電気的な接続をとるために、FPC(Flexible Printed Circuit)又はその他の導電接続部材が接続される。外部接続端子20の周囲部分にモールド10を設けないのは、そのような導電接続部材を外部接続端子20に確実に接続できるようにするためである。
【0059】
なお、押圧部材24を用いたモールド10に関する高さ調整作業は、モールド10が硬化しない前に行うことが望ましい。モールド10がシリコンモールドである場合、そのシリコンモールドは、通常、自然乾燥によって硬化すなわち固化するので、その自然乾燥過程において上記の高さ調整作業を行うことが望ましい。また、モールド10として熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂等を用いる場合には、それぞれの樹脂に対する硬化処理を行う前にモールド10に対する高さ調整作業を行うことが望ましい。
【0060】
以下、図10および図11を参照して、他の押圧部材を用いたモールド10の厚み調整について説明する。
【0061】
図10は別の押圧部材を用いる場合の工程を示す斜視図である。図10に示すように、この押圧部材24Aには、押圧時において第1基板4aの外部接続端子20が形成された領域に押し当てられるマスキング部としての突出部25が設けられている。押圧部材24に代えて押圧部材24Aを用いる場合には、突出部25が外部接続端子20をマスキングするので外部接続端子20上へのモールド10の侵入がより確実に防止される。なお、押圧部材24Aを用いた場合、押圧後におけるモールド10の厚みは、突出部25の突出量T3に相当する厚みとなる。
【0062】
図11はさらに別の押圧部材を示す斜視図である。図11に示すように、この押圧部材24Bにはモールド10を吸引するための吸引部としての貫通孔28,28が形成されている。押圧部材24Bを押し込んだときに、貫通孔28を介して余分なモールド10を吸引することにより、モールド10が外部接続端子20が形成された領域にはみ出すことが防止される。
【0063】
モールド高さ調整の後、分断された個々の液晶パネル2の裏表両面に偏光板6aおよび偏光板6bをそれぞれ貼着する(図3の工程P15)。
【0064】
(第2実施形態)
図8は、本発明に係るIC実装構造の製造方法及び液晶装置の製造方法の他の実施形態を示している。図6に示した実施形態では、図3におけるモールド高さ調整工程P15を実現するために押圧部材24によってモールド10を高さ方向から押圧した。
【0065】
図8に示す本実施形態では、そのような押圧部材24を用いる方法に代えて、除去部材としてのスキージ(Squeegee)26a及び26bを用いてモールド高さ調整工程P14を実現する。スキージ26a及び26bは、液体や粘性体をそれらの表面から押し広げたり、それらの表面を拭き取ったりすることにより、それらの表面の一部を除去して高さを低くしたり、それらの表面を一様で滑らかな面にするための用具である。
【0066】
スキージ26a及び26bは、例えば、厚さの薄いへら状の部材に液晶駆動用IC3を逃げるための切欠き27を設けることによって形成される。そしてこれらのスキージ26a及び26bを用いてモールド高さ調整工程P14を実行する際には、例えば、スキージ26aを基板張出し部4c上のモールド10の表面に所定厚さだけ干渉する状態に位置設定し、そのスキージ26aを矢印Bのように、液晶パネル2の液晶表示領域に対してほぼ平行に移動させることにより、液晶駆動用IC3の各辺のうちの液晶表示領域と平行な辺に沿って存在するモールド10の高さを、液晶駆動用IC3の高さT2と同じか又はそれよりも低くなるような高さT1(図2参照)、例えば0.1mm程度の高さに設定する。
【0067】
そしてその後、スキージ26aに対して直角の位置に配置された他のスキージ26bをモールド10の表面に所定厚さだけ干渉する状態に位置設定し、そのスキージ26bを矢印Cのように、液晶表示領域に向かう方向へ移動させることにより、液晶駆動用IC3の各辺のうち液晶表示領域と直交する辺に沿って存在する10の高さを、上記と同じ高さT1に設定する。この結果、最終的に基板張出し部4c上に残るモールド10の高さ寸法が液晶駆動用IC3の高さT2と同じか又はそれよりも低くなるような高さT1、例えば0.1mm程度の高さに設定される。
【0068】
スキージ26aの移動経路については、上記のように、第1基板4aの端面から一方向に移動させてもよいし、スキージ26aを液晶駆動用IC3の中央から第1基板4aの一方向の端部へ平行移動した後、さらにIC3の中央から第1基板4aの逆方向の端部へ平行移動させるようにしてもよい。図12はスキージ26aがIC3の中央にある状態を示しており、この状態から、例えば、スキージ26aをP方向へ平行移動させた後、図12に示す位置に戻し、さらにスキージ26aをQ方向に平行移動させればよい。このように、外部接続端子20が形成された領域を始点として前記スキージ26aを移動させることにより、外部接続端子20にモールド10が付着することを防止できる。
【0069】
(第3実施形態)
以下、図13および図14を参照して、本発明のIC実装構造の製造方法及び液晶装置の製造方法の第3実施形態について説明する。第3実施形態では、第1実施形態の押圧部材24に代えて、押圧部材24を2つに分割した部材を用いる。
【0070】
図13は押圧部材241および押圧部材242の形状を示す斜視図、図14は押圧部材241および押圧部材242の形状を示す断面図である。図13および図14に示すように、マスキング部材として機能する押圧部材241は外部接続端子20が形成された領域に対応する形状とされ、押圧部材242は他の領域に対応する形状とされている。押圧部材242には、液晶駆動用IC3を収容する切欠き231が形成されている。
【0071】
押圧部材241および押圧部材242は、相互に独立して駆動可能とされており、第3実施形態では、押圧部材241を最初に基板4aの外部接続端子20の領域に押し当ててマスキングした後、基板4aの他の領域にモールド10を供給し、次に押圧部材242を基板4aに接近させる。これにより、押圧部材242と基板4aとの間の間隙に相当する厚みにモールド10が形成される。なお、押圧部材241を基板4aの外部接続端子20の領域に押し当てる前に、押圧部材242に対応する基板4a上の領域にモールド10を供給した後、押圧部材241を基板4aの外部接続端子20の領域に押し当て、次いで押圧部材242を基板4aの他の領域に押し当てるようにしてもよい。
【0072】
第3実施形態では、予め基板4aの外部接続端子20の領域をマスキングするようにしているので、外部接続端子20にモールド10が付着することをより確実に防止することができる。
【0073】
(第4実施形態)
以下、図15を参照して、本発明のIC実装構造の製造方法及び液晶装置の製造方法の第4実施形態について説明する。
【0074】
図15は第4実施形態におけるモールドの厚み調整の工程を示す斜視図である。図15に示すように、第4実施形態では、FPC(フレキシブル配線基板)40を基板4aの外部接続端子20に接続した後、モールド10を基盤4a上に供給し、さらに押圧部材24によりモールド10の厚みを調整するようにしている。
【0075】
第4の実施形態では、FPC40を接続した後に、モールド10を形成しているので、外部接続端子20にモールド10が付着するおそれはなく、外部接続端子20とFPC40との電気的接続を確実なものとすることができる。
【0076】
なお、図15では押圧部材24によりモールド10の厚み調整を行う場合を示しているが、押圧部材を用いる代わりに、図8に示すようなスキージを用いてモールド10の厚みを調整してもよい。
【0077】
(その他の実施形態)
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【0078】
例えば、図1に示した実施形態では、液晶装置の構成要素である一対の基板の一方に液晶駆動用ICを直接に実装する構造であるCOG方式の液晶装置を例示したので、液晶装置それ自体がIC実装構造の構成要素として作用した。しかしながら、液晶装置の中には、図9に示すように、液晶駆動用IC3を配線基板34上に実装して成るIC実装構造30を液晶パネル2とは別に作製し、そのIC実装構造30を導電接続部材、例えばヒートシール32によって液晶パネル2に接続することによって形成される、いわゆるCOB方式の液晶装置31がある。
【0079】
このCOB方式の液晶装置31においては、IC実装構造30を構成する配線基板34における液晶駆動用IC3の実装面にモールド10を塗布して配線パターン15を覆うことが要求される場合がある。このような液晶装置31を製造する際にも、特にIC実装構造30を製造する過程において、モールド高さ調整工程を含む本発明の製造方法を適用することができる。
【0080】
液晶パネルとしては、駆動方式でいえば、スタティック駆動のパネル、または、スイッチング素子としてTFTあるいはTFDを備えたアクティブマトリクス型のパネル、電気光学特性でいえば、TN型、STN型、ゲストホスト型、強誘電型など、種々のタイプの液晶パネルを用いることができる。
【0081】
また、本発明の実施形態では、電気光学装置の例として液晶装置を用いて説明したが、パネル周縁(表示領域周縁)にICあるいは外部基板が接続される端子部を備える平面型のものであれば液晶装置に限らず、プラズマディスプレイパネル、エレクトロルミネッセンスディスプレイパネル、フィールドエミッションディスプレイパネルを有する電気光学装置の製造方法に適用できる。
【0082】
【発明の効果】
本発明に係るIC実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法によれば、モールド高さ調整工程においてモールドの高さ寸法がICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように設定されるので、このIC実装構造を電子機器等に組み付ける際のその組み付けが容易になる。また、IC実装構造を組み付ける電子機器等に関するその組み付け部分の設計自由度が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るIC実装構造の製造方法によって製造されるIC実装構造及び本発明に係る液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の一例を一部分解して示す斜視図である。
【図2】図1の液晶装置の要部の断面構造を示す断面図である。
【図3】本発明に係るIC実装構造の製造方法の一実施形態を含む本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施形態を示す工程図である。
【図4】図3の工程P1〜P4を経て作製される第1基板母材を示す平面図である。
【図5】図3の工程P5〜P7を経て作製される第2基板母材を示す平面図である。
【図6】図3のモールド高さ調整工程P14を実施する装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図7】図6に示すモールド高さ調整装置及び液晶装置の断面構造を示す断面図である。
【図8】図3のモールド高さ調整工程P14を実施する装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図9】本発明に係るIC実装構造の製造方法によって製造されるIC実装構造の他の実施形態及び本発明に係る液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の他の実施形態を示す斜視図である。
【図10】別の押圧部材を用いる場合の工程を示す斜視図。
【図11】さらに別の押圧部材を示す斜視図。
【図12】スキージがICの中央にある状態を示す斜視図。
【図13】押圧部材の形状を示す斜視図。
【図14】別の押圧部材の形状を示す斜視図。
【図15】第4実施形態におけるモールドの厚み調整の工程を示す斜視図。
【符号の説明】
1 液晶装置(IC実装構造)
2 液晶パネル
3 液晶駆動用IC(ICチップ)
4a,4b 基板
4c 基板張出し部
9a,9b 電極
10 モールド
15 配線パネル
23 凹部
24 押圧部材
26a,26b スキージ
27 切欠き
30 IC実装構造
31 液晶装置
32 ヒートシール
34 基板
L10,L11 第1切断線
L2 第2切断線
J IC実装領域
T0 調整前のモールド高さ
T1 調整後のモールド高さ
T2 ICチップの高さ

Claims (9)

  1. 基板上にICチップを実装するIC実装工程と、ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、
    前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、
    前記モールド高さ調整工程では、前記ICチップに対応する形状の切欠き部を有する除去部材を前記ICチップの実装された前記基板上を当該基板に対してほぼ平行に移動させ、前記除去部材によって前記ICチップの周囲に塗布された前記モールドを前記基板から除去する
    ことを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  2. 基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、
    前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、
    前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、
    前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域への前記モールドの侵入を防止するマスキング部を有する
    ことを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  3. 基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、
    前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、
    前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、
    前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域を前記モールドからマスキングするマスキング部を有する
    ことを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  4. 基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、
    前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、
    前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、
    前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、前記押圧部材は前記モールドの押圧時に前記端子領域への前記モールドのはみ出しを防止するように前記モールドを吸引する吸引部を有する
    ことを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  5. 基板上にICチップを実装するIC実装工程と、前記ICチップが実装された前記基板上にモールドを塗布するモールド塗布工程とを有するIC実装構造の製造方法において、
    前記基板上に塗布された前記モールドの高さを前記ICチップの高さと同じか又はそれよりも低くなるように調整するモールド高さ調整工程を備え、
    前記基板には前記モールドが塗布されない端子領域を有し、
    前記モールド高さ調整工程では、前記基板に塗布された前記モールドを押圧部材によって高さ方向から押圧することによって前記モールドの高さ調整が行われ、
    前記押圧部材による前記モールドの押圧前に、前記端子領域をマスキング部材でマスキングする工程を備える
    ことを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  6. 請求項1において、前記除去部材を前記ICチップ上を始点として前記基板に対してほぼ平行に移動させて前記モールドを除去することを特徴とするIC実装構造の製造方法。
  7. 電気光学パネルを構成する基板に前記ICチップを実装してなるIC実装構造を有する電気光学装置の製造方法であって、
    前記IC実装構造は請求項1乃至6のいずれかに記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  8. 電気光学パネルと、前記電気光学パネルに接続されるIC実装構造を有する電気光学装置の製造方法であって、
    前記IC実装構造は請求項1乃至6のいずれかに記載のIC実装構造の製造方法によって製造されることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
  9. 互いに対向する一対の基板を有し、一方の前記基板に他方の前記基板と対向する位置から張出す張出し部を有し、前記張出し部にICチップが実装されてなる電気光学装置において、
    前記張出し部には外部との接続端子が形成された端子領域と有し、
    前記張出し部上には、前記ICチップが実装された実装領域及び前記端子領域を除いてモールドが形成され、
    前記モールドは、前記実装領域及び前記端子領域を除く前記張出し部上に塗布された後に、前記端子領域にモールドが侵入する或いははみ出すことを防止するようにして、その高さが前記ICチップの高さと同じか又はそれより低くなるように調整されてなる
    ことを特徴とする電気光学装置。
JP35196799A 1999-07-27 1999-12-10 Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置 Expired - Fee Related JP3598921B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35196799A JP3598921B2 (ja) 1999-07-27 1999-12-10 Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21249899 1999-07-27
JP11-212498 1999-07-27
JP35196799A JP3598921B2 (ja) 1999-07-27 1999-12-10 Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001102401A JP2001102401A (ja) 2001-04-13
JP3598921B2 true JP3598921B2 (ja) 2004-12-08

Family

ID=26519267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35196799A Expired - Fee Related JP3598921B2 (ja) 1999-07-27 1999-12-10 Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3598921B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4759246B2 (ja) * 2004-10-26 2011-08-31 大日本印刷株式会社 表示素子用基板およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001102401A (ja) 2001-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5107905B2 (ja) 液晶パネルの製造方法
US20090153765A1 (en) Wiring substrate and display device including the same
US6989879B1 (en) Liquid crystal panel and method of fabricating the same
EP1674920B1 (en) Manufacturing method of liquid crystal display device
WO2011111420A1 (ja) 液晶表示装置とその製造方法
JP3697925B2 (ja) 電気光学装置
KR100462693B1 (ko) 전기 광학 장치의 제조 방법
JP3598921B2 (ja) Ic実装構造の製造方法及び電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置
JP3695265B2 (ja) 表示装置及び電子機器
JP3769995B2 (ja) 液晶装置の製造方法
JP3994600B2 (ja) 照明用光源基板及び液晶装置
JP2005167274A (ja) 半導体装置、半導体装置の製造方法並びに液晶表示装置
JP2000284261A (ja) 液晶装置及び電子機器
JP4088006B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
JP3744299B2 (ja) 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
JP4474770B2 (ja) 電気光学装置および電子機器
JP3636193B2 (ja) 液晶パネル及び液晶パネルの製造方法
JP3726493B2 (ja) 液晶装置の製造方法
JP3567781B2 (ja) 液晶装置、液晶装置の製造方法及び電子機器
JP3965839B2 (ja) 電気光学装置の製造方法
JP3820812B2 (ja) Icチップの実装構造、液晶装置及び電子機器
JP3829554B2 (ja) 液晶装置の製造方法
JP2003140564A (ja) 半導体素子、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器
JP3911931B2 (ja) 液晶装置、液晶装置の製造方法及び電子機器
JP2000275672A (ja) 液晶装置、液晶装置の製造方法及び電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040518

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040608

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040802

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040824

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040906

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080924

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080924

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090924

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090924

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100924

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110924

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120924

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130924

Year of fee payment: 9

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees