JP3573489B2 - Lead frame appearance inspection device - Google Patents

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JP3573489B2
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Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、リードフレーム外観検査技術、特に、半導体装置の組立に用いられるリードフレームのめっき状態や、インナリードの変形等の外観を自動的に検査するリードフレームの外観検査技術に関し、例えば、半導体装置の製造工場におけるリードフレーム受け入れ検査工程や、リードフレームの製造工場における出荷検査工程に利用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
最近の半導体技術分野におけるパッケージング技術は、半導体装置の高集積、高機能化に伴って多ピン化とともに、狭ピッチ化（ピンピッチを狭くする）の傾向にある。したがって、半導体装置の組立てに使用されるリードフレームは、かかる傾向に伴い、リード変形のない高信頼度のものが要求される。
このため、半導体装置の製造工場においては、リードフレームの受け入れ検査が実施されている。
【０００３】
そして、このリードフレームの受け入れ検査工程においては、全数検査または無作為抽出による抜き取り検査が実施されている。
【０００４】
なお、リードフレームを述べてある例としては、株式会社工業調査会発行「電子材料のはんだ技術」１９８５年１月１５日発行 Ｐ１８３〜Ｐ１８５、がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、リードフレームの受け入れ検査に使用されるリードフレーム外観検査装置として、リードフレームがコンベアによって搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにおいて、テレビカメラが用いられた画像認識によって外観検査が実施されるように構成されているものが考えられた。
しかしながら、前記したリードフレーム外観検査装置においては、検査対象であるリードフレームの品種が変更される都度に、コンベアの幅の変更や、検査ステーションに設備されたテレビカメラの焦点合わせのような人手による作業が必要になるため、リードフレーム外観検査装置の稼働効率が低下するという問題点がある。
【０００６】
また、全数検査においては検査時間が長くなるという問題点がある。他方、無作為抽出による抜き取り検査においては、未検査品の中に含まれる不良品を見逃す危険性があるため、検査作業の信頼性が低いという問題点がある。
【０００７】
本発明の目的は、装置の稼動効率や検査作業の能率および信頼性を高めることができるリードフレーム外観検査装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通りである。
【００１０】
すなわち、互いに平行に張設された一対のベルトを有するベルトコンベアによってリードフレームが搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにて外観検査が実施されるリードフレーム外観検査装置において、
前記一対のベルトは弾性材料が用いられてそれぞれ形成されており、
前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトは他方のベルトに対して搬送方向と直角方向にコンベア幅変更装置によって移動されるように構成されており、コンベア幅変更装置はコントローラに制御されることにより前記ベルトの移動量を変更調整するように構成されており、
前記コンベアの検査ステーションには前記リードフレームを前記ベルトコンベアの弾性力に抗して押し下げる押さえ装置が設備されていることを特徴とする。
【００１１】
また、リードフレームについて複数の項目の外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記リードフレームについて複数の検査項目の外観検査を実行する検査実行部と、
前記複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部と、
この検査項目選定部で選定された複数の検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定検査項目良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部と、
この検索部によって検索された検査項目について前記検査項目選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
さらに、複数の単位リードフレームが連続した多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実行する検査実行部と、
前記単位リードフレームを選択して指定する単位リードフレーム選定部と、
この単位リードフレーム選定部で選定された各単位リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定単位リードフレーム良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定単位リードフレーム良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した単位リードフレームを検索する検索部と、
この検索部によって検索された単位リードフレームについて前記単位リードフレーム選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、を備えていることを特徴とする。
【００１３】
【作用】
前記した第１の手段によれば、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際には、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。さらに、検査実行装置がコンベアに対して移動調整されるように構成されている場合には、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの検査対象位置が変更されても、検査実行装置の相対変位により自動的に対処することができる。
【００１４】
また、検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームは押さえ装置によって押し下げられるため、リードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は、リードフレームの厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【００１５】
前記した第２の手段によれば、選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査がスキップ回数設定部により自動的に実行されるため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００１６】
前記した第３の手段によれば、多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査がスキップ回数設定部により自動的に実行されるため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００１７】
【実施例】
図１は本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示す一部省略斜視図である。図２は本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示すブロック図である。図４以降はその作用を説明するための各説明図である。
【００１８】
本実施例において、本発明に係るリードフレーム外観検査装置は、多連リードフレームを各単位リードフレーム毎に複数の項目について外観検査を実施するように構成されている。
【００１９】
ここで、リードフレーム外観検査装置の検査対象物、すなわち、リードフレーム外観検査装置のワークである多連リードフレームについて簡単に説明する。一般に、多連リードフレームは複数個の単位リードフレームが一列または複数列に整列されて構成されており、半導体装置の製造工場においては、多数規格の多連リードフレームが使用されている。各規格の多連リードフレームは幅や厚さ、長さ、単位リードフレームの配列や個数、形状や構造等の諸条件について種々に相違している。したがって、リードフレーム外観検査装置はそのワークである多連リードフレーム（以下、ワークという。）１の各規格について外観検査を各単位リードフレーム（以下、リードフレームという。）２毎に、適正にしかも能率的に実施し得るように構成されていることが望ましい。
【００２０】
本実施例において、図７に示されているように、ワーク１は便宜上、リードフレーム２が３個、１列横隊に整列されているものとする。各リードフレーム２は四角形の枠形状に形成された外枠（フレーム）３と、外枠３内に突設された一対のタブ吊りリード４と、両タブ吊りリード４、４の先端に吊持されたタブ５と、外枠３内のタブ５の両脇に配されて外枠３に架設された一対のダム部材６と、両ダム部材６、６にタブ５の方向に突設されて先端部がタブ５に近接配置された複数本のインナリード７と、両ダム部材６、６に各インナリード７とそれぞれ一連となるように突設された複数本のアウタリード８とを備えている。そして、ボンダビリティーを高めるために、インナリード７には銀めっき被膜９が部分的に被着されている。なお、各リードフレーム２を区別して説明する必要がある場合には、第１リードフレーム２ａ、第２リードフレーム２ｂおよび第３リードフレーム２ｃという。
【００２１】
本実施例に係るリードフレーム外観検査装置１０は、ワークである多連リードフレーム１を搬送するためのベルトコンベア１１を備えており、このベルトコンベア１１はワーク１を一方向に搬送するように水平に敷設されている。ベルトコンベア１１のベルトはゴムまたは樹脂の弾性材料が用いられて、断面が円形のベルト形状に形成されており、２本のベルト１２、１３が互いに平行に張設されている。一方のベルト（以下、可動側ベルトという。）１３は他方のベルト（以下、固定側ベルトという。）１２に対して、搬送方向と直角方向に平行移動し得るように構成されている。すなわち、可動側ベルト１３の中間位置にはコンベア幅変更用送りねじ装置１４が可動側ベルト１３を平行移動させるように設備されており、この送りねじ装置１４はサーボモータ１５によって回転駆動されるように構成されている。サーボモータ１５はコントローラ１６に制御されることにより、送りねじ装置１４による可動側ベルト１３の平行移動量を変更調整するようになっている。そして、サーボモータ１５のコントローラ１６は後記する中央演算処理装置（以下、ＣＰＵという。）３０に構築されたコンベア幅制御部３１の指令を受けて、サーボモータ１５の回転を制御するようになっている。
【００２２】
一方、ベルトコンベア１１の搬送途中には上流側から順次、第１検査ステーション、第２検査ステーションおよび第３検査ステーションがそれぞれ設定されている。各検査ステーションにはストッパ１７およびワーク検出装置１８がそれぞれ設備されている。なお、ストッパ１７およびワーク検出装置１８は図の理解の便宜上、図１では第３検査ステーションについてのみ図示されている。ストッパ１７はベルトコンベア１１によって送られて来るワーク１を検査ステーションの所定位置に停止させるように構成されている。ワーク検出装置１８は光学式検出装置によって構成されており、ベルトコンベア１１によって送られて来るワーク１を検査ステーションの所定位置で検出し、ベルトコンベア１１の搬送を間欠停止させるように構成されている。
【００２３】
また、各検査ステーションには押さえ装置１９がそれぞれ設備されている。この押さえ装置１９は各ステーションにおいてコンベアベルト１２、１３間に支持されたワーク１をコンベアベルト１２、１３の弾性力に抗して上から押さえて押し下げるように構成されている。そして、各検査ステーションにおいて、コンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されたワーク１は押さえ装置１９によって押し下げられるため、ワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、ワーク１の品種の変更に伴ってワーク１の厚さが変更された場合においても、各検査ステーションにおけるワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は変更されないため、各検査ステーションにおける人手による微調整は省略することができる。
【００２４】
図３（ａ）に示されているように、第１検査ステーション２１には第１検査実行装置２２が設備されており、第１検査実行装置２２はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。第１検査実行装置２２はテレビカメラと、その画像を処理して所望の情報を認識する画像認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、リードフレーム２のインナリード７に関する検査を実行するように構成されている。第１検査実行装置２２の検査項目としては、インナリード７における銀めっき被膜９の大きさ、位置ずれ、汚れ、品質、傷、むら、インナリードのＸＹ方向（平面内）での変形、がある。
【００２５】
図３（ｂ）に示されているように、第２検査ステーション２３には第２検査実行装置２４が設備されており、第２検査実行装置２４はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。なお、図１では便宜上、第２検査実行装置２４だけが図示されている。第２検査実行装置２４はテレビカメラと、その画像を処理して所望の情報を認識する画像認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、リードフレーム２の全体に関する外観検査を実行するように構成されている。第２検査実行装置２４の分解能は第１検査実行装置２２の分解能よりも低く設定されている。第２検査実行装置２４の検査項目としては、リードフレーム２における汚れや、傷、がある
【００２６】
図３（ｃ）に示されているように、第３検査ステーション２５には第３検査実行装置２６が設備されており、第３検査実行装置２６はベルトコンベア１１に対して水平移動するＸＹテーブル２０の上に搭載されている。第３検査実行装置２６は投光部と受光部とから構成された光学式表面変位計と、その受光部からの測定結果を処理して所望の情報を認識する認識回路と、認識した情報に基づいて良品不良品の判定を実行する判定回路とを備えており、インナリード７のＺ方向（厚さ方向）の曲がりを検査するようにされている。
【００２７】
ちなみに、投光部は半導体レーザと投光レンズとから構成されており、半導体レーザから投光された波長６００〜１０００ｎｍのレーザ光が投光レンズによってビームウエスト数μｍのレーザビームに集光されて、リードフレーム２のインナリード７部分の上面に垂直方向から投光するように構成されている。受光部は集光レンズとホトセンサとしての位置検出素子とを備えており、投光部からリードフレーム２の上面に投光されて、リードフレーム２面により反射された反射光が集光レンズによって集光され、位置検出素子に結像されるように構成されている。位置検出素子には認識回路が接続されている。
【００２８】
また、本実施例に係るリードフレーム外観検査装置１０はＣＰＵ３０を備えており、ＣＰＵ３０はパーソナルコンピューターやワークステーションおよびマイクロコンピューター等から構築されている。ＣＰＵ３０はコンベア幅制御部３１と、検査実行装置の位置制御部３２と、検査項目制御部４０と、検査リードフレーム制御部５０とを備えている。
【００２９】
コンベア幅制御部３１は前記したコンベア幅変更調整用サーボモータ１５のコントローラ１６に接続されている。コンベア幅制御部３１はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１の多連リードフレーム幅をコントローラ１６に指令するように構成されている。例えば、この制御部３１は、変更後のワーク１の品種が製品番号によって指定された場合に、製品番号と多連リードフレーム幅とが予め対応されたテーブルに対して指定された製品番号に対応する多連リードフレーム幅を検索して、検索した多連リードフレーム幅をコントローラ１６に指令するように構成されている。
【００３０】
検査実行装置の位置制御部３２は各検査ステーションにそれぞれ設備されたＸＹテーブル２０を駆動制御するコントローラ２０ａに接続されている。ところで、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレームの配列やリードフレームの大きさが変更された際には、テレビカメラの視野やレーザ表面変位計の観測位置が変動するため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置を修正する必要がある。そこで、この必要性に対処するために、検査実行装置の位置制御部３２が設備されている。つまり、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置は、この位置制御部３２によるＸＹテーブル２０の後述する制御によって、ワーク１の品種の変更に伴い変更後のワーク１の条件に自動的に変更調整される。
【００３１】
検査項目制御部４０は、ワーク１について外観検査すべき複数の項目が全て記憶されている全検査項目記憶部４１と、全検査項目記憶部４１に記憶された全検査項目のうちから複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部４２と、この検査項目選定部４２で指定された各検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部（以下、各計数部という。）４３ａ、４３ｂ・・・と、良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部４４と、この連続良品数設定部４４の設定値と前記各計数部４３ａ、４３ｂ・・・の現在の計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部４５と、この検索部４５によって検索された検査項目について前記検査項目選定部４２の指定を解除する解除部４６と、選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数する各選定検査項目スキップ回数計数部（以下、スキップ回数計数部という。）４７ａ、４７ｂ・・・と、選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部４８と、スキップ回数設定部４８の設定値と前記スキップ回数計数部４７ａ、４７ｂ・・・の計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部４７ａ、４７ｂ・・・の計数値Ｍをクリアするスキップ回数クリア部４９とを備えている。
【００３２】
そして、検査項目選定部４２は前記した第１検査実行装置２２、第２検査実行装置２４および第３検査実行装置２６にそれぞれ接続されており、これら検査実行装置に指定された検査を実行させるようになっている。全検査項目記憶部４１に記憶された検査項目としては、第１検査実行装置２２の検査項目としてのインナリード７における銀めっき被膜９の大きさ、位置ずれ、汚れ、品質、傷、むら、インナリードのＸＹ方向（平面内）での変形、第２検査実行装置２４の検査項目としてのリードフレーム２における汚れや、傷、第３検査実行装置２６の検査項目としてのインナリード７のＺ方向（厚さ方向）の曲がりがある。
【００３３】
検査リードフレーム制御部５０は、ワーク１について外観検査すべき複数のリードフレーム２が記憶されている全リードフレーム記憶部５１と、検査すべき各リードフレームを選択して指定する検査リードフレーム選定部５２と、この検査リードフレーム選定部５２で選定された各リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定リードフレーム良品計数部５３ａ、５３ｂ・・・と、良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部５４と、連続良品数設定部５４の設定値と各選定リードフレーム良品計数部５３ａ、５３ｂ・・・の現在の計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致したリードフレームを検索する検索部５５と、この検索部５５によって検索されたリードフレームについて前記検査リードフレーム選定部５２の指定を解除する解除部５６と、選定が解除されたリードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数する選定リードフレームスキップ回数計数部５７と、選定が解除されたリードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部５８と、スキップ回数設定部５８の設定値と各選定リードフレームスキップ回数計数部５７ａ、５７ｂ・・・の計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに各選定リードフレームスキップ回数計数部５７ａ、５７ｂ・・・の計数値をクリアするスキップ回数クリア部５９と、を備えている。
【００３４】
そして、検査リードフレーム制御部５０は前記した第１検査実行装置２２、第２検査実行装置２４および第３検査実行装置２６にそれぞれ接続されており、これら検査実行装置に指定された抜き取り検査を実行させるようになっている。
【００３５】
次に作用を説明する。
ワーク１がベルトコンベア１１の上にローディング装置（図示せず）によって払い出されると、ワーク１はベルトコンベア１１によってアンローディング方向に搬送されて行く。その搬送途中に設定された第１検査ステーション２１、第２検査ステーション２３、第３検査ステーション２５において、ワーク１はＣＰＵ３０によって指令された外観検査を実施される。
【００３６】
ワーク１が検査ステーションに送られて来てストッパ１７に当接するとともに、検査ステーションにワーク１が送られて来たことがワーク検出装置１８によって検出されると、ベルトコンベア１１の搬送作動は自動的に間欠停止される。
【００３７】
そして、ベルトコンベア１１の搬送が間欠停止されると、各検査ステーションにおいて、コンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されたワーク１は、押さえ装置１９によって押し下げられる。この状態において、ワーク１はコンベアベルト１２、１３の弾性力によりフローティング支持されることによって、押さえ装置１９の押さえ面に下から押接された状態になっている。このコンベアベルト１２、１３の押さえ装置１９への押接力は、ベルト１２、１３の材質や張力の調整によって制御することができる。
【００３８】
ここで、押さえ装置１９の押さえ面の水平高さ位置は予め設定されているため、押さえ装置１９によって押さえられるワーク１上面の水平高さ位置は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定である。したがって、ワーク１の品種の変更に伴ってワーク１の厚さが変更された場合においても、各検査ステーションにおけるワーク１の押さえ装置１９によって押さえられる面の水平高さ位置は変更されずに常に一定に維持されるため、各検査ステーションにおける人手による修正のための微調整作業は、省略することができる。
【００３９】
そして、各検査ステーション２１、２３、２５にそれぞれ供給されたワーク１は、押さえ装置１９によって水平高さ位置をそれぞれ規定された状態において、各検査実行装置２２、２４、２６によって外観検査をそれぞれ実行され、各検査実行装置２２、２４、２６の検査結果はＣＰＵ３０にそれぞれ送信される。
【００４０】
ここで、ワーク１の水平高さ位置は押さえ装置１９によって常に一定に維持されているため、第１検査実行装置２２および第２検査実行装置２４におけるテレビカメラはその焦点距離が常に一定に維持される状態になる。その結果、テレビカメラの撮像は常に一定に維持されることになるため、第１検査実行装置２２および第２検査実行装置２４における検査精度は、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定に維持されることになる。同様に、第３検査実行装置２６におけるレーザ表面変位計の基準距離も常に一定に維持される状態になるため、第３検査実行装置２６における検査精度も、ワーク１の厚さ如何にかかわらず常に一定に維持されることになる。
【００４１】
所定の外観検査の終了後、ベルトコンベア１１の終端に搬送されると、ワーク１はアンローディング装置（図示せず）によってベルトコンベア１１の上から払い出される。
【００４２】
ところで、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレーム幅が変更された際には、変更後のリードフレーム幅によってはベルトコンベア１１によるワーク１の搬送が不可能になるため、ベルトコンベア１１の幅、すなわち、固定側のベルト１２と可動側のベルト１３との間隔を変更調整する必要がある。
【００４３】
本実施例においては、ベルトコンベア１１のベルト１２と１３との間隔は、ワーク１の品種の変更に伴うワーク１の幅の変更に対応して変更後のワーク１の幅に自動的に変更調整される。したがって、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができるため、段取り時間を大幅に短縮することができ、リードフレーム外観検査装置の稼働効率を高めることができる。
【００４４】
すなわち、コンベア幅制御部３１はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１のリードフレーム幅に対応する制御信号をコンベア幅変更用サーボモータ１５のコントローラ１６に指令する。この指令により、コントローラ１６はサーボモータ１５を制御してコンベア幅変更用送りねじ装置１４を回転駆動させて、図４（ａ）に示されているように、可動側ベルト１３を固定側ベルト１２に対して変更後のワーク１の幅に対応する移動量だけ移動させる。この可動側ベルト１３の移動によってベルトコンベア１１の幅が変更後のワーク１の幅に一致されるため、品種変更後のワーク１はベルトコンベア１１によって適正に搬送される状態になる。
【００４５】
また、ワーク１の品種の変更に伴ってリードフレームの配列やリードフレームの大きさが変更された際には、テレビカメラの視野やレーザ表面変位計の測定ポイントが変動するため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置を変更調整する必要がある。
【００４６】
本実施例においては、各検査実行装置２２、２４、２６がＸＹテーブル２０の上にそれぞれ搭載され、このＸＹテーブル２０が位置制御部３２によって制御されるように構成されているため、各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置は、ワーク１の品種の変更に伴い変更後のワーク１の条件に自動的に変更調整される。したがって、人手による各検査実行装置２２、２４、２６のベルトコンベア１１に対する位置の変更調整作業を省略することができるため、段取り時間を大幅に短縮することができ、リードフレーム外観検査装置の稼働効率を高めることができる。
【００４７】
すなわち、検査実行装置の位置制御部３２はワーク１としての多連リードフレームの品種が変更された際に、変更後のワーク１の各リードフレーム２に設定された基準位置の座標をＸＹテーブル２０のコントローラ２０ａに指令する。この指令により、図４（ｂ）に示されているように、コントローラ２０ａはＸＹテーブル２０を変更後のワーク１における各リードフレーム２の座標に対応するように順次シフトさせる。このＸＹテーブル２０のシフト作動により、各検査実行装置２２、２４、２６の基準位置は変更後のワーク１における各リードフレーム２の基準位置に一致されるため、各検査実行装置２２、２４、２６は変更後のワーク１における各リードフレーム２についての外観検査を順次適正に実行して行くことができる。
【００４８】
次に、検査項目制御部４０の作用を図５について説明する。
この検査項目制御部４０は全数検査を実行し、一定数連続して不良が発生しなかった場合に、不良が発生しなかった検査項目についてのその後の検査を省略する制御を実行する。そして、検査が省略された分だけ、検査時間が短縮されるため、リードフレーム外観検査装置の稼働効率が高められることになる。
【００４９】
自動検査がスタートされる前に、検査項目の選定機能を働かせる条件となる連続良品回数Ｖが連続良品数設定部４４に設定される（ステップ６１）。
【００５０】
また、自動検査がスタートされる前に、検査項目の自動省略機能が働いた時に抜き取り検査を実行する抜き取り間隔（スキップ回数に相当する。）を決めるスキップ回数Ｗが、スキップ回数設定部４８に設定される（ステップ６２）。
【００５１】
自動検査がスタートされる（ステップ６３）。そして、検査項目選定部４２において、検査すべき項目が選定される。すなわち、全検査項目記憶部４１から選定された検査項目が読み出される。ちなみに、スタート時点においては、全ての検査項目が選定されることになる（ステップ６４）。
【００５２】
そして、検査項目選定部４２において、まず、第１検査項目（例えば、銀めっき被膜９の大きさ）が選定されているか否かが、参照される（ステップ６５）。第１検査項目が選定されている場合には、検査項目選定部４２の指令により、第１検査項目の検査が所定の第１検査実行装置２２において実行される（ステップ６６）。
【００５３】
第１検査項目についての検査結果は良品か否かが、第１検査項目に対応する第１良品計数部４３ａによって当該項目の検査を実行した第１検査実行装置２２に参照される（ステップ６７）。
【００５４】
検査結果が良品（ＹＥＳ）である場合、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがカウントアップされる（ステップ６８）。
【００５５】
そして、検索部４５において、第１良品計数部４３ａでカウントアップされた現在の計数値Ｎが、連続良品数設定部４４に設定された設定値Ｖと一致するかが比較される（ステップ６９）。
【００５６】
不一致（ＮＯ）の場合は、ステップ６５へ進む。すなわち、第２検査項目（例えば、銀めっき被膜９の位置ずれ）についての検査に進む。
【００５７】
一致（ＹＥＳ）の場合は、検索部４５は解除部４６に一致した旨の信号を送信し、解除部４６は検査項目選定部４２に第１検査項目についての選定を解除させる。解除はステップ７２において選定が更新されるまで使用される（ステップ７０）。以降、第１検査項目については、スキップ回数Ｗ迄、検査されないことになる。つまり、第１検査項目については、抜き取り検査が実行されることになる。
【００５８】
第１検査項目についての選定が解除されると、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ７０’）。そして、ステップ６５へ進む。
【００５９】
他方、ステップ６７において、検査結果が不良品（ＮＯ）である場合、第１良品計数部４３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ７１）。
【００６０】
また、検査項目選定部４２において、第１検査項目の選定が更新される（ステップ７２）。そして、ステップ６５に進む。すなわち、第２検査項目についての検査に進む。
【００６１】
ところで、ステップ６５において、第１検査項目の選定が解除されていた場合（ＮＯ）には、検査は実行されず第１検査項目に対応する第１スキップ回数計数部４７ａの計数値Ｍがカウントアップされる（ステップ７３）。
【００６２】
そして、スキップ回数クリア部４９において、第１スキップ回数計数部４７ａでカウントアップされた現在の計数値Ｍが、スキップ回数設定部４８に設定された設定値Ｗと一致するかが比較される（ステップ７４）。
【００６３】
不一致（ＮＯ）の場合は、スキップ回数クリア部４９はステップ６５へ進ませる。すなわち、第２検査項目についての検査に進む。
【００６４】
一致（ＹＥＳ）の場合は、スキップ回数クリア部４９は第１スキップ回数計数部４７ａの計数値Ｍをゼロクリアさせる（ステップ７５）。そして、ステップ６６へ戻り、第１検査項目についての外観検査を第１検査実行装置２２をして実行させる。
【００６５】
以上のルーチンが各検査項目毎に実行されて行く。検査項目選定部４２で選定された検査項目全てについてルーチンが終了すると、ワーク１における検査すべきリードフレーム２が終了したかが参照される（ステップ７６）。
【００６６】
そして、残りのリードフレーム２が有る場合、すなわち、検査が終了しない（ＮＯ）の場合には、ステップ６５へ進む。
【００６７】
残りのリードフレーム２が無い場合、すなわち、検査が終了した（ＹＥＳ）の場合には、当該ワーク１についての検査が終了される（ステップ７７）。そして、ベルトコンベア１１により、検査済みのワーク１が検査ステーションから送り出され、次回のワーク１が検査ステーションに送り込まれる。
【００６８】
以上のルーチンが繰り返されることにより、全検査項目についてワーク１の全数検査が実行されつつ、検査を省略することができる項目が自動的に選定されて、抜き取り検査が自動的に実施されて行くことになる。
【００６９】
次に、検査リードフレーム制御部５０の作用を図６について説明する。
この検査リードフレーム制御部５０は各ワーク１の各リードフレーム２について全数検査を実行し、リードフレームについて一定数連続して不良が発生しなかった場合に、不良が発生しなかったリードフレームについてその後の検査を省略する制御を実行する。そして、検査が省略された分だけ検査時間が短縮されるため、検査作業の効率が高められることになる。
【００７０】
自動検査がスタートされる前に、リードフレームの選定機能を働かせる条件となる連続良品回数Ｖが連続良品数設定部５４に設定される（ステップ８１）。
【００７１】
また、自動検査がスタートされる前に、リードフレームの自動省略機能が働いた時に抜き取り検査を実行する抜き取り間隔（スキップ回数に相当する。）を決める良品スキップ回数Ｗが、スキップ回数設定部５８に設定される（ステップ８２）。
【００７２】
自動検査がスタートされる（ステップ８３）。そして、検査リードフレーム選定部５２において、検査すべきリードフレーム２が選定される。ちなみに、スタート時点においては、全てのリードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃが選定されることになる（ステップ８４）。
【００７３】
まず、検査リードフレーム選定部５２において、まず、第１リードフレーム２ａが選定されているか否かが参照される（ステップ８５）。第１リードフレーム２ａが選定されている場合には、検査リードフレーム選定部５２の指令により、第１リードフレーム２ａの検査が各検査実行装置２２、２４、２６において実行される（ステップ８６）。
【００７４】
第１リードフレーム２ａについての検査結果は良品か否かが、第１リードフレーム２ａに対応する第１良品計数部５３ａによって各検査実行装置２２、２４、２６に参照される（ステップ８７）。
【００７５】
検査結果が良品（ＹＥＳ）である場合、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがカウントアップされる（ステップ８８）。
【００７６】
そして、検索部５５において、第１良品計数部５３ａでカウントアップされた現在の計数値Ｎが、連続良品数設定部５４に設定された設定値Ｖと一致するかが比較される（ステップ８９）。
【００７７】
不一致（ＮＯ）の場合は、ステップ８５へ進む。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００７８】
一致（ＹＥＳ）の場合は、検索部５５は解除部５６に一致した旨の信号を送信し、解除部５６は検査リードフレーム選定部５２に第１リードフレーム２ａについての選定を解除させる。解除はステップ９２において選定が更新されるまで保持される。（ステップ９０）。以降、第１リードフレーム２ａについては、スキップ回数Ｗ迄、検査されないことになる。つまり、第１リードフレーム２ａについては、抜き取り検査が実行されることになる。
【００７９】
第１リードフレーム２ａについての選定が解除されると、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ９０’）。そして、ステップ８５へ進む。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００８０】
他方、ステップ８７において、検査結果が不良品（ＮＯ）である場合、第１良品計数部５３ａの計数値Ｎがゼロクリアされる（ステップ８１）。
【００８１】
また、検査リードフレーム選定部５２において、第１リードフレーム２ａの選定が更新される（ステップ９２）。そして、ステップ８５に進む。
【００８２】
ところで、ステップ８５において、第１リードフレーム２ａの選定が解除されていた場合（ＮＯ）には、検査は実行されず第１リードフレーム２ａに対応する第１スキップ回数計数部５７ａの計数値がカウントアップされる（ステップ９３）。
【００８３】
そして、スキップ回数クリア部５９において、第１スキップ回数計数部５７ａでカウントアップされた現在の計数値Ｍが、スキップ回数設定部５８に設定された設定値Ｗと一致するかが比較される（ステップ９４）。
【００８４】
不一致（ＮＯ）の場合は、スキップ回数クリア部５９はステップ８５へ進ませる。すなわち、第２リードフレーム２ｂについての検査に進む。
【００８５】
一致（ＹＥＳ）の場合は、スキップ回数クリア部５９は第１スキップ回数計数部５７ａの計数値Ｍをゼロクリアさせる（ステップ８５）。そして、ステップ８６へ戻り、第１リードフレーム２ａについての外観検査を各検査実行装置２２、２４、２６をして実行させる。
【００８６】
以上のルーチンが各リードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃ毎に実行されて行く。検査リードフレーム選定部５２で選定された全てのリードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃについてルーチンが終了すると、ワーク１における検査すべきリードフレーム２が全て終了したかが参照される（ステップ９６）。
【００８７】
そして、残りのリードフレーム２が有る場合、すなわち、検査が終了しない（ＮＯ）の場合には、ステップ８５へ進む。
【００８８】
残りのリードフレーム２が無い場合、すなわち、検査が終了した（ＹＥＳ）の場合には、当該ワーク１についての検査が終了される（ステップ９７）。そして、ベルトコンベア１１により、検査済みのワーク１が検査ステーションから送り出され、次回のワーク１が検査ステーションに送り込まれる。
【００８９】
以上のルーチンが繰り返されることにより、ワーク１が全リードフレーム２ａ、２ｂ、２ｃについて全数検査が実行されつつ、検査を省略することができるリードフレームが自動的に選定されて行くことになる。
【００９０】
本実施例において、前記した検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とは併用されている。そして、両者が併用されていることにより、それぞれ単独で使用される場合に比べて、検査の作業効率がより一層向上される。
【００９１】
ここで、次に示す表１は、本実施例によって第１ワークが検査されている場合における検査項目選定部４２および検査リードフレーム選定部５２の選定（ＯＮ）状態、解除（ＯＦＦ）状態を示しており、表２は、同じく第２ワークの場合における両者４２、５２のＯＮ、ＯＦＦを示している。表１においては、ＯＦＦしている検査項目はないが、第１リードフレームがＯＦＦしている。表２においては、第３検査項目がＯＦＦしているが、ＯＦＦしているリードフレームはない。この表１と表２との比較から明らかな通り、検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とを併用した方が、各検査作業回数を減少させることができるため、検査時間を短縮することができ、検査の作業能率を高めることができる。

Figure 0003573489
【００９２】
前記実施例によれば、次の効果が得られる。
（１） コンベア幅が自動的に変更調整されるように構成することにより、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際に、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。
【００９３】
（２） 検査実行装置をＸＹテーブルに搭載することにより、各検査実行装置をベルトコンベア上のワークに対して移動させることができるため、多連多列リードフレーム（マルチリードフレーム）や単位リードフレームの配置が変更された場合に対処することができる。
【００９４】
（３） 検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームを押さえ装置によって押し下げるように構成することにより、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【００９５】
（４） 選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成されているため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００９６】
（５） 多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成されているため、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【００９７】
（６） 検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とを併用することにより、それぞれ単独で使用される場合に比べて、検査の作業効率をより一層高めることができる。
【００９８】
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００９９】
検査ステーションにおいてワークをフローティング支持するコンベアは、弾性を有するベルトを使用して構成するに限らず、ローラコンベアや滑りコンベア等において検査ステーションの部分を独立懸架構造に構成してもよい。
【０１００】
また、コンベアをＣＰＵ制御により送り量を正確に変更調整することができるように構成し、検査実行装置をコンベアと直交する一軸テーブルに搭載してもよい。
【０１０１】
検査項目制御部４０と検査リードフレーム制御部５０とは、それぞれ単独で使用してもよい。
【０１０２】
検査ステーションの数や、検査実行装置の具体的構造は前記実施例に限定されるものではなく、検査項目やリードフレームの諸条件に対応して適宜選定することが望ましい。
【０１０３】
ワークは多連リードフレームや多連多列リードフレーム（多連リードフレームが幅方向に複数列に並べられて一体化されているリードフレーム）に限らず、単一のリードフレームでもよいし、リードフレームがテープ状に連続されたテープ状リードフレームでもよい。
【０１０４】
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野である半導体装置の製造工程における受け入れ検査工程に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、リードフレーム外観検査装置全般に適用することができる。
【０１０５】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。
【０１０６】
コンベア幅が自動的に変更調整されるように構成することにより、検査対象物であるリードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの幅が変更された際には、コンベアの幅が変更後のリードフレームの幅に自動的に変更調整されるため、人手によるコンベア幅の変更調整作業を省略することができる。また、検査ステーションにおいて、フローティング支持されたリードフレームを押さえ装置によって押し下げるように構成することにより、リードフレームの品種の変更に伴ってリードフレームの厚さが変更された場合においても、検査ステーションにおけるリードフレームの押さえ装置によって押さえられる面の位置は変更されないため、検査ステーションにおける焦点合わせ等の人手による微調整は省略することができる。
【０１０７】
選定された検査項目のうち良品が連続する検査項目について選定が自動的に解除され、解除された検査項目については抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成することにより、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い検査項目を求めて、当該検査項目について検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【０１０８】
多連リードフレームのうち良品が連続する単位リードフレームについて選定が自動的に解除され、解除された単位リードフレームについては抜き取り検査が設定されたスキップ回数おきに自動的に実行されるように構成することにより、高信頼性を維持したまま、検査作業の能率を高めることができる。すなわち、抜き取り検査の実施に際して、良品発生の蓋然性の高い単位リードフレームを求めて、当該単位リードフレームについて検査を省略するため、無作為の抽出に比べて高信頼性を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示す一部省略斜視図である。
【図２】本発明の一実施例であるリードフレーム外観検査装置を示すブロック図である。
【図３】各検査ステーションを示す各側面断面図である。
【図４】その作用を説明するための各説明図である。
【図５】検査項目制御部の作用を説明するためのフローチャート図である。
【図６】検査リードフレーム制御部の作用を説明するためのフローチャート図である。
【図７】多連リードフレームを示す平面図である。
【符号の説明】
１…ワーク（多連リードフレーム）、２…リードフレーム（単位リードフレーム）、３…外枠（フレーム）、４…タブ吊りリード、５…タブ、６…ダム部材、７…インナリード、８…アウタリード、９…銀めっき被膜、１０…リードフレーム外観検査装置、１１…ベルトコンベア、１２…固定側ベルト、１３…可動側ベルト、１４…コンベア幅変更用送りねじ装置、１５…サーボモータ、１６…コントローラ、１７…ストッパ、１８…ワーク検出装置、１９…押さえ装置、２０…ＸＹテーブル、２１…第１検査ステーション、２２…第１検査実行装置、２３…第２検査ステーション、２４…第２検査実行装置、２５…第３検査ステーション、２６…第３検査実行装置、３０…ＣＰＵ（中央演算処理装置）、３１…コンベア幅制御部、３２…検査実行装置の位置制御部、４０…検査項目制御部、４１…全検査項目記憶部、４２…検査項目選定部、４３ａ、４３ｂ・・・…選定検査項目良品計数部、４４…連続良品数設定部、４５…検索部、４６…解除部、４７ａ、４７ｂ・・・…選定検査項目スキップ回数計数部、４８…スキップ回数設定部、４９…スキップ回数クリア部、５０…検査リードフレーム制御部、５１…全リードフレーム記憶部、５２…検査リードフレーム選定部、５３ａ、５３ｂ・・・…選定リードフレーム良品計数部、５４…連続良品数設定部、５５…検索部、５６…解除部、５７ａ、５７ｂ・・・…選定リードフレームスキップ回数計数部、５８…選定リードフレームスキップ回数設定部、５９…スキップ回数クリア部。[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a lead frame appearance inspection technology, and more particularly to a lead frame appearance inspection technology for automatically inspecting the appearance of a lead frame used for assembling a semiconductor device, such as a plating state and deformation of an inner lead. The present invention relates to a technology effective for use in a lead frame acceptance inspection process in a device manufacturing factory and a shipping inspection process in a lead frame manufacturing factory.
[0002]
[Prior art]
Recent packaging technologies in the field of semiconductor technology tend to have a larger number of pins and a narrower pitch (narrower pin pitch) with higher integration and higher functionality of semiconductor devices. Therefore, a lead frame used for assembling a semiconductor device is required to have high reliability without lead deformation in accordance with such a tendency.
For this reason, in a semiconductor device manufacturing factory, a lead frame acceptance inspection is performed.
[0003]
In the lead frame acceptance inspection process, a 100% inspection or a sampling inspection by random sampling is performed.
[0004]
As an example in which a lead frame is described, there is “P Soldering Technology for Electronic Materials” published by the Industrial Research Institute, Inc., published on January 15, 1985, P183 to P185.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, as a lead frame appearance inspection apparatus used for lead frame acceptance inspection, a lead frame is conveyed by a conveyor, and an appearance inspection is performed by image recognition using a television camera at an inspection station set during the conveyance. What was configured to be implemented was considered.
However, in the above-described lead frame appearance inspection apparatus, every time the type of the lead frame to be inspected is changed, manual operation such as changing the width of the conveyor or focusing a television camera installed in the inspection station is required. Since the operation is required, there is a problem that the operation efficiency of the lead frame visual inspection device is reduced.
[0006]
In addition, there is a problem that the inspection time is long in the 100% inspection. On the other hand, in the sampling inspection by random sampling, there is a risk that a defective product included in an uninspected product may be missed, so that the reliability of the inspection work is low.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a lead frame appearance inspection apparatus capable of improving the operation efficiency of the apparatus and the efficiency and reliability of inspection work.
[0008]
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The outline of a typical invention disclosed in the present application will be described as follows.
[0010]
That is,A lead frame is formed by a belt conveyor having a pair of belts stretched in parallel with each other.In a lead frame visual inspection device which is transported and a visual inspection is performed at an inspection station set in the middle of the transport,
The pair of belts are each formed using an elastic material,
At least one belt of the pair of belts is configured to be moved by a conveyor width changing device in a direction perpendicular to the conveying direction with respect to the other belt, and the conveyor width changing device is controlled by a controller to control the belt width. It is configured to change and adjust the amount of movement of the belt,
In the inspection station of the conveyor, the lead frame is opposed to the elastic force of the belt conveyor.It is characterized in that a press-down device is provided.
[0011]
Further, in a lead frame appearance inspection device that performs an appearance inspection of a plurality of items for a lead frame,
Multiple for the lead frameInspectionAn inspection execution unit that performs an appearance inspection of the item;
SaidpluralAn inspection item selection section for selecting and specifying inspection items;
Selected by this inspection item selection sectionpluralEach selected inspection item non-defective counting section for counting the number of non-defective items for each inspection item,
A continuous non-defective number setting unit for presetting the number of times that non-defectives should be continuous;
thisSet value of the continuous good product number setting section and the above-mentioned selected inspection item good product counting sectionCountedA search unit that compares each of the count values and searches for an inspection item whose count value matches the set value;
A cancellation unit for canceling the designation of the inspection item selection unit for the inspection item searched by the search unit;
A skip frequency counting unit that counts the number of skips that have not been inspected for the inspection item whose selection has been canceled,
A skip count setting unit that presets a skip count that is not inspected for the inspection item whose selection has been canceled,
thisThe setting value of the skip count setting unit and the skip count counterCountedA skip count clearing unit that compares the count value with the set value and clears the count value of the skip count counting unit when the count value matches the set value.
[0012]
further,Multiple unit lead frames are continuousIn a lead frame appearance inspection device that performs an appearance inspection for each unit lead frame for multiple lead frames,
An inspection execution unit that performs an appearance inspection for each unit lead frame for the multiple lead frames;
A unit lead frame selecting unit that selects and specifies the unit lead frame,
A non-defective product counting unit for each selected unit lead frame for counting the number of non-defective products for each of the unit lead frames selected by the unit lead frame selecting unit;
A continuous non-defective number setting unit for presetting the number of times that non-defectives should be continuous;
thisSet value of continuous good product number setting unit and each selection unit lead frame good product counting unitCountedA search unit that compares the count value with each other and searches for a unit lead frame whose count value matches the set value;
A canceling unit for canceling the designation of the unit lead frame selecting unit for the unit lead frame searched by the searching unit;
A skip frequency counting unit that counts the number of skips that have not been inspected for the unit lead frame whose selection has been released,
A skip count setting unit that presets a skip count that is not checked for the unit lead frame whose selection has been canceled,
thisThe setting value of the skip count setting unit and the skip count counterCountedA skip count clearing unit that compares the count value with the set value and clears the count value of the skip count counting unit when the count value matches the set value.
[0013]
[Action]
According to the first means, when the width of the lead frame is changed in accordance with the change of the type of the lead frame to be inspected, the width of the conveyor is automatically changed to the width of the changed lead frame. Therefore, the operation of manually changing and adjusting the conveyor width can be omitted. Further, when the inspection execution device is configured to move and adjust with respect to the conveyor, even if the inspection target position of the lead frame is changed due to the change of the type of the lead frame, the relative position of the inspection execution device is changed. The displacement can be dealt with automatically.
[0014]
In addition, in the inspection station, since the lead frame which is floatingly supported is pressed down by the pressing device, the position of the surface of the lead frame pressed by the pressing device is always constant regardless of the thickness of the lead frame. Therefore, even when the thickness of the lead frame is changed in accordance with the change of the type of the lead frame, the position of the surface held by the lead frame holding device in the inspection station is not changed. Fine adjustment by hand can be omitted.
[0015]
According to the above-described second means, the selection of the inspection items in which the non-defective products are consecutive among the selected inspection items is automatically canceled, and the sampling inspection is automatically performed by the skip count setting unit for the canceled inspection items. Since it is executed, the efficiency of inspection work can be improved while maintaining high reliability. That is, in performing the sampling inspection, an inspection item having a high probability of occurrence of a non-defective product is determined, and the inspection is omitted for the inspection item. Therefore, higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[0016]
According to the third means, the selection is automatically canceled for a unit lead frame in which consecutive non-defective products are included in the multiple lead frames, and the sampling inspection is automatically performed by the skip count setting unit for the released unit lead frame. Therefore, the efficiency of inspection work can be improved while maintaining high reliability. That is, at the time of performing the sampling inspection, a unit lead frame having a high probability of occurrence of a non-defective product is obtained, and the inspection of the unit lead frame is omitted, so that higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[0017]
【Example】
FIG. 1 is a partially omitted perspective view showing a lead frame appearance inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a block diagram showing a lead frame appearance inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. FIG. 4 et seq. Are explanatory diagrams for explaining the operation.
[0018]
In the present embodiment, the lead frame appearance inspection apparatus according to the present invention is configured to perform an appearance inspection on a plurality of items of a multiple lead frame for each unit lead frame.
[0019]
Here, an inspection object of the lead frame appearance inspection device, that is, a multiple lead frame which is a work of the lead frame appearance inspection device will be briefly described. In general, a multiple lead frame is configured by arranging a plurality of unit lead frames in one or more rows, and a semiconductor device manufacturing factory uses a multiple standard multiple lead frame. Multiple lead frames of each standard differ in various conditions such as width, thickness, length, arrangement and number of unit lead frames, shape, structure and the like. Therefore, the lead frame appearance inspection apparatus performs an appearance inspection properly for each unit lead frame (hereinafter, referred to as a lead frame) 2 for each standard of a multiple lead frame (hereinafter, referred to as a work) 1 as the work. It is desirable to be configured so that it can be implemented efficiently.
[0020]
In this embodiment, as shown in FIG. 7, it is assumed that the work 1 has three lead frames 2 arranged in a row for the sake of convenience. Each lead frame 2 has an outer frame (frame) 3 formed in a rectangular frame shape, a pair of tab hanging leads 4 protruding from the outer frame 3, and a pair of tab hanging leads 4. Tab 5, a pair of dam members 6 arranged on both sides of the tab 5 in the outer frame 3 and spanned on the outer frame 3, and both of the dam members 6, 6 project from the tab 5 in the direction of the tab 5. It has a plurality of inner leads 7 whose leading end portions are arranged close to the tab 5, and a plurality of outer leads 8 protruding from both dam members 6, 6 so as to be in series with the respective inner leads 7. . In order to enhance bondability, the inner lead 7 is partially covered with a silver plating film 9. In addition, when it is necessary to distinguish and describe each lead frame 2, they are referred to as a first lead frame 2a, a second lead frame 2b, and a third lead frame 2c.
[0021]
The lead frame visual inspection apparatus 10 according to the present embodiment includes a belt conveyor 11 for transporting a multiple lead frame 1 as a work, and the belt conveyor 11 is horizontally moved so as to transport the work 1 in one direction. Is laid. The belt of the belt conveyor 11 is made of an elastic material such as rubber or resin, and has a circular belt shape in cross section. Two belts 12 and 13 are stretched in parallel with each other. One belt (hereinafter, referred to as a movable side belt) 13 is configured to be able to move in parallel with the other belt (hereinafter, referred to as a fixed side belt) 12 in a direction perpendicular to the transport direction. That is, a feed screw device 14 for changing the conveyor width is provided at an intermediate position of the movable side belt 13 so as to move the movable side belt 13 in parallel, and this feed screw device 14 is driven to rotate by the servo motor 15. Is configured. The servo motor 15 is movable by the feed screw device 14 by being controlled by the controller 16.~ sideThe translation amount of the belt 13 is changed and adjusted. The controller 16 of the servomotor 15 receives a command from a conveyor width control unit 31 constructed in a central processing unit (hereinafter, referred to as a CPU) 30 to be described later and controls the rotation of the servomotor 15. I have.
[0022]
On the other hand, a first inspection station, a second inspection station, and a third inspection station are sequentially set from the upstream side while the belt conveyor 11 is being conveyed. Each inspection station is provided with a stopper 17 and a work detection device 18, respectively. The stopper 17 and the work detection device 18 are shown only in the third inspection station in FIG. The stopper 17 is configured to stop the work 1 sent by the belt conveyor 11 at a predetermined position of the inspection station. The work detection device 18 is configured by an optical detection device, and is configured to detect the work 1 sent by the belt conveyor 11 at a predetermined position of the inspection station and stop the conveyance of the belt conveyor 11 intermittently. .
[0023]
Each inspection station is provided with a holding device 19. The holding device 19 is configured to hold down the work 1 supported between the conveyor belts 12 and 13 at each station from above against the elastic force of the conveyor belts 12 and 13. In each inspection station, the work 1 floatingly supported by the elastic force of the conveyor belts 12 and 13 is pressed down by the pressing device 19, and the horizontal height position of the surface of the work 1 pressed by the pressing device 19 is Is always constant irrespective of its thickness. Therefore, even when the thickness of the work 1 is changed in accordance with the change of the type of the work 1, the horizontal height position of the surface of the work 1 held by the holding device 19 in each inspection station is not changed. Fine adjustment by hand at the station can be omitted.
[0024]
As shown in FIG. 3A, the first inspection station 21 is provided with a first inspection execution device 22. The first inspection execution device 22 is an XY table that moves horizontally with respect to the belt conveyor 11. 20. The first inspection execution device 22 includes a television camera, an image recognition circuit that processes the image and recognizes desired information, and a determination circuit that determines a non-defective / defective product based on the recognized information. The inspection is performed on the inner lead 7 of the lead frame 2. The inspection items of the first inspection execution device 22 include the size, displacement, dirt, quality, scratches, unevenness of the silver plating film 9 on the inner lead 7, and deformation of the inner lead in the XY directions (in the plane). .
[0025]
As shown in FIG. 3B, the second inspection station 23 is provided with a second inspection execution device 24, and the second inspection execution device 24 is an XY table that moves horizontally with respect to the belt conveyor 11. 20. In FIG. 1, for convenience, the second inspection execution device 24Only is shown. The second inspection execution device 24 includes a television camera, an image recognition circuit that processes the image and recognizes desired information, and a determination circuit that determines a non-defective / defective product based on the recognized information. The appearance inspection is performed on the entire lead frame 2. The resolution of the second test execution device 24 is set lower than the resolution of the first test execution device 22. Second inspection execution device 24Inspection items include dirt and scratches on the lead frame 2.
[0026]
As shown in FIG. 3C, the third inspection station 25 is provided with a third inspection execution device 26, and the third inspection execution device 26 is an XY table that moves horizontally with respect to the belt conveyor 11. 20. The third inspection execution device 26 includes an optical surface displacement meter composed of a light projecting unit and a light receiving unit, a recognition circuit that processes measurement results from the light receiving unit to recognize desired information, A determination circuit for determining a non-defective / defective product based on the inspection result, and inspects the inner lead 7 for bending in the Z direction (thickness direction).
[0027]
By the way, the light projecting section is composed of a semiconductor laser and a light projecting lens, and the laser light of wavelength 600 to 1000 nm emitted from the semiconductor laser is condensed by the light projecting lens into a laser beam having a beam waist several μm. The light is projected from the vertical direction onto the upper surface of the inner lead 7 of the lead frame 2. The light receiving section includes a condenser lens and a position detecting element as a photosensor. The light is projected from the light projecting section onto the upper surface of the lead frame 2, and the light reflected by the lead frame 2 is collected by the condenser lens. It is configured to emit light and form an image on the position detection element. A recognition circuit is connected to the position detection element.
[0028]
Further, the lead frame appearance inspection apparatus 10 according to the present embodiment includes a CPU 30, and the CPU 30 is constructed from a personal computer, a workstation, a microcomputer, and the like. The CPU 30 includes a conveyor width control unit 31, a position control unit 32 of the test execution device, a test item control unit 40, and a test lead frame control unit 50.
[0029]
The conveyor width controller 31 is connected to the controller 16 of the servo motor 15 for changing and adjusting the conveyor width. The conveyer width control unit 31 is configured to, when the type of the multiple lead frames as the work 1 is changed, instruct the controller 16 of the changed multiple lead frame width of the work 1. For example, when the type of the work 1 after the change is specified by the product number, the control unit 31 corresponds to the product number specified in the table in which the product number and the multiple lead frame width correspond in advance. The multiple lead frame width is searched, and the searched multiple lead frame width is instructed to the controller 16.
[0030]
The position control unit 32 of the inspection execution device is connected to a controller 20a that drives and controls the XY table 20 provided at each inspection station. By the way, when the arrangement of the lead frames and the size of the lead frames are changed due to the change of the type of the work 1, the field of view of the television camera and the observation position of the laser surface displacement meter are changed. It is necessary to correct the positions of 22, 24 and 26 with respect to the belt conveyor 11. In order to address this need, a position control unit 32 of the inspection execution device is provided. In other words, the positions of the inspection execution devices 22, 24, and 26 with respect to the belt conveyor 11 are controlled by the position control unit 32 according to the control of the XY table 20, which will be described later, according to the change of the type of the work 1. Changes are automatically adjusted.
[0031]
The inspection item control unit 40 includes a total inspection item storage unit 41 in which all items to be visually inspected for the work 1 are stored, and a plurality of inspection items out of all inspection items stored in the all inspection item storage unit 41. An inspection item selection unit 42 for selecting and specifying an item, and a selection inspection item good item counting unit (hereinafter, referred to as each counting unit) for counting the number of non-defective products for each inspection item specified by the inspection item selection unit 42. 43a, 43b,..., A continuous good product number setting unit 44 for presetting the number of times that good products should be continued, and a continuous good product number setting unit 44Are compared with the current count values of the counting units 43a, 43b,..., Respectively, and a search unit 45 for searching for an inspection item whose count value matches the set value is searched. A cancellation unit 46 for canceling the designation of the inspection item selection unit 42 for the inspection item that has been selected, and a selection inspection item skip number counting unit (hereinafter, skip number) for counting the number of skips that have not been inspected for the inspection item whose selection has been canceled. .. 47a, 47b,..., 47a, 47b,... Are compared with the count values of the skip count counters 47a, 47b... When the count value matches the set value. And a want to restore skip count clear unit 49.
[0032]
The test item selecting unit 42 is connected to the first test execution device 22, the second test execution device 24, and the third test execution device 26, respectively, and causes these test execution devices to execute the specified test. It has become. The inspection items stored in the entire inspection item storage unit 41 include the size, displacement, dirt, quality, scratches, unevenness, and the like of the silver plating film 9 on the inner lead 7 as the inspection item of the first inspection execution device 22. Deformation of lead in XY directions (in plane), second inspection execution device 24There are dirt and scratches on the lead frame 2 as an inspection item, and bending in the Z direction (thickness direction) of the inner lead 7 as an inspection item of the third inspection execution device 26.
[0033]
The inspection lead frame control unit 50 stores a plurality of lead frames 2 to be visually inspected for the work 1.AllA lead frame storage unit 51, an inspection lead frame selection unit 52 for selecting and specifying each lead frame to be inspected, and each selected lead for counting the number of non-defective products for each lead frame selected by the inspection lead frame selection unit 52. .., A number of continuous good products setting unit 54 that presets the number of times that good products should be continued, a set value of the continuous good product setting unit 54, and each selected lead frame good product counting unit 53a, 53b. , And a search unit 55 for searching for a lead frame whose count value matches the set value, and the inspection lead frame selection unit 52 for the lead frame searched by the search unit 55. And the number of skips not inspected for the lead frame whose selection has been canceled. Selected lead frame skip count counting unit 57, skip count setting unit 58 that presets the skip count for not inspecting the deselected lead frame, set value of skip count setting unit 58, and count of each selected lead frame skip count Part 57a, 57.., and when the count value matches the set value, each selected lead frame skip count counting unit 57a, 57and a skip count clear unit 59 for clearing the count value of b.
[0034]
The inspection lead frame control unit 50 is connected to the first inspection execution device 22, the second inspection execution device 24, and the third inspection execution device 26, respectively, and executes the sampling inspection designated by these inspection execution devices. It is made to let.
[0035]
Next, the operation will be described.
When the work 1 is unloaded onto the belt conveyor 11 by a loading device (not shown), the work 1 is transported by the belt conveyor 11 in the unloading direction. At the first inspection station 21, the second inspection station 23, and the third inspection station 25 set during the transfer, the work 1 is subjected to the appearance inspection instructed by the CPU 30.
[0036]
When the work 1 is sent to the inspection station and comes into contact with the stopper 17 and the work detection device 18 detects that the work 1 has been sent to the inspection station, the transport operation of the belt conveyor 11 is automatically performed. Will be stopped intermittently.
[0037]
When the conveyance of the belt conveyor 11 is intermittently stopped, the work 1 floatingly supported by the elastic force of the conveyor belts 12 and 13 is pushed down by the holding device 19 in each inspection station. In this state, the work 1 is floatingly supported by the elastic force of the conveyor belts 12 and 13, so that the work 1 is pressed against the pressing surface of the pressing device 19 from below. The pressing force of the conveyor belts 12, 13 against the pressing device 19 can be controlled by adjusting the material and tension of the belts 12, 13.
[0038]
Here, since the horizontal height position of the pressing surface of the pressing device 19 is set in advance, the horizontal height position of the upper surface of the work 1 pressed by the pressing device 19 is always constant regardless of the thickness of the work 1. is there. Therefore, even when the thickness of the work 1 is changed in accordance with the change of the type of the work 1, the horizontal height position of the surface of the work 1 held by the holding device 19 in each inspection station is always unchanged without being changed. Therefore, fine adjustment work for manual correction at each inspection station can be omitted.
[0039]
The work 1 supplied to each of the inspection stations 21, 23, and 25 performs an appearance inspection by each of the inspection execution devices 22, 24, and 26 in a state where the horizontal height position is defined by the pressing device 19. Then, the test results of the test execution devices 22, 24, 26 are transmitted to the CPU 30, respectively.
[0040]
Here, since the horizontal height position of the work 1 is always kept constant by the holding device 19, the focal length of the television camera in the first inspection execution device 22 and the second inspection execution device 24 is always kept constant. State. As a result, the imaging of the television camera is always kept constant, so that the inspection accuracy in the first inspection execution device 22 and the second inspection execution device 24 is always maintained constant regardless of the thickness of the work 1. Will be done. Similarly, since the reference distance of the laser surface displacement meter in the third inspection execution device 26 is always kept constant, the inspection accuracy in the third inspection execution device 26 is always constant regardless of the thickness of the work 1. It will be kept constant.
[0041]
When the work 1 is conveyed to the end of the belt conveyor 11 after completion of the predetermined appearance inspection, the work 1 is unloaded from above the belt conveyor 11 by an unloading device (not shown).
[0042]
By the way, when the lead frame width is changed due to the change of the type of the work 1, the work 1 cannot be transported by the belt conveyor 11 depending on the changed lead frame width. That is, it is necessary to change and adjust the distance between the fixed-side belt 12 and the movable-side belt 13.
[0043]
In the present embodiment, the interval between the belts 12 and 13 of the belt conveyor 11 is automatically changed and adjusted to the changed width of the work 1 in accordance with the change in the width of the work 1 due to the change in the type of the work 1. Is done. Therefore, since the operation of manually changing and adjusting the conveyor width can be omitted, the setup time can be greatly reduced, and the operating efficiency of the lead frame visual inspection device can be increased.
[0044]
That is, when the type of the multiple lead frames as the work 1 is changed, the conveyor width control unit 31 sends a control signal corresponding to the changed lead frame width of the work 1 to the controller 16 of the servo motor 15 for changing the conveyor width. Command. In response to this command, the controller 16 controls the servo motor 15 to rotate and drive the feed screw device 14 for changing the conveyor width, as shown in FIG. Is moved by a movement amount corresponding to the width of the work 1 after the change. Since the width of the belt conveyor 11 matches the width of the work 1 after the change by the movement of the movable side belt 13, the work 1 after the type change is in a state of being properly conveyed by the belt conveyor 11.
[0045]
Further, when the arrangement of the lead frames and the size of the lead frames are changed in accordance with the change of the type of the work 1, the field of view of the television camera and the measurement points of the laser surface displacement meter are changed. It is necessary to change and adjust the positions of the belts 22, 24 and 26 with respect to the belt conveyor 11.
[0046]
In the present embodiment, each of the test execution devices 22, 24, and 26 is mounted on the XY table 20, and the XY table 20 is configured to be controlled by the position control unit 32. The positions of the devices 22, 24 and 26 with respect to the belt conveyor 11 are automatically changed and adjusted to the changed conditions of the work 1 in accordance with the change of the type of the work 1. Accordingly, since the operation of manually changing the positions of the inspection execution devices 22, 24, and 26 with respect to the belt conveyor 11 can be omitted, the setup time can be significantly reduced, and the operation efficiency of the lead frame visual inspection device can be reduced. Can be increased.
[0047]
That is, when the type of the multiple lead frames as the work 1 is changed, the position control unit 32 of the inspection execution device stores the coordinates of the reference position set in each lead frame 2 of the changed work 1 in the XY table 20. To the controller 20a. In response to this command, as shown in FIG. 4B, the controller 20a sequentially shifts the XY table 20 so as to correspond to the coordinates of each lead frame 2 on the work 1 after the change. By the shift operation of the XY table 20, the reference position of each inspection execution device 22, 24, 26 matches the reference position of each lead frame 2 in the work 1 after the change, and thus each inspection execution device 22, 24, 26 Can appropriately and sequentially perform the appearance inspection of each lead frame 2 in the work 1 after the change.
[0048]
Next, the operation of the inspection item control unit 40 will be described with reference to FIG.
The inspection item control unit 40 performs a 100% inspection, and executes a control for omitting subsequent inspections for inspection items for which no defect has occurred when a certain number of consecutive failures have not occurred. Since the inspection time is shortened by the amount of the omission of the inspection, the operation efficiency of the lead frame visual inspection device is improved.
[0049]
Before the automatic inspection is started, the number of consecutive good products V, which is a condition for operating the inspection item selection function, is set in the continuous good product number setting unit 44 (step 61).
[0050]
In addition, before the automatic inspection is started, the skip count W which determines the sampling interval (corresponding to the skip count) at which the sampling inspection is executed when the automatic omission function of the inspection item is activated is set in the skip count setting unit 48. Is performed (step 62).
[0051]
Automatic inspection is started (step 63). Then, the inspection item selection unit 42 selects an item to be inspected. That is, the selected inspection item is read from the all inspection item storage unit 41. By the way, at the start time, all inspection items are selected (step 64).
[0052]
Then, the inspection item selection unit 42 first refers to whether or not the first inspection item (for example, the size of the silver plating film 9) has been selected (step 65). If the first inspection item has been selected, the inspection of the first inspection item is executed by the predetermined first inspection execution device 22 in accordance with a command from the inspection item selection unit 42 (step 66).
[0053]
Whether the inspection result of the first inspection item is non-defective is referred to the first inspection execution device 22 that has executed the inspection of the item by the first non-defective counting unit 43a corresponding to the first inspection item (step 67). .
[0054]
If the inspection result is a good product (YES), the count value N of the first good product counting unit 43a is counted up (step 68).
[0055]
Then, the search unit 45 compares whether the current count value N counted up by the first good product counting unit 43a matches the set value V set in the continuous good product number setting unit 44 (step 69). .
[0056]
If not (NO), the process proceeds to step 65. That is, the process proceeds to the inspection for the second inspection item (for example, the displacement of the silver plating film 9).
[0057]
In the case of a match (YES), the search unit 45 transmits a signal to the effect that it matches the cancellation unit 46, and the cancellation unit 46 causes the inspection item selection unit 42 to cancel the selection of the first inspection item. Release is used until the selection is updated in step 72 (step 70). Thereafter, the first inspection item is not inspected until the skip count W. That is, the sampling inspection is performed for the first inspection item.
[0058]
When the selection of the first inspection item is canceled, the count value N of the first non-defective item counting unit 43a is cleared to zero (step 70 '). Then, the process proceeds to step 65.
[0059]
On the other hand, if the inspection result is a defective product (NO) in step 67, the count value N of the first good product counting section 43a is cleared to zero (step 71).
[0060]
In addition, the inspection item selection unit 42 updates the selection of the first inspection item (Step 72). Then, the process proceeds to step 65. That is, the process proceeds to the inspection for the second inspection item.
[0061]
By the way, when the selection of the first inspection item has been canceled in step 65 (NO), the inspection is not performed and the count value M of the first skip counter 47a corresponding to the first inspection item is counted up. Is performed (step 73).
[0062]
In the skip count clearing section 49, the current count value M counted up by the first skip count counting section 47a is used as the skip count setting section 48(Step 74).
[0063]
If not (NO), the skip count clearing unit 49 proceeds to step 65. That is, the process proceeds to the inspection for the second inspection item.
[0064]
If they match (YES), the skip count clearing unit 49 clears the count value M of the first skip count counter 47a to zero (step 75). Then, the process returns to step 66, in which the first inspection execution device 22 executes the appearance inspection for the first inspection item.
[0065]
The above routine is executed for each inspection item. When the routine ends for all the inspection items selected by the inspection item selection unit 42, it is referred to whether or not the lead frame 2 to be inspected in the work 1 has ended (step 76).
[0066]
If there are remaining lead frames 2, that is, if the inspection is not completed (NO), the process proceeds to step 65.
[0067]
When there is no remaining lead frame 2, that is, when the inspection is completed (YES), the inspection for the work 1 is completed (step 77). Then, the inspected work 1 is sent out from the inspection station by the belt conveyor 11, and the next work 1 is sent to the inspection station.
[0068]
By repeating the above-mentioned routine, all the inspection items of the work 1 are inspected for all the inspection items, and the items for which the inspection can be omitted are automatically selected, and the sampling inspection is automatically performed. become.
[0069]
Next, the operation of the inspection lead frame control unit 50 will be described with reference to FIG.
The inspection lead frame control unit 50 performs a 100% inspection on each lead frame 2 of each work 1 and, when a certain number of consecutive failures do not occur in the lead frames, the inspection of the lead frame in which no failure occurs is performed. The control for omitting the inspection is performed. Since the inspection time is shortened by the amount of the omission of the inspection, the efficiency of the inspection operation is improved.
[0070]
Before the automatic inspection is started, the number of consecutive good products V, which is a condition for operating the lead frame selection function, is set in the continuous good product number setting section 54 (step 81).
[0071]
In addition, before the automatic inspection is started, the non-defective skip count W which determines the sampling interval (corresponding to the skip count) at which the sampling inspection is performed when the automatic elimination function of the lead frame is activated is transmitted to the skip count setting unit 58. It is set (step 82).
[0072]
Automatic inspection is started (step 83). Then, the inspection lead frame selecting section 52 selects the lead frame 2 to be inspected. By the way, at the start time, all the lead frames 2a, 2b, 2c are selected (step 84).
[0073]
First, the inspection lead frame selecting unit 52 first refers to whether or not the first lead frame 2a has been selected (step 85). If the first lead frame 2a has been selected, the inspection of the first lead frame 2a is executed in each of the inspection execution devices 22, 24 and 26 in accordance with a command from the inspection lead frame selection unit 52 (step 86).
[0074]
Whether or not the inspection result of the first lead frame 2a is non-defective is referred to each of the inspection execution devices 22, 24, 26 by the first non-defective item counting unit 53a corresponding to the first lead frame 2a (step 87).
[0075]
If the inspection result is a good product (YES), the count value N of the first good product counting unit 53a is counted up (step 88).
[0076]
Then, the search unit 55 compares whether the current count value N counted up by the first good product counting unit 53a matches the set value V set in the continuous good product number setting unit 54 (step 89). .
[0077]
If not (NO), the routine proceeds to step 85. That is, the process proceeds to the inspection for the second lead frame 2b.
[0078]
In the case of a match (YES), the search unit 55 transmits a signal to the effect that it matches to the canceling unit 56, and the canceling unit 56 causes the inspection lead frame selecting unit 52 to cancel the selection of the first lead frame 2a. The release is held until the selection is updated in step 92. (Step 90). Thereafter, the first lead frame 2a is not inspected until the skip count W. That is, the sampling inspection is performed on the first lead frame 2a.
[0079]
When the selection of the first lead frame 2a is released, the count value N of the first non-defective product counting unit 53a is cleared to zero (step 90 '). Then, the process proceeds to step 85. That is, the process proceeds to the inspection for the second lead frame 2b.
[0080]
On the other hand, if the inspection result is a defective product (NO) in step 87, the count value N of the first non-defective product counting section 53a is cleared to zero (step 81).
[0081]
In addition, the inspection lead frame selection unit 52 updates the selection of the first lead frame 2a (step 92). Then, the process proceeds to step 85.
[0082]
By the way, if the selection of the first lead frame 2a has been canceled in step 85 (NO), the inspection is not performed and the count value of the first skip counter 57a corresponding to the first lead frame 2a is counted. It is raised (step 93).
[0083]
Then, the skip count clearing section 59 compares whether the current count value M counted up by the first skip count counting section 57a matches the set value W set in the skip count setting section 58 (step). 94).
[0084]
If not (NO), the skip count clearing section 59 proceeds to step 85. That is, the process proceeds to the inspection for the second lead frame 2b.
[0085]
If they match (YES), the skip count clearing unit 59 clears the count value M of the first skip count counter 57a to zero (step 85). Then, the process returns to step 86, and the appearance inspection of the first lead frame 2a is executed by each of the inspection execution devices 22, 24, and 26.
[0086]
The above routine is executed for each lead frame 2a, 2b, 2c. When the routine is completed for all the lead frames 2a, 2b, and 2c selected by the inspection lead frame selection unit 52, it is referred to whether all the lead frames 2 to be inspected in the work 1 have been completed (step 96).
[0087]
Then, when there is the remaining lead frame 2, that is, when the inspection is not completed (NO), the process proceeds to step 85.
[0088]
When there is no remaining lead frame 2, that is, when the inspection is completed (YES), the inspection for the work 1 is completed (step 97). Then, the inspected work 1 is sent out from the inspection station by the belt conveyor 11, and the next work 1 is sent to the inspection station.
[0089]
By repeating the above routine, the lead frame that can omit the inspection while the entire inspection of the work 1 is performed on all the lead frames 2a, 2b, and 2c is automatically selected.
[0090]
In the present embodiment, the inspection item control unit 40 and the inspection lead frame control unit 50 are used together. In addition, by using both of them, the work efficiency of the inspection is further improved as compared with the case where each is used alone.
[0091]
Here, Table 1 below shows the selected (ON) state and the released (OFF) state of the inspection item selection unit 42 and the inspection lead frame selection unit 52 when the first work is inspected according to the present embodiment. Table 2 also shows ON and OFF of both 42 and 52 in the case of the second work. In Table 1, no inspection item is turned off, but the first lead frame is turned off. In Table 2, the third inspection item is OFF, but no lead frame is OFF. As is clear from the comparison between Table 1 and Table 2, the combined use of the inspection item control unit 40 and the inspection lead frame control unit 50 can reduce the number of inspection operations, thereby shortening the inspection time. And the efficiency of inspection work can be improved.
Figure 0003573489
[0092]
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) Conveyor width is automatically changed and adjusted, so that when the width of the lead frame is changed due to the change of the type of the lead frame to be inspected, the width of the conveyor is changed. Since the width is automatically changed and adjusted to the width of the lead frame later, the operation of manually changing and adjusting the width of the conveyor can be omitted.
[0093]
(2) By mounting the inspection execution device on the XY table, each inspection execution device can be moved with respect to the work on the belt conveyor, so that a multiple lead frame (multi-lead frame) or a unit lead frame can be used. Can be dealt with in the case where the arrangement is changed.
[0094]
(3) In the inspection station, a configuration is adopted in which the holding frame is pressed down by the holding device so that the thickness of the lead frame is changed in accordance with a change in the type of the lead frame. Since the position of the surface held by the lead frame holding device is not changed, manual fine adjustment such as focusing at the inspection station can be omitted.
[0095]
(4) Among the selected inspection items, the selection is automatically canceled for the inspection items in which non-defective products continue, and for the canceled inspection items, the sampling inspection is automatically executed every set skip number. With this configuration, the efficiency of inspection work can be improved while maintaining high reliability. That is, in performing the sampling inspection, an inspection item having a high probability of occurrence of a non-defective product is determined, and the inspection is omitted for the inspection item. Therefore, higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[0096]
(5) The selection is automatically canceled for the unit lead frame in which the non-defective products are consecutive among the multiple lead frames, and the sampling inspection is automatically executed for the released unit lead frame at every set skip number. Therefore, the efficiency of inspection work can be improved while maintaining high reliability. That is, at the time of performing the sampling inspection, a unit lead frame having a high probability of occurrence of a non-defective product is obtained, and the inspection of the unit lead frame is omitted, so that higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[0097]
(6) By using the inspection item control unit 40 and the inspection lead frame control unit 50 together, the inspection work efficiency can be further improved as compared with the case where each is used alone.
[0098]
Although the invention made by the inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the embodiments, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the invention. Nor.
[0099]
The conveyor for floatingly supporting the work in the inspection station is not limited to the configuration using the elastic belt, and the inspection station may be configured to have an independent suspension structure in a roller conveyor, a sliding conveyor, or the like.
[0100]
Further, the conveyor may be configured so that the feed amount can be accurately changed and adjusted by CPU control, and the inspection execution device may be mounted on a one-axis table orthogonal to the conveyor.
[0101]
The inspection item control unit 40 and the inspection lead frame control unit 50 may be used independently.
[0102]
The number of inspection stations and the specific structure of the inspection execution device are not limited to those in the above-described embodiment, but are desirably selected as appropriate according to the inspection items and various conditions of the lead frame.
[0103]
The work is not limited to a multiple lead frame or a multiple lead frame (a lead frame in which multiple lead frames are arranged in a plurality of rows in the width direction and integrated), but may be a single lead frame or a lead frame. A tape-shaped lead frame in which the frame is continuous in a tape shape may be used.
[0104]
In the above description, the case where the invention made by the present inventor is mainly applied to the acceptance inspection process in the manufacturing process of the semiconductor device, which is the background field of application, has been described. However, the present invention is not limited thereto. The present invention can be applied to all visual inspection devices.
[0105]
【The invention's effect】
The effect obtained by the representative one of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
[0106]
By configuring the conveyor width to be changed and adjusted automatically, when the width of the lead frame is changed due to the change of the type of the lead frame to be inspected, the width of the conveyor is changed after the change. Since the width of the lead frame is automatically changed and adjusted, the operation of changing the width of the conveyor by hand can be omitted. Further, by configuring the inspection station to push down the floating frame supported by the holding device by the holding device, even when the thickness of the lead frame is changed due to the change of the type of the lead frame, the lead at the inspection station is changed. Since the position of the surface held by the frame holding device is not changed, manual fine adjustment such as focusing at the inspection station can be omitted.
[0107]
A configuration shall be configured so that the selection of inspection items with consecutive good products among the selected inspection items is automatically canceled, and for the canceled inspection items, the sampling inspection is automatically executed at the set skip count. Accordingly, the efficiency of the inspection operation can be improved while maintaining high reliability. That is, in performing the sampling inspection, an inspection item having a high probability of occurrence of a non-defective product is determined, and the inspection is omitted for the inspection item. Therefore, higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[0108]
Selection is automatically canceled for a unit lead frame in which non-defective products continue in the multiple lead frames, and for the released unit lead frame, a sampling inspection is automatically executed every set skip number. Thus, the efficiency of the inspection operation can be improved while maintaining high reliability. That is, at the time of performing the sampling inspection, a unit lead frame having a high probability of occurrence of a non-defective product is obtained, and the inspection of the unit lead frame is omitted, so that higher reliability can be maintained as compared with random extraction.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a partially omitted perspective view showing a lead frame appearance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing a lead frame appearance inspection apparatus according to one embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side sectional view showing each inspection station.
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the operation.
FIG. 5 is a flowchart illustrating an operation of an inspection item control unit.
FIG. 6 is a flowchart for explaining the operation of the inspection lead frame control unit.
FIG. 7 is a plan view showing a multiple lead frame.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Work (multiple lead frame), 2 ... Lead frame (unit lead frame), 3 ... Outer frame (frame), 4 ... Tab suspension lead, 5 ... Tab, 6 ... Dam member, 7 ... Inner lead, 8 ... Outer lead, 9: silver plating film, 10: lead frame appearance inspection device, 11: belt conveyor, 12: fixed side belt, 13: movable side belt, 14: feed screw device for changing the conveyor width, 15: servo motor, 16 ... Controller, 17 Stopper, 18 Work detection device, 19 Pressing device, 20 XY table, 21 First inspection station, 22 First inspection execution device, 23 Second inspection station, 24 Second inspection execution Device, 25: third inspection station, 26: third inspection execution device, 30: CPU (central processing unit), 31: conveyor width control unit, 32: inspection Position control unit of the execution device, 40: inspection item control unit, 41: all inspection item storage unit, 42: inspection item selection unit, 43a, 43b ... selected inspection item good product counting unit, 44 ... continuous good product number setting unit .., 45... Search unit, 46... Release unit, 47 a, 47 b... Selected inspection item skip number counting unit, 48. All lead frame storage units, 52 ... inspection lead frame selection units, 53a, 53b ... selected lead frame good product counting unit, 54 ... continuous good product number setting unit, 55 ... search unit, 56 ... release units, 57a, 57b ... ... selection lead frame skip number of times counting unit, 58 ... selected lead frame skip count setting unit, 59 ... skip count clear unit.

Claims (5)

互いに平行に張設された一対のベルトを有するベルトコンベアによってリードフレームが搬送されて、その搬送途中に設定された検査ステーションにて外観検査が実施されるリードフレーム外観検査装置において、
前記一対のベルトは弾性材料が用いられてそれぞれ形成されており、
前記一対のベルトの少なくとも一方のベルトは他方のベルトに対して搬送方向と直角方向にコンベア幅変更装置によって移動されるように構成されており、コンベア幅変更装置はコントローラに制御されることにより前記ベルトの移動量を変更調整するように構成されており、
前記コンベアの検査ステーションには前記リードフレームを前記ベルトコンベアの弾性力に抗して押し下げる押さえ装置が設備されていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。 The lead frame is transported by a belt conveyor having a pair of belts stretched in parallel with each other, and in a lead frame visual inspection device in which a visual inspection is performed at an inspection station set in the middle of the transport,
The pair of belts are each formed using an elastic material,
At least one belt of the pair of belts is configured to be moved by a conveyor width changing device in a direction perpendicular to the conveying direction with respect to the other belt, and the conveyor width changing device is controlled by a controller to control the belt width. It is configured to change and adjust the amount of movement of the belt,
A lead frame appearance inspection device , wherein a holding device for pressing down the lead frame against the elastic force of the belt conveyor is provided at the conveyor inspection station . 前記検査ステーションには、前記一対のベルトを含む平面に対して水平移動する検査実行装置が設置されていることを特徴とする請求項１に記載のリードフレーム外観検査装置。The lead frame appearance inspection device according to claim 1 , wherein an inspection execution device that horizontally moves with respect to a plane including the pair of belts is installed at the inspection station. リードフレームについて複数の項目の外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記リードフレームについて複数の検査項目の外観検査を実行する検査実行部と、
前記複数の検査項目を選択して指定する検査項目選定部と、
この検査項目選定部で選定された複数の検査項目について良品数をそれぞれ計数する各選定検査項目良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定検査項目良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した検査項目を検索する検索部と、
この検索部によって検索された検査項目について前記検査項目選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された検査項目について検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された検査項目について検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、
を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。In a lead frame appearance inspection device that performs an appearance inspection of a plurality of items for a lead frame,
An inspection execution unit that performs an appearance inspection of a plurality of inspection items for the lead frame;
An inspection item selection unit that selects and specifies the plurality of inspection items,
Each selected inspection item non-defective item counting unit for counting the number of non-defective items for a plurality of inspection items selected by the inspection item selection unit,
A continuous non-defective number setting unit for presetting the number of times that non-defectives should be continuous;
A search unit each selected inspection item good counting unit and the set value of the continuous good number setting unit compares each a count value obtained by counting, searches the inspection item count matches the set value,
A cancellation unit for canceling the designation of the inspection item selection unit for the inspection item searched by the search unit;
A skip frequency counting unit that counts the number of skips that have not been inspected for the inspection item whose selection has been canceled,
A skip count setting unit that presets a skip count that is not inspected for the inspection item whose selection has been canceled,
And comparing the skip count setting unit setting said skip count count value counting section has counted, the skip count clear unit count clears the count value of said skip count counting unit when a match with the set value ,
A lead frame visual inspection device, comprising: 複数の単位リードフレームが連続した多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実施するリードフレーム外観検査装置において、
前記多連リードフレームについて各単位リードフレーム毎に外観検査を実行する検査実行部と、
前記単位リードフレームを選択して指定する単位リードフレーム選定部と、
この単位リードフレーム選定部で選定された各単位リードフレームについて良品数をそれぞれ計数する各選定単位リードフレーム良品計数部と、
良品が連続すべき回数を予め設定する連続良品数設定部と、
この連続良品数設定部の設定値と前記各選定単位リードフレーム良品計数部が計数した計数値とをそれぞれ比較し、計数値が設定値に一致した単位リードフレームを検索する検索部と、
この検索部によって検索された単位リードフレームについて前記単位リードフレーム選定部の指定を解除する解除部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しなかったスキップ回数を計数するスキップ回数計数部と、
選定が解除された単位リードフレームについて検査しないスキップ回数を予め設定するスキップ回数設定部と、
このスキップ回数設定部の設定値と前記スキップ回数計数部が計数した計数値とを比較し、計数値が設定値と一致したときに前記スキップ回数計数部の計数値をクリアするスキップ回数クリア部と、
を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。 In a lead frame appearance inspection apparatus that performs an appearance inspection for each unit lead frame for a multiple lead frame in which a plurality of unit lead frames are continuous ,
An inspection execution unit that performs an appearance inspection for each unit lead frame for the multiple lead frames;
A unit lead frame selecting unit that selects and specifies the unit lead frame,
A non-defective product counting unit for each selected unit lead frame for counting the number of non-defective products for each of the unit lead frames selected by the unit lead frame selecting unit;
A continuous non-defective number setting unit for presetting the number of times that non-defectives should be continuous;
A search unit set value and the respective selection unit lead frame good counting section of the continuous good number setting unit compares each a count value obtained by counting, to search for the unit lead frame count matches the set value,
A canceling unit for canceling the designation of the unit lead frame selecting unit for the unit lead frame searched by the searching unit;
A skip frequency counting unit that counts the number of skips that have not been inspected for the unit lead frame whose selection has been released,
A skip count setting unit that presets a skip count that is not checked for the unit lead frame whose selection has been canceled,
And comparing the skip count setting unit setting said skip count count value counting section has counted, the skip count clear unit count clears the count value of said skip count counting unit when a match with the set value ,
A lead frame visual inspection device, comprising: 請求項４に記載のリードフレーム外観検査装置であって、The lead frame appearance inspection device according to claim 4,
請求項３に記載の各部を備えていることを特徴とするリードフレーム外観検査装置。  A lead frame visual inspection device comprising the components according to claim 3.
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