JPH06249629A - Method and device for inspecting electronic part - Google Patents

Method and device for inspecting electronic part

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JPH06249629A
JPH06249629A JP5038025A JP3802593A JPH06249629A JP H06249629 A JPH06249629 A JP H06249629A JP 5038025 A JP5038025 A JP 5038025A JP 3802593 A JP3802593 A JP 3802593A JP H06249629 A JPH06249629 A JP H06249629A
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electronic component
lead row
laser
row
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Hiroshi Sakurai
博 桜井
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Abstract

PURPOSE:To simultaneously detect the floating, omission, and abnormal inter- lead pitch of leads with a simpler constitution. CONSTITUTION:A laser unit 26 is constituted of a laser emitting section 27a which emits laser light 32 toward the lead row of electronic parts 18 and light receiving section 27b which receives the laser light 32 passed through the lead row. In addition, the laser unit 26 is inclined so that the laser light 32 can be obliquely emitted against the lead row of the parts 18 from the top to the bottom and can be obliquely received by the light receiving section 27b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品をプリント基
板に実装する際に、フラットパッケージIC等のリード
列を構成するリードの異常を検知する電子部品の検査方
法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting an electronic component for detecting an abnormality of a lead forming a lead row of a flat package IC or the like when mounting the electronic component on a printed circuit board. .

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品には、フラットパッケージIC
(以下、ICと略す)等のように、パッケージの側辺に
多数本のリードを並設したリード列を備えるものが良く
知られている。このようなICにおいては、リードの変
形によって、一部のリードが他のリードより浮いていた
り、あるいは隣設されるリードとのピッチが狭く(広
く)なっている場合があり、このようなリードの不揃い
が生じたICを基板に装着すると、リードの未接続や短
絡が生じて導通不良を招く原因となる。
2. Description of the Related Art Flat package ICs are used for electronic parts.
It is well known that a lead row in which a large number of leads are arranged in parallel is provided on the side of the package, such as (hereinafter abbreviated as IC). In such an IC, due to deformation of the leads, some leads may float above other leads, or the pitch between adjacent leads may become narrower (wider). If an IC having a non-uniformity is attached to the substrate, the leads may be disconnected or short-circuited, leading to conduction failure.

【0003】そこで、係る不都合を防止すべく、基板へ
の実装前に各ICのリードの状態を検査して、上記のよ
うな不都合を招く虞があるICを事前に選別するように
している。
Therefore, in order to prevent such inconvenience, the state of the leads of each IC is inspected before mounting on the substrate, and ICs that may cause the above inconvenience are selected in advance.

【0004】上記のような、リードの検査装置としては
種々提案されており、例えば、CCD等の撮像機を用い
てリードを撮影し、この撮影された画像を処理装置にお
いて画像処理することでリードの浮き、欠落及びリード
間ピッチを認識するような装置(特開昭62−2459
06号公報,特開昭63−102294号公報)、ある
いは、投光部からの平行光束をリード側面から照射し、
リードを通過して受光部で受光される平行光束の受光量
を、適正状態のリードに対する基準受光量と比較するこ
とによってリードの浮きを検出するような装置(特開平
3−80600号公報)等が提案されている。
Various types of lead inspection devices as described above have been proposed. For example, a lead is photographed by using an image pickup device such as a CCD, and the photographed image is processed by a processing device. Device for recognizing floating, omission and pitch between leads (Japanese Patent Laid-Open No. 62-2459)
No. 06, JP-A-63-102294), or irradiating a parallel light flux from the light projecting portion from the side surface of the lead,
A device for detecting the floating of the lead by comparing the amount of received parallel light flux that passes through the lead and is received by the light receiving unit with the reference amount of received light for the lead in proper condition (Japanese Patent Laid-Open No. 3-80600), etc. Is proposed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭62−245906号公報,特開昭63−1022
94号公報に示されるような装置では、リードの浮き、
欠落及リード間ピッチを同時に検査できる点で有利であ
るが、CCD等の撮像機や画像処理装置を必要とするの
で装置自体が大型化するばかりか撮像機の導入により設
備費用が高価になるという不都合がある。一方、上記特
開平3−80600号公報に示される装置では、一対の
投光部、受光部を設けた簡単な構成でリードの浮きを検
知できる点で有利であるが、リードの浮きを検出する上
記一対の投光部、受光部のみではリード間ピッチやリー
ドの欠落を検査することができないという不都合があ
る。
However, the above-mentioned JP-A-62-245906 and JP-A-63-1022 are known.
In a device such as that disclosed in Japanese Patent Publication No. 94, floating of leads,
Although it is advantageous in that it is possible to inspect the gap and the pitch between leads at the same time, it requires an image pickup device such as a CCD or an image processing device, so that not only the device itself becomes large, but also the equipment cost increases due to the introduction of the image pickup device. There is inconvenience. On the other hand, the device disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-80600 described above is advantageous in that the floating of the lead can be detected with a simple configuration provided with a pair of the light projecting unit and the light receiving unit, but the floating of the lead is detected. There is an inconvenience that the pitch between leads and the lack of leads cannot be inspected only by the pair of the light emitting unit and the light receiving unit.

【0006】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、より簡単な構成でリードの浮き、欠落
及びリード間ピッチの異常を同時に検知できる電子部品
の検査方法及びその装置を提供することを目的としてい
る。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and provides an inspection method and apparatus for an electronic component capable of simultaneously detecting floating, missing lead and abnormal lead pitch with a simpler structure. The purpose is to do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
複数本のリードが並設されたリード列を備えた電子部品
の検査方法において、上記電子部品のリード列に対して
その斜め上方から斜め下方に、または斜め下方から斜め
上方に向かう所定の角度で平行光線を照射しつつ、受光
された平行光線のリードによる陰影部間隔を検出するこ
とによって、上記電子部品のリード異常を検知するもの
である。
The invention according to claim 1 is
In a method of inspecting an electronic component including a lead row in which a plurality of leads are arranged in parallel, a predetermined angle from diagonally above to diagonally below or diagonally above from the diagonally downward with respect to the lead row of the electronic component. The lead abnormality of the electronic component is detected by detecting the shadow portion interval due to the lead of the received parallel light while irradiating the parallel light.

【0008】請求項2に係る発明は、複数本のリードが
並設されたリード列を備えた電子部品を検査する電子部
品の検査装置において、上記電子部品のリード列に向け
て平行光線を照射する照射部と、上記リード列を通過し
た平行光線を受光する受光部とを有し、上記電子部品の
リード列の投影検知に基づいてリードの異常を検出する
光線式検知手段を備え、上記平行光線は、上記電子部品
のリード列に対してその斜め上方から斜め下方に、また
は斜め下方から斜め上方に向う所定の角度で照射、受光
されるものである。
According to a second aspect of the present invention, in an electronic component inspection apparatus for inspecting an electronic component having a lead row in which a plurality of leads are arranged in parallel, a parallel light beam is emitted toward the lead row of the electronic component. And a light receiving unit that receives parallel rays that have passed through the lead row, and includes a light ray detection unit that detects an abnormality of the lead based on projection detection of the lead row of the electronic component. The light beam is emitted to and received by the lead row of the electronic component at a predetermined angle from obliquely upward to obliquely downward or obliquely downward to obliquely upward.

【0009】[0009]

【作用】上記請求項1記載の発明によれば、上記平行光
線を、上記電子部品のリード列に対してその斜め上方か
ら斜め下方に、または斜め下方から斜め上方に向う所定
の角度で照射、受光することによって、リード列におけ
る各リードの浮き状態、欠落及びリード間ピッチの状態
を同時に検出することができる。
According to the invention described in claim 1, the parallel rays are irradiated to the lead row of the electronic component at a predetermined angle from obliquely upward to obliquely downward or obliquely downward to obliquely upward. By receiving the light, it is possible to simultaneously detect the floating state of each lead in the lead row, the missing state, and the lead pitch state.

【0010】上記請求項2記載の発明によれば、リード
列における各リードの浮き状態、欠落及びリード間ピッ
チの状態を一対の照射部、受光部からなる光線式検知手
段で同時に検知するこができる。従って、CCD等の撮
像機を用いてリード列の状態を認識するような装置に比
べて、極めて簡単な構成で電子部品の検査を行うことが
可能となり、またCCD等の撮像機を必要としないの
で、設備の小型化、あるいは設備費用の低減を図ること
ができる。
According to the second aspect of the invention, the floating state of each lead in the lead row, the missing state and the state of the lead pitch can be detected simultaneously by the light beam type detecting means consisting of a pair of irradiation section and light receiving section. it can. Therefore, it becomes possible to inspect an electronic component with an extremely simple structure as compared with a device that recognizes the state of the lead row using an image pickup device such as a CCD, and does not require an image pickup device such as a CCD. Therefore, the equipment can be downsized or the equipment cost can be reduced.

【0011】[0011]

【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0012】図1乃至図4は、本発明の電子部品の検査
装置が適用される電子部品実装機の構造を示している。
同図に示すように、電子部品実装機(以下、実装機と略
する)の基台1上には、プリント基板搬送用のコンベア
2が配置され、プリント基板3がこのコンベア2上を搬
送されて所定の装着作業位置で停止されるようになって
いる。
1 to 4 show the structure of an electronic component mounter to which the electronic component inspection apparatus of the present invention is applied.
As shown in the figure, a conveyor 2 for conveying a printed circuit board is arranged on a base 1 of an electronic component mounting machine (hereinafter, abbreviated as a mounting machine), and a printed circuit board 3 is conveyed on the conveyor 2. And is stopped at a predetermined mounting work position.

【0013】上記コンベア2の側方には、部品供給部4
が配置されている。この部品供給部4は、多数列のテー
プフィーダ4aを備えており、各テープフィーダ4aは
それぞれ、IC、トランジスタ、コンデンサ等の小片状
の電子部品を所定間隔おきに収納、保持したテープがリ
ールから導出されるようにするとともに、テープ繰り出
し端にはラチェット式の送り機構を具備し、後述のヘッ
ドユニット5によりチップ部品がピックアップされるに
つれてテープが間欠的に繰り出されるようになってい
る。
On the side of the conveyor 2, a parts supply section 4 is provided.
Are arranged. The component supply unit 4 includes a large number of rows of tape feeders 4a, and each tape feeder 4a is a reel in which small pieces of electronic components such as ICs, transistors, and capacitors are stored and held at predetermined intervals. In addition, the tape feeding end is provided with a ratchet type feeding mechanism so that the tape is intermittently fed as chip components are picked up by a head unit 5 described later.

【0014】また、上記基台1の上方には、部品装着用
のヘッドユニット5が装備されている。このヘッドユニ
ット5は、X軸方向(コンベア2の方向)及びY軸方向
(水平面上でX軸と直交する方向)に移動可能になって
いる。
A head unit 5 for mounting components is installed above the base 1. The head unit 5 is movable in the X-axis direction (direction of the conveyor 2) and Y-axis direction (direction on the horizontal plane orthogonal to the X-axis).

【0015】すなわち、上記基台1上には、Y軸方向に
延びる一対の固定レール7と、Y軸サーボモータ9によ
り回転駆動されるボールねじ軸8とが配設され、上記固
定レール7上にヘッドユニット支持部材11が配置され
て、この支持部材11に設けられたナット部分12が上
記ボールねじ軸8に螺合している。また、上記支持部材
11には、X軸方向に延びるガイド部材13と、X軸サ
ーボモータ15により駆動されるボールねじ軸14とが
配設され、上記ガイド部材13にヘッドユニット5が移
動可能に保持され、このヘッドユニット5に設けられた
ナット部分17が上記ボールねじ軸14に螺合してい
る。そして、Y軸サーボモータ9の作動によりボールね
じ軸8が回転して上記支持部材11がY軸方向に移動す
るとともに、X軸サーボモータ15の作動によりボール
ねじ軸14が回転して、ヘッドユニット5が支持部材1
1に対してX軸方向に移動するようになっている。
That is, a pair of fixed rails 7 extending in the Y-axis direction and a ball screw shaft 8 rotatably driven by a Y-axis servomotor 9 are arranged on the base 1, and the fixed rails 7 are mounted on the fixed rail 7. A head unit support member 11 is arranged in the head unit, and a nut portion 12 provided on the support member 11 is screwed onto the ball screw shaft 8. A guide member 13 extending in the X-axis direction and a ball screw shaft 14 driven by an X-axis servomotor 15 are arranged on the support member 11, and the head unit 5 can be moved on the guide member 13. A nut portion 17 held and provided on the head unit 5 is screwed onto the ball screw shaft 14. Then, the ball screw shaft 8 is rotated by the operation of the Y-axis servomotor 9 to move the support member 11 in the Y-axis direction, and the ball screw shaft 14 is rotated by the operation of the X-axis servomotor 15, so that the head unit is rotated. 5 is a support member 1
It moves in the X-axis direction with respect to 1.

【0016】また、上記Y軸サーボモータ9及びX軸サ
ーボモータ15には、それぞれエンコーダからなる位置
検出手段10,16が設けられており、これによって上
記ヘッドユニット5の移動位置検出がなされるようにな
っている。
Further, the Y-axis servomotor 9 and the X-axis servomotor 15 are provided with position detecting means 10 and 16 each comprising an encoder so that the moving position of the head unit 5 can be detected. It has become.

【0017】上記ヘッドユニット5には、電子部品18
を吸着する吸着ノズル19が昇降及び回転可能に設けら
れている。本実施例では、図3に示すように、ヘッドユ
ニット5が、上記ガイド部材13に支持される取付部材
20と、この取付部材20に取付けられたヘッド21
と、このヘッド21に対して昇降可能で、かつR軸(ノ
ズル中心軸)回りの回転が可能とされた吸着ノズル19
とを有している。そして、上記取付部材20にナット部
分17が設けられ、また上記ヘッド21に吸着ノズル昇
降用のZ軸サーボモータ22及び吸着ノズル回転用のR
軸サーボモータ24が装着されている。上記各サーボモ
ータ22,24にはそれぞれ位置検出手段23,25が
設けられている。さらに、吸着ノズル19と部品供給部
4との干渉位置を検出する干渉位置検出手段31(図5
参照)がヘッドユニット5に取付けられている。
The head unit 5 includes an electronic component 18
A suction nozzle 19 for sucking is provided so as to be able to move up and down and rotate. In this embodiment, as shown in FIG. 3, the head unit 5 includes a mounting member 20 supported by the guide member 13 and a head 21 mounted on the mounting member 20.
And a suction nozzle 19 that can be moved up and down with respect to the head 21 and can rotate about the R axis (nozzle center axis).
And have. The mounting member 20 is provided with a nut portion 17, and the head 21 is provided with a Z-axis servo motor 22 for raising and lowering the suction nozzle and an R for rotating the suction nozzle.
The axis servo motor 24 is mounted. The servo motors 22 and 24 are provided with position detecting means 23 and 25, respectively. Further, an interference position detecting means 31 (FIG. 5) for detecting an interference position between the suction nozzle 19 and the component supply unit 4 (see FIG. 5).
Is attached to the head unit 5.

【0018】そして、上記ヘッドユニット5の下端部に
は、光学的検知手段としてのレーザーユニット26が回
動可能に取付けられている。このレーザーユニット26
は、吸着ノズル19が上下動するときに通過する空間を
挾んで相対向するレーザ照射部(平行光線の照射部)2
7aと受光部27bとを有しており(図2及び図4に示
す)、レーザ照射部27aからは、吸着ノズル19にピ
ックアップされた電子部品18の少なくともリード列幅
よりも広い幅を有するレーザ光(平行光線)が受光部2
7bに向かって照射されるようになっている。
A laser unit 26 as an optical detecting means is rotatably attached to the lower end of the head unit 5. This laser unit 26
Is a laser irradiating section (irradiating section for parallel light rays) 2 which faces each other across a space through which the suction nozzle 19 moves up and down.
7a and a light receiving section 27b (shown in FIGS. 2 and 4), and a laser having a width wider than at least the lead row width of the electronic component 18 picked up by the suction nozzle 19 from the laser irradiation section 27a. Light (parallel rays) is received by the light receiving unit 2
Irradiation is directed toward 7b.

【0019】上記ヘッドユニット5の下端部側方には、
上記レーザユニット26を回動させるためのレーザユニ
ット回転用サーボモータ28が取付けられており、この
サーボモータ28が駆動されることによって、上記レー
ザユニット26が、図4の2点鎖線に示す初期セット位
置と実線に示す検出位置とに回動変位されて、レーザユ
ニット26を傾斜させるようになっている。また、上記
レーザユニット回転用サーボモータ28にはレーザユニ
ット26の回転位置検出を行うための位置検出手段29
が設けられている。
On the side of the lower end of the head unit 5,
A laser unit rotation servomotor 28 for rotating the laser unit 26 is attached, and by driving the servomotor 28, the laser unit 26 is initially set as shown by a two-dot chain line in FIG. The laser unit 26 is tilted by being rotationally displaced between the position and the detection position shown by the solid line. Further, the laser unit rotating servomotor 28 has position detecting means 29 for detecting the rotational position of the laser unit 26.
Is provided.

【0020】次に、上記構成の実装機の制御系について
図5を用いて説明する。図5は、上記実装機の制御系の
一実施例を示すブロック図である。
Next, the control system of the mounting machine having the above structure will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a block diagram showing an embodiment of a control system of the mounting machine.

【0021】同図において、Y軸サーボモータ9、X軸
サーボモータ15、ヘッドユニット5の吸着ノズル19
に対するZ軸サーボモータ22、R軸サーボモータ2
4、レーザユニット26に対するレーザユニット回転用
サーボモータ28及びこれらのサーボモータに設けられ
た位置検出手段10,16,23,25,29は、主制
御器40の軸制御器(ドライバ)41に電気的に接続さ
れている。レーザユニット26は、レーザユニット演算
部30に電気的に接続され、このレーザユニット演算部
30は、主制御器40の入出力手段42を経て主演算部
43に接続されている。さらに、干渉位置検出手段31
が入出力手段42に接続されている。
In the figure, the Y-axis servo motor 9, the X-axis servo motor 15, and the suction nozzle 19 of the head unit 5 are shown.
Z-axis servo motor 22, R-axis servo motor 2 for
4. The servo motors 28 for rotating the laser unit 26 with respect to the laser unit 26 and the position detecting means 10, 16, 23, 25, 29 provided in these servo motors are electrically connected to the axis controller (driver) 41 of the main controller 40. Connected to each other. The laser unit 26 is electrically connected to the laser unit arithmetic section 30, and the laser unit arithmetic section 30 is connected to the main arithmetic section 43 via the input / output means 42 of the main controller 40. Further, the interference position detecting means 31
Are connected to the input / output means 42.

【0022】ここで、上記主演算部43は、電子部品の
実装の際に、部品の吸,装着作業を自動的に行わせるよ
うに、軸制御器41を介して各サーボモータ9,15,
22,24の動作をコントロールするとともに、部品検
査時には、レーザユニット26を回動すべく、上記レー
ザユニット回転用サーボモータ28の動作をコントロー
ルする。また、部品検査時には、上記レーザユニット2
6から出力される検出信号に基づいて吸着電子部品18
の良否判定を行うとともに、この良否判定に基づいて、
吸着電子部品18の選別を行うべく、上記各サーボモー
タ9,15,22,24の動作をコントロールするよう
になっている。
Here, the main arithmetic unit 43, via the axis controller 41, controls each of the servomotors 9, 15, so that the work of sucking and mounting the components is automatically performed when the electronic components are mounted.
22 and 24 are controlled, and at the time of component inspection, the laser unit rotating servomotor 28 is controlled so as to rotate the laser unit 26. Also, at the time of parts inspection, the laser unit 2
6 based on the detection signal output from 6
In addition to making a pass / fail judgment of, based on this pass / fail judgment,
The operation of each of the servomotors 9, 15, 22, 24 is controlled in order to select the suction electronic component 18.

【0023】次に、上記実装機における電子部品のリー
ド列に対する検査について、図7乃至図9を参照しつ
つ、図6のフローチャートを用いて説明する。なお、本
実施例においては、電子部品18として、図4に示すよ
うに、パッケージの4側面50a〜50dに複数のリー
ドピン51からなるリード列が設けられたクアッドフラ
ットパッケージICが適用された例について説明する。
Next, the inspection of the lead rows of the electronic components in the mounting machine will be described with reference to FIGS. 7 to 9 and the flowchart of FIG. In the present embodiment, as the electronic component 18, as shown in FIG. 4, a case where a quad flat package IC in which a lead row including a plurality of lead pins 51 is provided on four side surfaces 50a to 50d of the package is applied is applied. explain.

【0024】先ず、図7(a)に示すように、部品供給
部4から吸着ノズル19によって電子部品18がピック
アップされると、ステップS1で、レーザユニット回転
用サーボモータ28が駆動され、レーザユニット26の
回動が開始される。これによって、レーザユニット26
が所定角度だけ傾斜された検査位置(図7(b)に示
す)に到達すると、レーザユニット回転用サーボモータ
28の駆動が停止され、レーザ照射部27aからのレー
ザ光32が、電子部品18の斜め上方から照射されるよ
うになる。この際、レーザ照射部27aから照射される
レーザ光32は電子部品18によって遮断されている。
First, as shown in FIG. 7A, when the electronic component 18 is picked up from the component supply section 4 by the suction nozzle 19, the servo motor 28 for rotating the laser unit is driven in step S1, and the laser unit is rotated. The rotation of 26 is started. As a result, the laser unit 26
7 reaches an inspection position (shown in FIG. 7 (b)) inclined by a predetermined angle, the driving of the servo motor 28 for rotating the laser unit is stopped, and the laser beam 32 from the laser irradiation section 27a is emitted from the electronic component 18. It will be irradiated from diagonally above. At this time, the laser light 32 emitted from the laser irradiation unit 27 a is blocked by the electronic component 18.

【0025】レーザユニット26が上記のように傾斜状
態にされると、次いで、上記吸着ノズル19の上昇が開
始され、これに伴い、上記電子部品18によって遮断状
態にあったレーザ光32が徐々に受光部27bに照射さ
れるようになる。そして、全レーザ光32が受光部27
bに照射された時点で、吸着ノズル19の上昇が一旦停
止され、その後微小距離(ΔZ)だけ下降される。つま
り、吸着ノズル19を、全レーザ光32が受光部27b
に照射される位置から、微小距離(ΔZ)だけ下降させ
ることによって、レーザ照射部27aから照射されたレ
ーザ光32が、図4及び図7(c)に示すように、電子
部品18のリードピン51の先端部に照射されるように
なっている(ステップS2〜ステップS4)。
When the laser unit 26 is tilted as described above, then the suction nozzle 19 is started to rise, and along with this, the laser beam 32 in the cutoff state by the electronic component 18 is gradually increased. The light receiving portion 27b is irradiated. Then, the total laser light 32 is received by the light receiving unit 27.
At the time point of irradiation of b, the suction nozzle 19 is temporarily stopped from moving up, and then moved down by a minute distance (ΔZ). That is, the suction nozzle 19 receives the entire laser light 32 from the light receiving portion 27b.
As shown in FIGS. 4 and 7C, the laser beam 32 emitted from the laser irradiation section 27a is moved down by a minute distance (ΔZ) from the position where the lead pin 51 of the electronic component 18 is irradiated. Is radiated to the tip portion of (step S2 to step S4).

【0026】そして、上記のように、レーザ光32が電
子部品18のリードピン51先端部に照射されると、リ
ード列の各リードピン51の投影検知に基づいて、ステ
ップS5で電子部品18の一側面側(側面50a)のリ
ード列に対する検査が行われる。具体的には、リード列
に照射されたレーザ光32は、各リードピン51によっ
て遮断されて受光部27bに照射されるので、受光部2
7bでは、レーザ光32に各リードピン51に相当する
陰影が生じた状態で受光される。従って、正常状態のリ
ード列では、図9(a)に示すように、リードピン51
の陰影52が等間隔で生じることから、この間隔Wa
(陰影部間距離)を検出することによってリード列の状
態が検査される。
Then, as described above, when the laser beam 32 is applied to the tip end portion of the lead pin 51 of the electronic component 18, one side surface of the electronic component 18 is detected in step S5 based on the projection detection of each lead pin 51 of the lead row. The lead row on the side (side surface 50a) is inspected. Specifically, the laser light 32 applied to the lead row is blocked by each lead pin 51 and applied to the light receiving section 27b, so that the light receiving section 2 is provided.
At 7b, the laser light 32 is received in a state where a shadow corresponding to each lead pin 51 is generated. Therefore, in the lead row in the normal state, as shown in FIG.
Since the shadows 52 of are generated at equal intervals, this interval Wa
The state of the lead row is inspected by detecting (distance between shaded portions).

【0027】例えば、図8(a)に示すように、電子部
品の側面50aのリード列において、一本のリードピン
51が他のリードピン51に対して浮いた状態にある場
合、あるいは一本のリードピン51が欠落している場合
には、浮いたリードピン51、あるいは欠落したリード
ピン51がレーザ光32を遮断しえないので、受光部2
7bでは、図9(b)に示すように、陰影52の適正な
間隔Waに対して極めて広い間隔Wbの箇所が生じるこ
とになり、これを検知することによってリードピン51
の浮き、欠落が検出される。
For example, as shown in FIG. 8A, when one lead pin 51 is in a floating state with respect to another lead pin 51 in the lead row on the side surface 50a of the electronic component, or one lead pin. When 51 is missing, the floating lead pin 51 or the missing lead pin 51 cannot block the laser beam 32, so the light receiving unit 2
In FIG. 7B, as shown in FIG. 9B, an extremely wide space Wb is generated with respect to the proper space Wa of the shadow 52. By detecting this, the lead pin 51 is detected.
Floating and missing are detected.

【0028】また、図8(b)に示すように、電子部品
の側面50aのリード列において、一本のリードピン5
1が隣設されたリードピン51側に偏ることによて、リ
ードピン51間のピッチが適正でない場合には、受光部
27bでは、図9(c)に示すように、陰影52の適正
な間隔Waに対して広い間隔Wdの箇所と狭い間隔Wd
の箇所が陰影52を挾んで相隣合って生じることにな
り、これを検知することによってリードピン51間ピッ
チの異常が検出されることになる。
Further, as shown in FIG. 8B, one lead pin 5 is provided in the lead row on the side surface 50a of the electronic component.
When the pitch between the lead pins 51 is not proper because 1 is biased to the side of the adjacent lead pins 51, in the light receiving portion 27b, as shown in FIG. With respect to a wide space Wd and a narrow space Wd
The positions of 2 and 3 are generated adjacent to each other with the shadow 52 interposed therebetween, and by detecting this, an abnormality in the pitch between the lead pins 51 is detected.

【0029】このようにして電子部品18の側面50a
におけるリード列の検査が終了すると、次いで吸着ノズ
ル19が90゜だけ回転され、側面50bのリード列に
対する検査が行われる。そして、側面50bに対するリ
ード列の検査が終了すると、同様に吸着ノズル19が回
転されて順次側面50c,50dにおけるリード列の検
査が行われる(ステップS6)。
In this way, the side surface 50a of the electronic component 18 is
When the inspection of the lead row in (3) is completed, the suction nozzle 19 is then rotated by 90 °, and the inspection of the lead row on the side surface 50b is performed. When the inspection of the lead row on the side surface 50b is completed, the suction nozzle 19 is similarly rotated and the inspection of the lead row on the side surfaces 50c and 50d is sequentially performed (step S6).

【0030】そして、ステップS5で、電子部品18の
各側面50a〜50dにおける各リード列の検査が終了
すると、この検査結果に基づいて電子部品18の選別が
行われる(ステップS7)。ここでは、電子部品18の
いずれかのリード列においてリードピン51の浮き、あ
るいはリードピン51間ピッチの異常等のリード異常が
生じていた場合に、そのリード異常が許容範囲内である
か否かの判断を行い、許容範囲外であると判断された場
合には、ステップS8に移行して、例えば、電子部品1
8を不良部品収納トレー等に載置収納するようにしてい
る。一方、ステップS7で、電子部品18が良品、ある
いはリード異常が生じている場合でも、その異常状態が
許容範囲内であると判断された場合には、その電子部品
18を、吸着ノズル19に吸着したままプリント基板3
の所定の実装位置に移送して本フローチャートを終了す
るようになっている。
When the inspection of each lead row on each side surface 50a to 50d of the electronic component 18 is completed in step S5, the electronic component 18 is selected based on the inspection result (step S7). Here, when a lead abnormality such as floating of the lead pins 51 or abnormality in the pitch between the lead pins 51 occurs in any of the lead rows of the electronic component 18, it is determined whether the lead abnormality is within the allowable range. If it is determined that the value is out of the allowable range, the process proceeds to step S8 and, for example, the electronic component 1
8 is placed and stored in a defective component storage tray or the like. On the other hand, in step S7, even if the electronic component 18 is a non-defective product or a lead abnormality occurs, if it is determined that the abnormal state is within the allowable range, the electronic component 18 is sucked by the suction nozzle 19. Printed circuit board 3
The process is transferred to the predetermined mounting position of No. 1 and the present flowchart is finished.

【0031】以上説明したように、上記構成の本発明で
は、リード列の各リードピン51の投影検知に基づいて
リード列のリード異常を検知する装置において、特に、
レーザユニット26を傾斜させてレーザ光32を電子部
品18の斜め上方から照射してリード列に対する検査を
行うようにしたので、一対のレーザ照射部27a、受光
部27bからなるレーザユニット26を設けただけの簡
単な構成でリード列のリードピン51の浮き、欠落及び
リードピン51間のピッチ異常のいずれをも同時に検出
することができる。従って、従来のCCD等の撮像機を
用いてリード列の状態を認識するような装置と比較する
と、極めて簡単な構成で電子部品18の検査を行うこと
が可能となり、またCCD等の撮像機を必要としないの
で、設備の小型化、あるいは設備費用の低減といった面
で極めて有利である。
As described above, according to the present invention having the above-described structure, in the apparatus for detecting the lead abnormality of the lead row based on the projection detection of each lead pin 51 of the lead row, in particular,
Since the laser unit 26 is tilted to irradiate the laser beam 32 obliquely above the electronic component 18 to inspect the lead row, the laser unit 26 including the pair of laser irradiation units 27a and light receiving units 27b is provided. With such a simple configuration, it is possible to simultaneously detect any floating or missing lead pin 51 in the lead row and an abnormal pitch between the lead pins 51. Therefore, as compared with a device that recognizes the state of the lead row using a conventional image pickup device such as a CCD, it becomes possible to inspect the electronic component 18 with a very simple structure, and the image pickup device such as a CCD is used. Since it is not necessary, it is extremely advantageous in terms of downsizing the equipment or reducing the equipment cost.

【0032】なお、本発明の具体的構造は上記実施例以
外にも種々変更可能である。例えば、上記実施例におい
ては、レーザユニット26が回動変位されることによっ
て、レーザユニット26を傾斜させるようになっている
が、レーザユニット26を予め傾斜させておいて、これ
を水平方向に移動させることによってレーザ照射部27
aと受光部27bの間に電子部品18を介在させるよう
にしてもよいし、逆に、吸着ノズル19を水平移動させ
ることによって、傾斜されたレーザユニット26のレー
ザ照射部27aと受光部27bの間に介在させるように
してもよい。
The specific structure of the present invention can be modified in various ways other than the above embodiment. For example, in the above embodiment, the laser unit 26 is tilted by rotating and displacing the laser unit 26. However, the laser unit 26 is tilted in advance and moved horizontally. The laser irradiation unit 27
The electronic component 18 may be interposed between a and the light receiving portion 27b, or conversely, by horizontally moving the suction nozzle 19, the laser irradiation portion 27a and the light receiving portion 27b of the inclined laser unit 26 are separated. You may make it intervene.

【0033】また、上記実施例における電子部品18検
査時には、受光部27aでの、リードピン51にる陰影
52の間隔Waを検出し、この間隔Waからリード列の
異常を検知するようにしているが、これもリード列の異
常を検知する一検知手段であって、例えば、リード列の
リードピン51の数を予め記憶させておき、検査時に受
光部27aでの実際の陰影52の数を求め、両者を比較
することによってリードピン51の浮き、あるいは欠落
を検知するようにしてもよい。
Further, at the time of inspecting the electronic component 18 in the above embodiment, the interval Wa between the shades 52 on the lead pins 51 in the light receiving portion 27a is detected, and the abnormality of the lead row is detected from this interval Wa. This is also one detection means for detecting abnormality in the lead row, and for example, the number of lead pins 51 in the lead row is stored in advance, and the actual number of shades 52 in the light receiving section 27a is obtained at the time of inspection, It is also possible to detect whether the lead pin 51 is floating or missing by comparing the above.

【0034】さらに、上記実施例では、パッケージの4
側面50a〜50dに複数のリードピン51からなるリ
ード列が設けられたクアッドフラットパッケージICを
検査した例について説明したが、これ以外のIC等にも
適用可能であり、また、上記実施例では、本発明が電子
部品18の実装機に適用された例について説明したが、
検査装置単体として使用することも勿論可能である。
Further, in the above embodiment, the package 4
The example of inspecting the quad flat package IC in which the lead rows including the plurality of lead pins 51 are provided on the side surfaces 50a to 50d has been described, but the present invention is also applicable to other ICs and the like, and in the above-described embodiment, The example in which the invention is applied to the mounter of the electronic component 18 has been described.
Of course, it is also possible to use the inspection device alone.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、電子部
品のリード列の投影検知に基づいてリードの異常を検出
する光線式検知手段における平行光線を、上記電子部品
のリード列に対してその斜め上方から斜め下方に、また
は斜め下方から斜め上方に向う所定の角度で照射、受光
するようにしたので、より簡単な構成でリードの浮き、
欠落及びリード間ピッチの異常を同時に検知することが
できる。
As described above, according to the present invention, the parallel rays in the light ray type detecting means for detecting the abnormality of the lead based on the projection detection of the lead row of the electronic component are directed to the lead row of the electronic component. Irradiation and light reception are performed at a predetermined angle from diagonally above to diagonally below or diagonally from below to diagonally above, so that the lead floats with a simpler configuration.
It is possible to detect the missing and the lead pitch abnormality at the same time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の電子部品の検査装置が適用される電子
部品実装機を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an electronic component mounter to which an electronic component inspection apparatus of the present invention is applied.

【図2】図1の正面図である。FIG. 2 is a front view of FIG.

【図3】ヘッドユニットを示す拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view showing a head unit.

【図4】レーザユニットを示す拡大斜視図である。FIG. 4 is an enlarged perspective view showing a laser unit.

【図5】本発明の電子部品の検査装置が適用される電子
部品実装機の制御系を示すブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing a control system of an electronic component mounter to which the electronic component inspection apparatus of the present invention is applied.

【図6】電子部品のリード列に対する検査手順を示すフ
ローチャート図である。
FIG. 6 is a flowchart showing an inspection procedure for a lead row of an electronic component.

【図7】(a)は、電子部品がピックアップされた状態
を示す概略図、(b)は、レーザユニットが傾斜された
状態を示す概略図、(c)は、電子部品のリード列がレ
ーザユニットの検査位置にセットされた状態を示す概略
図である。
7A is a schematic view showing a state where an electronic component is picked up, FIG. 7B is a schematic view showing a state where a laser unit is tilted, and FIG. 7C is a lead row of the electronic component being a laser. It is a schematic diagram showing the state set to the inspection position of a unit.

【図8】(a)は、電子部品にリードの浮き上がりが生
じた状態を示す概略図、(b)は、電子部品のリード間
ピッチに異常が生じた状態を示す概略図である。
FIG. 8A is a schematic view showing a state where leads are lifted up in an electronic component, and FIG. 8B is a schematic diagram showing a state where an inter-lead pitch of the electronic component is abnormal.

【図9】(a)は、正常なリード列に対する受光部の受
光状態を示す略図、(b)は、リード浮きが生じている
場合の受光部の受光状態を示す略図、(c)は、リード
間ピッチに異常が生じている場合の受光部の受光状態を
示す略図である。
9A is a schematic diagram showing a light receiving state of a light receiving unit for a normal lead row, FIG. 9B is a schematic diagram showing a light receiving state of a light receiving unit when lead floating occurs, and FIG. 6 is a schematic diagram showing a light receiving state of a light receiving unit when an abnormality occurs in a lead pitch.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

18 電子部品 26 レーザユニット 27a レーザ照射部 27b 受光部 38 レーザ光 51 リード 18 electronic parts 26 laser unit 27a laser irradiation part 27b light receiving part 38 laser light 51 lead

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数本のリードが並設されたリード列を
備えた電子部品の検査方法において、上記電子部品のリ
ード列に対してその斜め上方から斜め下方に、または斜
め下方から斜め上方に向かう所定の角度で平行光線を照
射しつつ、受光された平行光線のリードによる陰影部間
隔を検出することによって、上記電子部品のリード異常
を検知することを特徴とする電子部品の検査方法。
1. A method of inspecting an electronic component having a lead row in which a plurality of leads are juxtaposed, wherein the lead row of the electronic component is obliquely above and obliquely downward or diagonally below and obliquely upward. A method for inspecting an electronic component, comprising detecting a lead abnormality of the electronic component by detecting a shadow portion interval of the received parallel light beam while radiating a parallel light beam at a predetermined angle.
【請求項2】 複数本のリードが並設されたリード列を
備えた電子部品を検査する電子部品の検査装置におい
て、上記電子部品のリード列に向けて平行光線を照射す
る照射部と、上記リード列を通過した平行光線を受光す
る受光部とを有し、上記電子部品のリード列の投影検知
に基づいてリードの異常を検出する光線式検知手段を備
え、上記平行光線は、上記電子部品のリード列に対して
その斜め上方から斜め下方に、または斜め下方から斜め
上方に向う所定の角度で照射、受光されることを特徴と
する電子部品の検査装置。
2. An electronic component inspecting apparatus for inspecting an electronic component having a lead row in which a plurality of leads are arranged in parallel, and an irradiating section for radiating parallel rays toward the lead row of the electronic component. A light receiving section for receiving parallel light rays that have passed through the lead row, and a light beam type detection means for detecting abnormality of the lead based on projection detection of the lead row of the electronic component, wherein the parallel light ray is the electronic component. The device for inspecting electronic parts is characterized in that the lead row is irradiated and received at a predetermined angle from obliquely upward to obliquely downward or obliquely downward to obliquely upward.
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