JP3570686B2 - 帯電防止膜及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、単分子吸着膜を用いた帯電防止膜及びその製造方法に関するもので、さらに詳しくは、ガラス、セラミック、プラスチック、繊維などの帯電を防止するための帯電防止膜及びその製造方法である。
【0002】
【従来の技術】
セラミック、ガラス、合成樹脂、繊維などは使用する用途によって静電気がたまりやすく、帯電することにより、周りに浮遊している埃やごみが付着し、表面が汚れ易いという欠点があった。そこでその対策として、表面を導電性の高分子でコーティングしたり、導電性フィルムを張りつけたり、ITO(酸化インジウム−酸化すず)等の酸化物を蒸着する方法が知られている。
【0003】
また、化学吸着単分子膜を用いた帯電防止膜の製造方法としては、小川(米国特許第4673474号明細書他)の方法によって提案されているが、これは親水性の機能を有する化学吸着試薬を基体表面に吸着させ、帯電防止を狙ったものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、導電性高分子を塗布したり導電性フィルムを張りつける方法では、透明性が劣るだけでなく、表面に傷が付き易いなどの欠点があった。またITOなどの酸化物を蒸着する方法では非常にコストが高くつくという欠点があった。さらに、従来の小川の化学吸着法は親水性の化学吸着膜を基板表面に吸着させるというものであり、基板表面の導電性をあまりあげることができず、帯電防止膜としてさらに改良が望まれていた。
【0005】
本発明は、前記従来技術の課題を解決するため、透明性や耐久性がよく、しかも導電率の高い化学吸着膜の帯電防止膜とその製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の帯電防止膜は、基体表面に前記基体と−Si−O−基板、−Si−N<基板、又は、−Si−S−基板の結合を介して形成された単分子膜よりなる帯電防止膜であって、前記単分子膜の全部又は一部が、前記単分子膜を構成する分子の末端部に存在する二重結合を有したチオフェン部を介して前記単分子膜を構成する分子間同士が結合されており、前記単分子膜の一部が、前記単分子膜を構成する分子の末端部に親水性基である分子を含むことを特徴とする。
【0008】
また、本発明の帯電防止膜の製造方法は、二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解して化学吸着液を調整し、前記化学吸着液を活性水素を有する基体表面に接触させ、前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成する工程と、親水性基を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解し調整した溶液を、活性水素を有する基体表面に接触させ、前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【0009】
さらに本発明の別の帯電防止膜の製造方法は、二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤と親水性基を有するクロロシラン系界面活性剤とをともに非水系の溶媒に溶解し調整した溶液に、活性水素を有する基体を接触し、前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成することを特徴とする。
【0010】
さらに本発明の別の帯電防止膜は、基体表面に前記基体と− Si − O −基板、− Si − N <基板、又は、− Si − S −基板の結合を介して形成された単分子膜よりなる帯電防止膜であって、前記単分子膜が、前記単分子膜を構成する分子の末端部に存在する二重結合を有したチオフェン部を介して前記単分子膜を構成する分子間同士が結合され、前記単分子膜分子間に親水性基を含む下記一般式(化1))[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物が組み込まれている。
[化1] R’−Z
【0011】
さらに本発明の別の帯電防止膜の製造方法は、活性水素を有する基体表面に二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系溶媒に溶解して調整した溶液を接触させて、前記基体表面と前記クロロシラン系界面活性剤シリル基とを反応させ、下記一般式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、前記基体表面に形成した前記有機化合物を組み込み単分子膜を形成し、その後前記単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合することを特徴とする。
[化1] R’−Z
【0012】
さらに本発明の別の帯電防止膜の製造方法は、活性水素を有する基体表面に二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系溶媒に溶解して調整した溶液を接触させて、前記基体表面と前記クロロシラン系界面活性剤シリル基とを反応させ、前記基体表面に前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜を形成させ、その後前記単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合し、さらに下記一般式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、超音波で処理し前記基体表面に形成した前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜の中に前記有機化合物を組み込むことを特徴とする。
[化1] R’−Z
【0013】
さらに本発明の別の帯電防止膜の製造方法は、二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解し調整した溶液を活性水素を有する基体表面に接触し、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を前記基体表面に吸着し、その後、下記化学式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、超音波で処理し前記基体表面に形成した前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜の中に前記有機化合物を組み込むことを特徴とする。
[化1] R’−Z
【0014】
さらに本発明の別の帯電防止膜の製造方法は、二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤と、下記一般式(化2)[R"は炭素数が3以上のアルキル基、Yは−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NR3X(Rはアルキル基、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機金属とを非水系溶媒に溶解し調整した溶液に基体を接触し、基体表面に有機化合物が組み込まれた前記二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の単分子膜を形成し、その後前記二重結合又は三重結合を有する単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合することを特徴とする。
[化2] R"−Y
【0019】
【作用】
前記本発明の構成によれば、基体表面にSi分子を含む共有結合によって形成された単分子膜であって、前記単分子膜は少なくとも単分子間で共役系を形成した単分子と、親水性基を含む単分子を共に有することにより、透明性及び耐久性がよく、しかも導電率の高い化学吸着膜の帯電防止膜とすることができる。すなわち、基体にシロキサン結合を介して単分子膜が形成されており、前記単分子膜は、少なくとも分子間同士が共役系でつながれている単分子膜と、親水性基を有する単分子膜が存在している帯電防止膜であるため、剥離することがなく、透過性に優れている。しかも、共役系の分子鎖と親水性基が隣接しているため、非常に導電性が高く帯電防止効果が大きいという特徴がある。
【0020】
また前記記本発明の第1〜4番目の製造方法によれば、導電性が高く帯電防止効果が大きい単分子膜を効率良く合理的に製造できる。
【0021】
【実施例】
本発明に用いる基体は、表面に活性水素原子を有するものであれば、いずれも吸着可能である。例えば表面に、−OH,−NH2 ,>NH,−SH,−COOH,−CHO等の活性水素を有するものは吸着可能である。
【0022】
二重結合または三重結合を有するシラン系界面活性剤は、>C=C<基を含む化合物、下記式(化3)に示す基を含む化合物、>C=N−基を含む化合物などである。またこれらの官能基を重合させて共役系を形成させる方法は、触媒重合、電解重合、電子線照射などがあるがどれを用いてもよい。
【0023】
【化3】
【0024】
本発明で使用可能な親水性基を有するシラン系界面活性剤は、親水性基として−COOM(Mはアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を表わす)、−NR3 X(Rはアルキル基、Xはハロゲン原子を表わす)、−NO2 、または−SO3 M(Mはアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を表わす)を有するものであればいずれでも可能であるが、−COOM、−NR3 X、−SO3 Mが最もよい。本発明で使用可能な親水性基を含む有機化合物は、一般式(化1)で示されるものであればいずれも使用可能であるが、親水性基として、−COOM、−NR3 X、−SO3 Mが最もよく、またアルキル基は、炭素数が3以上であれば使用可能であるが、炭素数が長いほど、単分子膜の中に固定され易く良い。最も良いのは、単分子膜の厚みとほぼ同じくらいの長さになるものである。
【0025】
以下、具体的実施例を説明する。
(実施例1)
ω−(3−チエニル)デシルトリクロロシランを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。図1に示すように、この化学吸着剤の中によく乾燥したガラス基板1を1時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去した。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜2を形成した。この様にして化学吸着単分子膜の形成されたガラス基板を、FeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬すると、図2に示すように単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合を重合させた化学吸着単分子膜3を得た。さらに水洗を行った後、よく乾燥させて、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムを1.0容量%の濃度で.水系混合溶媒に溶解し、調製した化学吸着剤に、2時間浸漬することにより、図3に示すように、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムが組み込まれた化学吸着単分子膜4を得た。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。その後基板を取り出し、乾燥させて、導電率を測定したところ1.2×10−3S/cmであった。
【0026】
(実施例2)
ω−(3−チエニル)デシルトリクロロシランとω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムとを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥したガラス基板を2時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去した。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜を形成した。この様にして化学吸着単分子膜の形成されたガラス基板をFeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬し、単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合を重合させた。その後基板を取り出し、乾燥させて導電率を測定したところ、5.5×10−3S/cmであった。
【0027】
(実施例3)
ω−(3−チエニル)デシルトリクロロシラン0.1mlをFeCl3 のクロロホルム飽和溶液8mlに加え30分反応させた。その後ヘキサデカン80mlと四塩化炭素12mlを加え、その溶液の中にガラス基板を2時間浸漬させ、重合した単分子膜を形成させ、その後クロロホルムで洗浄し、さらに水洗した後、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、調製した吸着溶液に2時間浸漬した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。その後基板を取り出しクロロホルムで洗浄して、水洗を行い乾燥させた後、導電率を測定したところ8.2×10−3S/cmであった。
【0028】
(実施例4)
ω−(3−チエニル)デシルトリクロロシラン0.1mlをFeCl3 のクロロホルム飽和溶液8mlに加え30分反応させた。その後ヘキサデカン80ml、四塩化炭素12ml、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムを加え、その溶液の中にガラス基板を2時間浸漬させ、その後クロロホルムで洗浄し、さらに水洗し乾燥させた後、導電率を測定したところ6.5×10−3S/cmであった。
【0029】
(実施例5)
ω−(3−チエニル)オクチルトリクロロシランを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。図4に示すように、この化学吸着剤の中によく乾燥した石英基板5を1時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去した。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜6を形成した。この様にして化学吸着単分子膜6の形成された石英基板を、ノナン酸ナトリウム1.0容量%のヘキサデカン溶液に2時間浸漬し、さらにFeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬することにより、図5に示すように、単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合が重合し、ノナン酸ナトリウムが組み込まれた化学吸着単分子膜7が形成された。その後乾燥させて、導電率を測定したところ1.2×10−4S/cmであった。
【0030】
(実施例6)
ω−(3−チエニル)オクチルトリクロロシランを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥した石英基板を1時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去した。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜を形成した。この様にして化学吸着単分子膜の形成されたガラス基板を、FeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬し、単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合を重合させた。さらに水洗を行った後、よく乾燥させて、ノナン酸ナトリウム1.0容量%のヘキサデカン溶液に超音波をかけながら2時間浸漬し、その後基板を取り出し、クロロホルムで洗浄し、乾燥させて、導電率を測定したところ、2.8×10−4S/cmであった。
【0031】
(実施例7)
ω−(3−チエニル)オクチルトリクロロシラン0.1mlをFeCl3 のクロロホルム飽和溶液8mlに加え30分反応させた、その後ヘキサデカン80mlと四塩化炭素12mlを加え、その溶液の中に石英基板を2時間浸漬させ、重合した単分子膜を形成させ、その後クロロホルムで洗浄し、さらに水洗した後、ノナン酸ナトリウム1.0容量%のヘキサデカン溶液に超音波をかけながら2時間浸漬し、その後基板を取り出し、クロロホルムで洗浄して、乾燥させた後、導電率を測定したところ、8.0×10−4S/cmであった。
【0032】
(実施例8)
ω−(3−チエニル)オクチルトリクロロシランとノナン酸ナトリウムとを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥した石英基板を2時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、化学吸着膜の形成された石英基板を、FeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬し、単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合を重合させた。その後基板を取り出し、乾燥させて、導電率を測定したところ、5.1×10−4S/cmであった。
【0033】
(実施例9)
ω−(3−チエニル)オクチルトリクロロシラン0.1mlをFeCl3 のクロロホルム飽和溶液8mlに加え30分反応させた。その後ヘキサデカン80ml、四塩化炭素12ml、ノナン酸100mgを加え、その溶液の中に石英基板を2時間浸漬させ、その後クロロホルムで洗浄し、さらに水洗した後、基板を取り出し、クロロホルムで洗浄して、乾燥させた後、導電率を測定したところ7.2×10−4S/cmであった。
【0034】
(実施例10)
19−トリメチルシリル−18−ノナデシニルトリクロロシラン{(CH3 )3 SiC〓C(CH2 )17SiCl3 を1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥したガラス基板を1時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去する。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜を形成する。この様にして化学吸着単分子膜の形成されたガラス基板を、FeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬すると、単分子膜の末端の三重結合部分を重合させた化学吸着単分子膜を得た。さらに水洗を行った後、よく乾燥させて、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、調製した化学吸着剤に、2時間浸漬することにより、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムが組み込まれた化学吸着単分子膜を得る。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。その後基板を取り出し、乾燥させて、導電率を測定したところ、3.5×10−3S/cmであった。
【0035】
(実施例11)
19−トリメチルシリル−18−ノナデシニルトリクロロシラン{(CH3 )3 SiC〓C(CH2 )17SiCl3 }とp−オクチルフェニルスルフォン酸ナトリウムとを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥したガラス基板を2時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去する。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜を形成する。この様にして化学吸着単分子膜の形成されたガラス基板を、FeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬し、単分子膜の末端のチオフェン部分の2重結合を重合させる。その後基板を取り出し、乾燥させて、導電率を測定したところ、4.5×10−3S/cmであった。
【0036】
(実施例12)
7−オクチニルトリクロロシラン(HC〓C(CH2 )6 SiCl3 )0.1mlをFeCl3 のクロロホルム飽和溶液8mlに加え30分反応させた。その後ヘキサデカン80mlと四塩化炭素12mlを加え、その溶液の中にガラス基板を2時間浸漬させ、重合した単分子膜を形成させ、その後クロロホルムで洗浄し、さらに水洗した後、ω−トリクロロシリルウンデカン酸ナトリウムを1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、調製した吸着溶液に2時間浸漬した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。その後基板を取り出しクロロホルムで洗浄して、水洗を行い乾燥させた後、導電率を測定したところ7.2×10−3S/cmであった。
【0037】
(実施例13)
7−オクチニルトリクロロシラン(HC〓C(CH2 )6 SiCl3 )を1.0容量%の濃度で非水系混合溶媒に溶解し、化学吸着剤を調製した。前記非水系吸着溶媒は、80容量%n−ヘキサデカン、12容量%四塩化炭素、8容量%クロロホルム溶液である。この化学吸着剤の中によく乾燥した石英基板を1時間浸漬し、脱塩化水素反応を行わせた。その後クロロホルムで洗浄し、未反応物を洗浄除去する。更に水洗を行い、化学吸着単分子膜を形成する。この様にして化学吸着単分子膜の形成された石英基板を、オクチルトリメチルアンモニウムクロライド(C8 H18N(CH3 )3 Cl)1.0容量%のヘキサデカン溶液に2時間浸漬し、さらにFeCl3 のクロロホルム飽和溶液に1時間浸漬することにより、単分子膜の末端の三重結合部分が重合し、ノナン酸ナトリウムが組み込まれた化学吸着単分子膜7が形成する。その後乾燥させて、導電率を測定したところ、2.2×10−4S/cmであった。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明は、帯電防止膜及びその製造方法に関するもので、基板表面に単分子膜で共役系を作り、さらにドーパントとなる単分子膜もその中に組み込むというものであり、単分子膜であるため、透明性がよく、しかも耐久性にも富み、導電率も高いという特徴を有する。また、基体表面にSi分子を含む共有結合によって形成された単分子膜であって、前記単分子膜は少なくとも単分子間で共役系を形成した単分子と、親水性基を含む単分子を共に有することにより、透明性及び耐久性がよく、しかも導電率の高い化学吸着膜の帯電防止膜とすることができる。
【0039】
また前記本発明の製造方法によれば、導電性が高く帯電防止効果が大きい単分子膜を効率良く合理的に製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における二重結合を有する化学吸着単分子膜の概念図
【図2】本発明の一実施例における共役系を有する単分子膜の概念図
【図3】本発明の一実施例における帯電防止膜の概念図
【図4】本発明の他の実施例における二重結合を有する化学吸着単分子膜の概念図
【図5】本発明の他の実施例における帯電防止膜の概念図
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 二重結合を有する化学吸着単分子膜
3 共役系を有する化学吸着単分子膜
4 帯電防止膜
5 石英基板
6 二重結合を有する化学吸着単分子膜
7 帯電防止膜
Claims (8)
- 基体表面に前記基体と−Si−O−基板、−Si−N<基板、又は、−Si−S−基板の結合を介して形成された単分子膜よりなる帯電防止膜であって、
前記単分子膜の全部又は一部が、前記単分子膜を構成する分子の末端部に存在する二重結合を有したチオフェン部を介して前記単分子膜を構成する分子間同士が結合されており、
前記単分子膜の一部が、
前記単分子膜を構成する分子の末端部に親水性基である分子を含むことを特徴とする帯電防止膜。 - 二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、
その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解して化学吸着液を調整し、
前記化学吸着液を活性水素を有する基体表面に接触させ、前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成する工程と、
親水性基を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解し調整した溶液を、活性水素を有する基体表面に接触させ、前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成する工程とを含むことを特徴とする帯電防止膜の製造方法。 - 二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、
その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤と親水性基を有するクロロシラン系界面活性剤とをともに非水系の溶媒に溶解し調整した溶液に、活性水素を有する基体を接触し、
前記基体表面の活性水素と前記クロロシラン系界面活性剤のシリル基との間で縮合反応を起こさせて単分子膜を形成することを特徴とする帯電防止膜の製造方法。 - 基体表面に前記基体と−Si−O−基板、−Si−N<基板、又は、−Si−S−基板の結合を介して形成された単分子膜よりなる帯電防止膜であって、
前記単分子膜が、前記単分子膜を構成する分子の末端部に存在する二重結合を有したチオフェン部を介して前記単分子膜を構成する分子間同士が結合され、
前記単分子膜分子間に親水性基を含む下記一般式(化1))[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物が組み込まれた、帯電防止膜。
[化1] R’−Z - 活性水素を有する基体表面に二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系溶媒に溶解して調整した溶液を接触させて、前記基体表面と前記クロロシラン系界面活性剤シリル基とを反応させ、下記一般式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、
前記基体表面に形成した前記有機化合物を組み込み単分子膜を形成し、
その後前記単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合することを特徴とする帯電防止膜の製造方法。
[化1] R’−Z - 活性水素を有する基体表面に二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤を非水系溶媒に溶解して調整した溶液を接触させて、前記基体表面と前記クロロシラン系界面活性剤シリル基とを反応させ、
前記基体表面に前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜を形成させ、
その後前記単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合し、
さらに下記一般式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、
超音波で処理し前記基体表面に形成した前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜の中に前記有機化合物を組み込むことを特徴とする帯電防止膜の製造方法。
[化1] R’−Z - 二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の前記二重結合部分又は前記三重結合部分を重合し、その後、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を非水系の溶媒に溶解し調整した溶液を活性水素を有する基体表面に接触し、前記重合したクロロシラン系界面活性剤を前記基体表面に吸着し、その後、下記化学式(化1)[R'は炭素数が3以上のアルキル基、Zは−OH、−COOH、−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NH2、−NR3X(Rはアルキル基又は水素原子、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3H、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]で表される有機化合物を基体に接触し、
超音波で処理し前記基体表面に形成した前記クロロシラン系界面活性剤の単分子膜の中に前記有機化合物を組み込むことを特徴とする帯電防止膜の製造方法。
[化1] R’−Z - 二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤と、下記一般式(化2)[R"は炭素数が3以上のアルキル基、Yは−COOM(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)、−NR3X(Rはアルキル基、Xはハロゲン原子を表す)、−NO2、−SO3M(Mはアルカリ金属、又はアルカリ土類金属を表す)]
で表される有機金属とを非水系溶媒に溶解し調整した溶液に基体を接触し、基体表面に有機化合物が組み込まれた前記二重結合又は三重結合を有するクロロシラン系界面活性剤の単分子膜を形成し、その後前記二重結合又は三重結合を有する単分子膜の二重結合又は三重結合の部分を重合することを特徴とする帯電防止膜の製造方法。
[化2] R"−Y
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH07166157A JPH07166157A (ja) | 1995-06-27 |
JP3570686B2 true JP3570686B2 (ja) | 2004-09-29 |
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