JP3548567B2 - 投影露光装置及び半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は投影露光装置及び半導体素子の製造方法に関し、具体的には半導体素子の製造装置である所謂ステッパーにおいてレチクル面上のパターンを適切に照明し、高い解像力が容易に得られるようにした投影露光装置及び半導体素子の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近の半導体素子の製造技術の進展は目覚ましく、又それに伴う微細加工技術の進展も著しい。特に光加工技術は1MDRAMの半導体素子の製造を境にサブミクロンの解像力を有する微細加工の技術まで達している。解像力を向上させる手段としてこれまで多くの場合、露光波長を固定して、光学系のNA(開口数)を大きくしていく方法を用いていた。しかし最近では露光波長をg線からi線に変えて、超高圧水銀灯を用いた露光法により解像力を向上させる試みも種々と行なわれている。
【0003】
露光波長としてg線やi線を用いる方法の発展と共にレジストプロセスも同様に発展してきた。この光学系とプロセスの両者が相まって、光リソグラフィが急激に進歩してきた。
【0004】
一般にステッパーの焦点深度はNAの2乗に反比例することが知られている。この為サブミクロンの解像力を得ようとすると、それと共に焦点深度が浅くなってくるという問題点が生じてくる。
【0005】
これに対してエキシマレーザーに代表される更に短い波長の光を用いることにより解像力の向上を図る方法が種々と提案されている。短波長の光を用いる効果は一般に波長に反比例する効果を持っていることが知られており、波長を短くした分だけ焦点深度は深くなる。
【0006】
短波長化の他に解像力を向上させる方法として位相シフトマスクを用いる方法(位相シフト法)が種々と提案されている。この方法は従来のマスクの一部に、他の部分とは通過光に対して180度の位相差を与える薄膜を形成し、解像力を向上させようとするものであり、IBM社(米国)のLevensonらにより提案されている。解像力RPは波長をλ、パラメータをk1、開口数をNAとすると一般に式
RP=k1λ/NA
で示される。通常0.7〜0.8が実用域とされるパラメータk1は、位相シフト法によれば0.35ぐらい迄大幅に改善できることが知られている。
【0007】
位相シフト法には種々のものが知られており、それらは例えば日系マイクロデバイス1990年7月号108ページ以降の福田等の論文に詳しく記載されている。
【0008】
しかしながら実際に空間周波数変調型の位相シフトマスクを用いて解像力を向上させるためには未だ多くの問題点が残っている。例えば現状で問題点となっているものとして以下のものがある。
(イ).位相シフト膜を形成する技術が未確立。
(ロ).位相シフト膜用の最適なCADの開発が未確立。
(ハ).位相シフト膜を付けられないパターンの存在。
(ニ).(ハ)に関連してネガ型レジストを使用せざるをえないこと。
(ホ).検査、修正技術が未確立。
【0009】
このため実際に、この位相シフトマスクを利用して半導体素子を製造するには様々な障害があり、現在のところ大変困難である。
【0010】
これに対して本出願人は照明装置を適切に構成することにより、より解像力を高めた露光方法及びそれを用いた露光装置を特願平3−28631号(平成3年2月22日出願)で提案している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人が先に提案した露光装置においては主としてk1ファクターが0.5付近の空間周波数が高い領域に注目した照明系を用いている。この照明系は空間周波数が高いところでは焦点深度が深い。
【0012】
実際の半導体集積回路の製造工程はパターンの高い解像性能が必要とされる工程、それほどパターンの解像性能は必要とされない工程と種々様々である。従って現在求められているのは各工程独自に求められる解像性能への要求に対応できる投影露光装置である。
【0013】
本発明は投影焼き付けを行なう対象とするパターン形状及び解像線幅に応じて適切なる照明方法をその都度適用し、即ち最大20を越える工程数を有する集積回路製造工程に対応するため、従来型の照明系と高解像型の照明系を目的に応じて光束の有効利用を図りつつ容易に切り替えることができ、高い解像力が容易に得られる投影露光装置及び半導体素子の製造方法の提供を目的とする。
【0014】
又、上記とは異なる高解像力の露光方法として輪帯照明を利用したものが特開昭61−91662号公報で提案されている。同公報では輪帯照明と通常照明との切換の際に光線の利用効率を落とさない方法として、オプティカルインテグレータの前に円錐レンズを着脱可能とし、オプティカルインテグレータに入る光の分布を中央集中型と周辺円輪状とに切り替え可能としている。
【0015】
しかしながら、この円錐レンズは、特開昭58−81813号公報、特開昭58−43416号公報、特開昭58−160914号公報、特開昭59−143146号公報で提案されている、オプティカルインテグレータに入る光の分布を周辺円輪状から中央集中型にする円錐部材であり、輪帯照明や本出願人が先に提案した照明方法においての光利用効率の改善には余り効果がない。
【0016】
本発明は、輪帯照明や本出願人が先に提案した照明方法において利用効率を改善できる投影露光装置及び半導体素子の製造方法の提供を第1の目的とする。
【0017】
又、本発明は、輪帯照明と他の照明方法(例えば通常照明)間で切替を行っても露光むらが生じない投影露光装置と半導体素子の製造方法の提供を第2の目的とする。
【0018】
請求項1の発明の投影露光装置は、レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンをウエハ上に投影する投影光学系と、有効光源分布をモニターする光検出器とを有し、
前記照明光学系は、オプティカルインテグレータに入射する光を複数の光束に分ける光偏向素子を有し、
前記光偏向素子は、光軸に対して回転可能であることを特徴としている。
【0019】
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記光偏向素子は、光路に対して着脱可能であることを特徴としている。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記光偏向素子は、多角錐プリズムであることを特徴としている。
請求項4の発明は、請求項3の発明において、前記多角錐プリズムは、4角錐プリズムであることを特徴としている。
請求項5の発明は、請求項1の発明において、前記光偏向素子は、前記回転により前記オプティカルインテグレータの入射面における光強度分布を変更可能であることを特徴としている。
【0020】
請求項6の発明の半導体素子の製造方法は、レチクルとウエハを用意し、請求項1〜5のいずれか一項の投影露光装置により前記レチクルのパターンで前記ウエハを露光することを特徴とする半導体素子の製造方法。
【0021】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の投影露光装置の一実施例を示す概略構成図であり、ステッパーと呼称される縮小型の投影型露光装置に本発明を適用した例である。
【0022】
図中1は紫外線や遠紫外線等を放射する高輝度の超高圧水銀灯等の光源でその発光部1aは楕円ミラー2の第1焦点近傍に配置している。
【0023】
光源1より発した光が楕円ミラー2によって集光され、コールドミラー3で反射して楕円ミラー2の第2焦点近傍4に発光部1aの像(発光部像)1bを形成している。コールドミラー3は多層膜より成り、主に赤外光を透過させると共に紫外光を反射させている。
【0024】
101は結像系であり、2つのレンズ系5、9を有しており、第2焦点近傍4に形成した発光部像1bを後述する光学素子8を介してオプティカルインテグレータ10の入射面10aに結像している。光学素子8は入射光束を所定方向に偏向する円錐プリズムより成るプリズム部材6と入射光束をそのまま射出させる平行平板7とを有している。
【0025】
8aは保持部材であり、光学素子8のプリズム部材6と平行平板7を光路中に選択的に切替え配置するように構成している。平行平板7が光路中にあるときは結像系101は射出側でテレセントリックとなっている。光学素子8は結像系101の瞳面近傍に位置している。
【0026】
オプティカルインテグレータ10は複数の微小レンズを2次元的に配列して構成しており、その射出面10b近傍に2次光源10cを形成している。11は絞り部材であり、複数の開口部材を有しその開口形状が光路中で切替えられる機構を有している。絞り部材11は2次光源10Cに対して、離散している2次光源が重なり合わない領域に配置している。
【0027】
14aはレンズ系であり、オプティカルインテグレータ10の射出面10bからの光束を集光し、絞り部材11とミラー13を介してコリメータレンズ14bと共にレチクルステージ16に載置した被照射面であるレチクル15を照明している。レンズ系14aとコリメータレンズ14bは集光レンズ14を構成している。
【0028】
17は投影光学系であり、レチクル15に描かれたパターンをウエハチャック19に載置したウエハ18面上に縮小投影している。20はウエハステージであり、ウエハチャック19を載置している。本実施例ではオプティカルインテグレータ10の射出面10b近傍の2次光源10Cは、集光レンズ14により投影光学系17の瞳17a近傍に結像している。
【0029】
本実施例ではレチクル15のパターンの方向性及び解像線巾等に応じて光学素子8のプリズム部材6、又は平行平板7を選択的に光路中に切り変えると共に必要に応じて絞り部材11の開口形状を変化させている。これにより投影光学系17の瞳面17aに形成される2次光源像の光強度分布を変化させて前述の特願平3−28631号で提案した照明方法と同様にして高解像度の投影露光を行なっている。
【0030】
次に本実施例において光学素子8を利用することによりオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を変更すると共に投影光学系17の瞳面17aに形成される2次光源像の光強度分布の変更方法について説明する。
【0031】
図2、図3は各々図1の楕円鏡2からオプティカルインテグレータ10に至る光路を展開した時の要部概略図である。図2、図3ではミラー3は省略している。図2、図3では、光学素子8の各要素6、7を切り替えてオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を変更させている場合を示している。
【0032】
図2は光学素子8のうちの平行平板7を光路中に配置した場合を、図3では光学素子8のうちのプリズム部材6を光路中に配置した場合を示している。
【0033】
図2の照明系は主に高解像力をあまり必要とせず焦点深度を深くした投影を行う場合(第1の状態)であり、従来と同じ照明方法である。図3の照明系は本発明の特徴とする主に高解像力を必要とする投影を行う場合(第2の状態)である。
【0034】
図2(C)、図3(C)はそれぞれオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布を模式的に示している。図中斜線の部分が他の領域に比べ光強度が強い領域である。図2(B)、図3(B)はそれぞれ図2(C)、図3(C)に示すX軸方向に沿った光強度Iの分布を示した説明図である。
【0035】
図2では光学素子8の平行平板7を光路中に配置し、楕円鏡2の第2焦点4に形成した発光部像1bを結像系101によりオプティカルインテグレータ10の入射面10aに結像させている。このとき図2(B)に示すように、オプティカルインテグレータ10の入射面10aでのX方向の光強度分布は、略ガウス型の回転対称となっている。
【0036】
図3では光学素子8のプリズム部材6を光路中に配置しオプティカルインテグレータ10の入射面10aでの光強度分布は図3(B)、図3(C)に示すように、光軸部分が弱く周辺で強いリング状の光強度分布となっている。以下にこの理由について説明する。
【0037】
図4は図2(A)の平行平板7とレンズ系9そしてオプティカルインテグレータ10の入射面10aとの配置を模式的に示したものである。本実施例においては平行平板7とレンズ系9の前側主点位置及びレンズ系9の後側主点位置とオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光学的距離は、レンズ系9の焦点距離をf0とすると、それぞれ距離f0となるように配置している。
【0038】
このとき平行平板7を角度α0で射出する光束の入射面10aへの光軸からの入射高t1は、
t1=f0・tanα0
となる。平行平板7を通過する最外側の光束の光軸からの高さをS0とするとオプティカルインテグレータ入射面10aへの入射角βは、
【0039】
【数1】
【0040】
となる。
【0041】
従って、平行平板7の位置(レンズ系9の前側焦点面)において光束の角度を振った時、オプティカルインテグレータ10の入射面10aへの入射角を変えずに入射位置のみを変えることができる。
【0042】
本実施例では以上の光学原理により、平行平板7から円錐プリズムより成るプリズム部材6に切替えることにより、オプティカルインテグレータ10の入射面10aにおいて光軸部分が弱く周辺部で強いリング状の光強度分布に変更している。
【0043】
オプティカルインテグレータ10の入射面10aでの光強度分布は投影光学系17の瞳面17aに形成される有効光源の光強度分布に対応しているため、平行平板7からプリズム部材6に切替えることにより、投影光学系17の瞳面上で中心部分(光軸部分)に比べて周辺部分で光強度が強い光強度分布を持つ有効光源を形成している。
【0044】
尚、本実施例においてはオプティカルインテグレータ10の射出面10b近傍に絞り部材11を設けており、この絞り部材11は例えば複数の開口を有しその開口形状を任意に変更させることができる機構を有している。この絞り部材11の開口形状は、投影光学系17の瞳面17aに形成される2次光源像の形状に対応させている。例えば中心部に比べ周辺部で多くの光を通過させる開口を有している。
【0045】
本実施例では光学素子8のプリズム部材6への切替え、もしくはプリズム部材6への切替えと絞り部材11の開口形状の変更を併用することにより、光束の有効利用をはかりつつ、所望の有効光源形状を得ている。
(尚本実施例において絞り部材11を特に設けなくても本発明の目的を達成することはできる。)
本実施例においては以上のような構成により、先の特願平3−28631号で提案したようにレチクル15のパターンの最小線巾が比較的大きい時は従来の照明装置と同様に図2(A)で示す構成とし、オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布がガウス型となるようにしている(第1の状態)。
【0046】
又、パターンの最小線巾が小さい時は図3(A)で示す構成とし、オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布がリング状となるようにし、又絞り部材11の開口形状を変えることにより、高解像用の照明装置を実現している(第2の状態)。
【0047】
尚、図2(A)の第1の状態において平行平板7を挿入しているのは、図3(A)の第2の状態(プリズム部材6を挿入)と図2(A)の第1の状態の間で、レンズ系5とレンズ系9との間の光路長の変化を最小限に抑えるためである。プリズム部材6が薄くて済む、或いはオプティカルインテグレータ10以降の光学性能に影響はない等の時にはこの平行平板7を省略しても良い。
【0048】
図5、図6は本実施例において結像系101を構成するレンズ系9の焦点距離fを変えたときの平行平板7を通過する光束の位置(射出高、S1,S2)と偏向角(α1,α2)に対するオプティカルインテグレータ10の入射面10aでの入射高(光軸からの高さt1,t2)との関係を示した説明図である。
【0049】
図5においてレンズ系9の焦点距離をf1としたときt1=f1tanα1が成立する。又図6においてレンズ系9の焦点距離をf2としたときt2=f2tanα2が成立している。
【0050】
これらの式が示すように、レンズ系9の焦点距離fを大きくとれば、平行平板7の位置において小さい偏向角αでオプティカルインテグレータ10の入射面10aで所定の高さの入射位置t1を得ることができる。このことは、レンズ系9の焦点距離fを大きくとれば第2の状態でのプリズム部材6の角度(プリズム角)を小さくすることができることを意味している。これによりそれだけ収差の出にくい結像系101を得ることができる。実際にはレンズ系9はプリズム部材6の大きさとの兼ね合いでプリズム角が5°〜20°程度になるような焦点距離に設定している。
【0051】
本発明における光学素子8のプリズム部材6は円錐プリズムに限らず入射光束を所定方向に偏向させる部材であればどのような形状であっても良い。例えば図7(A)に示す4角錐プリズムや図8(A)に示す8角錐プリズム等の多角錐プリズムを用いても良い。
【0052】
図7(B)、図8(B)は各々図7(A)、図8(A)のプリズム部材を用いた時のオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を模式的に表わしている。図中斜線部分が他の部分に比べて光強度が強くなっている。
【0053】
尚、本発明においてプリズム部材6は実施例1のように平行平板7とプリズム部材6の2種類の切り替えの他に3種類以上のプリズム部材と平行平板とを切り替え可能に構成してもよい。
【0054】
本発明において図7(A)のような4角錐プリズムを光軸中心に回転し、時間的平滑化をすることにより、図3(C)のようなリング状の光強度分布を作ってもよい。
【0055】
又、プリズム部材を切り替えると同時に光源1を光軸方向に移動させ、光強度の強い領域の大きさを変えても良い。
【0056】
図9は本発明の実施例2の一部分の要部概略図である。
【0057】
本実施例では、図1の実施例1に比べてオプティカルインテグレータ10よりも前方(光源1側)の光路中にハーフミラー30を設け、結像系101からの光束の一部を光検出器31(CCDや4分割センサー等)に入射させている点が異っており、この他の構成は同じである。
【0058】
本実施例ではオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布を間接的に計測すると共に光強度分布をモニターするようにしている。これにより入射面10aでの光強度及び光強度分布の変動を調整している。
【0059】
本実施例において例えば光学素子6を光軸に対して回転させたり、光軸に対して偏心させたりする機構を用いればオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布を所望の形に変更することが可能となる。
【0060】
図10は本発明の実施例3の一部分の要部概略図である。
【0061】
本実施例では図1の実施例1に比べてプリズム部材6を光路中に装着すると共にオプティカルインテグレータ10の入射面10a側にレンズ系9の代わりに焦点距離の異なるレンズ系33を装着している点が異なっており、その他の構成は同じである。
【0062】
本実施例ではオプティカルインテグレータ10の入射面10aのより狭い領域に光を集中させて所望の形の光強度分布を得ている。
【0063】
次に本実施例の光学的作用を図11、図12を用いて説明する。
【0064】
図11、図12は光学素子8(プリズム部材6又は平行平板7)からオプティカルインテグレータ10までの光路を模式的に示している。図13、図14はそのときのオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける一方の光強度分布を示している。
【0065】
図11(A)は実施例1において従来の方式の照明を行うときの配置である。一般的にオプティカルインテグレータ10に入射できる光線の角度は決まっており、図11(A)の場合その角度はθ1である。オプティカルインテグレータ10以前の光学系は、オプティカルインテグレータ10への入射角度が角度θ1を越えないように設計される。この時のオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布はラグランジェ・ヘルムホルツの不変量から集光度が制限されてしまい、例えば図13(A)よりも集光度を良くすることはできない。これ以上の集光度を得ようとすると、オプティカルインテグレータ10への入射角度が角度θ1を越えてしまう。
【0066】
図11(B)は実施例1においてプリズム部材6を光路中に挿入した状態である。このときの入射面10aの光強度分布を図13(B)に示す。この時の光束の入射面10aへの入射点S1における最大入射角度は図11(A)と同じくθ1である。しかし実際に入射してくる光束の有効光束角度はθ2である。
【0067】
ここで図12(A)に示すように光学素子32(プリズムやフィールドレンズ)を入射面10aの前方に入れることにより最大入射角を小さくすることができる。この時の入射面10aの光強度分布を図14(A)に示す。
【0068】
ここで最大入射角に余裕ができるため、プリズム部材6からオプティカルインテグレータ10までの光学系の焦点距離を短くすれば、より高い集光度を得ることができる。図12(B)はその光学原理を利用して集光度を高めた例である。この時、光強度分布は図13(B)である。図12(B)ではリング形の光強度分布を得るためにプリズム部材6のプリズム角が大きくなっている。
【0069】
本実施例では以上示したようにプリズム部材6を挿入したことにより、オプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける入射角は、その最大入射角が変わらずにかたよりが生じる。そのかたよりを補正し、入射角度の最適化を行うことにより、入射角に余裕ができ、その入射角が限界入射角になるまで集光度を高めている。
【0070】
その具体的な手段としてプリズム部材6からオプティカルインテグレータ10までの光学系のズーム化、前記光学系の切り替え化、オプティカルインテグレータ10の前方にプリズム(プリズム部材6が円錐プリズムの場合円錐プリズム、四角錐プリズムの場合四角錐プリズム)の挿入、非球面レンズの挿入、もしくはこれらの併用等が適用可能である。
【0071】
図15は本発明の実施例4の一部分の要部概略図である。
【0072】
本実施例では図1の実施例1に比べて光学素子8(プリズム部材6や平行平板7の位置)を結像系101の瞳からずらし、レンズ系9の焦点距離を変えてオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布の集光化を図っている点が異っており、その他の構成は同じである。
【0073】
図15においてPはレンズ系9の瞳面を表わしている。図15(A)は実施例1での第1の状態の照明状態を示したものであり、オプティカルインテグレータ10への入射角はθである。図15(B)は実施例1で第2の状態の照明状態を示したものであり、該入射角は図11(A)と同じθである。この時、プリズム部材6を瞳面Pからずらし図15(C)の如くP面での光束径を小さくすると、該入射角θ´は図11(A),(B)の角度θ2よりも小さくできる。本実施例はこの時にレンズ系9の集点距離を変えてオプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布の極所的集光光化を図っている。
【0074】
図16は本発明の実施例5の要部概略図である。
【0075】
本実施例は図1の実施例1に比べて結像系101を構成するレンズ系5を削除し楕円鏡2の開口2aがレンズ系9によりオプティカルインテグレータ10の入射面10aに結像するようにし、かつ光学素子8を楕円鏡2の第2焦点近傍に配置した点が異っており、その他の構成は同じである。
【0076】
即ち、図1の実施例では光源1の発光部1aの像をオプティカルインテグレータ10の入射面10a上に形成し、光学素子8を光源1とオプティカルインテグレータ10の間の楕円鏡2の開口2aの結像位置(開口2aの像の位置)近傍にもうけていた。
【0077】
これに対し本実施例では楕円鏡2の開口2aの像をオプティカルインテグレータ10の入射面10a上に形成し、光学素子8を光源1とオプティカルインテグレータ10の間の発光部1aの結像位置(楕円鏡2の第2焦点位置)近傍に設けている。
【0078】
又、本実施例ではレンズ系9の前側焦点位置と楕円鏡2の第2焦点位置とが略一致せしめられてレンズ系9により、第2焦点に形成した発光部像1bからの光をほぼ平行な光束に変換し、オプティカルインテグレータ10の入射面10a上に向けている。尚、プリズム部材6が挿入されている場合、レンズ系9から4本の平行光束がオプティカルインテグレータ10の入射面10a上に向けている。
【0079】
図17は本発明の実施例6の要部概略図である。
【0080】
本実施例は図1の実施例1に比べて光学素子8を光軸方向に少なくとも2つのプリズム部材6a,6bを配置して構成し、オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を変更する際には、即ち第2の状態とするときには光学素子8(プリズム部材6a,6b)を光路中に装着すると共に結像系101を構成する一部のレンズ系9aを他のレンズ系9bと交換して軸外主光線の入射面10aへの入射角が小さくなるようにして光束の有効利用を図った点が異っており、その他の構成は同じでる。
【0081】
本実施例では照明方法として第1の状態では光路中にレンズ系9aを配置し(このとき光学素子8は用いていない。)オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度が即ち投影光学系17の瞳面17aでの光強度が中心部分が強い回転対称となるようにしている。
【0082】
そして光学素子8(プリズム部材6a,6b)を光路中に配置すると共にレンズ系9aの代わりに焦点距離の異なるレンズ系9bを配置して第2の状態にしてオプティカルインテグレータ10aの入射面10aへの主光線の入射角が小さくなるようにして、入射面10aの光強度が、即ち投影光学系17の瞳面17aでの光強度が中心部分に比べて周辺部分に強い領域を有するようにしている。
【0083】
次に本実施例の構成上の実施例1と異なる特徴を中心について説明する。
【0084】
図17においてレンズ系5は第2焦点近傍4に形成した発光部像1bからの光束を集光し、平行光束として射出している。結像系101(レンズ系5とレンズ系9a)は射出側でテレセントリックとなっており、少なくとも一部のレンズ系は光軸方向に移動可能となっており、これによりオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を調整している。
【0085】
本実施例では、レチクル15のパターンの方向性及び解像線巾等に応じて、結像系101の一部であるレンズ系9aを2枚のプリズム部材6a,6bを含んだ光学素子8とレンズ系9bとに切り替えてオプティカルインテグレータ10の入射面10aでの光強度分布を変えると共に、必要に応じて絞り部材11の開口形状を変化させ、投影光学系17の瞳面17aに形成される2次光源像の光強度分布を変化させている。
【0086】
次に本実施例において光学素子8を利用することによりオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を変更すると共に投影光学系17の瞳面17aに形成される2次光源像の光強度分布の変更方法について説明する。
【0087】
図18、図19は各々図17の楕円鏡2からオプティカルインテグレータ10に至る光路を展開したときの要部概略図である。図18、図19ではミラー3は省略している。図18、図19では、光学素子8の各要素を切り替えてオプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布を変更させている場合を示している。
【0088】
図18はレンズ系9aを光路中に配置した場合を、図19ではレンズ系9aを除去し、その代わりに光学素子8のプリズム部材6a,6bとレンズ系9bを光路中に配置した場合を示している。
【0089】
図18の照明系は主に高解像力をあまり必要とせず焦点深度を深くした投影を行う場合(第1の状態)であり、従来と同じ照明方法である。図19の照明系は本発明の特徴とする主に高解像力を必要とする投影を行う場合(第2の状態)である。
【0090】
図18(B)、図19(B)はそれぞれオプテシカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布を模式的に示している。図中斜線の部分が他の領域に比べ光強度が強い領域である。同図ではX軸方向に沿った光強度Iの分布を示している。
【0091】
図20(A),(B),(C)は図18、図19の各システムにおいて、オプティカルインテグレータ10に入射する光線の様子を模式的に示したものである。図中、±θはオプティカルインテグレータ10に入射できる(オプティカルインテグレータ10に入射後けられずに出射できる)光線の範囲(角度)を示したものである。又図中格子線の部分は、オプティカルインテグレータ10に入射する光線のより光強度の大きい部分を表わしている。
【0092】
図18(A)は通常の照明状態の時の光学配置を示している。この時オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布は、図18(B)に示すようなガウス分布に近い分布になっており、その入射角度は、図20(A)のようになっている。この状態で高解像度用の照明を行なう場合、オプティカルインテグレータ10の後方又は前方に、図21に示すような閉口121aを有する絞り121を挿入する方法がある。しかしながらこの場合、図18(A)の光強度分布図の斜線部の光束しか利用できないため、著しく照度が低下する。
【0093】
そこで本実施例では図19(A)に示すようにレンズ系9aをより焦点距離の小さいレンズ系9bと交換し(レンズ系9bの焦点距離をf9bとした時、プリズム6aとレンズ系9b、レンズ系9bとオプティカルインテグレータ10の入射面10aのそれぞれの光学距離はそれぞれf9bとなるように配置する)、オプティカルインテグレータ10の入射面10aにおける光強度分布を図19(B)のようにしている。
【0094】
そして適当なプリズム角度をもったプリズム部材6bをオプティカルインテグレータ10の直前に挿入することにより光線入射角度(軸外光束の入射角度)が図20(C)のように小さくなるようにして、オプティカルインテグレータ10に効率よく入射するようにしている。これにより入射光束のほとんどを照明光として使用するようにしている。
【0095】
本実施例では以上のような原理のもとに図19(A)のような光学配置をとることにより、照射面での照度をあまり落とさずに高解像度用の照明を行っている。
【0096】
本実施例において結像101の一部に設けるプリズム部材6a,6bは4角錐プリズムの他に、図8で示したような多角錐プリズム(8角錐プリズム)であっても良い。
【0097】
本実施例においては通常の照明状態である図18(A)のレンズ系9aを高解像度用の照明状態である図19(A)のレンズ系9bと交換する場合について説明したが、レンズ系9aを構成する各レンズを移動して(ズーム化して)レンズ系9bと同じ状態を作り出してもよいし、一部ズーム化又は一部交換するように構成してもよい。
【0098】
又、図21に示すような高解像度用の絞り121は必要に応じて付けても良いし、付けなくてもよい。又本実施例においては結像系101の倍率を変えるためにレンズ系9aの焦点距離を変えているが、レンズ系5の焦点距離を変えても良いし、レンズ系5とレンズ系9aの両方を変えてもよい。
【0099】
本実施例において、通常の照明状態(第1の状態)と高解像度用の照明状態(第2の状態)を切り替えると、オプティカルインテグレータ10の入射面10aの光強度分布の違いにより、照射面での照度均一性(照度ムラ)が軸対称に変わり、ウエハ18上で露光むらが生じる場合がある。このような場合、光学系14の一部のレンズを光軸方向に移動することにより、ディストーション等の収差を変え、照明面における軸対称な照度むら(ウエハ面での露光むら)を補正している。
【0100】
上記実施例において、光学系14の後に照明面としてレチクル15を配置しているが、光学系14とレチクル15の間に結像系14を配置し、その結像系14におけるレチクル15の共役面を照明してもよい。
【0101】
図22は本発明の実施例7の一部分の要部概略図である。
【0102】
本実施例は図1の実施例1に比べてオプティカルインテグレータ10と被照射面15との間にハーフミラー43を設けて被照射面での露光量を検出するようにした点が異っており、その他の構成は実質的に同じである。
【0103】
図22において44はレチクル面もしくは、レチクルと共役な面である。又45はピンホールであり、面44と光学的に共役な位置に置かれている。31は光検出器(CCDや4分割センサー等)である。
【0104】
本実施例ではこのような構成をとることにより、被照射面の中心での有効光源分布をモニターすることができる。又本実施例においては光検出器31において、被照射面での露光量を同時にモニターすることも可能である。
【0105】
尚、本実施例においてハーフミラー43をレンズ系13aとコリメーターレンズ14bとの間に配置した場合を示したが、ハーフミラー43はオプティカルインテグレータ10と被照射面15との間であればどこに配置しても良い。
【0106】
以上説明した各実施形態によれば、投影露光するレチクル面上のパターンの細かさ、方向性などを考慮して、該パターンに適合した照明系を選択することによって最適な高解像力の投影露光が可能な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を達成している。
【0107】
又、各実施形態によればそれほど細かくないパターンを露光する場合には従来の照明系そのままで用いることができるとともに細かいパターンを露光する場合には光量の損失が少なく高解像を容易に発揮できる照明装置を用いて大きな焦点深度が得られるという効果が得られる。
【0108】
又、照明系のみの変形で像性能がコントロールでき、投影光学系に対しては制約を加えないため、ディストーション、像面の特性などの光学系の主要な性質が照明系で種々変形を加えるのにも変わらず安定しているという効果を有した投影露光装置及び半導体素子の製造方法を達成することができる。
【0109】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、輪帯照明や本出願人が先に提案した照明方法において光利用効率を改善できる。及び/又は、露光むらを改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の要部概略図
【図2】図1の一部分の説明図
【図3】図1の一部分の説明図
【図4】図1のレンズ系9の光学作用の説明図
【図5】図1のレンズ系9の光学作用の説明図
【図6】図1のレンズ系9の光学作用の説明図
【図7】本発明に係るプリズム部材の他の実施例の説明図
【図8】本発明に係るプリズム部材の他の実施例の説明図
【図9】本発明の実施例2の一部分の要部概略図
【図10】本発明の実施例3の一部分の要部概略図
【図11】本発明の実施例3の光学作用の説明図
【図12】本発明の実施例3の光学作用の説明図
【図13】本発明の実施例3に係る光強度分布の説明図
【図14】本発明の実施例3に係る光強度分布の説明図
【図15】本発明の実施例4の一部分の要部概略図
【図16】本発明の実施例5の要部概略図
【図17】本発明の実施例6の要部概略図
【図18】図17の一部分の説明図
【図19】図17の一部分の説明図
【図20】図17のオプティカルインテグレータ10の入射面10aへの光束の入射状態の説明図
【図21】絞りの開口状態の説明図
【図22】本発明の実施例7の一部分の要部概略図
【符号の説明】
1 光源
2 楕円鏡
3 コールドミラー
5,9 レンズ系
6,6a,6b プリズム部材
7 平行平板
8 光学素子
10 オプティカルインテグレータ
11 絞り部材
13 ミラー
15 レチクル
17 投影光学系
18 ウエハ
Claims (6)
- レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクルのパターンをウエハ上に投影する投影光学系と、有効光源分布をモニターする光検出器とを有し、
前記照明光学系は、オプティカルインテグレータに入射する光を複数の光束に分ける光偏向素子を有し、
前記光偏向素子は、光軸に対して回転可能であることを特徴とする投影露光装置。 - 前記光偏向素子は、光路に対して着脱可能であることを特徴とする請求項1の投影露光装置。
- 前記光偏向素子は、多角錐プリズムであることを特徴とする請求項1の投影露光装置。
- 前記多角錐プリズムは、4角錐プリズムであることを特徴とする請求項3の投影露光装置。
- 前記光偏向素子は、前記回転により前記オプティカルインテグレータの入射面における光強度分布を変更可能であることを特徴とする請求項1の投影露光装置。
- レチクルとウエハを用意し、請求項1〜5のいずれか一項の投影露光装置により前記レチクルのパターンで前記ウエハを露光することを特徴とする半導体素子の製造方法。
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