JP3548563B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フラッシュメモリーなどに利用されるトンネル酸化膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法あり、詳しくは、CVD(Chemical Vaper Deposition)により成膜されたシリコン酸化膜(HTO膜:High−Temperature−Oxide)を酸素アニール処理してトンネル酸化膜を形成する工程を含む半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、トンネル酸化膜は、CVDにより成膜されたHTO膜(SiO2膜)を酸素アニール処理することにより膜改質(緻密化)して形成している。その酸素アニール処理は、通常、希釈酸素アニール(900℃、1%O2(99%)、15分)で行っている。また、この酸素アニール処理条件は、アニール処理前後のHTO膜厚増加が10Å(1nm)以下に収まる様に設定している。これは、この膜厚増加が10Å(1nm)以上になるとデバイス特性劣化原因につながる可能性があるためである。この様にして得られたSiO2膜をフラッシュメモリーなどのトンネル酸化膜として適応してきた。
【0003】
しかし、以上に述べたトンネル酸化膜は、シリコン基板やポリシリコン膜(多結晶シリコン膜)表面に酸素アニール処理を施して得られた通常の熱酸化膜に比べて電気的にリークの多い膜であり、デバイス特性に影響を与える可能性がある。ここで、図7に、HTO膜に希釈酸素アニール処理(900℃、Dry 1%O2(99%) 15分)を施した膜をトンネル膜とした場合と、熱酸化膜をそれとした場合の耐圧を比較したデータである。これより熱酸化膜に比べてHTO膜+希釈酸素アニール処理は、電流が流れ易い膜になっていることがわかる。これは酸素アニール処理によるHTO膜の改質が充分に行われておらず、シリコンの不対電子がHTO膜中に残存し、リークの多い膜になっていることが考えられる。例えば、この様なリークの多い膜を、フラッシュメモリーなどに対して適用することは、電荷保持特性が劣化し、歩留り、信頼性低下の要因になり問題点があった。
【0004】
また、上述のように、ポリシリコン膜上にCVDにより成膜されたHTO膜(SiO2膜)を成膜し、酸素アニール処理を施して得られるトンネル酸化膜の絶縁破壊破壊耐性(耐圧)を向上させることが求められているが、HTO膜を十分に改質するため、酸化処理能力の高い酸素アニール処理を施すと、ポリシリコン膜上にトンネル酸化膜を形成する場合、酸化スピードが速く、下層のポリシリコン膜までも酸化させてしまうといった問題もでてくる。
【0005】
ところで、熱酸化膜の場合には、絶縁破壊破壊耐性を向上させること(リークの少なくさせる)を目的として、シリコン基板やポリシリコン膜(多結晶シリコン膜)表面に酸素アニール処理を施す際、高温処理、低温処理との2つ段階の酸素アニール処理を行なうことが提案されている(例えば、特開平8−255905号)。この提案では、2段階の酸素アニール処理を施すことで、絶縁破壊耐性を向上させている。
【0006】
この提案のように、HTO膜に酸素アニール処理を施したトンネル酸化膜でも、HTO膜を十分に改質し、少しでも熱酸化膜の特性に近づけることが求められている。
【0007】
【特許文献1】
特開平8−255905号
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明は、前記従来における諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明の目的は、下層のポリシリコン膜を酸化させることなく、酸素アニールによりHTO膜を十分に改質させ、電気的にリークが少ないトンネル酸化膜を形成する半導体装置の製造方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、本発明は、
第1の本発明は、ポリシリコン層上にトンネル酸化膜を形成するトンネル酸化膜形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜形成工程が、前記ポリシリコン層上に、シリコン窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する、ことを特徴する。
【0010】
第1の本発明において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施される場合、その処理時間は、5分〜10分であることが好適であり、その処理温度は、850℃〜900℃であることが好適である。
【0011】
第2の本発明は、ポリシリコン層上にトンネル酸化膜を形成するトンネル酸化層形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜形成工程が、前記ポリシリコン層上に、シリコン酸窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する、ことを特徴する。
【0012】
第2の本発明において、前記酸素アニール処理がドライ方式で施される場合、その処理時間は、30分〜60分であることが好適であり、その処理温度は、850℃〜900℃であることが好適である。また、前記酸素アニール処理がウェット方式で施される場合、その処理時間は、5分〜60分であることが好適であり、その処理温度は、850℃〜900℃であることが好適である。
【0013】
第2の本発明において、シリコン酸窒化膜とHTO膜とを連続的に成膜することも好適に行なわれる。
【0014】
上記第1及び第2の本発明は、シリコン基板上に、第1のフローティングゲートと、第1のフローティングゲート上に設けられるトンネル酸化膜と、少なくとも前記第1のフローティングゲートのエッジ部に重畳させて設けられる第2のフローティングゲートと、を含んで構成される半導体装置の製造方法における、トンネル酸化膜を形成する際に、好適に適用することができる。
【0015】
【実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、実質的に同様の機能を有するものには、全図面通して同じ符号を付して説明し、場合によってはその説明を省略することがある。
【0016】
(第1の実施の形態)
第1の実施の形態は、ポリシリコン膜上に、窒化膜を介してトンネル酸化膜を形成する形態である。この実施形態では、まず、ポリシリコン膜上に、例えば、15〜20Å(1.5〜2.0nm)程度の窒化膜を成膜する。この窒化膜は、例えば、LP−CVD(Low pressure chemical vapor deposition)装置を用い、NH3ガス雰囲気下、温度を800〜850℃、圧力3.0〜4.0torr、流量2〜3sccm、時間は20〜30分の処理を行い成膜する。
【0017】
そして、窒化膜上に、CVD法によりHTO膜を成膜した後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する。HTO膜は、例えば、LP−CVD(Low pressure chemical vapor deposition)装置を用い、SiH4ガス及びN2Oガス雰囲気下、温度を780℃、圧力0.36torr、流量75:150sccm(SiH4:N2O)、時間は20〜30分の処理を行い成膜する。
【0018】
この酸素アニール処理は、例えば、ウェット(wet)方式で、処理温度850℃〜900℃(好ましくは850℃〜880℃)、水分濃度80%〜100%%(好ましくは、90%〜100%)、処理時間5分〜10分(好ましくは5分〜8分)という、酸化能力の高い処理が施される。
【0019】
本実施形態では、窒化膜を介して、ポリシリコン膜上にHTO膜を成膜するので、ポリシリコン膜を酸化させることなく、酸化能力の高い酸素アニール処理を施すことができる。このように酸化能力の高いアニールを行うことにより、現行よりHTO膜中のシリコンの不対電子が減少し、結果的にHTO膜の改質効果が期待できる電気的なリークの少ない膜となる。これにより電荷保持特性が向上し、デバイスの信頼性が向上する効果が得られる。
【0020】
ここで、図1に、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニール(900℃、Dry 1%O2(99%N2) 15分)してトンネル酸化膜を形成したもの(従来方法)と、窒化膜(15〜18Å(1.5〜1.8nm))介して、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニール(850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0)、5分)してトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す。この耐圧データは、測定面積20mm2、測定数56ポイントで測定を行ない、判定電流1×10−6A/cmの所で得られた耐圧値をグラフに示した。
【0021】
この図1の結果より、従来に比べて、本実施形態で形成したトンネル酸化膜は耐圧(MV/cm)が高く、絶縁性が良くなっていることがわかる(同一電流:1×10−6A/cmにて比較)。つまり、本実施形態では、従来に比べて電気的にリークが少なく、HTO膜が改質されていることがわかる。
【0022】
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態は、上記第1の実施形態に対して、窒化膜の代わりに、酸窒化膜を介して、ポリシリコン膜上にトンネル酸化膜を形成する形態である。この実施形態では、ポリシリコン膜上に、例えば、8〜10Å(0.8〜1.0nm)程度の酸窒化膜を成膜する。この酸窒化膜は、例えば、縦型拡散炉を用い、N2Oガス雰囲気下、温度900℃、圧力76〜80torr、流量1.0〜1.2slm、時間30〜40分で処理を行い成膜する。そして、窒化膜上に、HTO膜を成膜した後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する。
【0023】
この酸素アニール処理は、例えば、ウェット(wet)方式の場合、処理温度850℃〜900℃(好ましくは850℃〜880℃)、水分濃度80%〜100%(好ましくは、90%〜100%)、処理時間5分〜60分(好ましくは5分〜8分)、ドライ(dry)方式の場合、処理温度850℃〜900(好ましくは850℃〜880℃)、酸素濃度80%〜100%(好ましくは、90%〜100%)、処理時間30分〜60分(好ましくは、30分〜40分)という、酸化能力の高い処理が施される。
【0024】
本実施形態では、酸窒化膜を介して、ポリシリコン膜上にHTO膜を成膜するので、ポリシリコン膜を酸化させることなく、酸化能力の高い酸素アニール処理を施すことができる。このように酸化能力の高いアニールを行うことにより、現行よりHTO膜中のシリコンの不対電子が減少し、結果的にHTO膜の改質効果が期待できる電気的なリークの少ない膜となる。これにより電荷保持特性が向上し、デバイスの信頼性が向上する効果が得られる。
【0025】
ここで、図2に、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニール(900℃、Dry 1%O2(99%N2) 15分)してトンネル酸化膜を形成したもの(従来方法)と、酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))介して、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニール(条件▲1▼850℃、Dry 100%O2 30分、条件▲2▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 5分)してトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す。
【0026】
図2の結果から、第1の実施の形態と同様に、従来に比べて、本実施形態で形成したトンネル酸化膜は耐圧(MV/cm)が高く、絶縁性が良くなっていることがわかる(同一電流:1×10−6A/cmにて比較)。つまり、本実施形態では、従来に比べて電気的にリークが少なく、HTO膜が改質されていることがわかる。
【0027】
さらに、第1の実施の形態では、ドライ方式の酸素アニール処理では、従来に比べ耐圧(MV/cm)が高くならなかったが、本実施形態では、ウェット方式のみならず、ドライ方式の酸素アニール処理でも、従来より電気的に優位差が見られることもわかる。
【0028】
なお、本実施形態では、酸窒化膜とHTO膜を連続的に成膜することもできる(以下、insitu酸窒化処理という)。HTO膜は、SiH4及びN2Oガスを気相成長(CVD)により形成しているので、その成膜ステップ前に、N2Oガスを用いて酸窒化膜を形成することもできる。
【0029】
例えば、insitu酸窒化処理シーケンスでは、まず、ボート内に100枚のウエハーをチャージし、700℃の温度下でボートを装置内挿入する(ボートLoad)。そして、装置内をリークチェック、温度安定化を図る。そして、N2Oガスを導入し、NH3ガス雰囲気下、温度を900℃、圧力3.0〜4.0torr、流量1.0〜1.2sccm、時間20〜30分の条件で、酸窒化膜を成膜する。次に、SiH2Cl2ガス及びN2Oガスを導入し、SiH2Cl2ガス及びN2Oガス雰囲気下、温度780℃、圧力0.36torr、流量75:150sscm(SiH2Cl2:N2O)、時間20〜30分の条件で、HTO膜を成膜する。その後、装置内をパージ、常圧復帰させ、700℃の温度下でボートを装置内から取出す(ボートUload)。そして、ボート内から100枚のウエハーをディスチャージする。
【0030】
このようにして、酸窒化膜とHTO膜を連続的に成膜される。酸窒化膜とHTO膜を連続的に成膜することで、工程削減及びスル−プット向上させることができる。
【0031】
ここで、図3に、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニール(900℃、Dry 1%O2(99%N2) 15分)してトンネル酸化膜を形成したもの(従来方法)と、上記insitu酸窒化処理シーケンスにより酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))及びHTO膜を連続的に成膜し、この酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))を介してポリシリコン膜上に成膜されたをHTO膜に酸素アニール(条件▲1▼850℃、Dry 100%O230分、条件▲2▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 5分)してトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す。
【0032】
図3の結果からも、上記図2の結果と同様に、従来に比べて、上記insitu酸窒化処理シーケンスにより酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))及びHTO膜を連続的に成膜した場合でも、酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))を介してポリシリコン膜上に成膜されたをHTO膜は、耐圧(MV/cm)が高く、絶縁性が良くなっていることがわかる(同一電流:1×10−6A/cmにて比較)。
【0033】
なお、本実施形態では、酸化能力の高い酸化アニール処理として、アニール処理の長時間化を図ることができる。ここで、図4には、酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))介して、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニール(条件▲1▼850℃、Dry 100%O2 30分、条件▲2▼850℃、Dry 100%O2 60分、条件▲3▼850℃、Dry 100%O2 90分、条件▲4▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 5分 条件▲5▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 15分、条件▲6▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 30分、)してトンネル酸化膜を形成したものとの膜厚を示す。
【0034】
図4の結果から、酸素アニール処理時間が、ドライ方式の場合60分を超えると、ウェット方式の場合15分を超えると、酸素アニール処理後のHTO膜の膜厚増加量が10Å(1nm)を超えることがわかる(この場合、酸素アニール処理後のHTO膜の膜厚は160Å(16nm)以下)。この酸素アニール処理後の膜厚増加量が10Å(1nm)を超えると、デバイス特性の劣化原因につながる可能性がでてくるため、酸素アニール処理時間は、長時間化してもその上限はドライ方式の場合60分以下、ウェット方式の場合15分以下が好適であることがわかる。
【0035】
また、ここで、図5に、上記insitu酸窒化処理シーケンスにより酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))及びHTO膜を連続的に成膜し、この酸窒化膜(8〜10Å(0.8〜1.0nm))を介してポリシリコン膜上に成膜されたをHTO膜に酸素アニール(条件▲1▼850℃、Dry 100%O2 30分、条件▲2▼850℃、Dry 100%O2 60分、条件▲3▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 5分、条件▲4▼850℃、Wet O2(H2:O2:N2=1:1:0) 15分)してトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す。
【0036】
図5の結果から、上述のように、酸素アニール処理後の膜厚増加量が10Å(1nm)以下となるように処理時間を長時間化すれば、デバイス特性が劣化することなく、従来に比べより効果的に、耐圧(MV/cm)が高く、絶縁性が良くなっていることがわかる(同一電流:1×10−6A/cmにて比較)。
【0037】
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態は、例えば、SST型のフラッシュメモリーなどの半導体装置(半導体記憶装置)に、上記1〜2の実施の形態を適用させた形態である。
【0038】
本実施形態において適用される半導体装置10をその製造方法に従って説明する。図6に示すように、半導体装置10は、シリコン基板12上にゲート絶縁膜14を形成し、このゲート絶縁膜14を介してポリシリコン膜からなる第1フローティングゲート16を形成する。第1フローティングゲート16上にトンネル酸化膜18(HTO膜)を形成し、シリコン基板12上にトンネル酸化膜18を介してポリシリコン膜からなる第2フローティングゲート20を、第1フローティングゲート16のエッジ部16aと重畳させて形成する。そして、第1フローティングゲート16及び第2フローティングゲート20上にゲート間絶縁膜22を形成し、ゲート間絶縁膜22を介してコントロールゲート24を形成する。
【0039】
このような構成の半導体装置では、第1フローティングゲート16のエッジ部16aに電界集中させ、トンネル酸化膜18を介して、第2フローティングゲート20にキャリアをトンネルさせる。このため、第1フローティングゲート16のエッジ部16aは、その先端が尖っていることが、トンネル動作に必要な電圧を低減させることができることから有利である。しかし、第1フローティングゲート16上にHTO膜を成膜し、これを酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜18を形成する際、酸化能力の高い酸素アニール処理を施してしまうと、ポリシリコン膜からなる第1フローティングゲート16まで酸化され、上記エッジ部16aが丸みを帯びてしまい、トンネル動作に必要な電圧を低減させることができなくなる。
【0040】
そこで、本実施形態では、上記第1及び第2の実施形態を適用、即ち、ポリシリコン膜からなる第1フローティングゲート16上に、窒化膜26又は酸窒化膜28を介してHTO膜を成膜し、酸素アニール処理を施すことで、第1フローティングゲート16のエッジ部16aが丸みを帯びることなく、電気的にリークが少ないトンネル酸化膜18を形成することができる。
【0041】
なお、上記何れの実施の形態に係る本発明の半導体装置の製造方法においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
【0042】
【発明の効果】
以上、本発明によれば、ポリシリコン膜上に、窒化膜を介してHTO膜を成膜し、酸素アニール処理を施すことで、下層のポリシリコン膜を酸化させることなく、電気的にリークが少ないトンネル酸化膜を形成することができる。
また、本発明によれば、ポリシリコン膜上に、酸窒化膜を介してHTO膜を成膜し、酸素アニール処理を施すことで、ドライ方式及びウェット方式問わず、しかもより効果的に、下層のポリシリコン膜を酸化させることなく、酸素アニールによりHTO膜を十分に改質させ、電気的にリークが少ないトンネル酸化膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態において、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものと、窒化膜介してポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す図である。
【図2】第2の実施の形態において、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものと、酸窒化膜介してポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す図である。
【図3】第2の実施の形態において、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を希釈酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものと、ポリシリコン膜上に連続的成膜した窒化膜及びHTO膜を酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す図である。
【図4】第2の実施の形態において、酸窒化膜介してポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニールする際、処理時間を長時間化したときのトンネル酸化膜の膜厚変化を示す図である。
【図5】第2の実施の形態において、酸窒化膜介してポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニールする際、処理時間を長時間化したときの耐圧変化を示す図である。
【図6】第3の実施の形態に係る半導体装置の製造方法に提供される半導体装置を示す概略断面図である。
【図7】通常の熱酸化膜と、ポリシリコン膜上に成膜されたHTO膜を酸素アニールしてトンネル酸化膜を形成したものとの耐圧データを示す図である。
【符号の説明】
10 半導体装置
12 シリコン基板
14 ゲート絶縁膜
16 第1フローティングゲート
18 トンネル酸化膜(HTO膜)
20 第2フローティングゲート
22 ゲート間絶縁膜
24 コントロールゲート
26 窒化膜
28 酸窒化膜
Claims (18)
- ポリシリコン層上にトンネル酸化膜を形成するトンネル酸化膜形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜形成工程が、前記ポリシリコン層上に、シリコン窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する、
ことを特徴する半導体装置の製造方法。 - 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理時間が、5分〜10分であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- ポリシリコン層上にトンネル酸化膜を形成するトンネル酸化層形成工程を含む半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜形成工程が、前記ポリシリコン層上に、シリコン酸窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施してトンネル酸化膜を形成する、
ことを特徴する半導体装置の製造方法。 - 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記シリコン酸窒化膜とHTO膜とを連続的に成膜することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がドライ方式で施され、その処理時間が、30分〜60分であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がドライ方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理時間が、5分〜60分であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- シリコン基板上に、第1のフローティングゲートと、第1のフローティングゲート上に設けられるトンネル酸化膜と、少なくとも前記第1のフローティングゲートのエッジ部に重畳させて設けられる第2のフローティングゲートと、を含んで構成される半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜を、第1のフローティングゲート上に、シリコン窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施して形成する、
ことを特徴する半導体装置の製造方法の製造方法。 - 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理時間が、5分〜10分であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- シリコン基板上に、第1のフローティングゲートと、第1のフローティングゲート上に設けられるトンネル酸化膜と、少なくとも前記第1のフローティングゲートのエッジ部に重畳させて設けられる第2のフローティングゲートと、を含んで構成される半導体装置の製造方法であって、
前記トンネル酸化膜を、第1のフローティングゲート上に、シリコン酸窒化膜を介してCVD法によりシリコン酸化膜成膜後、酸素アニール処理を施して形成する、
ことを特徴する半導体装置の製造方法。 - 前記トンネル酸化膜形成工程において、前記シリコン酸窒化膜とHTO膜とを連続的に成膜することを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸素アニール処理がドライ方式で施され、その処理時間が、30分〜60分であることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸素アニール処理がドライ方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理時間が、5分〜60分であることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸素アニール処理がウェット方式で施され、その処理温度が、850℃〜900℃であることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
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