JP3535352B2 - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents

飛行時間型質量分析装置

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JP3535352B2
JP3535352B2 JP21438597A JP21438597A JP3535352B2 JP 3535352 B2 JP3535352 B2 JP 3535352B2 JP 21438597 A JP21438597 A JP 21438597A JP 21438597 A JP21438597 A JP 21438597A JP 3535352 B2 JP3535352 B2 JP 3535352B2
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/26Mass spectrometers or separator tubes
    • H01J49/34Dynamic spectrometers
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  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、飛行時間型質量分析装
置(以下、TOF−MSと称す)に関する。
【0002】
【従来の技術】TOF−MSは、概略、図2に示すよう
に、イオン源1、飛行空間2、検出器3、演算部4、パ
ルス発生部5で構成される。イオン源1は、パルス発生
部5からパルスが供給されるとパルス状にイオンを出射
するものであり、イオン源1から出射されたイオンは飛
行空間2を飛行し、検出器3に達する。演算部4は、パ
ルス発生部5からパルスを受けると計時を開始し、検出
器3の出力を時間の関数として記録することにより時間
−イオン電流スペクトル(以下、単にスペクトルと称
す)を得るものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、TOF−M
Sを用いて質量分析を行う場合において、イオン化した
試料を無駄なく有効に利用するためには、短い時間間隔
でイオン源1からイオンを出射するようにすればよい。
このようにすれば質量分析に要する時間も短くて済むと
いう利点もある。
【0004】しかしながら、TOF−MSでは質量が小
さいイオンから順に検出器3に到達するので、短い時間
間隔でイオンを出射した場合には、後から出射された質
量の小さいイオンが先に出射された質量の大きいイオン
を追い越してしまうことがあり、スペクトルが混じって
しまうという問題が生じる。
【0005】これに対して、特開平7−211285号
公報には、スペクトルが混じるような条件でパルスを出
射し、しかも得られたスペクトルから元のスペクトル、
即ち単発のパルスによって出射されたイオンのスペクト
ルを求める方法が開示されている。これは、ランダムな
パルス列によってイオンを出射し、そのランダムなパル
ス列と検出器出力の相関を求めることによって元のスペ
クトルを求めるというものである。しかしながら、この
ようにランダムなパルス列と検出器出力の相関を求める
だけではスペクトルを完全に分離することは非常に困難
であることが判明した。
【0006】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、TOF−MSにおいて短い時間間隔でイオンを出
射させた場合であっても検出されたスペクトルを良好に
分離して元のスペクトルを得ることができる飛行時間型
質量分析装置を提供することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1記載の飛行時間型質量分析装置は、イオ
ン源と、イオン源からイオンを出射させるための適宜な
パルス列を発生するパルス発生手段と、イオンを検出す
る検出器と、検出器から出力されるスペクトルと、パル
ス発生手段から発生されるパルス列の信号とに基づいて
畳み込みの逆演算を行うことによって、単発の出射パル
スによって得られるスペクトルを求める演算手段とを備
、前記演算手段における畳み込みの逆演算は、検出器
から出力される合成スペクトル信号w(t)をフーリエ
変換してW(ω)を求めるステップと、パルス発生手段
からのパルス列の信号h n (τ)をフーリエ変換してH n
(ω)を求めるステップと、該W(ω)とH n (ω)か
らY(ω)=W(ω)/H n (ω)の演算を行ってY
(ω)を求めるステップと、Y(ω)を逆フーリエ変換
することによりスペクトルy(t)を求めるステップを
含むことを特徴とする。
【0008】また、請求項2記載の飛行時間型質量分析
装置は、イオン源と、イオン源からイオンを出射させる
ためのパルス列を発生するパルス発生手段であって、周
波数空間に変換したときに同じ周波数位置でゼロ点をと
らない2以上のパルス列を発生するパルス発生手段と、
イオンを検出する検出器と、パルス発生手段から発生さ
れたそれぞれのパルス列によってイオン源からイオンを
出射したときに検出器から得られるそれぞれのスペクト
ルと、パルス発生手段から発生されるそれぞれのパルス
列とに基づいて畳み込みの逆演算を行うことによって、
単発の出射パルスによって得られるスペクトルを求める
演算手段とを備え、前記演算手段における畳み込みの逆
演算は、第1のパルス列によるスペクトル測定の時に検
出器から得られたスペクトル信号w(t)をフーリエ変
換してW(ω)を求めるステップと、第1のパルス列の
信号h n (τ)をフーリエ変換してH n (ω)を求めるス
テップと、該W(ω)とH n (ω)からY(ω)=W
(ω)/H n (ω)の演算を行ってY(ω)を求めるス
テップと、第2のパルス列によるスペクトル測定の時に
検出器から得られたスペクトル信号w′(t)をフーリ
エ変換してW′(ω)を求めるステップと、第2のパル
ス列の信号h m (τ)をフーリエ変換してH m (ω)を求
めるステップと、該W′(ω)とH m (ω)とからY′
(ω)=W′(ω)/H m (ω)の演算を行ってY′
(ω)を求めるステップと、H n (ω)及びH m (ω)と
それぞれ同じ周波数位置でゼロ点を取る連続関数D
(ω)及びD′(ω)を決定するステップと、該D
(ω)、D′(ω)とY(ω)、Y′(ω)からY″
(ω)={D(ω)Y(ω)+D′(ω)Y′(ω)}
/{D(ω)+D′(ω)}によって加重平均Y″
(ω)を求めるステップと、求めた加重平均Y″(ω)
を逆フーリエ変換して元のスペクトルy(t)を求める
ステップとを含むことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ実施の形
態について説明する。まず、本発明に係る飛行時間型質
量分析装置の一実施形態を、この飛行時間型質量分析装
置における質量分析の第1の手法と共に説明する。
【0010】いま、1個のパルスでイオンを出射したと
きに得られるスペクトルが図1(a)に示すようであ
り、このスペクトルをy(t)とおく。そして、そのt
1 時間後にパルスを1個発生してイオンを出射したとす
ると、このときに得られるスペクトルは、先のパルスで
イオンを出射したときのスペクトルと理論的には同じ形
で、時間だけがt1 時間遅れているので、図1(b)に
示すようであり、y(t−t1 )で表される。従って、
この場合に検出されるスペクトルは図1(a)に示すス
ペクトルと、図1(b)に示すスペクトルを合成したも
のとなり、図1(c)に示すようになる。ここで、 w(t)=y(t)+y(t−t1 ) で表される。
【0011】そこで、t0 ,t1 ,t2 ,…,tn のと
きにそれぞれパルスを発生してイオンを出射するものと
すると、このときに得られる合成されたスペクトル(以
下、合成スペクトルと称す)w(t)は、単発パルスで
イオンを出射したときに得られるスペクトルy(t)を
用いて、
【0012】
【数1】
【0013】と表される。ここで、δ(τ)はデルタ関
数である。なお、このイオンを出射させるパルス列のパ
ルスの時間間隔は等間隔であってもよく、ランダムであ
ってもよい。
【0014】(1) 式は、合成スペクトルw(t)は、h
n(τ) と、y(τ−t)の二つの関数の畳み込みで表
されることを示している。そこで、(1) 式の両辺をフー
リエ変換すると、関数の畳み込みはフーリエ変換では乗
算で表されるので、
【0015】
【数2】
【0016】となる。ここで、W(ω)は検出された合
成スペクトルをフーリエ変換したものであるから既知で
あり、Hn(ω) は(2) 式から容易に理解できるよう
に、イオンを出射したタイミング、即ち、t0 ,t1
2 ,…,tn によって決定されるので、 Y(ω)=W(ω)/Hn(ω) …(4) を演算し、その結果を逆フーリエ変換すれば、元のスペ
クトルy(t)を求めることができる。
【0017】以上が、本発明に係る飛行時間型質量分析
装置における質量分析の第1の手法である。
【0018】以上のことから、この第1の手法によって
質量分析を行う飛行時間型質量分析装置の実施形態とし
ては次のような構成とすればよいことが分かる。
【0019】即ち、全体的な構成としては図2に示すも
のと同様でよいが、パルス発生部5からは適宜なパルス
列を発生させるようにする。このパルス列を形成するパ
ルスの個数は適宜でよく、パルス間の時間間隔も適宜で
よい。また、演算部4では、検出器3からの合成スペク
トルをフーリエ変換すると共に、パルス発生部5からの
パルス列の信号をフーリエ変換して(4) 式の演算を行
い、その演算結果を逆フーリエ変換する処理を行うよう
にする。なお、検出器3でのイオンの検出は、最後のパ
ルスによってイオンを出射した後、検出しようとする最
大の質量のイオンが検出器3に到達するまで行う必要が
あることは当然である。
【0020】このような構成によって、元のスペクトル
y(t)を得ることができることは上述したところから
明らかである。なお、上記の説明では元のスペクトルy
(t)を求めるためにフーリエ変換を用いるものとした
が、フーリエ変換以外にも、いわゆる畳み込みの逆演算
法(ディコンボリューション)として知られている方法
を用いることも可能である。要するに、本質的なこと
は、(1) 式の合成スペクトルw(t)が、hn(t) と
元のスペクトルy(t)の畳み込みで表されることを利
用して、畳み込みの逆演算により元のスペクトルy
(t)を求めるということなのである。
【0021】次に、本発明に係る飛行時間型質量分析装
置の他の実施形態を、その質量分析の第2の手法と共に
説明する。
【0022】上述した第1の手法では(4) 式の演算を行
うのであるが、(4) 式の演算を行うことができるのは│
n(ω)│≠ 0 であるときだけであり、Hn(ω)の
ゼロ点、即ち、│Hn(ω)│= 0 となる周波数位置で
は(4) 式を演算することができないので、元のスペクト
ルy(t)を完全に回復することができない。
【0023】このような第1の手法における不都合を回
避しようとするのが第2の手法である。
【0024】いま、二つのパルス列でイオンを出射させ
ることを考える。ここでは、第1のパルス列は上述した
と同じくt0,t1,t2,…,tnとし、第2のパルス列
は、t0,t1′,t2′,…,tm′とする。この二つの
パルス列は、それぞれのパルス列の信号をフーリエ変換
等によって周波数空間に変換したときに、同じ周波数位
置でゼロ点をとらないように定める。二つのパルス列を
このように定めることは、それぞれのパルス列のパルス
間の時間間隔を選ぶことによって可能であることは明ら
かである。
【0025】そして、それぞれのパルス列によってイオ
ンを出射させてスペクトル測定を行う。即ち、例えば、
まず第1のパルス列によってイオンを出射させてスペク
トル測定を行い、この測定が終了した後に、第2のパル
ス列によってイオンを出射させてスペクトル測定を行
う。
【0026】第1のパルス列を用いて測定したスペクト
ルをw(t)、第2のパルス列を用いて測定したスペク
トルをw′(t)とすると、w(t)は上記の(1) 式の
ようであり、w′(t)は次のようになる。
【0027】
【数3】
【0028】と表され、(5) 式をフーリエ変換すれば
【0029】
【数4】
【0030】となるので、 Y′(ω)=W′(ω)/Hm(ω) …(8) の演算を行い、その結果を逆フーリエ変換すれば元のス
ペクトルy(t)が得られることになる。なお、第1の
パルス列を用いて測定したスペクトルw(t)に対して
は(4) 式が成立することは当然である。
【0031】従って、本来はY(ω)=Y′(ω)であ
るが、上述したところから明らかなように、Hn(ω)
のゼロ点近傍、及びHm(ω)のゼロ点近傍では不都合
が生じる。
【0032】そこで、次式のようにY(ω)とY′
(ω)の加重平均Y″(ω)をとる。
【0033】
【数5】
【0034】ここで、D(ω)とD′(ω)は共に連続
でゼロ点を除いて滑らかな関数とし、且つ、D(ω)は
n(ω) と同じ周波数位置でゼロ点をとり、D′
(ω)はHm(ω) と同じ周波数位置でゼロ点をとるよ
うに設定する。簡単な例としては、 D(ω)=│Hn(ω)│ …(10) D′(ω)=│Hm(ω)│ …(11) とすればよい。このようにすれば、互いのゼロ点近傍で
は他方のデータが用いられることになるので、Y″
(ω)はゼロ点の問題は生じない。
【0035】そして、(9) 式で求めたY″(ω)を逆フ
ーリエ変換し、それを元のスペクトルy(t)とするの
である。このようにして求めたスペクトルは、Y
(ω),Y′(ω)をそれぞれ単独に逆フーリエ変換し
て求めたスペクトルに比較して非常に質のよいものであ
る。
【0036】以上が、本発明に係る飛行時間型質量分析
装置における質量分析の第2の手法である。
【0037】以上のことから、この第2の手法によって
質量分析を行う飛行時間型質量分析装置の実施形態とし
ては次のような構成とすればよいことが分かる。
【0038】即ち、全体的な構成としては図2に示すも
のと同様でよいが、パルス発生部5からは第1、第2の
二つのパルス列を発生させるようにする。この二つのパ
ルス列は周波数空間に変換したときに、同じ周波数位置
でゼロ点をとらないように定められる。
【0039】そして、まずパルス発生部5から第1のパ
ルス列を発生させ、それをイオン源1と演算部4に供給
してスペクトル測定を行い、この測定が終了した後に、
パルス発生部5から第2のパルス列を発生させ、それを
イオン源1と演算部4に供給してスペクトル測定を行
う。
【0040】演算部4は次の処理を行う。まず、第1の
パルス列によるスペクトル測定のときには、検出器3か
ら得られるスペクトルをフーリエ変換してW(ω)を求
めると共に、第1のパルス列の信号をフーリエ変換して
n(ω)を求め、更にそのHn(ω)からD(ω)を求
め、(4) 式によってY(ω)を求める。次に、第2のパ
ルス列によるスペクトル測定のときには、検出器3から
得られるスペクトルをフーリエ変換してW′(ω)を求
めると共に、第2のパルス列の信号をフーリエ変換して
m(ω)を求め、更にそのHm(ω)からD′(ω)を
求め、(8) 式によってY′(ω)を求める。その後、
(9) 式によってY″(ω)を求め、その結果を逆フーリ
エ変換して元のスペクトルy(t)を求める。
【0041】このような構成によって、元のスペクトル
y(t)を得ることができることは上述したところから
明らかである。なお、上記の説明では二つのパルス列を
用いるものとしたが、それ以上の数のパルス列を用いて
もよいことは当然である。また、上記の説明では元のス
ペクトルy(t)を求めるためにフーリエ変換を用いる
ものとしたが、フーリエ変換以外にも、いわゆる畳み込
みの逆演算法(ディコンボリューション)として知られ
ている方法を用いることも可能であることは上記の第1
の手法の説明において述べたと同様である。
【0042】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、
種々の変形が可能である。例えば、上記の説明では、h
(τ)はデルタ関数の和として表されるものとしたが、
それに限定されるものではない。即ち、出射パルスのパ
ルス幅が有限である場合には出射パルス波形をデルタ関
数を用いることなく、そのまま表現できることは当業者
に明らかである。また、図2においては飛行空間2は自
由空間としてあるが、リフレクトロンセクタ場等があっ
てもよいことは当然である。
【0043】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、短い時間間隔で複数個のパルスを発生させて
イオンを出射しても、単発のパルスでイオンを出射した
ときに得られるスペクトルy(t)を分離して復元でき
るので、スペクトルの測定を短時間に効率よく行うこと
ができるばかりでなく、感度を向上させることができ、
しかもイオン化した試料を無駄なく有効に利用すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る飛行時間型質量分析装置におけ
る質量分析の手法を説明するための図である。
【図2】 飛行時間型質量分析装置の概略の構成を示す
図である。
【符号の説明】
1…イオン源、2…飛行空間、3…検出器、4…演算
部、5…パルス発生部。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】イオン源と、 イオン源からイオンを出射させるための適宜なパルス列
    を発生するパルス発生手段と、 イオンを検出する検出器と、 検出器から出力されるスペクトルと、パルス発生手段か
    ら発生されるパルス列の信号とに基づいて畳み込みの逆
    演算を行うことによって、単発の出射パルスによって得
    られるスペクトルを求める演算手段とを備え 前記演算手段における畳み込みの逆演算は、検出器から
    出力される合成スペクトル信号w(t)をフーリエ変換
    してW(ω)を求めるステップと、パルス発生手段から
    のパルス列の信号h n (τ)をフーリエ変換してH
    n (ω)を求めるステップと、該W(ω)とH n (ω)か
    らY(ω)=W(ω)/H n (ω)の演算を行ってY
    (ω)を求めるステップと、Y(ω)を逆フーリエ変換
    することによりスペクトルy(t)を求めるステップを
    含む ことを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
  2. 【請求項2】イオン源と、 イオン源からイオンを出射させるためのパルス列を発生
    するパルス発生手段であって、周波数空間に変換したと
    きに同じ周波数位置でゼロ点をとらない2以上のパルス
    列を発生するパルス発生手段と、 イオンを検出する検出器と、 パルス発生手段から発生されたそれぞれのパルス列によ
    ってイオン源からイオンを出射したときに検出器から得
    られるそれぞれのスペクトルと、パルス発生手段から発
    生されるそれぞれのパルス列とに基づいて畳み込みの逆
    演算を行うことによって、単発の出射パルスによって得
    られるスペクトルを求める演算手段とを備え 前記演算手段における畳み込みの逆演算は、第1のパル
    ス列によるスペクトル測定の時に検出器から得られたス
    ペクトル信号w(t)をフーリエ変換してW(ω)を求
    めるステップと、第1のパルス列の信号h n (τ)をフ
    ーリエ変換してH n (ω)を求めるステップと、該W
    (ω)とH n (ω)からY(ω)=W(ω)/H n (ω)
    の演算を行ってY(ω)を求めるステップと、第2のパ
    ルス列によるスペクトル測定の時に検出器から得られた
    スペクトル信号w′(t)をフーリエ変換してW′
    (ω)を求めるステップと、第2のパルス列の信号h m
    (τ)をフーリエ変換してH m (ω)を求めるステップ
    と、該W′(ω)とH m (ω)とからY′(ω)=W′
    (ω)/H m (ω)の演算を行ってY′(ω)を求める
    ステップと、H n (ω)及びH m (ω)とそれぞれ同じ周
    波数位置でゼロ点を取る連続関数D(ω)及びD′
    (ω)を決定するステップと、該D(ω)、D′(ω)
    とY(ω)、Y′(ω)からY″(ω)={D(ω)Y
    (ω)+D′(ω)Y′(ω)}/{D(ω)+D′
    (ω)}によって加重平均Y″(ω)を求めるステップ
    と、求めた加重平均Y″(ω)を逆フーリエ変換して元
    のスペクトルy(t)を求めるステップとを含む ことを
    特徴とする飛行時間型質量分析装置。
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