JP3533937B2 - ウェーハ列の支持枠 - Google Patents
ウェーハ列の支持枠Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定部材に接着剤
で接着されたウェーハ列を支持して、そのウェーハ列か
らウェーハ列を構成するウェーハを１枚宛剥離するのに
適した支持枠に関する。
で接着されたウェーハ列を支持して、そのウェーハ列か
らウェーハ列を構成するウェーハを１枚宛剥離するのに
適した支持枠に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体材料、磁性材料、セラミッ
クス等のウェーハを作製するに際しては、これらの材料
をインゴットの状態で固定部材に接着し、その後、ワイ
ヤソーを利用して、長さ方向の垂直方向にインゴットを
下からスライスすることが行われている。
クス等のウェーハを作製するに際しては、これらの材料
をインゴットの状態で固定部材に接着し、その後、ワイ
ヤソーを利用して、長さ方向の垂直方向にインゴットを
下からスライスすることが行われている。
【０００３】通常、ワイヤソーによるスライスは、固定
部材の一部に達するまで行われ、インゴットを各部分に
おいて完全に切り離すが、スライスによって形成された
ウェーハどうしはそのまま固定部材に接着されているた
め、固定部材から離れることなくウェーハ列を構成して
一体化されたまま残される。
部材の一部に達するまで行われ、インゴットを各部分に
おいて完全に切り離すが、スライスによって形成された
ウェーハどうしはそのまま固定部材に接着されているた
め、固定部材から離れることなくウェーハ列を構成して
一体化されたまま残される。
【０００４】上記のウェーハ列からウェーハを剥離する
作業は、従来、インゴットのスライス状態から固定部材
とインゴット（ウェーハ列）の上下を逆にして固定部材
とウェーハ列の接着部分を、接着剤軟化温度、例えば、
９０〜９５℃に保たれた温水に浸漬し、接着剤を軟化さ
せた状態で行っている。
作業は、従来、インゴットのスライス状態から固定部材
とインゴット（ウェーハ列）の上下を逆にして固定部材
とウェーハ列の接着部分を、接着剤軟化温度、例えば、
９０〜９５℃に保たれた温水に浸漬し、接着剤を軟化さ
せた状態で行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】直径が８インチ程度の
これまでのウェーハの場合、上記の方法で支障なく剥離
することができる。しかし、直径が１２インチにも及ぶ
大径で重量のある新しいウェーハの場合であると、固定
部材を上にウェーハ列を下にしたスライス状態から、そ
れらの上下を逆にして接着部分を温水槽に入れる際、或
いは入れた後に、ウェーハが自重で折れ曲がって厚さ方
向に倒れやすく、これまでの方法及び装置ではウェーハ
を支障なく剥離することが難しい。
これまでのウェーハの場合、上記の方法で支障なく剥離
することができる。しかし、直径が１２インチにも及ぶ
大径で重量のある新しいウェーハの場合であると、固定
部材を上にウェーハ列を下にしたスライス状態から、そ
れらの上下を逆にして接着部分を温水槽に入れる際、或
いは入れた後に、ウェーハが自重で折れ曲がって厚さ方
向に倒れやすく、これまでの方法及び装置ではウェーハ
を支障なく剥離することが難しい。
【０００６】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
ので、ウェーハの横倒れを防止してウェーハ列を支持す
ることができる支持枠を提供することを目的とする。本
発明の他の目的は、ウェーハ列からウェーハを１枚宛円
滑に剥離することができる支持枠を提供することであ
る。本発明の別の目的は、構造の簡単なウェーハ列の支
持枠を提供することである。
ので、ウェーハの横倒れを防止してウェーハ列を支持す
ることができる支持枠を提供することを目的とする。本
発明の他の目的は、ウェーハ列からウェーハを１枚宛円
滑に剥離することができる支持枠を提供することであ
る。本発明の別の目的は、構造の簡単なウェーハ列の支
持枠を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の少なく
とも１つの課題を解決するために以下の構成を採用し
た。すなわち、請求項１記載のウェーハ列の支持枠は、
固定部材に接着されたウェーハ列をほぼ水平に支持する
支持部材の両端に一対の側板がそれぞれ取り付けられ、
前記ウェーハ列からウェーハをその面方向に取り出し可
能にしたウェーハ列の支持枠において、前記一対の側板
の間に、前記ウェーハ列からウェーハを取り出す方向に
おける上記支持部材の前端部と、該支持部材に支持され
たウェーハ列のほぼ中心とを結ぶ直線の延長線上におい
てウェーハ列の外周面をウェーハ列のほぼ中心方向に押
圧してウェーハ列を係止する係止部材が、ウェーハ列の
外周面に接離自在に設けられたことを特徴とするもので
ある。
とも１つの課題を解決するために以下の構成を採用し
た。すなわち、請求項１記載のウェーハ列の支持枠は、
固定部材に接着されたウェーハ列をほぼ水平に支持する
支持部材の両端に一対の側板がそれぞれ取り付けられ、
前記ウェーハ列からウェーハをその面方向に取り出し可
能にしたウェーハ列の支持枠において、前記一対の側板
の間に、前記ウェーハ列からウェーハを取り出す方向に
おける上記支持部材の前端部と、該支持部材に支持され
たウェーハ列のほぼ中心とを結ぶ直線の延長線上におい
てウェーハ列の外周面をウェーハ列のほぼ中心方向に押
圧してウェーハ列を係止する係止部材が、ウェーハ列の
外周面に接離自在に設けられたことを特徴とするもので
ある。
【０００８】この構成では、固定部材に接着されたウェ
ーハ列を、固定部材を上にした状態で支持部材にほぼ水
平に支持し、係止部材で係止する。この係止状態では、
各ウェーハが固定部材の下に垂下されていてその重心が
固定部材の下方にあるため、固定部材の上方にウェーハ
の重心がある場合と違って横に倒れることがない。各ウ
ェーハは、例えば吸着盤で吸着し、ウェーハのほぼ直径
位置に存在する支持部材の前端部と係止部材の間からウ
ェーハの面方向に抜き出してウェーハ列から１枚宛剥離
する。
ーハ列を、固定部材を上にした状態で支持部材にほぼ水
平に支持し、係止部材で係止する。この係止状態では、
各ウェーハが固定部材の下に垂下されていてその重心が
固定部材の下方にあるため、固定部材の上方にウェーハ
の重心がある場合と違って横に倒れることがない。各ウ
ェーハは、例えば吸着盤で吸着し、ウェーハのほぼ直径
位置に存在する支持部材の前端部と係止部材の間からウ
ェーハの面方向に抜き出してウェーハ列から１枚宛剥離
する。
【０００９】請求項２記載のウェーハ列の支持枠は、請
求項１記載のウェーハ列の支持枠において、支持部材の
前端部は、ウェーハ列の底点よりも少し上に配設された
ことを特徴とするものである。
求項１記載のウェーハ列の支持枠において、支持部材の
前端部は、ウェーハ列の底点よりも少し上に配設された
ことを特徴とするものである。
【００１０】この構成によれば、ウェーハを面方向に移
動させてウェーハ列から剥離する場合、ウェーハは支持
部材の前端部を乗り越え、ウェーハ列に対してねじれる
ように転回して抜き出される。したがって、ウェーハは
ウェーハ列から円滑に剥離される。また、ウェーハが、
支持部材の前端部と係止部材の間から振動等によって簡
単に抜け出すことがない。
動させてウェーハ列から剥離する場合、ウェーハは支持
部材の前端部を乗り越え、ウェーハ列に対してねじれる
ように転回して抜き出される。したがって、ウェーハは
ウェーハ列から円滑に剥離される。また、ウェーハが、
支持部材の前端部と係止部材の間から振動等によって簡
単に抜け出すことがない。
【００１１】請求項３記載の支持枠は、請求項１又は２
記載のウェーハ列の支持枠において、少なくとも支持部
材の前端部と係止部材にブラシやゴム等の柔軟材料製の
チューブが用いられたことを特徴とするものである。
記載のウェーハ列の支持枠において、少なくとも支持部
材の前端部と係止部材にブラシやゴム等の柔軟材料製の
チューブが用いられたことを特徴とするものである。
【００１２】この構成によれば、ウェーハを面方向に移
動させてウェーハ列から剥離する際に、支持部材の前端
部と係止部材の柔軟材料製の各チューブがそれぞれウェ
ーハを弾性的に支持し、また弾性的に抜け出させる。
動させてウェーハ列から剥離する際に、支持部材の前端
部と係止部材の柔軟材料製の各チューブがそれぞれウェ
ーハを弾性的に支持し、また弾性的に抜け出させる。
【００１３】請求項４記載の支持枠は、請求項１ないし
３のいずれか１つに記載のウェーハ列の支持枠におい
て、係止部材は付勢ばねを介して両側板に取り付けられ
たことを特徴とするものである。
３のいずれか１つに記載のウェーハ列の支持枠におい
て、係止部材は付勢ばねを介して両側板に取り付けられ
たことを特徴とするものである。
【００１４】この構成では、係止部材は付勢ばねの付勢
力によってウェーハ列の外周面を押圧する。側板に対す
る係止部材の取付構造が最も簡単になり、故障が少なく
操作性が良くなる。
力によってウェーハ列の外周面を押圧する。側板に対す
る係止部材の取付構造が最も簡単になり、故障が少なく
操作性が良くなる。
【００１５】請求項５記載の支持枠は、請求項１ないし
４のいずれか１つに記載のウェーハ列の支持枠におい
て、両側板の上部にウェーハ列の固定部材を受ける受座
が形成されたことを特徴とするものである。
４のいずれか１つに記載のウェーハ列の支持枠におい
て、両側板の上部にウェーハ列の固定部材を受ける受座
が形成されたことを特徴とするものである。
【００１６】この構成では、側板に形成された受座がウ
ェーハ列の上にある固定部材の荷重を受ける。このた
め、ウェーハ列に固定部材の荷重がかかることがない。
ェーハ列の上にある固定部材の荷重を受ける。このた
め、ウェーハ列に固定部材の荷重がかかることがない。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。本発明に係る支持枠Ｆは、円
筒状の支持チューブ１を嵌合した断面円形の支持軸２，
３，４の両端部に左右一対の側板６，７をボルト５，５
ａで結合し、係止チューブ９を嵌合した係止軸１０を側
板６，７の間に設けて成る。支持軸２，３，４は、支持
枠Ｆの側面視において、時計のほぼ７時、これに対称な
ほぼ５時、３時の位置に固定され、また係止軸１０は支
持軸２に向き合うほぼ１時の位置に移動可能に設けられ
ている。支持軸２，３，４と係止軸１０、及び側板６，
７は、それぞれ互いに平行である。
図面を参照して説明する。本発明に係る支持枠Ｆは、円
筒状の支持チューブ１を嵌合した断面円形の支持軸２，
３，４の両端部に左右一対の側板６，７をボルト５，５
ａで結合し、係止チューブ９を嵌合した係止軸１０を側
板６，７の間に設けて成る。支持軸２，３，４は、支持
枠Ｆの側面視において、時計のほぼ７時、これに対称な
ほぼ５時、３時の位置に固定され、また係止軸１０は支
持軸２に向き合うほぼ１時の位置に移動可能に設けられ
ている。支持軸２，３，４と係止軸１０、及び側板６，
７は、それぞれ互いに平行である。
【００１８】支持軸２，３，４の各支持チューブ１は、
ウェーハ列Ｗａの外周面にそれぞ接してウェーハ列Ｗａ
を支持するものであり、各支持軸２，３，４にそれぞれ
固定されている。支持軸２，３，４とそれらに嵌合され
た支持チューブ１とは支持部材を構成している。支持軸
２は支持部材の前端部（取出端）となっており、前記の
ように、ウェーハ列Ｗａの底点Ｔよりも少し高いほぼ７
時の位置に配設されている。
ウェーハ列Ｗａの外周面にそれぞ接してウェーハ列Ｗａ
を支持するものであり、各支持軸２，３，４にそれぞれ
固定されている。支持軸２，３，４とそれらに嵌合され
た支持チューブ１とは支持部材を構成している。支持軸
２は支持部材の前端部（取出端）となっており、前記の
ように、ウェーハ列Ｗａの底点Ｔよりも少し高いほぼ７
時の位置に配設されている。
【００１９】係止軸１０は、一対の付勢ばね１１によっ
て側板６，７に取り付けられており、各支持チューブ１
に支持されたウェーハ列Ｗａの外周面を支持軸２に向け
係止チューブ９で所定量押してウェーハ列Ｗａを適度な
力で係止するようになっている。付勢ばね１１は、側板
６，７の掛金６ａ，７ａと係止軸１０の端部との間に張
設されており、係止軸１０を側板６，７に当たるまで牽
引して係止力を生じさせ、また係止位置Ａ（図２）から
退避位置Ｂへの係止軸１０の移動を可能にしている。係
止軸１０とこれに固定された係止チューブ９は係止部材
を構成している。
て側板６，７に取り付けられており、各支持チューブ１
に支持されたウェーハ列Ｗａの外周面を支持軸２に向け
係止チューブ９で所定量押してウェーハ列Ｗａを適度な
力で係止するようになっている。付勢ばね１１は、側板
６，７の掛金６ａ，７ａと係止軸１０の端部との間に張
設されており、係止軸１０を側板６，７に当たるまで牽
引して係止力を生じさせ、また係止位置Ａ（図２）から
退避位置Ｂへの係止軸１０の移動を可能にしている。係
止軸１０とこれに固定された係止チューブ９は係止部材
を構成している。
【００２０】側板６，７はほぼＣ字状（逆Ｃ字状も含
む）に形成され、その上部に、ウェーハ列Ｗａを接着し
た固定部材２１の受座６ｂ，７ｂが設けられ、また下部
に下窄り状の脚部６ｃ，７ｃが設けられている。側板
６，７の上部の外面には受具１３がそれぞれボルト１４
で取り付けられている。脚部６ｃ、７ｃは、固定具２
３、２４、２５、２５（図２では手前側のものしか現わ
れていない。）によって囲まれた空間に上から嵌め込ま
れて支持枠Ｆを載台２５上に固定する。受具１３は、ロ
ボットや作業員による支持枠Ｆの移送時に使用される。
む）に形成され、その上部に、ウェーハ列Ｗａを接着し
た固定部材２１の受座６ｂ，７ｂが設けられ、また下部
に下窄り状の脚部６ｃ，７ｃが設けられている。側板
６，７の上部の外面には受具１３がそれぞれボルト１４
で取り付けられている。脚部６ｃ、７ｃは、固定具２
３、２４、２５、２５（図２では手前側のものしか現わ
れていない。）によって囲まれた空間に上から嵌め込ま
れて支持枠Ｆを載台２５上に固定する。受具１３は、ロ
ボットや作業員による支持枠Ｆの移送時に使用される。
【００２１】符号２９は吸着盤である。吸着盤２９は、
ウェーハ列Ｗａの最端部のウェーハＷを真空吸着するも
のであり、シリンダ等の移動手段（図示せず）によって
ウェーハＷの面方向（図２で左右方向）に移動させられ
るようになっている。吸着盤２９には真空吸着源（図示
せず）が連絡されている。
ウェーハ列Ｗａの最端部のウェーハＷを真空吸着するも
のであり、シリンダ等の移動手段（図示せず）によって
ウェーハＷの面方向（図２で左右方向）に移動させられ
るようになっている。吸着盤２９には真空吸着源（図示
せず）が連絡されている。
【００２２】次に上記の構成とされた本発明に係るウェ
ーハ列の支持枠の作用を説明する。ワイヤソーによるス
ライスで形成されたウェーハ列Ｗａは、そのままの状
態、つまり固定部材２１を上にした状態でロボット等で
運ばれ、予め係止軸１０を退避位置Ｂにつけた支持枠Ｆ
の受座６ｂ，７ｂに固定部材５を載せて支持軸２，３，
４の支持チューブ１に支持される。
ーハ列の支持枠の作用を説明する。ワイヤソーによるス
ライスで形成されたウェーハ列Ｗａは、そのままの状
態、つまり固定部材２１を上にした状態でロボット等で
運ばれ、予め係止軸１０を退避位置Ｂにつけた支持枠Ｆ
の受座６ｂ，７ｂに固定部材５を載せて支持軸２，３，
４の支持チューブ１に支持される。
【００２３】上記の状態で作業員が係止軸１０を係止位
置Ａに移動させて支持軸２，３，４と協働してウェーハ
列Ｗａを係止し、ウェーハ列Ｗａから固定部材５を取り
外す。この際、必要があれば、９０〜９５℃の温水で接
着剤を軟化させて固定部材５の取外しを容易にする。
置Ａに移動させて支持軸２，３，４と協働してウェーハ
列Ｗａを係止し、ウェーハ列Ｗａから固定部材５を取り
外す。この際、必要があれば、９０〜９５℃の温水で接
着剤を軟化させて固定部材５の取外しを容易にする。
【００２４】上記のようにしてウェーハ列Ｗａを装着し
た支持枠Ｆは、固定部材２１の除去後、ロボット或いは
作業員により載台２７の上に運び、側板６，７の脚部６
ｂ，７ｂを固定具２３，２４，２５，２５の空間に嵌め
込んで固定する。この運込みは、脚部６ｂ，７ｂが下窄
り状となっているため、的確かつ円滑に行うことができ
る。
た支持枠Ｆは、固定部材２１の除去後、ロボット或いは
作業員により載台２７の上に運び、側板６，７の脚部６
ｂ，７ｂを固定具２３，２４，２５，２５の空間に嵌め
込んで固定する。この運込みは、脚部６ｂ，７ｂが下窄
り状となっているため、的確かつ円滑に行うことができ
る。
【００２５】支持枠Ｆに装着されたウェーハ列Ｗａから
ウェーハＷを剥離するには、ウェーハ列Ｗａの最端部の
１枚のウェーハＷに吸着盤２９を近づけてこれを吸着
し、図示されていない移動手段で吸着盤２９を図２で左
に水平に移動させて行う。
ウェーハＷを剥離するには、ウェーハ列Ｗａの最端部の
１枚のウェーハＷに吸着盤２９を近づけてこれを吸着
し、図示されていない移動手段で吸着盤２９を図２で左
に水平に移動させて行う。
【００２６】この場合、吸着盤２９に吸着されたウェー
ハＷは、吸着盤２９の上記の移動により、前端部の支持
軸２の支持チューブ１を乗り越え、その支持チューブ１
を支点にウェーハ列Ｗａに対してねじれるように転回し
て支持軸２の支持チューブ１と係止軸１０の係止チュー
ブ９との間からそれらの係止を解いて強制的に抜き出さ
れる。支持軸２の支持チューブ１を支点とするウェーハ
Ｗのねじれ転回は、ウェーハ列ＷａからのウェーハＷの
剥離を容易にする。また、支持軸２は、それらに支持さ
れたウェーハ列Ｗａの底点Ｔよりも少し高い位置にある
ので、ウェーハＷが振動等の小さい外力によって支持枠
Ｆから転り出ることはない。
ハＷは、吸着盤２９の上記の移動により、前端部の支持
軸２の支持チューブ１を乗り越え、その支持チューブ１
を支点にウェーハ列Ｗａに対してねじれるように転回し
て支持軸２の支持チューブ１と係止軸１０の係止チュー
ブ９との間からそれらの係止を解いて強制的に抜き出さ
れる。支持軸２の支持チューブ１を支点とするウェーハ
Ｗのねじれ転回は、ウェーハ列ＷａからのウェーハＷの
剥離を容易にする。また、支持軸２は、それらに支持さ
れたウェーハ列Ｗａの底点Ｔよりも少し高い位置にある
ので、ウェーハＷが振動等の小さい外力によって支持枠
Ｆから転り出ることはない。
【００２７】図の係止軸１０は、前端部の支持軸２とウ
ェーハ列Ｗａの中心とを結ぶ直線の延長線上においてウ
ェーハ列の外周面をその中心方向に押す構造となってい
るが、その位置が図２で１２時方向又は３時方向に多少
ずれていてもよい。支持軸の設備本数は図のものに限ら
ず、２本又は４本以上とすることができる。付勢ばね１
１は、図１と図３に示すように、係止軸１０の端部と掛
金６ａ，７ａの間に直接張設する以外に、図２に示すよ
うに、係止軸１０の端部にレバー１０ａを固定してこれ
と掛金６ａ，７ａとの間に張設してもよい。また、各チ
ューブ１，９、特に支持軸２の支持チューブ１と係止チ
ューブ９は、摩擦抵抗が大きく、かつ当たりが軟らかい
ゴム若しくはこれと同効材料或いはブラシ等の柔軟材料
で製作するのが好ましい。
ェーハ列Ｗａの中心とを結ぶ直線の延長線上においてウ
ェーハ列の外周面をその中心方向に押す構造となってい
るが、その位置が図２で１２時方向又は３時方向に多少
ずれていてもよい。支持軸の設備本数は図のものに限ら
ず、２本又は４本以上とすることができる。付勢ばね１
１は、図１と図３に示すように、係止軸１０の端部と掛
金６ａ，７ａの間に直接張設する以外に、図２に示すよ
うに、係止軸１０の端部にレバー１０ａを固定してこれ
と掛金６ａ，７ａとの間に張設してもよい。また、各チ
ューブ１，９、特に支持軸２の支持チューブ１と係止チ
ューブ９は、摩擦抵抗が大きく、かつ当たりが軟らかい
ゴム若しくはこれと同効材料或いはブラシ等の柔軟材料
で製作するのが好ましい。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、次のような効果を奏することができる。 （ａ） 請求項１記載のウェーハ列の支持枠によれば、
固定部材を上にしてその下に接着されているウェーハ列
を支持部材に支持し、係止部材で係止することができ
る。この支持状態では、各ウェーハは固定部材の下に垂
下されていてその重心が固定部材の下方にあるため、横
に倒れて局部的に折れ曲がるようなことがない。また、
各ウェーハは所定の位置に所定の姿勢で支持されている
ので、ウェーハ列から１枚宛円滑に剥離することができ
る。
によれば、次のような効果を奏することができる。 （ａ） 請求項１記載のウェーハ列の支持枠によれば、
固定部材を上にしてその下に接着されているウェーハ列
を支持部材に支持し、係止部材で係止することができ
る。この支持状態では、各ウェーハは固定部材の下に垂
下されていてその重心が固定部材の下方にあるため、横
に倒れて局部的に折れ曲がるようなことがない。また、
各ウェーハは所定の位置に所定の姿勢で支持されている
ので、ウェーハ列から１枚宛円滑に剥離することができ
る。
【００２９】（ｂ） 請求項２記載のウェーハ列の支持
枠によれば、上記（ａ）の効果に加え、ウェーハを吸着
盤等で支持部材の前端部を乗り越えて面方向に移動させ
る際に、ウェーハは支持部材の前端部を支点にウェーハ
列に対してねじれるように転回されるので、ウェーハ列
から無理なく円滑に剥離されるようになる。また、ウェ
ーハは、振動等の小さい外力が加わっても支持部材の前
端部を簡単に乗り越えて勝手に抜け出ることがない。
枠によれば、上記（ａ）の効果に加え、ウェーハを吸着
盤等で支持部材の前端部を乗り越えて面方向に移動させ
る際に、ウェーハは支持部材の前端部を支点にウェーハ
列に対してねじれるように転回されるので、ウェーハ列
から無理なく円滑に剥離されるようになる。また、ウェ
ーハは、振動等の小さい外力が加わっても支持部材の前
端部を簡単に乗り越えて勝手に抜け出ることがない。
【００３０】（ｃ） 請求項３記載のウェーハ列の支持
枠によれば、上記の効果に加え、支持部材の前端部と係
止部材の柔軟材料製の各チューブがそれぞれウェーハを
弾性的に支持し、また弾性的に抜け出させるので、ウェ
ーハを一層円滑にウェーハ列から剥離して取り出すこと
ができる。
枠によれば、上記の効果に加え、支持部材の前端部と係
止部材の柔軟材料製の各チューブがそれぞれウェーハを
弾性的に支持し、また弾性的に抜け出させるので、ウェ
ーハを一層円滑にウェーハ列から剥離して取り出すこと
ができる。
【００３１】（ｄ） 請求項４記載のウェーハ列の支持
枠によれば、上記の効果に加え、側板に対する係止部材
の取付構造が非常に簡単になる上、故障が生じにくく、
また操作しやすい効果が生じる。
枠によれば、上記の効果に加え、側板に対する係止部材
の取付構造が非常に簡単になる上、故障が生じにくく、
また操作しやすい効果が生じる。
【００３２】（ｅ） 請求項５記載のウェーハ列の支持
枠によれば、上記の効果に加え、側板に形成された受座
がウェーハ列の上の固定部材を受けて固定部材の荷重を
ウェーハ列にかけないので、各ウェーハが固定部材によ
って倒されることがない。
枠によれば、上記の効果に加え、側板に形成された受座
がウェーハ列の上の固定部材を受けて固定部材の荷重を
ウェーハ列にかけないので、各ウェーハが固定部材によ
って倒されることがない。
【図１】 本発明に係るウェーハ列の支持枠の実施の形
態を示す一部破断の正面図である。
態を示す一部破断の正面図である。
【図２】 図１の支持枠の一部破断の側面図である。
【図３】 同じく、平面図である。
【図４】 側板に対する受具の取付状態を示す断面図で
ある。
ある。
１ 支持チューブ ２，３，４ 支持軸
６，７ 側板 ６ｂ，７ｂ 受座
６ｃ，７ｃ 脚部 ９ 係止チューブ
１０ 係止軸 １１ 付勢ばね
１３ 受具 Ａ 係止位置
Ｂ 退避位置 Ｆ 支持枠
Ｗａ ウェーハ列 Ｗ ウェーハ
Ｔ 底点
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/07
H01L 21/304 611
Claims (5)
- 【請求項１】 固定部材に接着されたウェーハ列をほぼ
水平とするようにこのウェーハ列の外周面を支持する支
持部材の両端に一対の側板がそれぞれ取り付けられ、前記ウェーハ列からウェーハをその面方向に取り出し可
能にしたウェーハ列の支持枠において、 前記 一対の側板の間に、前記ウェーハ列からウェーハを
取り出す方向における上記支持部材の前端部と、該支持
部材に支持されたウェーハ列のほぼ中心とを結ぶ直線の
延長線上においてウェーハ列の外周面をウェーハ列のほ
ぼ中心方向に押圧してウェーハ列を係止する係止部材
が、ウェーハ列の外周面に接離自在に設けられたことを
特徴とするウェーハ列の支持枠。 - 【請求項２】 支持部材の前端部は、ウェーハ列の底点
よりも少し上に配設されたことを特徴とする請求項１記
載のウェーハ列の支持枠。 - 【請求項３】 少なくとも支持部材の前端部と係止部材
にブラシやゴム等の柔軟材料製のチューブが用いられた
ことを特徴とする請求項１又は２記載のウェーハ列の支
持枠。 - 【請求項４】 係止部材は付勢ばねを介して両側板に取
り付けられたことを特徴とする請求項１ないし３のいず
れか１つに記載のウェーハ列の支持枠。 - 【請求項５】 両側板の上部にウェーハ列の固定部材を
受ける受座が形成されたことを特徴とする請求項１ない
し４のいずれか１つに記載のウェーハ列の支持枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9643798A JP3533937B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハ列の支持枠 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9643798A JP3533937B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハ列の支持枠 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11292281A JPH11292281A (ja) | 1999-10-26 |
| JP3533937B2 true JP3533937B2 (ja) | 2004-06-07 |
Family
ID=14165002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9643798A Expired - Fee Related JP3533937B2 (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ウェーハ列の支持枠 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3533937B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4629624B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2011-02-09 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP9643798A patent/JP3533937B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11292281A (ja) | 1999-10-26 |
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