JP3532293B2 - 空気分離装置 - Google Patents
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Description
くし、製作コストを低減することのできる空気分離装置
に関するものである。
ス,アルゴンガス等は、空気分離装置を用い、窒素,酸
素,アルゴン等の沸点の差を利用してこれらを分離する
ことにより製造されている。すなわち、上記高純度窒素
ガス等は、空気を原料とし、この原料空気を空気圧縮機
で圧縮し、ついでこの圧縮によって昇温した圧縮空気を
冷却器で冷却して降温し、つぎにこの降温した圧縮空気
を吸着塔に入れて圧縮空気中の炭酸ガスおよび水分を除
去してから(ここ迄は原料空気精製ラインである)、熱
交換器を通して冷媒と熱交換させて冷却し(これ以降は
深冷液化分離ラインである)、そののち精留塔で上記沸
点の差を利用し深冷液化分離するという工程を経て製造
されている。このような空気分離装置の深冷液化分離ラ
インは、一般に、図8に示すような装置からなり、その
精留塔としては、高圧精留塔102と低圧精留塔103
を上下に設けてなるダブルカラム方式の精留塔が用いら
れている。すなわち、図において、101は主熱交換
器、102は棚段式の高圧精留塔であり、主熱交換器1
01により超低温に冷却された圧縮空気をさらに冷却
し、その一部を液化し液体空気104として底部に溜め
るとともに、上部に窒素のみを気体状態で溜めるように
なっている。103は棚段式の低圧精留塔であり、ここ
に高圧精留塔102の底部に貯留された液体空気104
が膨脹弁(図示せず)付き供給管108を経て噴霧状に
送り込まれ、膨脹弁で液体空気104中の窒素分を気化
させて低圧精留塔103の内部温度を超低温に保持して
いる。そして、低圧精留塔103に噴霧状に送り込まれ
た液体空気の一部は気化液体空気となって上部に溜ま
り、他部は酸素リッチな超低温液体109となって底部
に溜るようになっている。105は低圧精留塔103内
蔵の凝縮器であり、この凝縮器105に、高圧精留塔1
02の上部に溜る窒素ガスの一部が第1還流管106を
介して送り込まれ、低圧精留塔103の底部に溜まった
超低温液体109の冷熱により液化され、第2還流管1
07を経て、高圧精留塔102の上部に設けられた液体
窒素溜め(図示せず)に送り込まれる。この送り込まれ
た液体窒素は、液体窒素溜めから溢れて高圧精留塔10
2内を下方に流下し、高圧精留塔102の底部から上昇
する圧縮空気と向流的に接触し冷却してその一部を液化
するようになっている。すなわち、この過程で圧縮空気
中の高沸点成分(酸素分)が液化されて高圧精留塔10
2の底部に溜り、低沸点成分の窒素ガスが上部に溜る。
110は第2還流管107から分岐した分岐管であり、
第2還流管107を通る液体窒素の一部(この液体窒素
の他部は、前記したように高圧精留塔102の上部に送
り込まれる)を過冷却器111に通して過冷却状態にし
たのち低圧精留塔103の液体窒素溜め(図示せず)に
送り込む作用をする。この送り込まれた液体窒素も、上
記高圧精留塔102内と同様に、液体窒素溜めから溢れ
て低圧精留塔103内を下方に流下し、低圧精留塔10
3の底部から上昇する気化液体空気と向流的に接触して
冷却し、その一部を液化し酸素リッチな超低温液体10
9として底部に溜めるとともに、上部に窒素のみを気体
状態で溜めるようになっている。
スおよび酸素ガスを製造する。すなわち、空気圧縮機
(図示せず)により外部から取り入れられ吸着塔(図示
せず)で不純物除去された精製圧縮空気を主熱交換器1
01内に送り込んで超低温に冷却し、高圧精留塔102
の下部内に投入する。ついで、この投入圧縮空気を、低
圧精留塔103内蔵の凝縮器105から高圧精留塔10
2内に送り込まれた液体窒素と向流的に接触させて冷却
し、その一部を液化して高圧精留塔102の底部に溜め
る。この過程において、窒素と酸素の沸点の差(酸素の
沸点−183℃,窒素の沸点−196℃)により、圧縮
空気中の高沸点成分である酸素が液化し、窒素が気体の
まま残る。そして、高圧精留塔102の底部には酸素分
が多い液体空気104が溜る。つぎに、この酸素リッチ
な液体空気104を膨脹弁で断熱膨脹させたのち低圧精
留塔103に送り込み、液化して低圧精留塔103の底
部に酸素リッチな超低温液体109として溜めて凝縮器
105を冷却する。一方、高圧精留塔102の上部に溜
まった窒素ガスを凝縮器105に送り込み、超低温液体
109により冷却して液化し高圧精留塔102内の液体
窒素溜め内に還流する。と同時に、凝縮器105で液化
した液体窒素を分岐管110を通して過冷却器111に
供給し、この過冷却器111で過冷却状態にしたのち低
圧精留塔103内の液体窒素溜め内に送り込む。低圧精
留塔103内では、高圧精留塔102内と同様に、その
底部に酸素リッチな超低温液体109を溜め、上部に窒
素ガスを溜める。このようにして、低圧精留塔103の
上部に溜まった窒素ガスは、そのまま製品として窒素ガ
ス取出管112から取り出され、主熱交換器101で熱
交換されたのち、常温製品ガスとして系外に送出され
る。また、低圧精留塔103の底部に溜まった酸素リッ
チな超低温液体109は、そのまま製品として取り出さ
れるのではなく、その気化物(酸素ガス)として酸素ガ
ス取出管113から取り出され、主熱交換器101で熱
交換されたのち、常温製品ガスとして系外に送出され
る。このようにして、高純度の窒素ガスと酸素ガスが得
られる。図において、114は膨張タービンであり、精
製空気の一部を取り入れて冷気を発生させたのちこの冷
気を冷却器116を介して低圧精留塔102に冷媒とし
て送り込む作用をする。115は低圧精留塔103内に
溜った窒素分(純度はそれ程高くない)等を排ガスとし
て取り出す排ガス取出管である。
置では、高圧精留塔102と低圧精留塔103が上下に
並べて設けられているため、装置全体の高さが30〜4
0mと非常に高くなる。一般に、陸上輸送の限界長さが
20mであり、20m以内の装置である場合には工場内
で製作し、現地では据え付けのみとなるが、上記装置の
ように20mを越えると、総コストが高価になり、しか
も、オンサイト供給(ユーザーの敷地に装置を設置して
ガスを販売する形態)が難しいという問題がある。
たもので、装置全体の高さを低くして、大幅なコストダ
ウンを図ることができ、しかもオンサイト供給の容易な
空気分離装置の提供をその目的とする。
め、この発明の空気分離装置は、外部より取り入れた空
気を圧縮する空気圧縮手段と、この空気圧縮手段によっ
て圧縮された圧縮空気中の炭酸ガスと水とを除去する除
去手段と、この除去手段を経た圧縮空気を超低温に冷却
する熱交換手段と、この熱交換手段により超低温に冷却
された圧縮空気を窒素と酸素とに液化分離する深冷液化
分離手段を備えた空気分離装置であって、上記深冷液化
分離手段が、高圧精留塔と、この高圧精留塔に対し側方
に併設された低圧精留塔と、上記高圧精留塔の上部に配
設された凝縮器内蔵型のコンデンサと、上記高圧精留塔
の底部の貯留液体空気を上記凝縮器冷却用の寒冷として
上記コンデンサ中に導く液体空気導入管と、上記高圧精
留塔内で生成した窒素ガスの一部を上記凝縮器内に案内
する第1の還流管と、上記凝縮器内で生じた液化窒素を
還流液として高圧精留塔の上部に戻す第2の還流管と、
上記低圧精留塔の上部に液体窒素を導入する液体窒素導
入手段と、上記低圧精留塔の底部に内蔵された凝縮器と
からなり、上記コンデンサ中で生じた気化液体空気を第
1案内管で上記低圧精留塔内蔵の凝縮器内に案内し、こ
の凝縮器内に案内された気化液体空気と上記低圧精留塔
の底部の貯留液体空気との熱交換作用により、上記貯留
液体空気を炊き上げるとともに、上記低圧精留塔内蔵の
凝縮器内で気化液体空気の一部を液化したのち第2案内
管で上記低圧精留塔内に案内するように構成したという
構成をとる。
化分離手段を、高圧精留塔と、低圧精留塔と、上記高圧
精留塔の上部に配設された凝縮器内蔵型のコンデンサと
で構成し、上記高圧精留塔に対し低圧精留塔を側方に併
設している。したがって、従来例のように、高圧精留塔
と低圧精留塔を上下に並べて設けたものと比べて、装置
の長さを20m以内とすることができ、この発明の空気
分離装置を工場内で作製してこれを陸上輸送し、現地で
は据え付けのみで設置することができ、大幅なコストダ
ウンになるうえ、オンサイト供給が容易になる。また、
この発明において、液体窒素導入手段が、(上記凝縮器
から延びる)第2の還流管から分岐し上記凝縮器内で生
じた液化窒素を上記低圧精留塔の上部に導入する分岐管
である場合には、上記液体窒素導入手段が、凝縮器内で
生じた液化窒素を分岐管により低圧精留塔に送るだけの
簡単な構造となる。また、液体窒素導入手段が、上記低
圧精留塔の上部に配設された第2凝縮器内蔵型の第2の
コンデンサと、上記低圧精留塔内で生成した窒素ガスの
一部を上記第2の凝縮器内に案内する第3の還流管と、
上記第2の凝縮器内で生じた液化窒素を還流液として低
圧精留塔の上部に戻す第4の還流管と、上記(高圧精留
塔の上部の)コンデンサ中の液体空気を上記第2の凝縮
器冷却用の寒冷として上記第2のコンデンサに導入する
液体空気供給管とからなる場合には、低圧精留塔の上部
にも第2のコンデンサを設けることで、低圧精留塔で得
られる窒素ガス,酸素ガス等の純度が一層高くなる。ま
た、高圧精留塔および低圧精留塔が真空保冷函内に収容
されている場合には、真空保冷函で外部からの熱侵入を
断つことができ、精製効率が一層向上する。
しく説明する。
深冷液化分離ラインを示している。原料空気精製ライン
については後述の図5に示す。図1において、1は主熱
交換器であり、この主熱交換器1に精製空気(圧縮空
気)が精製空気取出管2から送り込まれ熱交換作用によ
り超低温に冷却される。2aは精製空気取出管2から分
岐した精製空気分岐管であり、精製空気取出管2を通る
圧縮空気の一部を主熱交換器1に通したのち膨張タービ
ン3に送り込む。3aは膨張タービン3により得られた
冷気を冷媒として主熱交換器1に送り込む第1冷媒供給
管であり、3bは主熱交換器1の冷媒としての作用を終
えた冷気を低圧精留塔14に送り込む第2冷媒供給管で
ある。4は棚段式の高圧精留塔であり、主熱交換器1に
より超低温に冷却された圧縮空気をさらに冷却し、その
一部を液化し液体空気5として底部に溜めるとともに、
上部に窒素のみを気体状態で溜めるようになっている。
8は主コンデンサであり、内部に凝縮器9が配設されて
いる。この凝縮器9に、高圧精留塔4の上部に溜る窒素
ガスの一部が第1還流管6を介して送り込まれて液化さ
れ、第2還流管7を経て、高圧精留塔4の上部に設けら
れた液体窒素溜め4aに送り込まれる。この送り込まれ
た液体窒素は、液体窒素溜め4aから溢れて高圧精留塔
4内を下方に流下し、高圧精留塔4の底部から上昇する
圧縮空気と向流的に接触し冷却してその一部を液化する
ようになっている。すなわち、この過程で圧縮空気中の
高沸点成分(酸素分)が液化されて高圧精留塔4の底部
に溜り、低沸点成分の窒素ガスが高圧精留塔4の上部に
溜る。また、主コンデンサ8は減圧状態となっており、
ここに高圧精留塔4の底部に貯留された液体空気
(N2:60〜65% ,O2 :33〜38%)5が膨脹
弁(図示せず)付き導入管10を経て噴霧状に送り込ま
れ、膨脹弁で液体空気5中の窒素分を気化させて主コン
デンサ8の内部温度を超低温に保持している。そして、
主コンデンサ8に噴霧状に送り込まれた液体空気の一部
は気化液体空気(N2 :60〜65% ,O2 :33〜3
8%)となって上部に溜まり、他部は酸素リッチな超低
温液体(N2 :30〜35% ,O2 :63〜68%)1
1となって底部に溜るようになっている。この酸素リッ
チな超低温液体11の冷熱により凝縮器9内に送り込ま
れた窒素ガスが液化し、前記のように第2還流管7を通
って高圧精留塔4に送り込まれる。また、凝縮器9内を
通る窒素ガスで加熱されて主コンデンサ8の底部の酸素
リッチな超低温液体11は気化され、気化液体空気とな
って上部に溜まる。
圧精留塔4と同一レベルに設けられている。この低圧精
留塔14は、その中段の部分が連結管12によって主コ
ンデンサ8の底部と接続しており、この主コンデンサ8
の底部に溜った酸素リッチな超低温液体(液体空気)1
1が連結管12を介して送り込まれる。この送り込まれ
た液体空気11は低圧精留塔14内を流下したのち低圧
精留塔14の底部に溜まり、低圧精留塔14の底部に内
蔵された凝縮器16を冷却する。この凝縮器16は、主
コンデンサ8の頂部から第1案内管13を介して送り込
まれた気化液体空気の一部を液化したのち第2案内管1
8に送り込み、過冷却器17を通して過冷却状態にした
のち低圧精留塔14に噴霧状に送り込む作用をする。過
冷却器17を通って低圧精留塔14に噴霧状に送り込ま
れた液体空気も、高圧精留塔4内と同様に、低圧精留塔
14内を流下したのち低圧精留塔14の底部に溜まり、
低圧精留塔14の底部に内蔵された凝縮器16を冷却す
る。そして、低圧精留塔14の底部に溜まった液体空気
15は、凝縮器16を通る気化液体空気で焚き上げられ
る。20は主コンデンサ8の凝縮器9で液化された液体
窒素の一部(この液体窒素の他部は、前記したように、
高圧精留塔4の液体窒素溜め4aに送り込まれる)を過
冷却器17の冷媒として送る第1分岐管であり、21は
冷媒としての作用を終えた液体窒素を低圧精留塔14の
液体窒素溜め14aに送る第2分岐管である。22は低
圧精留塔14の上部に溜った窒素ガスを製品窒素ガスと
して取り出す窒素ガス取出管で、超低温の窒素ガスを過
冷却器17に案内し、この過冷却器17により熱交換作
用で降温させたのち主熱交換器1内に案内し、そこに送
り込まれる圧縮空気と熱交換させて常温にし、製品窒素
ガス取出管23に送り込む作用をする。24は酸素ガス
取出管で、低圧精留塔14の底部の滞留液体酸素15か
ら気化した酸素ガスを取り出し、主熱交換器1内に案内
し、そこに送り込まれる圧縮空気と熱交換させて常温に
し、製品酸素ガス取出管25に送り込む作用をする。2
6は低圧精留塔14内に溜った窒素分(純度はそれ程高
くない)等を排ガスとして取り出す排ガス取出管で、低
圧精留塔14から取り出した排ガスを主熱交換器1内に
案内し、そこに送り込まれる圧縮空気と熱交換させて常
温にし、排ガス放出管27に送り込むとともに、その一
部を排ガス供給管28(図5参照)に送り込む作用をす
る。上記のような高圧精留塔4,凝縮器8,低圧精留塔
14,過冷却器17,これらを接続する各配管等は真空
保冷函に収容されている。
スおよび酸素ガスを製造する。すなわち、上記精製空気
取出管2から送られた精製空気(圧縮空気)を主熱交換
器1内に送り込んで超低温に冷却し、高圧精留塔4の下
部内に投入する。ついで、この投入圧縮空気を、主コン
デンサ8から高圧精留塔4内に送り込まれ液体窒素溜め
4aから溢流する液体窒素と向流的に接触させて冷却
し、その一部を液化して高圧精留塔4の底部に溜める。
この過程において、窒素と酸素の沸点の差(酸素の沸点
−183℃,窒素の沸点−196℃)により、圧縮空気
中の高沸点成分である酸素が液化し、窒素が気体のまま
残る。そして、高圧精留塔4の底部には酸素分が多い液
体空気5が溜る。つぎに、この酸素リッチな液体空気5
を膨脹弁で断熱膨脹させたのち主コンデンサ8に送り込
み、液化して主コンデンサ8の底部に液体空気11とし
て溜め、主コンデンサ8内蔵の凝縮器9を冷却する。一
方、高圧精留塔4の上部に溜まった窒素ガスを、主コン
デンサ8内蔵の凝縮器9に送り込み、液体空気11によ
り冷却して液化し高圧精留塔4内の液体窒素溜め4a内
に還流する。と同時に、凝縮器9で液化した液体窒素を
第1分岐管20に通して過冷却器17に供給し、この過
冷却器17で過冷却状態にしたのち低圧精留塔14内の
液体窒素溜め14a内に送り込む。また、主コンデンサ
8の底部に溜まった液体空気11を連結管12で低圧精
留塔14に送り込んで底部に溜める。この低圧精留塔1
4の底部に溜まった液体空気15は、主コンデンサ8の
頂部から第1案内管13を介して低圧精留塔14内蔵の
凝縮器16に送り込まれた気化液体空気で焚き上げられ
る。そして、この凝縮器16内を通る気化液体空気の一
部を熱交換作用で液化したのち第2案内管18に通して
過冷却器17に供給し、この過冷却器17で過冷却状態
にしたのち低圧精留塔14に送り込む。低圧精留塔14
内では、高圧精留塔4内と同様に、低圧精留塔14の気
化液体空気を液体窒素溜め14aから溢流する液体窒素
と向流的に接触させて冷却し、その一部を液化して低圧
精留塔14の底部に溜める。この過程において、窒素と
酸素の沸点の差により、圧縮空気中の高沸点成分である
酸素が液化し、窒素が気体のまま残る。そして、低圧精
留塔14の底部には酸素分が多い液体空気15が溜り、
上部には窒素ガスが溜まる。このようにして、低圧精留
塔14の上部に溜まった窒素ガスは、そのまま製品とし
て窒素ガス取出管22から取り出され、主熱交換器1で
熱交換されたのち、常温製品ガスとして系外に送出され
る。低圧精留塔14の底部の液体空気15は、そのまま
製品として取り出されるのではなく、その気化物(酸素
ガス)として酸素ガス取出管24から取り出され、主熱
交換器1で熱交換されたのち、常温製品ガスとして系外
に送出される。このようにして、高純度の窒素ガスと酸
素ガスが得られる。
14が同一レベルに設置されているため、装置全体の高
さが低くなる。したがって、装置全体を小形化すること
ができるとともに、製作コストの低減化を実現すること
ができる。このため、オンサイト供給が簡単に行えると
いう利点もある。しかも、高圧精留塔4,凝縮器8,低
圧精留塔14,過冷却器17,各配管等を真空保冷函に
収容しているため、外部からの熱侵入を断つことがで
き、精製効率を一層向上させることができるという利点
もある。
離ラインを示している。この例では、製品窒素ガスの一
部を、低圧精留塔14の底部の液体空気15を焚き上げ
る加熱源として用いている。すなわち、製品窒素ガス取
出管23に昇圧器30を設け、この昇圧器30より製品
窒素ガス取出口(図示せず)側の部分から第1供給管3
1aを分岐し、この第1供給管31aを主熱交換器1を
通したのち低圧精留塔14内蔵の凝縮器16に接続して
いる。そして、この凝縮器16を通る製品窒素ガスで低
圧精留塔14の底部の液体空気15を焚き上げるととも
に、この製品窒素ガスを凝縮器16内で液化し、第2供
給管31bを通して過冷却器17に供給し、この過冷却
器17で過冷却状態にしたのち低圧精留塔14に導入し
ている。一方、主コンデンサ8の頂部から取り出される
気化液体空気(N2 :60〜65% ,O2 :35〜40
%)を案内管32を通して過冷却器17に供給し、この
過冷却器17で過冷却状態にしたのち低圧精留塔14に
導入している。それ以外の部分は図1に示す装置と同様
であり、同様の部分には同じ符号を付している。このも
のでも、図1に示す装置と同様の効果を奏するうえ、製
品窒素ガスを再び低圧精留塔14に戻しているため、図
1に示す装置より高純度の窒素ガスを得ることができる
という利点がある。
液化分離ラインを示している。この例では、両精留塔
4,14の上部にそれぞれ主コンデンサ8,35を設け
ている。そして、高圧精留塔4の主コンデンサ8の底部
に溜まった余剰の液化空気11(N2 :60〜70% ,
O2 :30〜40%)を低圧精留塔14の第2主コンデ
ンサ35に導入してこれの寒冷用として利用している。
また、低圧精留塔14の頂部から取り出した窒素ガスを
第2主コンデンサ35で液化して液体窒素とし、これを
還流液として低圧精留塔14に戻すようにしている。す
なわち、35は第2主コンデンサであり、内部に凝縮器
36が配設されている。この凝縮器36に、低圧精留塔
14の上部に溜る窒素ガスの一部が第3還流管37を介
して送り込まれて液化され、第4還流管38を経て、低
圧精留塔14の上部に設けられた液体窒素溜め14aに
送り込まれる。この送り込まれた液体窒素は液体窒素溜
め14aから溢れて低圧精留塔14内を下方に流下し、
低圧精留塔14の底部から上昇する圧縮空気と向流的に
接触し冷却してその一部を液化するようになっている。
すなわち、この過程で圧縮空気中の高沸点成分(酸素
分)が液化されて低圧精留塔14の底部に溜り、低沸点
成分の窒素ガスが低圧精留塔14の上部に溜る。また、
第2主コンデンサ35は減圧状態となっており、これに
主コンデンサ8の底部に貯留された液体空気11が膨脹
弁(図示せず)付き接続管40を経て噴霧状に送り込ま
れ、膨脹弁で液体空気11中の窒素分を気化させて第2
主コンデンサ35の内部温度を超低温に保持している。
そして、第2主コンデンサ35に噴霧状に送り込まれた
液体空気の一部は気化液体空気(N2 :60〜65% ,
O2:33〜38%)となって上部に溜まり、他部は酸
素リッチな超低温液体(N2:33〜38% ,O2 :6
0〜65%)39となって底部に溜るようになってい
る。この酸素リッチな超低温液体39の冷熱により凝縮
器36内に送り込まれた窒素ガスが液化し、前記のよう
に第4還流管38を通って低圧精留塔14に送り込まれ
る。41aは第2主コンデンサ35の上部に溜まった気
化液体空気を取り出したのち過冷却器17に供給してこ
こで降温させる第1排ガス取出管であり、41bは過冷
却器17で降温した気化液体空気を主熱交換器1内に案
内し、そこに送り込まれる圧縮空気と熱交換させて常温
にしたのち排ガス放出管44に送り込む第2排ガス取出
管である。42は高圧精留塔4の第1還流管6から延び
る高圧窒素ガス取出管であり、また、43は低圧精留塔
14の第3還流管37から延びる低圧窒素ガス取出管で
ある。これら窒素ガス取出管42,43から取り出され
た窒素ガスを過冷却器17に供給し、この過冷却器17
により熱交換作用で昇温させたのち主熱交換器1内に案
内する。それ以外の部分は図1に示す装置と同様であ
り、同様の部分には同じ符号を付している。
つぎのようにして製品窒素ガスおよび酸素ガスを製造す
る。すなわち、高圧精留塔4の主コンデンサ8の底部か
ら液体窒素11を膨脹弁で断熱膨脹させたのち第2主コ
ンデンサ35に送り込み、液化して第2主コンデンサ3
5の底部に液体空気39として溜めて第2主コンデンサ
35内蔵の凝縮器36を冷却する。一方、低圧精留塔1
4の上部に溜まった窒素ガスを、第2主コンデンサ35
内蔵の凝縮器36に送り込み、液体空気39により冷却
して液化し低圧精留塔14内の液体窒素溜め14a内に
還流する。そして、低圧精留塔14内で気化液体空気を
液体窒素溜め14aから溢流する液体窒素と向流的に接
触させて冷却し、その一部を液化して低圧精留塔14の
底部に溜める。この過程において、窒素と酸素の沸点の
差により、圧縮空気中の高沸点成分である酸素が液化
し、窒素が気体のまま残る。そして、低圧精留塔14の
底部には酸素分が多い液体空気15が溜る。このように
して低圧精留塔14の上部に溜まった窒素ガスを低圧窒
素ガス取出管43で、高圧精留塔4の上部に溜まった窒
素ガスを高圧窒素ガス取出管42で取り出し、そのまま
製品として製品窒素ガスを取り出す。また、低圧精留塔
14の底部の液体酸素15は、そのまま製品として取り
出されるのではなく、その気化物(酸素ガス)として製
品酸素ガス取出管25から取り出される。このようにし
て、高純度の窒素ガスと酸素ガスが得られる。
果を奏するうえ、各精留塔4,14にそれぞれ主コンデ
ンサ8,35を設けているため、図1に示す装置より純
度の高い窒素ガスを製造することができる。
液化分離ラインを示している。この例では、図1〜図3
の各例におけに膨張タービン3の代わりに、寒冷源とし
て液体窒素を用い、これを直接に高圧精留塔4に導入し
ている。それ以外の部分は図1に示す装置と同様であ
り、同様の部分には同じ符号を付している。このもので
も、図1に示す装置と同様の効果を奏する。しかも、図
1〜図3の各例のように膨張タービン3を使用する場合
には、この膨張タービン3が回転速度が極めて大であっ
て負荷変動(製品窒素の取出量)に対する追従運転が困
難であり、負荷変動時に製品の純度がばらつくという難
点を有している。しかも、この膨張タービン3が高速回
転するため機械構造上高精度が要求され、かつ高価であ
り、機構が複雑なため特別に養成した要員が必要である
という難点をも有している。これに対し、この例のよう
に液体窒素を用いると、供給量のきめ細かい調節が可能
であり、負荷変動に対するきめ細かな追従が可能である
ことから、純度が安定して極めて純度の高い窒素ガス等
を製造しうるようになるという利点がある。しかも、装
置として回転部がなくなるため、故障が全く生じないと
いう利点がある。
圧精留塔4に供給しているが、これに限定するものでは
なく、低圧精留塔14に供給するようにしてもよい。
原料空気精製ラインを示す構成図である。図において、
51は外部より取り入れた原料空気(25℃程度)を圧
縮して圧縮空気とする渦巻式(もしくはスクリュー式,
レシプロ式)の空気圧縮機であり、圧縮空気は圧縮熱に
よって100℃に昇温される。52はプレートフィン式
(もしくはシェルアンドチューブ式)の第1熱交換器で
ある。この第1熱交換器52には、その内部に、空気圧
縮機51から取り入れた圧縮空気が通る通路52aと、
吸着剤再生用の排ガス(前述した精留塔で発生する排ガ
スであり、10℃程度)が通る通路52bが形成されて
おり、各通路52a,52bを通る圧縮空気と排ガスと
の熱交換により、圧縮空気を70℃程度に降温させると
ともに排ガスを10℃程度に昇温させる作用をする。5
3は第1クーラーであり、第1熱交換器52で降温され
た圧縮空気を冷却して40℃程度(吸着塔54〜56で
の吸着除去に適した温度)にまで降温させるとともに、
圧縮空気中の水分除去を行う。54,55,56は同一
構造の吸着塔であり、それぞれの内部には、圧縮空気中
の水分および炭酸ガスを吸着除去するための吸着剤が収
容されている。この吸着剤としては、吸着塔54〜56
の下部にアルミナゲル62が配設され、その上側にモレ
キュラーシーブス(合成ゼオライト)63が配設されて
いる。このような各吸着塔54〜56は、触媒塔59導
入前の吸着工程,触媒塔59導出後の吸着工程および吸
着剤62,63の再生工程に用いられる。57はプレー
トフィン式(もしくはシェルアンドチューブ式)のアル
ミニウム製第2熱交換器であり、上記吸着塔54〜56
を経た圧縮空気が通る通路57aと、触媒塔59を経た
空気が通る通路57bが形成されており、各通路57
a,57bを通る空気同士の熱交換により吸着塔54〜
56を経た圧縮空気を90℃程度にまで昇温させるとと
もに、触媒塔59を経た空気を45℃程度に降温させる
作用をする。58は第1ヒーターであり、上記第2熱交
換器57で昇温された圧縮空気を加熱してさらに100
〜110℃程度(触媒塔59での酸化反応に適した温
度)にまで昇温させる。59は触媒塔であり、ステンレ
スケースに、空気中の一酸化炭素および水素を酸化して
炭酸ガスと水を生成するための触媒が内蔵されている。
この触媒としては、白金系(アルミナ粒子の外周面に白
金系皮膜を形成したもの)もしくはパラジウム系(アル
ミナ粒子の外周面にパラジウム系皮膜を形成したもの)
の触媒が用いられる。60は第2クーラーであり、上記
第2熱交換器57で降温された空気を冷却してさらに2
0℃以下にまで降温させる。61は第2ヒーターであ
り、第1熱交換器52で昇温された排ガスを加熱してさ
らに200℃程度にまで昇温させる。
〜56は、つぎのような配管類で連結されている。すな
わち、第1クーラー53の出口管53aと第2クーラー
60の出口管60aとは2つの開閉弁65a,65bが
取付けられた第1連結管65で連結されているととも
に、両開閉弁65a,65b間に位置する第1連結管6
5の部分から第1吸着塔54の空気導入口に連結する第
1導入管68および開閉弁69a付き第1大気逃がし管
69が分岐している。また、上記各出口管53a,60
aから延設,分岐された各分岐管53b,60bは、2
つの開閉弁66a,66bが取付けられた第2連結管6
6、および2つの開閉弁67a,67bが取付けられた
第3連結管67で連結されている。これら両連結管6
6,67からも、上記第1連結管65と同様に、両開閉
弁66a,66b、67a,67b間に位置する部分か
ら、第2吸着塔55の空気導入口に連結する第2導入管
70,開閉弁71a付き第2大気逃がし管71および第
3吸着塔56の空気導入口に連結する第3導入管72,
開閉弁73a付き第3大気逃がし管73がそれぞれ分岐
している。一方、上記各吸着塔54〜56と第2熱交換
器57と精製空気取出管2は、つぎのような配管類で連
結されている。すなわち、第2熱交換器57の入口管5
7cは第1吸着塔54の空気導出口から延びる第1導出
管54aに開閉弁74a付き第4連結管74で連結さ
れ、第2吸着塔55の空気導出口から延びる第2導出管
55aに開閉弁76a付き第5連結管76で連結され、
第3吸着塔56の空気導出口から延びる第3導出管56
aに開閉弁78a付き第6連結管78で連結されてい
る。また、精製空気取出管2の始端部2bは第1導出管
54aの終端部54bに開閉弁75a付き第1取出管7
5で連結され、精製空気取出管2の始端部2bから延
設,分岐された分岐管2cは第2導出管55aの終端部
55bに開閉弁77a付き第2取出管77で連結され、
第3導出管56aの終端部56bに開閉弁79a付き第
3取出管79で連結されている。
である排ガス供給管(図では、その終端部28aの近傍
部しか示されていない)28と、第2ヒーター61と各
吸着塔54〜56は、つぎのような配管類で連結されて
いる。すなわち、排ガス供給管28の終端部28aは、
第1熱交換器52の通路52bに連結する開閉弁82a
付き第1供給管82,第1熱交換器52の通路52b,
この第1熱交換器52の通路52bから延び第2ヒータ
ー61の排ガス入口に連結する第2供給管83を介して
第2ヒーター61に連結されている。また、第2ヒータ
ー61の排ガス出口から延びる第3供給管84の終端部
84aは、第1導出管54aの終端部54bに開閉弁8
5a付き第4供給管85で連結され、第2導出管55a
の終端部55bに開閉弁86a付き第5供給管86で連
結され、第3導出管56aの終端部56bに開閉弁87
a付き第6供給管87で連結されている。また、上記第
3供給管84から開閉弁88a付き戻り管88が分岐
し、上記排ガス供給管28の終端部28aに連結されて
いる。
塔59導入前の吸着工程で用い、第2吸着塔55を触媒
塔59導出後の吸着工程で用い、第3吸着塔56を再生
工程で用いる場合の作用を説明する。この場合には、図
6に示すように、開閉弁65a,66b,73a,74
a,77a,82a,87aを開弁し(開弁状態にある
ことを、矢印で示す)、開閉弁65b,66a,67
a,67b,69a,71a,75a,76a,78
a,79a,85a,86a,88aを閉弁する(閉弁
状態にあることを、バルブを黒く塗りつぶすことで示
す)。まず、空気圧縮機51で外部から原料空気を取り
入れて圧縮空気とする。ついで、この圧縮された高温圧
縮空気を第1熱交換器52で排ガスと熱交換して降温し
たのち、第1クーラー53で冷却して40℃程度に降温
する。つぎに、この降温させた圧縮空気を第1連結管6
5および第1導入管68を通して第1吸着塔54に供給
する。この第1吸着塔54では、吸着剤62,63によ
り、圧縮空気中の水分がppmオーダーまで吸着除去さ
れる。つぎに、第1吸着塔54を経た空気を第1導出管
54a,第4連結管74および入口管57cを通して第
2熱交換器57に供給し、この第2熱交換器57で触媒
塔59を経た空気と熱交換して昇温したのち、第1ヒー
ター58で100〜110℃程度に昇温して触媒塔59
に供給する。この触媒塔59では、触媒により、空気中
の一酸化炭素が酸化されて炭酸ガスが生成され、水素が
酸化されて水が生成される。つぎに、触媒塔59を経た
空気を第2熱交換器57に供給し、この第2熱交換器5
7で第1吸着塔54を経た圧縮空気と熱交換して降温し
たのち、第2クーラー60で10℃程度に降温し、出口
管60a,分岐管60b,第2連結管66および第2導
入管70を介して第2吸着塔55に供給する。この第2
吸着塔55では、吸着剤62,63により、圧縮空気中
の水分および炭酸ガスが吸着除去される。この第2吸着
塔55を経た空気を第2導出管55a,第2取出管7
7,分岐管2cを通して精製空気取出管2に送る。この
精製空気取出管2に送られた精製空気は精留塔へ供給さ
れ、窒素(N2 ),酸素(O2 ),アルゴン(Ar)等
に分離される。一方、精留塔から送られる排ガスを、排
ガス供給管28および第1供給管82を通して第1熱交
換器52に供給し、この第1熱交換器52で空気圧縮機
51から取り入れた圧縮空気と熱交換して昇温する。つ
ぎに、この第1熱交換器52で昇温した排ガスを、第2
供給管83を通して第2ヒーター61に供給し、この第
2ヒーター61で200℃に昇温したのち、第3供給管
84,第6供給管87および第3導出管56aを通して
第3吸着塔56に供給する。この第3吸着塔56では、
吸着剤62,63が高温の排ガスにさらされて再生され
る。そののち、第3吸着塔56を経た排ガスを第3導入
管72および第3大気逃がし管73を通して大気に放出
する。また、再生後に開閉弁88aを開弁し、開閉弁8
2aを閉弁して、排ガスを加熱することなく第3吸着塔
56に供給する。これにより、第3吸着塔56では、吸
着剤62,63が排ガスで冷却され、つぎの吸着工程に
備える。
閉操作により、自動切替えすることができる。その切替
えパターンを、下記の表1に示す。下記の表1におい
て、第2吸着塔55を触媒塔59導入前の吸着工程で用
い、第3吸着塔56を触媒塔59導出後の吸着工程で用
い、第1吸着塔54を再生工程で用いる場合には、開閉
弁66a,67b,69a,76a,79a,82a,
85aを開弁し、開閉弁65a,65b,66b,67
a,71a,73a,74a,75a,77a,78
a,86a,87a,88aを閉弁する。また、第3吸
着塔56を触媒塔59導入前の吸着工程で用い、第1吸
着塔54を触媒塔59導出後の吸着工程で用い、第2吸
着塔55を再生工程で用いる場合には、開閉弁65b,
67a,71a,75a,78a,82a,86aを開
弁し、開閉弁65a,66a,66b,67b,69
a,73a,74a,76a,77a,79a,85
a,87a,88aを閉弁する。このようにすると、触
媒塔59導入前の吸着工程で用いることで吸着水分量が
限界に達した吸着塔54〜56を再生工程にまわし、触
媒塔59導出後の吸着工程で用いることで吸着水分量に
余裕のある吸着塔54〜56を触媒塔59導入前の吸着
工程にまわすことができる。そして、再生された吸着塔
54〜56は触媒塔59導出後の吸着工程にまわされ
る。したがって、3個の吸着塔54〜56で効率の良い
吸着除去および再生が行える。
に供給する前に圧縮空気中の水分を吸着塔54〜56で
吸着除去するようにしているため、触媒塔59内の触媒
の表面に水分が入り込んでこれを膨張させることが殆ど
なくなる。このため、触媒の表面に形成されたパラジウ
ム系粒子等が剥離,脱落することがなくなる。しかも、
上記したように、圧縮空気中の水分が殆ど吸着除去され
ているため、触媒塔59に供給する際に圧縮空気の温度
を低く設定することができる。したがって、触媒の早期
性能低下を招いたり、触媒塔59の下部に微粉末が早期
に溜まったりすることがなくなり、長期にわたってメン
テナンスが不要になり、かつトータルコストが安価にな
る。すなわち、従来は、空気圧縮機により圧縮された高
温圧縮空気をヒーター等で所定温度に昇温して触媒塔に
送り、この触媒塔内でパラジウム系触媒と圧縮空気中の
一酸化炭素および水素とを酸化反応させていた。このた
め、触媒塔内のパラジウム系触媒が1年程度で性能低下
してしまい、高価な触媒を早期に交換しなければなら
ず、触媒の早期交換等メンテナンスを頻繁に行わなけれ
ばならないという問題や、トータルコストが高価になる
という問題があった。また、触媒塔内の下部に微粉末が
早期に溜まる等の不具合も発生しており、このため、上
記微粉末の早期清掃等メンテナンスを頻繁に行わなけれ
ばならないという問題があった。(この原因としては、
上記パラジウム系触媒のように、アルミナの外周面にパ
ラジウム系皮膜を形成したものでは、アルミナの外周面
の隙間や溝に水分が入り込むと、アルミナが膨張しパラ
ジウム系皮膜に亀裂が入って剥離,脱落し、これにより
吸着面積が小さくなり早期に性能低下を招くこと、上記
脱落したパラジウム系皮膜が微粉末となって触媒塔の下
部に溜まること、および、圧縮空気中に多くの水分が含
まれていると、触媒塔での酸化反応を容易にするため圧
縮空気を180℃以上の高温にして触媒塔に送り込む必
要が生じ、これにより触媒が劣化しやすくなることが考
えられている)。さらに、上記したように、触媒塔59
導入前の吸着工程で用いた(吸着水分量が限界に達し
た)吸着塔54〜56を再生工程にまわし、触媒塔59
導出後の吸着工程で用いた(吸着水分量に余裕のある)
吸着塔54〜56を触媒塔59導入前の吸着工程にまわ
し、再生工程で再生された吸着塔54〜56を触媒塔5
9導出後の吸着工程にまわすことで、吸着水分量に余裕
のある吸着塔54〜56を有効に利用することができ、
3個の吸着塔54〜56で効率の良い吸着除去および再
生が行える。
のものとして、同一容器内に下部吸着部と触媒作用部と
上部吸着部をステンレス製スクリーンを介して上下3段
に積重することで、圧縮空気を触媒作用部に通す前の工
程で吸着部を通すことが考えられる。このものでは、上
記容器を2個並設し、一方を吸着工程で使用している間
に他方を再生することが行われる。しかしながら、この
ものでは、各部をステンレス製スクリーンで分離しなけ
ればならず、充填方法が複雑になるという問題がある。
しかも、再生用の排ガスには酸素が20%以上も含まれ
ているため、この排ガスで再生中に触媒を加熱すると、
酸化により触媒の劣化が進むという問題もある。さら
に、吸着部が4個必要で触媒作用部が2個必要になり、
高価になるという問題もある。これに対し、この例で
は、吸着塔54〜56と触媒塔59とは別々であり、吸
着塔54〜56への吸着剤62,63の充填が容易であ
る。しかも、再生工程では、吸着塔54〜56だけに排
ガスを通して再生することができ、この再生時に触媒塔
59内の触媒を劣化させることがない。しかも、吸着塔
54〜56が3個で済むうえ、触媒塔59が1個で済
み、安価でありながらも上記のような優れた効果を奏す
る。
示している。この例では、触媒塔59へ供給される空気
は常時加温されていなければならないのに対し、再生用
の排ガスは一時的な加温でよいこと、および触媒塔59
に送り込む圧縮空気をそれほど高温にする必要がないこ
とを考慮し、触媒塔59へ供給される空気を第1熱交換
器91だけで熱交換して昇温させるようにしたものであ
り、上記図5の第1ヒーター57が省略されている。図
において、91はプレートフィン式(もしくはシェルア
ンドチューブ式)の第1熱交換器である。この第1熱交
換器91には、その内部に、空気圧縮機51から取り入
れた圧縮空気が通る通路91aと、各吸着塔54〜56
を経た空気が通る通路91bが形成されており、各通路
91a,91bを通る空気同士の熱交換により、空気圧
縮機51を経た空気を85℃程度に降温させるととも
に、各吸着塔54〜56を経た空気を60℃程度に昇温
させる作用をする。92は第2熱交換器であり、上記触
媒塔59を経た空気が通る通路92aと、排ガス供給路
28から供給された排ガスが通る通路92bが形成され
ており、各通路92a,92bを通る空気と排ガスとの
熱交換により触媒塔59を経た空気を25℃程度にまで
降温させるとともに、排ガスを50℃程度にまで昇温さ
せる作用をする。93はヒーターであり、第2熱交換器
92で昇温された排ガスを加熱してさらに200℃程度
にまで昇温させる。図において、91cは第1熱交換器
91の入口管であり、図5における入口管57cと同様
のものである。それ以外は上記実施例と同様であり、同
様の部分には同じ符号を付している。
塔59導入前の吸着工程で用い、第2吸着塔55を触媒
塔59導出後の吸着工程で用い、第3吸着塔56を再生
工程で用いる場合の作用を説明する。この場合には、上
記実施例と同様に、各開閉弁を開弁し、閉弁する。ま
ず、空気圧縮機51で外部から原料空気を取り入れて圧
縮空気とする。ついで、この圧縮された高温圧縮空気を
第1熱交換器91で第1吸着塔54を経た空気と熱交換
して降温したのち、第1クーラー53で冷却して40℃
程度に降温する。つぎに、この降温された圧縮空気を第
1連結管65および第1導入管68を通して第1吸着塔
54に供給する。この第1吸着塔54では、圧縮空気中
の水分がppmオーダーまで吸着除去される。つぎに、
第1吸着塔54を経た空気を第1導出管54a,第4連
結管74および入口管91cを通して第1熱交換器91
に供給し、この第1熱交換器91で空気圧縮機51より
取り入れられた空気と熱交換して60℃程度に昇温した
のち、触媒塔59に供給する。この触媒塔59では、空
気中の一酸化炭素および水素が酸化されて炭酸ガスおよ
び水が生成される。つぎに、触媒塔59を経た空気を第
2熱交換器92に供給し、この第2熱交換器92で排ガ
スと熱交換して降温したのち、第2クーラー60で10
℃程度に降温し、出口管60a,分岐管60b,第2連
結管66および第2導入管70を介して第2吸着塔55
に供給する。この第2吸着塔55では、圧縮空気中の水
分および炭酸ガスが吸着除去される。この第2吸着塔5
5を経た空気を第2導出管55a,第2取出管77,分
岐管2cを通して精製空気取出管2に送る。一方、精留
塔から送られる排ガスを、排ガス供給管28および第1
供給管82を通して第2熱交換器92に供給し、この第
2熱交換器92で触媒塔59を経た空気と熱交換して昇
温する。つぎに、この第2熱交換器92で昇温された排
ガスを、第2供給管83を通してヒーター93に供給
し、このヒーター93で200℃に昇温したのち、第3
供給管84,第6供給管87および第3導出管56aを
通して第3吸着塔56に供給する。この第3吸着塔56
では、吸着剤62,63が再生される。そののち、第3
吸着塔56を経た排ガスを第3導入管72および第3大
気逃がし管73を通して大気に放出する。
図5の例と同様に、各開閉弁の開閉操作により自動切替
えすることができる。その切替えパターンは、上記図5
の例と同様である。このものでは、上記図5の例と同様
の効果を奏するうえ、上記したように、図5の第1ヒー
ター57を省略できるという利点がある。
によれば、深冷液化分離手段を、高圧精留塔と、低圧精
留塔と、高圧精留塔の上部に配設された凝縮器内蔵型の
コンデンサとで構成し、高圧精留塔に対し低圧精留塔を
側方に併設しているため、従来例のように、高圧精留塔
と低圧精留塔を上下に並べて設けたものに比べて、装置
全体の高さを大幅に低くすることができる。したがっ
て、従来例のように、高圧精留塔と低圧精留塔を上下に
並べて設けたものと比べて、装置の長さを20m以内と
することができ、この発明の空気分離装置を工場内で作
製してこれを陸上輸送し、現地では据え付けのみで設置
することができ、大幅なコストダウンになるうえ、オン
サイト供給が容易になる。また、この発明において、液
体窒素導入手段が、(上記凝縮器から延びる)第2の還
流管から分岐し上記凝縮器内で生じた液化窒素を上記低
圧精留塔の上部に導入する分岐管である場合には、液体
窒素導入手段が、上記凝縮器内で生じた液化窒素を分岐
管により低圧精留塔内に送るだけの簡単な構造となる。
また、液体窒素導入手段が、上記低圧精留塔の上部に配
設された第2凝縮器内蔵型の第2のコンデンサと、上記
低圧精留塔内で生成した窒素ガスの一部を上記第2の凝
縮器内に案内する第3の還流管と、上記第2の凝縮器内
で生じた液化窒素を還流液として低圧精留塔の上部に戻
す第4の還流管と、上記(高圧精留塔の上部の)コンデ
ンサ中の液体空気を上記第2の凝縮器冷却用の寒冷とし
て上記第2のコンデンサに導入する液体空気供給管とか
らなる場合には、低圧精留塔の上部にも第2のコンデン
サを設けており、低圧精留塔で得られる窒素ガス,酸素
ガス等の純度が一層高くなる。また、高圧精留塔および
低圧精留塔が真空保冷函内に収容されている場合には、
この真空保冷函で外部からの熱侵入を断つことができ、
精製効率が一層向上する。
る。
る。
ある。
である。
Claims (4)
- 【請求項1】 外部より取り入れた空気を圧縮する空気
圧縮手段と、この空気圧縮手段によって圧縮された圧縮
空気中の炭酸ガスと水とを除去する除去手段と、この除
去手段を経た圧縮空気を超低温に冷却する熱交換手段
と、この熱交換手段により超低温に冷却された圧縮空気
を窒素と酸素とに液化分離する深冷液化分離手段を備え
た空気分離装置であって、上記深冷液化分離手段が、高
圧精留塔と、この高圧精留塔に対し側方に併設された低
圧精留塔と、上記高圧精留塔の上部に配設された凝縮器
内蔵型のコンデンサと、上記高圧精留塔の底部の貯留液
体空気を上記凝縮器冷却用の寒冷として上記コンデンサ
中に導く液体空気導入管と、上記高圧精留塔内で生成し
た窒素ガスの一部を上記凝縮器内に案内する第1の還流
管と、上記凝縮器内で生じた液化窒素を還流液として高
圧精留塔の上部に戻す第2の還流管と、上記低圧精留塔
の上部に液体窒素を導入する液体窒素導入手段と、上記
低圧精留塔の底部に内蔵された凝縮器とからなり、上記
コンデンサ中で生じた気化液体空気を第1案内管で上記
低圧精留塔内蔵の凝縮器内に案内し、この凝縮器内に案
内された気化液体空気と上記低圧精留塔の底部の貯留液
体空気との熱交換作用により、上記貯留液体空気を炊き
上げるとともに、上記低圧精留塔内蔵の凝縮器内で気化
液体空気の一部を液化したのち第2案内管で上記低圧精
留塔内に案内するように構成したことを特徴とする空気
分離装置。 - 【請求項2】 上記液体窒素導入手段が、上記第2の還
流管から分岐し上記凝縮器内で生じた液化窒素を上記低
圧精留塔の上部に導入する分岐管である請求項1記載の
空気分離装置。 - 【請求項3】 上記液体窒素導入手段が、上記低圧精留
塔の上部に配設された第2凝縮器内蔵型の第2のコンデ
ンサと、上記低圧精留塔内で生成した窒素ガスの一部を
上記第2の凝縮器内に案内する第3の還流管と、上記第
2の凝縮器内で生じた液化窒素を還流液として低圧精留
塔の上部に戻す第4の還流管と、上記コンデンサ中の液
体空気を上記第2の凝縮器冷却用の寒冷として上記第2
のコンデンサに導入する液体空気供給管とからなる請求
項1記載の空気分離装置。 - 【請求項4】 上記高圧精留塔および低圧精留塔が真空
保冷函内に収容されている請求項1記載の空気分離装
置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP12372495A JP3532293B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 空気分離装置 |
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JPH08313151A JPH08313151A (ja) | 1996-11-29 |
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ID=14867799
Family Applications (1)
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JP12372495A Expired - Fee Related JP3532293B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | 空気分離装置 |
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---|---|---|---|---|
CN114383811B (zh) * | 2022-01-17 | 2022-11-11 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种光学自对准极低温测试系统 |
-
1995
- 1995-05-23 JP JP12372495A patent/JP3532293B2/ja not_active Expired - Fee Related
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