JP3523106B2 - ホログラムの露光装置 - Google Patents
ホログラムの露光装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車などの窓ガ
ラスに光を導入及び導出して、雨滴が付着したことを検
出してワイパーなどを自動的に駆動させるための雨滴検
出用検出光の導入用ホログラムと導出用ホログラム、あ
るいはブレーキに応じて点灯し後続車に知らせるハイマ
ウントストップランプ用光源の導入用ホログラムと導出
用ホログラムの露光装置に関する。
ラスに光を導入及び導出して、雨滴が付着したことを検
出してワイパーなどを自動的に駆動させるための雨滴検
出用検出光の導入用ホログラムと導出用ホログラム、あ
るいはブレーキに応じて点灯し後続車に知らせるハイマ
ウントストップランプ用光源の導入用ホログラムと導出
用ホログラムの露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、雨滴を検出する装置は、フロント
ガラスに向けて配された発光素子と、フロントガラスに
向けて配されるとともに発光素子より発せられフロント
ガラス内を全反射した光を受光する素子とを有し、フロ
ントガラス上の雨滴によって生じる受光素子における受
光量の変化に基づき雨滴の存在を検出する装置（特開平
１０−６２３３６号公報）などが出願されている。
ガラスに向けて配された発光素子と、フロントガラスに
向けて配されるとともに発光素子より発せられフロント
ガラス内を全反射した光を受光する素子とを有し、フロ
ントガラス上の雨滴によって生じる受光素子における受
光量の変化に基づき雨滴の存在を検出する装置（特開平
１０−６２３３６号公報）などが出願されている。
【０００３】しかしながら、プリズムの形状、設置状況
により検出装置全体の寸法が大きくなって運転者などに
とって邪魔な存在になるばかりか、導入用、導出用プリ
ズムを発光素子、受光素子との位置関係で正確に取り付
ける必要がある。
により検出装置全体の寸法が大きくなって運転者などに
とって邪魔な存在になるばかりか、導入用、導出用プリ
ズムを発光素子、受光素子との位置関係で正確に取り付
ける必要がある。
【０００４】そこで本発明者らはホログラムを利用して
検出光の導入と導出を行う検出装置を特願平１０−３１
２０１５号として提案しているが、その場合のホログラ
ムを通常の方法により２種類別個に露光するのでは、２
回の露光作業を行う必要があり、露光作業が増えるばか
りでなく、別個に作製した２枚のホログラムを検出光の
導入用、導出用として車両用のフロントガラスなどに配
設する場合には、位置合わせが困難である。この問題を
解決するために１枚のシートに２種類のホログラムを露
光することが考えられるがこの場合には、作製中のホロ
グラム領域に不要な光（特にガラス基板の臨界角を超え
る角度で入射するレーザー光による迷光）が照射されな
いような煩雑な減光処理に、また同領域以外の領域に不
要なホログラムが作製されないような煩雑なマスキング
処理が必要となる。
検出光の導入と導出を行う検出装置を特願平１０−３１
２０１５号として提案しているが、その場合のホログラ
ムを通常の方法により２種類別個に露光するのでは、２
回の露光作業を行う必要があり、露光作業が増えるばか
りでなく、別個に作製した２枚のホログラムを検出光の
導入用、導出用として車両用のフロントガラスなどに配
設する場合には、位置合わせが困難である。この問題を
解決するために１枚のシートに２種類のホログラムを露
光することが考えられるがこの場合には、作製中のホロ
グラム領域に不要な光（特にガラス基板の臨界角を超え
る角度で入射するレーザー光による迷光）が照射されな
いような煩雑な減光処理に、また同領域以外の領域に不
要なホログラムが作製されないような煩雑なマスキング
処理が必要となる。
【０００５】従来、雨滴を検出する装置は、室内側に発
光素子と受光素子を配設し、発光素子からの発光ビーム
と、受光素子の受光視野とが室外においてガラスの前方
所定距離で交差するようにし、センシング領域内に雨滴
が存在すると発光素子からの光が雨滴に当たって散乱光
を発し、該散乱光を受光素子が検出して雨滴を検出する
装置（特開平１０−９６７９１号公報）、フロントガラ
スに向けて配された発光素子と、フロントガラスに向け
て配されるとともに発光素子より発せられフロントガラ
ス内を全反射した光を受光する素子とを有し、フロント
ガラス上の雨滴によって生じる受光素子における受光量
の変化に基づき雨滴の存在を検出する装置（特開平１０
−６２３３６号公報）などが出願されている。
光素子と受光素子を配設し、発光素子からの発光ビーム
と、受光素子の受光視野とが室外においてガラスの前方
所定距離で交差するようにし、センシング領域内に雨滴
が存在すると発光素子からの光が雨滴に当たって散乱光
を発し、該散乱光を受光素子が検出して雨滴を検出する
装置（特開平１０−９６７９１号公報）、フロントガラ
スに向けて配された発光素子と、フロントガラスに向け
て配されるとともに発光素子より発せられフロントガラ
ス内を全反射した光を受光する素子とを有し、フロント
ガラス上の雨滴によって生じる受光素子における受光量
の変化に基づき雨滴の存在を検出する装置（特開平１０
−６２３３６号公報）などが出願されている。
【０００６】しかしながら、特開平１０−９６７９１号
公報に示される装置では、常時前方向に検出光の赤外線
を放出するが、検出領域が広いので赤外線放射、検出に
エネルギーを要し、車両などの移動体において電力消費
が大きくなることから問題があり、特に車室内に装置を
配する場合には、近年の車両のフロントガラスでは車室
内への熱の流入を抑制するため遮熱効果の高いグリーン
系の着色ガラスが多く用いられており、これらは、３μ
ｍより長い波長では１０％以下と著しく透過率が低く、
それより短い赤外線域においても透過率が５０％以下と
低いことから特にこの点が懸念され、装置、さらには制
御システム全体としても大がかりとならざるを得ない。
公報に示される装置では、常時前方向に検出光の赤外線
を放出するが、検出領域が広いので赤外線放射、検出に
エネルギーを要し、車両などの移動体において電力消費
が大きくなることから問題があり、特に車室内に装置を
配する場合には、近年の車両のフロントガラスでは車室
内への熱の流入を抑制するため遮熱効果の高いグリーン
系の着色ガラスが多く用いられており、これらは、３μ
ｍより長い波長では１０％以下と著しく透過率が低く、
それより短い赤外線域においても透過率が５０％以下と
低いことから特にこの点が懸念され、装置、さらには制
御システム全体としても大がかりとならざるを得ない。
【０００７】また、特開平１０−６２３３６号公報に示
される装置では、プリズムの形状、設置状況により検出
装置全体の寸法が大きくなって運転者などにとって邪魔
な存在になるばかりか、導入用、導出用プリズムを発光
素子、受光素子との位置関係で正確に取り付ける必要が
ある。
される装置では、プリズムの形状、設置状況により検出
装置全体の寸法が大きくなって運転者などにとって邪魔
な存在になるばかりか、導入用、導出用プリズムを発光
素子、受光素子との位置関係で正確に取り付ける必要が
ある。
【０００８】そこで本発明者らはホログラムを利用して
検出光の導入と導出を行う検出装置を特願平１０−３１
２０１５号として提案しているが、その場合のホログラ
ムを通常の方法により２種類別個に露光するのでは、２
回の露光作業を行う必要があり、露光作業が増えるばか
りでなく、別個に作製した２枚のホログラムを検出光の
導入用、導出用として車両用のフロントガラスなどに配
設する場合には、位置合わせが困難である。この問題を
解決するために１枚のシートに２種類のホログラムを露
光することが考えられるがこの場合には、作製中所望の
ホログラム領域に不要な光（特にガラス基板の臨界角を
超える角度で入射するレーザー光による迷光）が照射さ
れないような煩雑な減光処理に、また同領域以外の領域
に不要なホログラムが作製されないような煩雑な、マス
キング処理が必要となる。
検出光の導入と導出を行う検出装置を特願平１０−３１
２０１５号として提案しているが、その場合のホログラ
ムを通常の方法により２種類別個に露光するのでは、２
回の露光作業を行う必要があり、露光作業が増えるばか
りでなく、別個に作製した２枚のホログラムを検出光の
導入用、導出用として車両用のフロントガラスなどに配
設する場合には、位置合わせが困難である。この問題を
解決するために１枚のシートに２種類のホログラムを露
光することが考えられるがこの場合には、作製中所望の
ホログラム領域に不要な光（特にガラス基板の臨界角を
超える角度で入射するレーザー光による迷光）が照射さ
れないような煩雑な減光処理に、また同領域以外の領域
に不要なホログラムが作製されないような煩雑な、マス
キング処理が必要となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
点に鑑みてなされたものであり、露光作業が１回で済
み、１枚のシートに露光する場合にも、煩雑な減光処理
やマスキング処理なども不要であるホログラム露光装置
を提供することを目的とする。
点に鑑みてなされたものであり、露光作業が１回で済
み、１枚のシートに露光する場合にも、煩雑な減光処理
やマスキング処理なども不要であるホログラム露光装置
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のホログラムの露
光装置は、２種類の透過型ホログラムを形成する場合に
は、ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾板と、該
感光材の一方の面に物体光と参照光を入射させるレーザ
ーを含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と
第１の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の
物体光と第２の参照光により第２のホログラムを形成さ
せるホログラムの露光装置において、前記光学系から第
１の参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全
反射するように前記光学系から第１の物体光として入射
させる平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記
乾板の感光材側に密着させるとともに、前記光学系から
のレーザー光が前記乾板のガラス面側から感光材側に向
けて入射させた光を第２の物体光として出射させる平面
と、前記第１の物体光がガラス基板内を全反射して進行
した光を第２の参照光として出射させる平面を少なくと
も有する第２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１の
プリズムとは離隔して密着させたことを特徴とする。
光装置は、２種類の透過型ホログラムを形成する場合に
は、ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾板と、該
感光材の一方の面に物体光と参照光を入射させるレーザ
ーを含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と
第１の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の
物体光と第２の参照光により第２のホログラムを形成さ
せるホログラムの露光装置において、前記光学系から第
１の参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全
反射するように前記光学系から第１の物体光として入射
させる平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記
乾板の感光材側に密着させるとともに、前記光学系から
のレーザー光が前記乾板のガラス面側から感光材側に向
けて入射させた光を第２の物体光として出射させる平面
と、前記第１の物体光がガラス基板内を全反射して進行
した光を第２の参照光として出射させる平面を少なくと
も有する第２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１の
プリズムとは離隔して密着させたことを特徴とする。
【００１１】また、２種類の反射型ホログラムを作製す
る場合には、前記光学系からのレーザー光が前記乾板の
ガラス基板側から感光材側に向けて入射させた光を第１
の参照光として出射させる平面と、ガラス基板中で全反
射するように第１の物体光を前記光学系から入射させる
平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板の
光学系側に密着させるとともに、前記光学系から第２の
物体光として入射させる平面と、前記第１の物体光がガ
ラス基板内を全反射して進行した光を第２の参照光とし
て出射させる平面を少なくとも有する第２のプリズムを
前記乾板の光学系側に第１のプリズムとは離隔して密着
させたことを特徴とする。
る場合には、前記光学系からのレーザー光が前記乾板の
ガラス基板側から感光材側に向けて入射させた光を第１
の参照光として出射させる平面と、ガラス基板中で全反
射するように第１の物体光を前記光学系から入射させる
平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板の
光学系側に密着させるとともに、前記光学系から第２の
物体光として入射させる平面と、前記第１の物体光がガ
ラス基板内を全反射して進行した光を第２の参照光とし
て出射させる平面を少なくとも有する第２のプリズムを
前記乾板の光学系側に第１のプリズムとは離隔して密着
させたことを特徴とする。
【００１２】さらに、一対の透過型ホログラムと反射型
ホログラムを作製する場合には、前記光学系から第１の
参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全反射
するように前記光学系から第１の物体光として入射させ
る平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板
の感光材側に密着させるとともに、前記光学系から第２
の物体光として入射させる平面と、前記第１の物体光が
ガラス基板内を全反射して進行した光を第２の参照光と
して出射させる平面を少なくとも有する第２のプリズム
を前記乾板の光学系側に第１のプリズムとは離隔して密
着させたことを特徴とする。
ホログラムを作製する場合には、前記光学系から第１の
参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全反射
するように前記光学系から第１の物体光として入射させ
る平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板
の感光材側に密着させるとともに、前記光学系から第２
の物体光として入射させる平面と、前記第１の物体光が
ガラス基板内を全反射して進行した光を第２の参照光と
して出射させる平面を少なくとも有する第２のプリズム
を前記乾板の光学系側に第１のプリズムとは離隔して密
着させたことを特徴とする。
【００１３】本発明は、車両用の窓ガラスなどに設けた
光源などから光を導入し、窓ガラスなどを全反射させる
ように回折する導入用のホログラムと、窓ガラスなどを
全反射して進行する光を外部の受光素子などに導出する
ように回折する導出用のホログラムを、さらには場合に
より、導入用のホログラムと導出用のホログラムの間に
伝搬用のホログラムを１回の露光作業で容易に作製する
ことができる。
光源などから光を導入し、窓ガラスなどを全反射させる
ように回折する導入用のホログラムと、窓ガラスなどを
全反射して進行する光を外部の受光素子などに導出する
ように回折する導出用のホログラムを、さらには場合に
より、導入用のホログラムと導出用のホログラムの間に
伝搬用のホログラムを１回の露光作業で容易に作製する
ことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】雨滴検出用途としては、ホログラ
ムは透過型ホログラム、反射型ホログラムのいずれも使
用可能であり、発光素子からの光を透明板状体に導入す
る際のホログラムは発光素子の光をフロントガラスなど
の透明板状体中で全反射するように回折角を板ガラスの
場合で４１．１°以上とし、雨滴（屈折率１．３３）と
透明板状体との界面で全反射しないように６０．１°以
下になるようなホログラムを使用する必要があり、透明
板状体から受光素子へ導出する際のホログラムは逆に透
明板状体中を全反射してきた光を受光素子に出射するよ
うなホログラムを使用する必要がある。
ムは透過型ホログラム、反射型ホログラムのいずれも使
用可能であり、発光素子からの光を透明板状体に導入す
る際のホログラムは発光素子の光をフロントガラスなど
の透明板状体中で全反射するように回折角を板ガラスの
場合で４１．１°以上とし、雨滴（屈折率１．３３）と
透明板状体との界面で全反射しないように６０．１°以
下になるようなホログラムを使用する必要があり、透明
板状体から受光素子へ導出する際のホログラムは逆に透
明板状体中を全反射してきた光を受光素子に出射するよ
うなホログラムを使用する必要がある。
【００１５】したがって、透過型ホログラムの作製は、
レーザー光源を含む光学系から第１の参照光として入射
させる平面と、ガラス基板中で全反射するように前記光
学系から第１の物体光として入射させる平面を少なくと
も具備する第１のプリズムをガラス基板に感光材を貼着
して配置した乾板の感光材側に密着させるとともに、前
記光学系からのレーザー光が前記乾板のガラス基板側か
ら感光材側に向けて入射させた光を第２の物体光として
出射させる平面と、前記第１の物体光がガラス基板内を
全反射して進行した光を第２の参照光として出射させる
平面を少なくとも有する第２のプリズムを前記乾板の感
光材側に第１のプリズムとは離隔して密着させた状態で
露光すれば、第１のホログラムが導入用ホログラムとし
て、第２のホログラムが導出用ホログラムとして１回の
露光作業で作製することができる。
レーザー光源を含む光学系から第１の参照光として入射
させる平面と、ガラス基板中で全反射するように前記光
学系から第１の物体光として入射させる平面を少なくと
も具備する第１のプリズムをガラス基板に感光材を貼着
して配置した乾板の感光材側に密着させるとともに、前
記光学系からのレーザー光が前記乾板のガラス基板側か
ら感光材側に向けて入射させた光を第２の物体光として
出射させる平面と、前記第１の物体光がガラス基板内を
全反射して進行した光を第２の参照光として出射させる
平面を少なくとも有する第２のプリズムを前記乾板の感
光材側に第１のプリズムとは離隔して密着させた状態で
露光すれば、第１のホログラムが導入用ホログラムとし
て、第２のホログラムが導出用ホログラムとして１回の
露光作業で作製することができる。
【００１６】反射型ホログラムの作製は、物体光あるい
は参照光のどちらかを透過型ホログラムの場合と逆向き
に感光材に入射させればよく、光学系からのレーザー光
が前記乾板のガラス基板側から感光材側に向けて入射さ
せた光を第１の参照光として出射させる平面と、ガラス
基板中で全反射するように第１の物体光を前記光学系か
ら入射させる平面を少なくとも具備する第１のプリズム
を前記感光材の光学系側に密着させるとともに、前記光
学系から第２の物体光として入射させる平面と、前記第
１の物体光がガラス基板内を全反射して進行した光を第
２の参照光として出射させる平面を少なくとも有する第
２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１のプリズムと
は離隔して密着させた状態で露光すれば、第１のホログ
ラムが導入用ホログラムとして、第２のホログラムが導
出用ホログラムとして１回の露光作業で作製することが
できる。
は参照光のどちらかを透過型ホログラムの場合と逆向き
に感光材に入射させればよく、光学系からのレーザー光
が前記乾板のガラス基板側から感光材側に向けて入射さ
せた光を第１の参照光として出射させる平面と、ガラス
基板中で全反射するように第１の物体光を前記光学系か
ら入射させる平面を少なくとも具備する第１のプリズム
を前記感光材の光学系側に密着させるとともに、前記光
学系から第２の物体光として入射させる平面と、前記第
１の物体光がガラス基板内を全反射して進行した光を第
２の参照光として出射させる平面を少なくとも有する第
２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１のプリズムと
は離隔して密着させた状態で露光すれば、第１のホログ
ラムが導入用ホログラムとして、第２のホログラムが導
出用ホログラムとして１回の露光作業で作製することが
できる。
【００１７】ハイマウントストップランプ用途として
は、ホログラムは一対の透過型ホログラムと反射型ホロ
グラムとなり、光源からの赤色光を透明板状体に導入す
る際のホログラムは発光素子の光をフロントガラスなど
の透明板状体中で全反射するように回折角を板ガラスの
場合で４１．１°以上とし、望ましくは、雨滴（屈折率
１．３３）と透明板状体との界面でも全反射するように
６０．１°以上になるようなホログラムを使用する必要
があり、透明板状体から後続車へ導出する際のホログラ
ムは逆に透明板状体中を全反射してきた光を後続車方向
に出射するようなホログラムを使用する必要がある。
は、ホログラムは一対の透過型ホログラムと反射型ホロ
グラムとなり、光源からの赤色光を透明板状体に導入す
る際のホログラムは発光素子の光をフロントガラスなど
の透明板状体中で全反射するように回折角を板ガラスの
場合で４１．１°以上とし、望ましくは、雨滴（屈折率
１．３３）と透明板状体との界面でも全反射するように
６０．１°以上になるようなホログラムを使用する必要
があり、透明板状体から後続車へ導出する際のホログラ
ムは逆に透明板状体中を全反射してきた光を後続車方向
に出射するようなホログラムを使用する必要がある。
【００１８】したがって、一対の透過型ホログラムと反
射型ホログラムの作製は、レーザー光源を含む光学系か
ら第１の参照光として入射させる平面と、ガラス基板中
で全反射するように前記光学系から第１の物体光として
入射させる平面を少なくとも具備する第１のプリズムを
ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾板の感光材側
に密着させるとともに、前記光学系から第２の物体光と
して入射させる平面と、前記第１の物体光がガラス基板
内を全反射して進行した光を第２の参照光として出射さ
せる平面を少なくとも有する第２のプリズムを前記乾板
の感光材側に第１のプリズムとは離隔して密着させた状
態で露光すれば、第１のホログラムが導入用ホログラム
として、第２のホログラムが導出用ホログラムとして１
回の露光作業で作製することができる。
射型ホログラムの作製は、レーザー光源を含む光学系か
ら第１の参照光として入射させる平面と、ガラス基板中
で全反射するように前記光学系から第１の物体光として
入射させる平面を少なくとも具備する第１のプリズムを
ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾板の感光材側
に密着させるとともに、前記光学系から第２の物体光と
して入射させる平面と、前記第１の物体光がガラス基板
内を全反射して進行した光を第２の参照光として出射さ
せる平面を少なくとも有する第２のプリズムを前記乾板
の感光材側に第１のプリズムとは離隔して密着させた状
態で露光すれば、第１のホログラムが導入用ホログラム
として、第２のホログラムが導出用ホログラムとして１
回の露光作業で作製することができる。
【００１９】さらに、第１のホログラムと第２のホログ
ラムの間に伝搬用の第３のホログラムを作製する場合に
ついても、同じ構成で作製することができる。
ラムの間に伝搬用の第３のホログラムを作製する場合に
ついても、同じ構成で作製することができる。
【００２０】プリズムについて、表面が平滑なガラスを
使用して、レーザー光が入射及び出射する平面に相当す
る部分を切断、研磨して作製すればよいが、第１の物体
光がガラス基板中を１回の全反射して（１往復）でして
第２の参照光として出射させる場合であって、ガラス基
板が湾曲している場合には第１のプリズムと第２のプリ
ズムは別個に密着させた方がよいが、ガラス基板の曲率
が小さいか、あるいはフラットな場合には、感光材との
界面に反射膜を設ければ第１のプリズムと第２のプリズ
ムが一体化されたものを使用することができる。
使用して、レーザー光が入射及び出射する平面に相当す
る部分を切断、研磨して作製すればよいが、第１の物体
光がガラス基板中を１回の全反射して（１往復）でして
第２の参照光として出射させる場合であって、ガラス基
板が湾曲している場合には第１のプリズムと第２のプリ
ズムは別個に密着させた方がよいが、ガラス基板の曲率
が小さいか、あるいはフラットな場合には、感光材との
界面に反射膜を設ければ第１のプリズムと第２のプリズ
ムが一体化されたものを使用することができる。
【００２１】ガラス基板内に全反射角でレーザー光を入
射するあるいはその逆に出射するためのプリズムの平面
の角度について、図１の第１のプリズム３によって説明
すると、ガラス基板１の屈折率をｎ１、プリズムの屈折
率をｎ２とすると、β＝θ°−ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ
２）°、α＝ｓｉｎ-1｛ｓｉｎβ・（ｎ２／ｎ１）｝°
が成り立つ。
射するあるいはその逆に出射するためのプリズムの平面
の角度について、図１の第１のプリズム３によって説明
すると、ガラス基板１の屈折率をｎ１、プリズムの屈折
率をｎ２とすると、β＝θ°−ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ
２）°、α＝ｓｉｎ-1｛ｓｉｎβ・（ｎ２／ｎ１）｝°
が成り立つ。
【００２２】ここでプリズムの屈折率はガラス基板の屈
折率に等しいとしてよいので、ｎ１＝ｎ２＝ｎとしてα
＝βとなる。
折率に等しいとしてよいので、ｎ１＝ｎ２＝ｎとしてα
＝βとなる。
【００２３】第１の物体光Ｓ１がガラス基板中を全反射
して進むためには、ｓｉｎ-1（１／ｎ）° ≦α＜９０
°が成り立たなければならない。
して進むためには、ｓｉｎ-1（１／ｎ）° ≦α＜９０
°が成り立たなければならない。
【００２４】したがって、ｓｉｎ-1（１／ｎ）° ≦θ
°−ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ）°＜９０°となり、この
結果からｓｉｎ-1（１／ｎ）°＋ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／
ｎ）°＜θ≦９０°＋ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ）°が成
り立つようにすればよい。
°−ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ）°＜９０°となり、この
結果からｓｉｎ-1（１／ｎ）°＋ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／
ｎ）°＜θ≦９０°＋ｓｉｎ-1（ｓｉｎφ／ｎ）°が成
り立つようにすればよい。
【００２５】θが９０°を越える場合、すなわちガラス
基板と接する面をその表面である３１より短くした場合
にも第１の物体光をガラス基板中で全反射させることは
可能であるが、入射角が大きくなり好ましくない。
基板と接する面をその表面である３１より短くした場合
にも第１の物体光をガラス基板中で全反射させることは
可能であるが、入射角が大きくなり好ましくない。
【００２６】なお、第１の参照光Ｒ１は、実際の露光の
場合、表面での反射光がレーザー発振器に戻りレーザー
光が不安定となるのを防ぐために法線からずらした方が
よいが、ここでは便宜上第１の参照光Ｒ１を法線として
扱った。
場合、表面での反射光がレーザー発振器に戻りレーザー
光が不安定となるのを防ぐために法線からずらした方が
よいが、ここでは便宜上第１の参照光Ｒ１を法線として
扱った。
【００２７】プリズムの平面３１は必ずしもガラス基板
１の面と平行にする必要はなく、第１の物体光Ｓ１がガ
ラス基板に入射して、ガラス基板中で全反射せず、ガラ
ス基板からほとんどの光が出射するような範囲で使用す
る光学系に応じて若干傾けてもよい。
１の面と平行にする必要はなく、第１の物体光Ｓ１がガ
ラス基板に入射して、ガラス基板中で全反射せず、ガラ
ス基板からほとんどの光が出射するような範囲で使用す
る光学系に応じて若干傾けてもよい。
【００２８】感材については、樹脂フィルムに厚さ２５
μｍのフォトポリマーポリマー、例えばＯｍｎｉＤｅｘ
−３５２（ＤｕＰｏｎｔ製）を塗布したものなどが好適
であるが、フィルムに感材が塗布されたものであればよ
い。
μｍのフォトポリマーポリマー、例えばＯｍｎｉＤｅｘ
−３５２（ＤｕＰｏｎｔ製）を塗布したものなどが好適
であるが、フィルムに感材が塗布されたものであればよ
い。
【００２９】この発明の露光装置によって作製されたホ
ログラムは、後述する実施例に示すように、雨滴検出用
のホログラムとして好適に使用することができる。この
場合には発光素子からの検出光を本発明の第１のホログ
ラム（導入用ホログラム）を介して車両用のフロントガ
ラスなどに入射させ、フロントガラスなどの透明板状体
中を全反射させながら、雨滴などがフロントガラスに付
着していなければ、フロントガラスから外に出射するこ
とはないので、透明板状体中を進行する検出光を本発明
の第２のホログラム（導出用ホログラム）を介して受光
素子に入力すれば雨滴の検出を的確に行うことができ
る。
ログラムは、後述する実施例に示すように、雨滴検出用
のホログラムとして好適に使用することができる。この
場合には発光素子からの検出光を本発明の第１のホログ
ラム（導入用ホログラム）を介して車両用のフロントガ
ラスなどに入射させ、フロントガラスなどの透明板状体
中を全反射させながら、雨滴などがフロントガラスに付
着していなければ、フロントガラスから外に出射するこ
とはないので、透明板状体中を進行する検出光を本発明
の第２のホログラム（導出用ホログラム）を介して受光
素子に入力すれば雨滴の検出を的確に行うことができ
る。
【００３０】また、ハイマウントストップランプとして
使用する場合には、光源からの赤色光を本発明の第１の
ホログラム（導入用ホログラム）を介して車両用のリア
ガラスなどに入射させ、リアガラスなどの透明板状体中
を全反射させながら、第２のホログラム（導出用ホログ
ラム）を介して後続車方向に発光すればストップランプ
として好適に使用することができる。
使用する場合には、光源からの赤色光を本発明の第１の
ホログラム（導入用ホログラム）を介して車両用のリア
ガラスなどに入射させ、リアガラスなどの透明板状体中
を全反射させながら、第２のホログラム（導出用ホログ
ラム）を介して後続車方向に発光すればストップランプ
として好適に使用することができる。
【００３１】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説
明する。
明する。
【００３２】図１と図２は、それぞれ実施例１における
露光装置を示す概略図と得られたホログラムを応用した
雨滴検出装置を示す概略図、図３と図４はそれぞれ実施
例２と実施例３における露光装置を示す概略図である。
露光装置を示す概略図と得られたホログラムを応用した
雨滴検出装置を示す概略図、図３と図４はそれぞれ実施
例２と実施例３における露光装置を示す概略図である。
【００３３】実施例１
図１に示すように、車両用のフロントガラスに設けて雨
滴検出装置として使用する場合の導入用と導出用のホロ
グラムを作製するために、車両用フロントガラスの厚さ
（普通は約４．８ｍｍ）の１／２（約２．４ｍｍ）の厚
さを有するガラス基板に感光材を貼着し乾板として、第
１の参照光と第２の物体光を独立して感光材に入射さ
せ、さらに第１の物体光を感光材とガラス基板中を２回
往復させて全反射させ、第２の参照光として第２のプリ
ズムの斜面から出射させる構造とした場合について例示
する。
滴検出装置として使用する場合の導入用と導出用のホロ
グラムを作製するために、車両用フロントガラスの厚さ
（普通は約４．８ｍｍ）の１／２（約２．４ｍｍ）の厚
さを有するガラス基板に感光材を貼着し乾板として、第
１の参照光と第２の物体光を独立して感光材に入射さ
せ、さらに第１の物体光を感光材とガラス基板中を２回
往復させて全反射させ、第２の参照光として第２のプリ
ズムの斜面から出射させる構造とした場合について例示
する。
【００３４】まず、厚さが０．２ｍｍのベースフィルム
に厚さ２５μｍのフォトポリマーなどの感光材２を塗布
してカバーフィルムを貼り付けた、例えばＯｍｎｉＤｅ
ｘ−３５２（ＤｕＰｏｎｔ製）のベースフィルムを剥が
して、厚さが車両用フロントガラスの１／２である２．
４ｍｍのガラス基板１にラミネータにより圧着により感
光材２として配設し、感光材に平行な平面３１とこの感
光材面とのなす角度が６０．０°となるように切断し
て、研磨した平面３２とを少なくとも具備する第１のプ
リズム３と、感光材に平行な平面４１と感光材面とのな
す角度が６０．０°になるように切断、研磨された平面
４２を少なくとも具備する第２のプリズム４を感光材に
密着させる。
に厚さ２５μｍのフォトポリマーなどの感光材２を塗布
してカバーフィルムを貼り付けた、例えばＯｍｎｉＤｅ
ｘ−３５２（ＤｕＰｏｎｔ製）のベースフィルムを剥が
して、厚さが車両用フロントガラスの１／２である２．
４ｍｍのガラス基板１にラミネータにより圧着により感
光材２として配設し、感光材に平行な平面３１とこの感
光材面とのなす角度が６０．０°となるように切断し
て、研磨した平面３２とを少なくとも具備する第１のプ
リズム３と、感光材に平行な平面４１と感光材面とのな
す角度が６０．０°になるように切断、研磨された平面
４２を少なくとも具備する第２のプリズム４を感光材に
密着させる。
【００３５】次いで、図示しない５３２ｎｍの光を発振
するレーザー発振器、ビームスプリッター、凸レンズ、
ミラーなどを組み合わせた光学装置によりレーザー光を
３分割させて、第１の物体光Ｓ１を第１のプリズムの平
面３２に、その法線方向から、第１の参照光Ｒ１を第１
のプリズムの平面３１に、その法線方向から、第２の物
体光Ｓ２を裏面のガラス基板に、その法線方向からそれ
ぞれ入射させる。
するレーザー発振器、ビームスプリッター、凸レンズ、
ミラーなどを組み合わせた光学装置によりレーザー光を
３分割させて、第１の物体光Ｓ１を第１のプリズムの平
面３２に、その法線方向から、第１の参照光Ｒ１を第１
のプリズムの平面３１に、その法線方向から、第２の物
体光Ｓ２を裏面のガラス基板に、その法線方向からそれ
ぞれ入射させる。
【００３６】第１の物体光Ｓ１と第１の参照光Ｒ１とに
より干渉縞が形成、記録された第１のホログラム２１が
得られ、感光材を透過した第１の物体光はガラス基板の
裏面に到り、この裏面で全反射して感光材の２３の部分
に入射するが、この部分は予め不感化処理が施されてい
るので干渉縞の形成により不要なホログラムが作製形成
されることなく、この感光材の表面で全反射されて、再
度ガラス基板の裏面に到り、全反射されて感光材に第２
の参照光Ｒ２として入射し、第２のプリズムの平面４２
から空気中に出射する。このとき第２の物体光Ｓ２が感
光材中で第２の参照光と重なるように入射されるので、
この部分にも干渉縞が形成され、第２のホログラム２２
が得られる。
より干渉縞が形成、記録された第１のホログラム２１が
得られ、感光材を透過した第１の物体光はガラス基板の
裏面に到り、この裏面で全反射して感光材の２３の部分
に入射するが、この部分は予め不感化処理が施されてい
るので干渉縞の形成により不要なホログラムが作製形成
されることなく、この感光材の表面で全反射されて、再
度ガラス基板の裏面に到り、全反射されて感光材に第２
の参照光Ｒ２として入射し、第２のプリズムの平面４２
から空気中に出射する。このとき第２の物体光Ｓ２が感
光材中で第２の参照光と重なるように入射されるので、
この部分にも干渉縞が形成され、第２のホログラム２２
が得られる。
【００３７】なお、それぞれのレーザー光は、第１のプ
リズムの平面、ガラス基板の平面に法線方向から入射さ
せると説明したが、精密に法線方向から入射させるとそ
れぞれの入射面から反射した光がレーザー光源に戻って
しまい、レーザー光が不安定になる恐れがあるので、実
際には法線方向から１°程度ずらして入射させたほうが
望ましい。
リズムの平面、ガラス基板の平面に法線方向から入射さ
せると説明したが、精密に法線方向から入射させるとそ
れぞれの入射面から反射した光がレーザー光源に戻って
しまい、レーザー光が不安定になる恐れがあるので、実
際には法線方向から１°程度ずらして入射させたほうが
望ましい。
【００３８】このようにして得られた第１のホログラム
２１と第２のホログラム２２は、例えば図２に示すよう
に、厚さが２ｍｍの車内側板ガラス６１と車外側板ガラ
ス６２が厚さが約０．８ｍｍポリビニールブチラールな
どの中間膜６３により接着された合わせガラス（合計厚
さが約４．８ｍｍ）６の車内側表面に第１のホログラム
２１と第２のホログラム２２が記録されたホログラムシ
ートを貼り付け、第１のホログラム（導入用ホログラ
ム）２１の前面に発光素子７を、第２のホログラム（導
出用ホログラム）２２の前面に受光素子８を取り付け、
自動車の前部開口部にフロントガラスとして装着する。
２１と第２のホログラム２２は、例えば図２に示すよう
に、厚さが２ｍｍの車内側板ガラス６１と車外側板ガラ
ス６２が厚さが約０．８ｍｍポリビニールブチラールな
どの中間膜６３により接着された合わせガラス（合計厚
さが約４．８ｍｍ）６の車内側表面に第１のホログラム
２１と第２のホログラム２２が記録されたホログラムシ
ートを貼り付け、第１のホログラム（導入用ホログラ
ム）２１の前面に発光素子７を、第２のホログラム（導
出用ホログラム）２２の前面に受光素子８を取り付け、
自動車の前部開口部にフロントガラスとして装着する。
【００３９】このようにして得られた雨滴検出装置にお
いて、雨が降っていないときには、合わせガラスに発光
素子７からの検出光が導入されると、検出光は車外側板
ガラスの車外側面で１回全反射されて受光素子８によっ
て受光されるが、この場合には合わせガラス中の光の減
衰が若干あるだけでほぼ全量が受光される。雨滴が車外
側板ガラスの車外側面に付着すると、雨滴に検出光の一
部、あるいは全量が入射してこの雨滴によって散乱する
ので、受光素子８で受光される検出光はほとんど０にな
るか激減する。
いて、雨が降っていないときには、合わせガラスに発光
素子７からの検出光が導入されると、検出光は車外側板
ガラスの車外側面で１回全反射されて受光素子８によっ
て受光されるが、この場合には合わせガラス中の光の減
衰が若干あるだけでほぼ全量が受光される。雨滴が車外
側板ガラスの車外側面に付着すると、雨滴に検出光の一
部、あるいは全量が入射してこの雨滴によって散乱する
ので、受光素子８で受光される検出光はほとんど０にな
るか激減する。
【００４０】図示しない検出回路において、この受光量
の絶対量を、雨が降ってない通常の量に相当する量を基
準値として比較すれば雨滴を的確に検出することができ
る。なお、この場合に結露が貼り付けたホログラム表面
に生じても検出光は１回（１往復）全反射するだけであ
り、ホログラムと空気との界面では反射されないので結
露により誤検出することはない。
の絶対量を、雨が降ってない通常の量に相当する量を基
準値として比較すれば雨滴を的確に検出することができ
る。なお、この場合に結露が貼り付けたホログラム表面
に生じても検出光は１回（１往復）全反射するだけであ
り、ホログラムと空気との界面では反射されないので結
露により誤検出することはない。
【００４１】この場合に、第１の物体光と第２の参照光
のレーザー光の向きをそのままにして第１の参照光と第
２の物体光のレーザー光の向きを逆向きにするか、ある
いは第１の参照光と第２の物体光のレーザー光の向きを
そのままにして第１の物体光と第２の参照光のレーザー
光の向きを逆向きにすれば、第１のホログラム、第２の
ホログラムとも反射型ホログラムとすることができる。
その場合には、合わせガラスの内部に配置して使用する
ことができる。
のレーザー光の向きをそのままにして第１の参照光と第
２の物体光のレーザー光の向きを逆向きにするか、ある
いは第１の参照光と第２の物体光のレーザー光の向きを
そのままにして第１の物体光と第２の参照光のレーザー
光の向きを逆向きにすれば、第１のホログラム、第２の
ホログラムとも反射型ホログラムとすることができる。
その場合には、合わせガラスの内部に配置して使用する
ことができる。
【００４２】実施例２
図３に示すように、ガラス基板の厚さを実施例１の２倍
の厚さ４．８ｍｍ（フロントガラスの厚みに同じ）にし
て第１の物体光Ｓ１を感光材２とガラス基板１中を１回
全反射（１往復）させ、第２の参照光Ｒ２として第２の
プリズムの平面４２から出射させる構造としたものであ
り、その他は実施例１と同じ構成としたものである。
の厚さ４．８ｍｍ（フロントガラスの厚みに同じ）にし
て第１の物体光Ｓ１を感光材２とガラス基板１中を１回
全反射（１往復）させ、第２の参照光Ｒ２として第２の
プリズムの平面４２から出射させる構造としたものであ
り、その他は実施例１と同じ構成としたものである。
【００４３】この場合には、第１の物体光を感光材とガ
ラス基板中で１回しか全反射させないので、感光材の中
央部分に不感化処理を施す必要がない。
ラス基板中で１回しか全反射させないので、感光材の中
央部分に不感化処理を施す必要がない。
【００４４】また、この場合には第１のプリズムと第２
のプリズムを一つのプリズムとしてもよい。
のプリズムを一つのプリズムとしてもよい。
【００４５】実施例３
図4に示すように、第１のミラー５１と第２のミラー５
２を乾板のガラス基板側に配置し、第１の参照光Ｒ１を
第１のミラー５１と第２のミラー５２で反射させて第２
の物体光Ｓ２として感光材２に入射させて露光する場合
について例示する。
２を乾板のガラス基板側に配置し、第１の参照光Ｒ１を
第１のミラー５１と第２のミラー５２で反射させて第２
の物体光Ｓ２として感光材２に入射させて露光する場合
について例示する。
【００４６】この場合に、第１の参照光Ｒ１を感光材に
入射させて第１の物体光Ｓ１とにより第１のホログラム
を記録し、ガラス基板を透過した光を第１のミラー５１
により反射させ、さらにその反射光を第２のミラー５２
により反射させ、第２の物体光Ｓ２として乾板のガラス
基板側から入射させて、ガラス基板と感光材中を全反射
されて進行してきた第２の参照光Ｒ２とにより第２のホ
ログラム２２が記録される。
入射させて第１の物体光Ｓ１とにより第１のホログラム
を記録し、ガラス基板を透過した光を第１のミラー５１
により反射させ、さらにその反射光を第２のミラー５２
により反射させ、第２の物体光Ｓ２として乾板のガラス
基板側から入射させて、ガラス基板と感光材中を全反射
されて進行してきた第２の参照光Ｒ２とにより第２のホ
ログラム２２が記録される。
【００４７】実施例４
ガラス基板の厚さを２．０ｍｍ（車外側ガラスの厚みに
同じ）にし、感光材の中央部への不感化処理を行わない
ようにした他は実施例１と同じ構成としたものである。
このようにして得られたホログラムを用いた雨滴検出装
置では、ホログラムを合わせガラスの内部に配置するこ
とができ、シェードバンド部分の車外側板ガラスのみを
利用して検出光を進行させるものであるから、検出光が
車内側ガラスとシェードバンド部により減光されず有効
に利用できるため、雨滴を的確に検出することができ
る。
同じ）にし、感光材の中央部への不感化処理を行わない
ようにした他は実施例１と同じ構成としたものである。
このようにして得られたホログラムを用いた雨滴検出装
置では、ホログラムを合わせガラスの内部に配置するこ
とができ、シェードバンド部分の車外側板ガラスのみを
利用して検出光を進行させるものであるから、検出光が
車内側ガラスとシェードバンド部により減光されず有効
に利用できるため、雨滴を的確に検出することができ
る。
【００４８】実施例５
センターハイマウントストップランプ用のホログラムを
露光する場合について例示する。
露光する場合について例示する。
【００４９】図５に示すように、第２の物体光Ｓ２を乾
板の感光材２側から入射させるようにし、使用するレー
ザー装置の発振波長を６４７．１ｎｍにした他は、実施
例１と同じ構成としたものである。このようにして得ら
れたホログラムを車両のリアガラスに配置し、第１のホ
ログラムの前面に赤色光源を配置しブレーキランプと連
動すれば、後続車にブレーキングの状態を知らせるため
のハイマウントストップランプとして有効に使用するこ
とができる。
板の感光材２側から入射させるようにし、使用するレー
ザー装置の発振波長を６４７．１ｎｍにした他は、実施
例１と同じ構成としたものである。このようにして得ら
れたホログラムを車両のリアガラスに配置し、第１のホ
ログラムの前面に赤色光源を配置しブレーキランプと連
動すれば、後続車にブレーキングの状態を知らせるため
のハイマウントストップランプとして有効に使用するこ
とができる。
【００５０】
【発明の効果】本発明によれば、窓ガラスなどを全反射
させるように回折する導入用のホログラムと、窓ガラス
などを全反射して進行する光を外部に導出するように回
折する導出用のホログラムを、さらには場合により、導
入用のホログラムと導出用のホログラムの間に伝搬用の
第３のホログラムを１回の露光作業で容易に作製するこ
とができる。
させるように回折する導入用のホログラムと、窓ガラス
などを全反射して進行する光を外部に導出するように回
折する導出用のホログラムを、さらには場合により、導
入用のホログラムと導出用のホログラムの間に伝搬用の
第３のホログラムを１回の露光作業で容易に作製するこ
とができる。
【図１】実施例１における露光装置を示す要部概略図で
ある。
ある。
【図２】実施例１において得られたホログラムを応用し
た雨滴検出装置を示す要部概略図である。
た雨滴検出装置を示す要部概略図である。
【図３】実施例２における露光装置を示す要部概略図で
ある。
ある。
【図４】実施例３における露光装置を示す要部概略図で
ある。
ある。
【図５】実施例５における露光装置を示す要部概略図で
ある。
ある。
１ ガラス基板
２ 感光材
２１、２２ ホログラム
３ 第１のプリズム
４ 第２のプリズム
５１、５２ ミラー
６ 合わせガラス
７ 発光素子
８ 受光素子
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−28380（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−337316（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−265085（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−194730（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G03H 1/04
Claims (4)
- 【請求項１】ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾
板と、該乾板に物体光と参照光を入射させるレーザーを
含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と第１
の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の物体
光と第２の参照光により第２のホログラムを形成させる
ホログラムの露光装置において、前記光学系から第１の
参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全反射
するように前記光学系から第１の物体光として入射させ
る平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板
の感光材側に密着させるとともに、前記光学系からのレ
ーザー光が前記乾板のガラス基板側から感光材側に向け
て入射させた光を第２の物体光として出射させる平面
と、前記第１の物体光がガラス基板内を全反射して進行
した光を第２の参照光として出射させる平面を少なくと
も有する第２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１の
プリズムとは離隔して密着させたことを特徴とするホロ
グラムの露光装置。 - 【請求項２】ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾
板と、該乾板に物体光と参照光を入射させるレーザーを
含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と第１
の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の物体
光と第２の参照光により第２のホログラムを形成させる
ホログラムの露光装置において、前記光学系からのレー
ザー光が前記乾板のガラス基板側から感光材側に向けて
入射させた光を第１の参照光として出射させる平面と、
ガラス基板中で全反射するように第１の物体光を前記光
学系から入射させる平面を少なくとも具備する第１のプ
リズムを前記乾板の感光材側に密着させるとともに、前
記光学系から第２の物体光として入射させる平面と、前
記第１の物体光がガラス基板内を全反射して進行した光
を第２の参照光として出射させる平面を少なくとも有す
る第２のプリズムを前記乾板の感光材側に第１のプリズ
ムとは離隔して密着させたことを特徴とするホログラム
の露光装置。 - 【請求項３】ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾
板と、該乾板に物体光と参照光を入射させるレーザーを
含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と第１
の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の物体
光と第２の参照光により第２のホログラムを形成させる
ホログラムの露光装置において、前記光学系から第１の
参照光として入射させる平面と、ガラス基板中で全反射
するように前記光学系から第１の物体光として入射させ
る平面を少なくとも具備する第１のプリズムを前記乾板
の感光材側に密着させるとともに、前記光学系から第２
の物体光として入射させる平面と、前記第１の物体光が
ガラス基板内を全反射して進行した光を第２の参照光と
して出射させる平面を少なくとも有する第２のプリズム
を前記乾板の感光材側に第１のプリズムとは離隔して密
着させたことを特徴とするホログラムの露光装置。 - 【請求項４】ガラス基板に感光材を貼着して配置した乾
板と、該乾板に物体光と参照光を入射させるレーザーを
含む光学系とを少なくとも具備し、第１の物体光と第１
の参照光により第１のホログラムを形成し、第２の物体
光と第２の参照光により第２のホログラムを形成させる
ホログラムの露光装置において、前記光学系からのレー
ザー光が前記乾板内を全反射して進行し、第１のホログ
ラムと第２のホログラムの間に伝搬用の第３のホログラ
ムを作製することを特徴とした１〜３記載のホログラム
の露光装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05354099A JP3523106B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | ホログラムの露光装置 |
| EP99121576A EP0999104A3 (en) | 1998-11-02 | 1999-10-29 | Water droplet sensor and exposure system for hologram |
| US09/431,328 US6307198B1 (en) | 1998-11-02 | 1999-11-02 | Water droplet sensor and exposure system for hologram |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05354099A JP3523106B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | ホログラムの露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000250383A JP2000250383A (ja) | 2000-09-14 |
| JP3523106B2 true JP3523106B2 (ja) | 2004-04-26 |
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