JP3511389B2 - チップ・パッケージ - Google Patents

チップ・パッケージ

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JP3511389B2
JP3511389B2 JP11014093A JP11014093A JP3511389B2 JP 3511389 B2 JP3511389 B2 JP 3511389B2 JP 11014093 A JP11014093 A JP 11014093A JP 11014093 A JP11014093 A JP 11014093A JP 3511389 B2 JP3511389 B2 JP 3511389B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路パッケージ、
特に、集積回路を光結合することを可能にし、光入力お
よび光出力を処理することを可能にするパッケージに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】データ処理を行うプロセッサの処理の高
速化は目ざましいものがあり、プロセッサの高速化への
期待はますます増大している。この期待に沿う改良は、
集積回路(IC)の高速化は勿論であるが、主としてプ
ロセッサのアーキテクチャの改良によってなされてき
た。しかしながら単一のプロセッサのアーキテクチャに
よる高速化も飽和状態に近い。
【0003】最近ではプロセッサの並列化によって、高
速化の期待に答えようとしている。この場合、プロセッ
サ間の通信が十分実行できなければ、並列プロセッサの
機能を発揮することができない。したがって多数かつ複
雑なボード間配線が必要になり、高価なプロセッサとな
る。一方、プロセッサ内の機能を分割したアーキテクチ
ャ(Multi-chip module,MCM)が試みられているが、
未だ十分に成功しているとは言えない。
【0004】この出願の発明者らは、1992年3月2
5日に出願した米国出願第07/857,626号「PA
RALLEL DIGITAL PROCESSING SYSTEM USING OPTICAL INT
ERCONNECTION」において、MCMの思想をとり込んだプ
ロセッサ・アーキテクチャを提案している。すなわち演
算処理部,制御・記憶部の分離である。このアーキテク
チャでは、演算処理部は単一チップ上にアレー状に作ら
れたプロセッサ・ユニットの集合を単位としているため
に、プロセッサ・ユニット間の相互通信は容易に実現で
きる。さらに上記出願では、演算処理チップへの多量の
データおよび制御信号は、光信号として並列入力するこ
とを提案している。
【0005】一般に、プロセッサの並列駆動を実現する
ための手段として、ICチップの高性能化、およびチッ
プ間の通信がある。チップの高性能化,通信の広帯域バ
ス化には、チップを保持するパッケージの特性の向上を
必要とし、実現への努力が強力になされている。
【0006】半導体加工技術の飛躍的向上によって、1
チップに集積されるトランジスタの数の増大は目ざまし
い。トランジスタの微小化は同時に、MOSトランジス
タのゲート長の短縮,バイポーラトランジスタの電子拡
散層の短縮をもたらし、処理速度の増大を結果としても
たらした。したがって集積回路の駆動クロック・レート
を格段に増大しても追従できるようになった。
【0007】これら高速処理を実行するには、データの
入出力,必要に応じ制御信号の入出力の高速化の実現が
必要である。システムとしてキャッシュ・メモリによっ
て部分的に高速対応はなされているが、依然として高速
・大容量のデータ転送の要求は強い。
【0008】これら要求を実施する最も直接的な手段で
ある、チップへの入出力ポートを増大することについて
の開発が急進展している。すなわち、チップを保持し、
外部回路との接続を行うパッケージの改良、または新規
な方法である。
【0009】従来より主に用いられるピン・グリット・
アレー(PGA)パッケージの多端子化(ピン)であ
り、クワッド・フラット・パッケージ(QFP)の多端
子化(リード・フレーム)である。多端子化を実現する
容易な方法は、ピン取付け面積の増大によって可能であ
るが、パッケージ・サイズの増大を伴っては有効でな
い。すなわち配線ボードに取付ける部品点数の減小をも
たらし、システムのダウンサイズ化に悪い影響を与え
る。
【0010】一方、パッケージの端子密度の増大による
改良では、PGAのピン・ピッチ0.3mmへの挑戦が
続けられており、その中にはピン取付面をパッケージ下
面の全面にする方法も実用化されている。QFPではリ
ード・フレームのアウタ・ピッチの短縮への挑戦が継続
して行われている。当然のことながら、リード・フレー
ムを配線ボード上のパッドにハンダ付けするための技術
の改良も同様に進められている。
【0011】ここでICパッケージに求められる特性に
ついて一般的に考えてみる。まず第1に、前述のように
高集積化に伴う多端子化の要求がある。第2に、チップ
より入出力される信号が、パッケージの影響で遅延しな
いことが必要である。第3に、チップとパッケージの両
材料の熱膨張率を適合させる必要がある。第4に、大型
ICが高放熱性を有することである。第5に、他回路
(配線ボード)との接続が容易であることである。第6
に、小型であることである。最後に信頼性が十分である
ことである。信頼性には各種の特性があるが、他回路と
の接続が確実,安定であること、封止が必要なパッケー
ジでは、封止法も同様に確実,かつ安定であることが必
要である。
【0012】これら特性を満たす方向で前述のPGA,
QFPは改良が続けられているが、新しいチップ実装法
として、チップ・オン・ボード(COB)、テープ・キ
ャリア・パッケージ(TCP)のようなベア・チップ実
装法がある。COBは、カプセル化(glob top )以外
のパッケージングを行うことなく、直接にまたはキャリ
アを介して配線ボードに接続する方法で、端子接続はフ
リップ・ボンディング法が多く採用されている。
【0013】はんだバンプの格子状配列を用いるフリッ
プ・ボンディング法は最も多くの端子接続を行える可能
性を有するが、ハンダ付け技術に細心の注意を要する。
また熱膨張等の機械的外力が直接にチップに加わり、チ
ップ・キャリアまたは配線ボードの機械的・熱的外力の
分散・適合を十分に考慮する必要がある。
【0014】TCP技術は、テープ自動ボンディング
(tape automated bonding: TAB)に関するものであ
る。TCPはキャリアがプラスチック・フィルムよりな
り、バンプ付きのベア・チップを直接にフィルム・キャ
リア上の金属箔のインナ・リードに接合する。TCPも
COBと同様に多ピン対応の特性を有し、小型,軽量、
かつ薄型である。TCPプロセスは、ファインピッチ化
を行い、インナ・ボンディングパッド・ピッチを小さく
するのに使用できる。これは、TCPプロセスが、プラ
スチック・フィルム上に接着された導電性箔を用いるこ
とによって、サブミル(すなわち0.001インチ以
下)のインナ・リードの作製を可能にするからである。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】COB,TCPおよび
他のベア・チップ実装では、全端子が一括してまたは連
続して自動的にボンディングされ、ワイヤ・ボンディン
グに比較して接合強度が数倍の接着強度を与える。しか
し、逆に一旦チップを回路に接合すると、取り外すこと
が容易でなく、修復が困難であるという欠点にもなって
いる。
【0016】現在の従来技術では、製作できる端子数は
500本未満であり、多く使用されるのは200〜30
0本である。一方、プロセッサの性能向上はとどまると
ころを知らず、1チップ上に複数のALU(arithmetic
and logic unit)を持つチップも発表されている。これ
らの新しいプロセッサを有効に利用するためには、多数
の高速並列信号入出力ポートを設けることが望まれてい
る。
【0017】本発明の目的は、並列光入力および光出力
するチップ間を光結合するのに必要なチップ・パッケー
ジを提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明のチップ・パッケ
ージは、電気的信号入出力部と、光学的信号入力部また
は光学的信号出力部またはこれらの両方とを有してい
る。チップ・パッケージは、ディジタル・データ処理を
行うICチップを保持する。チップ・パッケージは、前
記ICチップを保持し、電気的信号入出力端子群を有す
る容器状のチップ・キャリアと、このチップ・キャリア
を封止するように接合されたカバーとを有している。こ
のカバーは、前記光学的信号入力部用の窓を有してい
る。さらに、複数の光学的信号伝送素子を保持するコネ
クタ・プレートとを備えている。複数の光学的信号伝送
素子は、複数の光学的信号を単位として伝送し、これに
より光学的信号が、カバー上の窓を経て光学的信号部
へ、または光学的信号部から伝送される。チップ・キャ
リアは、配線ボードに固定され、光学的信号伝送素子は
チップ・キャリアに位置決めされ固定される。配線ボー
ドに電気的入出力端子群が接続される。
【0019】本発明の他の面によれば、チップ・パッケ
ージは、複数の光信号伝送素子を保持するコネクタ・プ
レートとを備えている。前記チップ・キャリアと前記コ
ネクタ・プレートとは、前記チップ・キャリア上に前記
コネクタ・プレートが位置決め配置された状態で配線ボ
ードに固定される。
【0020】また、本発明の他の面によれば、チップ・
パッケージは、開口部を有する配線ボードの表面に固定
される。前記チップ・キャリアが配線ボードの裏面側よ
り前記開口を介して前記コネクタ・プレートに位置決め
されて固定された後、チップ・パッケージがコネクタ・
プレートに固定される。
【0021】また本発明の他の面によれば、チップ・パ
ッケージは、発光素子アレーを有する。キャリアは、光
学的信号伝送素子を保持するアダプタを有する。光学的
伝送素子は、チップからの光学的信号を、カバー上の窓
を経て出力するように、複数の光学的信号を単位として
伝送する。キャリアは、発光素子アレーの発生する熱を
放散するヒートシンクとを備えている。前記チップ・キ
ャリアと前記アダプタとは、前記チップ・キャリア上に
前記アダプタが位置決め配置された状態で配線ボードの
表面に固定される。前記ヒートシンクは、前記配線ボー
ドの裏面に固定されている。
【0022】
【実施例】まず光信号を受ける複数の演算用プロセッサ
・ユニットを作り込んだプロセッサ・チップのパッケー
ジについて説明を行う。図1はプロセッサ・チップ用パ
ッケージの正面部分断面図、図2はその平面図、図3は
その側面図、図4はその分解斜視図である。なお、図1
の断面は、図2におけるA−A線での断面を示してい
る。以下に説明する構成要素の多くは、2つ以上の図に
おいて示されているが、図1〜図4のそれぞれについて
各構成要素の説明は行わない。
【0023】受光部である光入力セル・アレーを有する
プロセッサ・チップ10は、サブ・キャリア12を介し
て容器状のチップ・キャリア14に固定される。サブ・
キャリア12上には4本の支持ポスト16が固定されて
おり、これらポストの上端面に、ガラス板に多数のマイ
クロレンズが作り込まれたマイクロレンズ・アレー20
が接着剤によって接着され、固定されている。このマイ
クロレンズ・アレー20はチップ10の表面と完全平行
になるように取り付けられる。
【0024】プロセッサ・チップ内の光入力セル・アレ
ーを構成する光センサ素子の寸法は約20×20μmで
あり、それぞれ1個のマイクロ・レンズが対応し、各マ
イクロ・レンズは入射する光を対応する光センサ素子上
に集光する。したがって信号を正確に伝達するには、光
センサ素子とマイクロレンズとの間の3軸相対位置は、
正確に設定する必要がある。ここで、3軸とは、パッケ
ージが設けられる平面における直交X軸,Y軸と、平面
に垂直なZ軸とを意味するものとする。
【0025】マイクロレンズ・アレー20を、各ポスト
16の上端面に接着剤18を塗布することによって、ポ
スト16に接着する。次に、マイクロレンズ・アレー2
0を光入力セル・アレーに対してX軸,Y軸方向の位置
決めを行う。マイクロレンズ・アレー20は、参照光を
マイクロレンズ・アレーに入射しながら、プロセッサ・
チップ上の光セル・アレーに位置決めする。一旦正確に
位置決めされたら、接着剤18の固化を待つ。Z軸方向
の位置は、ポストの高さにより定められる。
【0026】チップ・キャリア14の形状は、上部が開
いた箱型容器の形状をしており、容器の外部へX軸両方
向に突き出た固定タブ13を有しており、これら固定タ
ブにはそれぞれ2個の固定用の穴15を有している。ま
た、チップ・キャリア14およびサブ・キャリア12の
材料には、プロセッサ・チップ10により発生される熱
を放散するために、熱伝導特性の良い材料の中から選択
するのが望ましい。さらに、チップ・キャリア14を、
図9〜図12に示されるヒートシンク166のような、
配線ボードの裏面に設けられたヒートシンクに結合する
こともできる。
【0027】チップ・キャリア14の上部は、窓22を
有する金属カバー24で封止されている。窓22は、透
明ガラス,サファイア,あるいは用いられる光信号の波
長において透明な他の材料から作ることができる。金属
カバー24は、プロセッサ・チップ10の納められてい
るチップ・キャリア内部を外部から完全かつ安定に封止
することができる。このような封止は、光伝播の光路内
に微小じんあいの侵入・付着により生じる信号歪みを防
止するために必要である。プロセッサ・チップ10に用
いられる半導体材料の種類によって、チップ・キャリア
14を気密封止して、例えば蒸気によって生じる半導体
要素の劣化を防止することも必要である。
【0028】封止されたチップ・キャリア14は、配線
ボード30に固定される。配線ボード30は、パッケー
ジ固定用の4個の穴31を有しており、チップ・キャリ
ア14を配線ボード30に固定するときには、チップ・
キャリア14の固定用穴15をパッケージ固定用穴31
に位置合わせする。チップ・キャリア14の両側には電
気接続部(すなわちリード)32が設けられており、こ
の例では、リードの密度が大きく、配線ボード30上に
1列の接続パッドを形成するのが困難であるとして、リ
ードを2列で構成している。これらリードの端部は、配
線ボード30上の接続パッド33にハンダ付け、あるい
は接続パッド33を貫通させる。これにより、チップ・
キャリア14は、配線ボード30上に固定される。
【0029】カバー24上には、複数の光ファイバ・バ
ンドル34を保持するコネクタ・プレート36が設けら
れている。このコネクタ・プレート36は、カバー24
の光透過窓22に対向する中央部に、光ファイバ・バン
ドル・ホルダ部38を有し、さらに両端部にはZ軸下方
に延びる脚部39を有し、この脚部39からはX軸方向
に固定タブ40が延びている。これら固定タブ40に
は、Z軸下方に突出する位置調節用のピン46がそれぞ
れ固定されている。
【0030】ファイバ・バンドル・ホルダ部38は、コ
ネクタ・プレート自体に放電加工により形成された複数
のスロット42より成るスロット・アレーと、スロット
・アレーを取り囲むように形成された突出リム44を有
する凹部とより成っている。各スロット42には、光フ
ァイバ・バンドル34の端部がそれぞれ挿入される。
【0031】光ファイバ・バンドル34は、複数本の光
ファイバの束であり、各光ファイバは光信号を伝達する
ことができる。バンドル支持用のスロット・アレーの配
置は、光ファイバ・バンドルにより伝達された光信号群
が、プロセッサ・チップ10上の光入力セル・アレーと
正確に一致するように定められる。
【0032】各スロット42に挿入された各光ファイバ
・バンドル34は、突出リム44によって形成された凹
部に充てんされた固化剤45によりコネクタ・プレート
36に固定保持される。
【0033】複数本の光ファイバ・バンドル34が取り
付けられたコネクタ・プレート36は、次のようにし
て、配線ボード30に固定される。前述したように、チ
ップ・キャリア14は、配線ボード30に既に固定され
ている。配線ボード30は、固定用穴31よりX軸方向
外側に2個のピン用穴35を有しており、コネクタ・プ
レート36の位置調節用ピン46をこれら穴35に貫通
させて、コネクタ・プレート36の固定タブ40の下面
をチップ・キャリア14の固定タブ13の上面に当接さ
せる。
【0034】ピン用穴35の直径は、位置調節用ピン4
6を微小調節のためにXY平面に平行に移動させるに十
分な大きさとする。
【0035】次に、コネクタ・プレート36の脚部39
に係合する凹部48と固定部40に係合する凹部50と
を有する端部固定具(end captivating strap )52
を、脚部39と固定タブ40とがなす角部にそれぞれ配
置する。この端部固定具52は、2個の固定用穴54が
設けられており、これら穴54は、チップ・キャリア1
4の固定用穴15、配線ボード30の固定用穴31に一
直線上に並ぶように設けられている。端部固定具52の
穴54と、チップ・キャリア14の穴15と、配線ボー
ド30の穴31に固定用のボルト26を挿通し、配線ボ
ード30の裏面側よりナット28で締め付ける。
【0036】このとき、コネクタ・プレート36がXY
平面に移動可能なように、ナット28は最初は緩く締め
付けるものとする。このとき、スロット42に挿入され
た光ファイバ・バンドル34の端面は、カバー24のガ
ラス窓22の表面近くに達している。
【0037】次に、このような状態で、光ファイバ・バ
ンドルのマイクロレンズ・アレーに対する位置合わせを
行う。このためには、複数の参照光、例えばプロセッサ
・チップ10の対角上の光センサ素子に入射する参照光
を光ファイバ・バンドルにより入力し、配線ボードの穴
35より裏面側に突出した位置調節用ピン46を、マニ
ピュレータ(図示せず)により操作して、コネクタ・プ
レート36をXY平面に平行に移動させながら、プロセ
ッサ・チップ10の出力を観測し、光ファイバ・バンド
ル位置の調節を行う。
【0038】この位置決め操作の精度は厳しくない。と
いうのは、光ファイバ・バンドルの有効光伝送域は数m
mのオーダであり、また、光ファイバ・バンドルを経て
伝達されるコヒーレント・イメージは、発光ダイオード
(LED)素子を用いて発生され、これら発光ダイオー
ド素子は、光センサ素子と同じ配列の寸法素子アレーに
正確に配置されているからである。
【0039】光ファイバ・バンドルの位置決めが終了す
ると、ボルト26およびナット28を締め付ける、ある
いは固定用接着剤を設ける。これにより、端部固定具
がコネクタ・プレート36の固定タブ40をチップ・
キャリア14の固定タブ13に押圧し、コネクタ・プレ
ート36が配線ボード30に固定される。このように、
コネクタ・プレート36は、配線ボードに直接に固定さ
れず、端部固定具52を用いて取り付けられる。端部固
定具を用いる理由は、ボルトの回転摩擦力によってコネ
クタ・プレート36の位置ずれを生じる危険性を避ける
ためである。この種の位置ずれは、例えば、コネクタ・
プレートが、チップ・キャリア14と同じように取り付
けられる場合に生じる。
【0040】光ファイバ・バンドル34がプロセッサ・
チップ10に位置合わせされた後に、コネクタ・プレー
トを固定する他の方法は、ボルトが締め付けられたとき
に、コネクタ・プレート36およびチップ・キャリア1
4の公差が、コネクタ・プレートの制御された動きを許
容することを保証する方法である。この方法によれば、
コネクタ・プレートが位置決めされると、シアノアクリ
レート接着剤のような硬質接着剤(図示せず)を用い
て、部品を正確な位置に固定する。さらに他の方法によ
れば、光ファイバ・バンドル34とプロセッサ・チップ
10との位置決めが行われた後に、コネクタ・プレート
36を、チップ・キャリア14にボルトで直接固定する
方法である。
【0041】上述したパッケージは光透過窓のあるカバ
ー24を有しているが、これを省略し光ファイバ・バン
ドルの端面を直接にマイクロレンズ・アレーの作り込ま
れたガラス板に持ってくることができる。この構造のプ
ロセッサ用パッケージを図5,図6を参照して説明す
る。図5は、このパッケージの正面部分断面図、図6は
その側面図である。
【0042】受光部である光入力セル・アレーを有する
プロセッサ・チップ10は、サブ・キャリア12を介し
て平板状のチップ・キャリア60に固定される。サブ・
キャリア12上には4本のポスト16が固定されてお
り、これらポストの上端面に、マイクロレンズ・アレー
20が接着されている。このように、プロセッサ・チッ
プ10およびマイクロレンズ・アレー20が設けられた
チップ・キャリア60を、配線ボード62に固定するに
は、チップ・キャリア60の裏面より突出する電気入出
力ピン端子64を、配線ボード62のボード端子穴65
に挿入することにより行われる。
【0043】ピン端子64は、チップ・キャリア60の
裏面が配線ボード62の表面に接触するまで挿入され
る。この構造では、チップ・キャリア60に加わる外力
は、配線ボード62の表面が受けるようになる。
【0044】チップ・キャリア60の両端には、後述す
る位置調節用ピンを兼ねるボルトを挿通する2個の穴6
6が設けられている。これらボルトの位置調節用ピンと
しての使用については後述する。さらに、配線ボード6
2にも穴66に対応する位置に2個の穴68が設けられ
ている。
【0045】チップ・キャリア60上には、複数の光フ
ァイバ・バンドル34を保持するコネクタ・プレート7
0が設けられている。このコネクタ・プレート70は、
下部が開いた容器形状をしており、マイクロレンズ・ア
レー20に対向する中央部に、光ファイバ・ホルダ部を
有している。コネクタ・プレート70のX軸方向両端の
側壁部内には、位置調節用ピンを兼ねる2個の固定用ボ
ルト74が植え込まれている。
【0046】ファイバ・バンドル・ホルダ部は、コネク
タ・プレート自体に設けられた複数のスロット76より
成るスロット・アレーと、スロット・アレーを取り囲む
ように形成された突出リム78を有する凹部とより成っ
ている。各光ファイバ・バンドル34の端部はスロット
76に挿入されて、リム78により形成された凹部に充
てんされた固化剤80によりコネクタ・プレート70に
固定保持される。
【0047】光ファイバ・バンドル34が取り付けられ
たコネクタ・プレート70は、次のようにして、配線ボ
ード62に固定される。位置調節ピン兼用固定ボルト7
4を、チップ・キャリア60の固定用穴66および配線
ボード62の固定用穴68に挿通し、先端を配線ボード
の裏面側に突出させる。
【0048】配線ボード62の裏面側からマニピュレー
タ(図示せず)によりボルト74を操作して、コネクタ
・プレート70をチップ・キャリア上でXY平面に平行
に微小移動させマイクロレンズ・アレー20に対する光
ファイバ・バンドル位置の調節を行う。
【0049】位置決めが終了したら、配線ボード62の
裏面側からボルト74をワッシャ82を介在させてナッ
ト84により締め付けて、コネクタ・プレート70を配
線ボード62に固定する。このパッケージでは、チップ
・キャリア60とコネクタ・プレート70とにより密閉
された空間内に、プロセッサ・チップ10およびマイク
ロレンズ・アレー20が配置されているので、プロセッ
サ・チップまたは光信号路がじんあいにより汚染される
のを有効に防止できる。
【0050】以上の2つの実施例によれば、光ファイバ
・バンドルとマイクロレンズとの位置合わせは、光ファ
イバ・バンドル側の微小移動で行った。言うまでもな
く、チップ・キャリアを動かすときに、位置合わせ過程
において用いられる電気信号が得られる限りは、前記位
置合わせを、チップ・キャリアの微小位置調節によって
も行うことができる。
【0051】この構造では、チップ・キャリアの位置を
正確に調節する必要はない。光ファイバ・バンドルは、
LEDアレーによって生成された光スポット・アレーの
像を伝達する。光入力信号をプロセッサへ効率的に送る
ためには、イメージが歪むことなく伝搬される、光ファ
イバ・バンドルの各ファイバの中央部を、マイクロレン
ズ・アレーの好適な部分と一致させるこで十分である。
このことは、LEDアレーの配列寸法および入力セル・
アレーの配列寸法が、同じ精度で製作される限り、事実
である。
【0052】図7は、チップ・キャリアを微小位置調節
するようにした他の実施例の正面断面図である。コネク
タ・プレート90は、平板形状をしており、中央部に光
ファイバ・バンドル・ホルダ部92を有している。この
光ファイバ・バンドル・ホルダ部の構造は、前述した2
つの実施例の光ファイバ・バンドル・ホルダ部とほぼ同
一であり、下部に突出底部94を備える点が異なってい
る。この光ファイバ・バンドル・ホルダ部92には、複
数の光ファイバ・バンドル34の端部が固定保持され
る。光ファイバ・バンドル・ホルダ部が取り付けられる
コネクタ・プレート90は、四隅に固定用の穴96を有
している。
【0053】このコネクタ・プレート90が固定される
配線ボード98は、コネクタ・プレート90の穴96に
対応する4個の固定用穴100と、コネクタ・プレート
90の突出底部94がはめ込まれる開口102とを備え
ている。コネクタ・プレート90を配線ボード98に固
定するときには、配線ボード98の表面側より、コネク
タ・プレート90の突出底部94を開口102にはめ込
み、かつ、コネクタ・プレート90の固定用穴96を配
線ボード98の固定用穴100に位置決めして、ボルト
104を挿通する。次に、配線ボード98の裏面側に、
中央部が開口で四隅に固定用の穴を有する押え板105
を設ける。押え板105は、ボルト104が固定用穴を
通るようにして配置し、押え板105の裏面側よりボル
ト104にナット106を締め付ける。
【0054】一方、チップ・キャリア108は平板形状
であり、中央に凹部110を有し、この凹部の底にプロ
セッサ・チップ10が固定されている。このプロセッサ
・チップ10の上方には、ポスト16を介してマイクロ
レンズ・アレー20が固定されている。
【0055】このようにプロセッサ・チップ10および
マイクロレンズ・アレー20を載せたチップ・キャリア
108を、3軸(X,Y,Z)方向位置合わせして配線
ボード98に裏側より固定するのは、次のようにして行
われる。
【0056】Z軸方向の位置合わせは、マイクロレンズ
・アレー20が形成されている透明ガラス板の上面が、
突出底部94の端面に接触するので、透明ガラス板の上
面を正確に削り出すことで行うことができる。したがっ
て、光ファイバ・バンドル34の端部が、コネクタ・プ
レート90のスロットに正しく挿入される限り、Z方向
はフランジ端面と、マイクロレンズ・アレーのガラス板
の上面との接触のみで決定される。
【0057】このようにZ軸方向の位置決めが終了する
と、チップ・キャリア108の裏面に固定された位置調
節用ピン(図示せず)をマニピュレータにより操作し
て、チップ・キャリア108をXY平面に平行に微小調
節して、マイクロレンズ・アレー20を光ファイバ・バ
ンドル34に位置合わせする。この調節過程の際、プロ
セッサ・チップ10からの電気信号を利用して、マイク
ロレンズ・アレー20が光ファイバ・バンドル34に正
確に位置合わせされたときを決定するのが望ましい。
【0058】チップ・キャリア108を配線ボード98
に固定する際、チップ・キャリア108の凹部110以
外の領域上に形成された接続パッド(図示せず)と、配
線ボード98の裏面に形成されたバンプ112とが軽く
接触するか、わずかに離れる位が良い。
【0059】チップ・キャリア108と配線ボード98
との間の電気的および機械的接続は、フリップチップ・
タイプのはんだボンディング、すなわち接続パッドをバ
ンプ112に接続することによって行われる。前述した
ように、チップ・キャリア108の位置決めは、微調節
(例えば±10ミル)で済む。というのは、バンプと接
続パッドとの間の位置決めは、突出底部94を配線ボー
ド98の開口102へ挿入することによって行われるか
らである。したがって、接続パッドとバンプとの間の位
置ずれは、接続パッドとバンプとの接触に支障をきたす
ことはない。この実施例では、防じん処理は、チップ・
キャリア108と配線ボード98の周辺部を有機固化剤
によってシールすることによって行われる。あるいはま
た、プロセッサ・チップを気密封止することが必要な
ら、この気密封止は、チップ・キャリア108の縁部
を、配線ボード98にシールすることによって行われ
る。
【0060】図8は、ファイバ・バンドル34およびマ
イクロレンズ・アレー20の位置決めを、チップ・キャ
リアの微調節によって行う他の実施例の正面断面図であ
る。この実施例の構成は、以下の点を除いては、図7の
実施例の構成とほぼ同じである。図8の実施例では、チ
ップ・キャリア109は、配線ボード98上の固定用穴
100に対応する4個の固定用穴105を有し、チップ
・キャリア109と配線ボード98との間の電気的接続
は、チップ・キャリア109上に形成された接続パッド
(図示せず)と配線ボード98の裏面に形成されたバン
プ112とを接触させることによって行う。
【0061】配線ボード98にチップ・キャリア109
を固定する際、図7において説明したように、Z軸方向
調節およびX−Y面位置決めが終了すると、配線ボード
98とチップ・キャリア109との間にスプリング・ワ
ッシャ107を介挿して、固定用穴96,100,10
5を通ったボルト104を配線ボード98の裏面からナ
ット106で締め付けることによって、チップ・キャリ
ア109は配線ボード98に固定される。その結果、チ
ップ・キャリア109上に形成された接続パッドと、配
線ボード98上に形成されたバンプ112とは、良好な
電気接続を形成する圧縮状態に保たれる。
【0062】次に光信号を出力する側の発光素子アレー
を有するプロセッサ・チップ用のキャリア・パッケージ
について説明する。このパッケージは、1本のファイバ
・バンドルにつき1パッケージの構造になっている。図
9は、発光素子アレー・パッケージの正面部分断面図、
図10はその平面図、図11はその側面図、図12はそ
の分解斜視図である。なお、図9の断面は、図10にお
けるB−B線での断面を示している。
【0063】発光素子アレー、例えばLEDアレーを有
するLEDチップ120は、サブ・キャリア122を介
して容器状のチップ・キャリア124に固定される。サ
ブ・キャリア122上には4本の支持ポスト126が固
定されており、これらポストの上端面に、ガラス板に多
数のマイクロレンズが作り込まれたマイクロレンズ・ア
レー128が接着剤によって接着されている。このマイ
クロレンズ・アレー128は、LEDチップ120の表
面と完全平行になるように取り付けられる。
【0064】LEDチップ内のLEDアレーの各LED
素子にはそれぞれ1個のマイクロレンズが対応する。し
たがって、マイクロレンズ・アレー128は、LEDア
レーに対して位置合わせされた後、ポスト126上に固
定される。
【0065】チップ・キャリア124の形状は、図4に
示すチップ・キャリア14と同じ形状であり、四隅に固
定用穴125を有している。このチップ・キャリアは、
光信号が出射する透明ガラスの窓130を有する金属カ
バー132で封止されている。これによって、LEDチ
ップ120の納められているチップ・キャリア内部と外
部とを完全にかつ安定に遮断することができる。このよ
うな封止は、光伝播の光路内に微小じんあいの侵入・付
着による信号歪みを防止するために必要である。さら
に、LEDチップ120を形成するのに用いられる半導
体が外気にさらされることにより劣化するならば、チッ
プ120をチップ・キャリア124内に気密封止するこ
とが必要である。
【0066】金属封止されたチップ・キャリア124
は、配線ボード134に固定される。配線ボード134
は、LEDアレー120によって発生された熱を放散す
るための開口部136を有しており、この開口部には、
熱伝導スペーサ137がはめ込まれる。配線ボード13
4は、図4に示す配線ボード30と同様に、4個の固定
用穴138と2個の位置調節ピン用穴140とを有して
いる。
【0067】チップ・キャリア124を配線ボード13
4に固定するときには、チップ・キャリア124の固定
用穴125を配線ボード134の固定用穴138に位置
合わせする。チップ・キャリア124の両側には図4に
示すチップ・キャリア14と同様に2列のリード142
を有し、これらリードの端部は、配線ボード134上の
接続パッド144にハンダ付けされる。これにより、
ップ・キャリア124は、配線ボード134上に固定さ
れる。
【0068】カバー132上には、1本の光ファイバ・
バンドル146を保持するアダプタ148が設けられて
いる。このアダプタ148は、カバー132の光透過窓
130に対向する中央部に、光ファイバ・バンドル・ホ
ルダ部150を有し、さらに両端部にはZ軸方向に延び
る脚部152を有し、この脚部152からはX軸方向に
固定タブ154が延びている。これら固定タブ154に
は、下方に突出する位置調節用のピン156がそれぞれ
設けられている。ファイバ・バンドル・ホルダ部150
は、1個のスロット158が設けられた突出部160を
有し、この突出部の周囲にはネジが切られている。光フ
ァイバ・バンドル146は、フランジ162を有する保
護チューブ145によって、正しい位置に保持される。
保護チューブは、光ファイバ・バンドル146の端部に
固定され、一体となったものが、スロットと保護チュー
ブとの間にZ軸スペーサ163を介在させて、スロット
158に挿入される。内側にネジが切られたコネクタ1
64を外側にネジが切られた突出部160に係合させる
ことによって、フランジ162を突出部160の上端面
に締め付けて、光ファイバ・バンドル146をアダプタ
148に保持する。
【0069】配線ボード134の裏面には、ヒートシン
ク166が設けられるが、このヒートシンクは、固定用
の4個の穴168と、2個の位置調節ピン用穴170を
備えている。
【0070】アダプタ148,チップ・キャリア12
4,配線ボード134,ヒートシンク166をアセンブ
ルするには、図4で示した端部固定具52と同様な端部
固定具172を用いる。この端部固定具の有する固定用
穴174と、チップ・キャリア124の固定用穴12
5,配線ボード134の固定用穴138,ヒートシンク
166の固定用168に、ボルト176を挿通し、ヒー
トシンク166の裏面よりナット178でアダプタ14
8がXY平面に平行に動く程度に緩く締め付ける。
【0071】アダプタ148の位置調節用ピン156
は、配線ボード134の穴140およびヒートシンク1
66の穴170に挿通されており、ピン先端部はヒート
シンク166の下面より突出している。
【0072】この位置調節用ピン156をマニピュレー
タ(図示せず)により操作して、光ファイバ・バンドル
146とLEDアレーの相対位置決めを行う。アダプタ
148を調節して、光ファイバ・バンドルとLEDアレ
ーとを所望の位置に配置した後、ナット178を締め付
けて、アセンブリを決まった位置に保持する。あるいは
また、アダプタ148,ボルト176,ナット178,
配線ボード134,ヒートシンク166の公差を、ナッ
トが締め付けられたときにも、アダプタ148の制御さ
れた動きが可能となるように、設計することもできる。
一旦位置決めがなされると、アダプタ148を、硬質接
着剤によってチップ・キャリア124に固着でき、ある
いはボルト(図示せず)を用いてチップ・キャリア12
4に固定することもできる。
【0073】ファイバ・バンドルとLEDアレーの相対
位置は、3つの軸に沿って固定される。Z方向の調節
は、前述したようにファイバ・バンドル146の保護チ
ューブ145上のフランジ162下面と突出部160の
上面との間にスペーサ163を入れ、バンドル端面がガ
ラス窓130に接するようにスペーサを調節する。
【0074】LEDアレーの個々の素子(ビット番号に
相当)はプロセッサ上の個々の光入力センサ・アレー
(入力ビット番号)と固有に対応している。したがって
LEDアレーとファイバ・バンドルとの間の相対位置を
調節するためには、ファイバ・バンドル端面の特定の位
置にLED素子により発光されたコリメート光を入力す
る必要がある。一例としての位置決め方法では、まずL
EDアレーの対角上の2個の素子の発光を行い、その伝
播光が目的とするプロセッサの光センサ素子に入力して
いるかどうかをモニタしながらパッケージの調節ピン1
56を操作する。このモニタリングは、プロセッサ・チ
ップの表面で視覚的に行うことができ、あるいは特定の
光センサ素子(例えば、最も離れた対角上の素子)が活
性化されたことを示す、プロセッサによって発生された
出力信号をモニタすることによって行うことができる。
【0075】調節の方法は、前述のプロセッサ用パッケ
ージの場合と同様である。ファイバ・バンドルはコヒー
レントバンドルを使用するので、伝播するアレー状の光
は、入力端面における相互の相対位置関係を保持しなが
ら入力端面から出力端面へ伝播する。すなわち、LED
チップ上のLED素子により放出された光ビームアレー
の物理的な面寸法は、ファイバ・バンドルを通して保持
される。その結果、光入力センサ・アレーとLEDアレ
ーの加工精度が同じである限り、およびLEDアレーの
内で対角上の両端の光が正しくプロセッサに入力される
限り、このLEDアレーよりのすべての光出力信号は、
光入力セル・アレーに正確に入力される。出力光と入力
光、すなわち入力ビット番号の信号が正しくプロセッサ
で処理されていることを確認した後、ボルト176およ
びナット178を締め付ける。この作業をファイバ・バ
ンドルの数と同数のLEDアレー用パッケージについて
行う。
【0076】
【発明の効果】プロセッサ・アーキテクチャにおいて、
プロセッサ・チップへのデータ、および制御信号の光入
力ビットは4028ビット並列入力であるとすると、図
4に示すパッケージにおいて、4028ビットの並列光
入力を実行し、かつ必要な電気入出力端子は250ピン
である。一方、出力側のパッケージは32個必要で、そ
れぞれの光出力は128ビット幅であるとすると、出力
側のパッケージは光並列出力128ビットを処理する端
子を有する。すなわち、ドライブ用電気信号入力128
ビット、その他少数の電気入力を行う端子を有する。両
パッケージにおける電気的入出力端子数は現状技術で容
易に対応可能である。光信号入出力信号を用いることに
よって、両パッケージを用いるプロセッサの性能は画期
的に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】プロセッサ・チップ用パッケージの正面部分断
面図である。
【図2】図1のプロセッサ・チップ用パッケージの平面
図である。
【図3】図1のプロセッサ・チップ用パッケージの側面
図である。
【図4】図1のプロセッサ・チップ用パッケージの分解
斜視図である。
【図5】他の構造のプロセッサ・チップ用パッケージの
正面部分断面図である。
【図6】図5のプロセッサ・チップ用パッケージの側面
図である。
【図7】チップ・キャリアで微小位置調節を行うように
したプロセッサ・チップ用パッケージの正面部分断面図
である。
【図8】チップ・キャリアで微小位置調節を行うように
した他のプロセッサ・チップ用パッケージの正面部分断
面図である。
【図9】発光素子アレー用パッケージの正面部分断面図
である。
【図10】図9の発光素子アレー用パッケージの平面図
である。
【図11】図9の発光素子アレー用パッケージの側面図
である。
【図12】図9の発光素子アレー用パッケージの分解斜
視図である。
【符号の説明】
10 プロセッサ・チップ 12 サブ・キャリア 14 チップ・キャリア 16 ポスト 18 接着剤 20 マイクロレンズ・アレー 22 窓 24 カバー 30 配線ボード 32 リード 33 接続パッド 34 光ファイバ・バンドル 36 コネクタ・プレート 38 ファイバ・バンドル・ホルダ部 46 位置調節用ピン 52 端部固定具 120 LEDチップ 123 チップ・キャリア 128 マイクロレンズ・アレー 130 窓 132 カバー 134 配線ボード 148 アダプタ 164 コネクタ 166 ヒートシンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 トーマス ティー ヒッチ アメリカ合衆国 ニュージャーシー州 ローレンスビルグレン アヴェニュー 307 (72)発明者 ロバート アール デマース アメリカ合衆国 ニュージャーシー州 クランベリーエヴァンス ドライブ 26 (56)参考文献 特開 昭56−79468(JP,A) 特開 昭56−91482(JP,A) 特開 平3−31808(JP,A) 特開 平4−353808(JP,A) 特開 昭58−48009(JP,A) 特開 平5−121642(JP,A) 特開 昭54−595(JP,A) 実開 平1−70345(JP,U) 実開 平1−169209(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 6/00 G02B 6/12 G02B 6/26 - 6/42 H01L 23/00 - 23/66 H01L 31/00 - 31/0296 H01L 31/08 - 31/12

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電気的信号入出力部と、所定数のビットポ
    ジションを含む光学的信号入力部とを有し、ディジタル
    信号処理を実行する集積回路(IC)チップを保持する
    チップ・パッケージであって、 前記ICチップの上部に設けられ、それぞれ異なる前記
    ビットポジションにそれぞれが対応したマイクロレンズ
    を多数個有するマイクロレンズ・アレーと、 前記ICチップと前記マイクロレンズ・アレーとを保持
    し、前記ICチップの前記電気的信号入出力部に接続さ
    れた電気的信号入出力端子群を有し、この電気的信号入
    出力端子群が配線ボードに接続されて配線ボードに固定
    される容器状のチップ・キャリアと、 このチップ・キャリアを封止するように前記チップ・キ
    ャリアに接合され、前記マイクロレンズ・アレーへの光
    学的信号入力用の窓を有するカバーと、 このカバーの前記窓およびマイクロレンズ・アレーを通
    して前記光学的信号入力部へ入力される、複数の光信号
    をそれぞれ単位として伝送する複数の光学的信号伝送素
    子を保持し、両端部において前記配線ボードの平面方向
    に延びた固定タブを有するコネクタ・プレートとを備
    え、 前記チップ・キャリアと前記コネクタ・プレートとは、
    前記コネクタ・プレートの下方に突出し、配線ボードに
    設けられた穴を貫通する位置調節用ピンを用いて前記光
    学的信号伝送素子を前記光学的信号入力部と平行に移動
    させて、前記ICチップの前記光学的信号入力部に前記
    光学的信号伝送素子が位置決めされ、前記コネクタ・プ
    レートは、前記固定タブに係合する凹部を有する端部固
    定具を用いて前記固定タブが前記配線ボードに押圧され
    ることにより配線ボードに固定されることを特徴とするチップ・パッケージ。
  2. 【請求項2】前記光学的信号伝送素子は、複数本の光フ
    ァイバを束ねた光ファイバ・バンドルであることを特徴
    とする請求項1に記載のチップ・パッケージ。
  3. 【請求項3】前記光学的信号伝送素子は、コネクタ・プ
    レートに設けられた穴に挿通されて、固化剤により前記
    コネクタ・プレートに固定されていることを特徴とする
    請求項1または2に記載のチップ・パッケージ。
  4. 【請求項4】所定数のビットポジションを有する出力信
    号を発生する発光素子アレー集積回路チップを保持する
    チップ・パッケージであって、 それぞれ異なる前記ビットポジションにそれぞれが対応
    したマイクロレンズを多数個有するマイクロレンズ・ア
    レーと、 前記発光素子アレー集積回路チップと前記マイクロレン
    ズ・アレーとを保持し、電気的信号入出力端子群を
    し、この電気的信号入出力端子群が配線ボードに接続さ
    れて配線ボードに固定される容器状のチップ・キャリア
    と、 このチップ・キャリアを封止するように接合され、前記
    発光素子アレー集積回路チップからの光学的信号出力用
    の窓を有するカバーと、 このカバーの前記窓を通して前記発光素子アレー集積回
    路チップからの光信号を出力するための、複数の光学的
    信号単位として伝送する、光学的信号伝送素子を保持
    し、両端部において前記配線ボードの平面方向に延びた
    固定タブを有するアダプタとを備え、 前記チップ・キャリアと前記アダプタとは、前記アダプ
    タの下方に突出し、前記配線ボードに設けられた穴を貫
    通する位置調節用ピンを用いて前記発光素子アレー集積
    回路チップに前記光学的信号伝送素子が位置決めされ
    前記アダプタは、前記固定タブに係合する凹部を有する
    端部固定具を用いて前記固定タブが前記配線ボードに押
    圧されることにより配線ボードに固定される、 ことを特徴とするチップ・パッケージ。
  5. 【請求項5】所定数のビットポジションを有する出力信
    号を発生する発光素子アレー集積回路チップを保持する
    チップ・パッケージであって、 それぞれ異なる前記ビットポジションにそれぞれが対応
    したマイクロレンズを多数個有するマイクロレンズ・ア
    レーと、 前記発光素子アレー集積回路チップと前記マイクロレン
    ズ・アレーとを保持し、電気的信号入出力端子群を
    し、この電気的信号入出力端子群が配線ボードに接続さ
    れて配線ボードに固定される容器状のチップ・キャリア
    と、 このチップ・キャリアを封止するように接合され、前記
    発光素子アレー集積回路チップからの光学的信号出力用
    の窓を有するカバーと、 このカバーの前記窓を通して前記発光素子アレー集積回
    路チップからの光信号を出力するための、複数の光学的
    信号単位として伝送する、光学的信号伝送素子を保持
    し、両端部において前記配線ボードの平面方向に延びた
    固定タブを有するアダプタと、 前記発光素子アレー集積回路チップの発生する熱を放散
    するヒートシンクとを備え、 前記チップ・キャリアと前記アダプタとは、前記アダプ
    タの下方に突出し、前記配線ボードおよび前記ヒートシ
    ンクに設けられた穴を貫通する位置調節用ピンを用いて
    前記発光素子アレー集積回路チップに前記光学的信号伝
    送素子が位置決めされ、前記アダプタは、前記固定タブ
    に係合する凹部を有する端部固定具を用いて前記固定タ
    ブが前記配線ボードに押圧されることにより配線ボード
    に固定され、前記ヒートシンクは、前記配線ボードの裏
    面に固定される、 ことを特徴とするチップ・パッケージ。
  6. 【請求項6】前記光学的信号伝送素子は、複数本の光フ
    ァイバを束ねた光ファイバ・バンドルであることを特徴
    とする請求項4または5に記載のチップ・パッケージ。
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Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19710504C2 (de) * 1997-03-13 2001-06-13 Siemens Ag Optisch-elektrisches Modul
WO1999035681A1 (en) * 1998-01-07 1999-07-15 Fed Corporation Assembly for and method of packaging integrated display devices
US6312167B1 (en) 1998-03-11 2001-11-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Light transmission module
JP2000056859A (ja) 1998-06-15 2000-02-25 Samsung Electronics Co Ltd 電子製品のディスプレ―結合構造体
GB2340998B (en) * 1998-08-26 2003-07-16 Lsi Logic Corp Optical/electrical inputs for an integrated circuit die
US6301401B1 (en) 1999-04-02 2001-10-09 Convergence Technologies, Ltd. Electro-optical package for reducing parasitic effects
US6306688B1 (en) * 1999-04-28 2001-10-23 Teravicta Technologies, Inc. Method of reworkably removing a fluorinated polymer encapsulant
US6147389A (en) * 1999-06-04 2000-11-14 Silicon Film Technologies, Inc. Image sensor package with image plane reference
US6374004B1 (en) * 1999-10-14 2002-04-16 Digital Optics Corporation Optical subassembly
US6373644B1 (en) * 1999-11-15 2002-04-16 Axsun Technologies, Inc. Micro optical bench component clip structures
JP5965095B2 (ja) 1999-12-03 2016-08-10 クリー インコーポレイテッドCree Inc. 内部および外部光学要素による光取出しを向上させた発光ダイオード
US20020122637A1 (en) * 2000-12-26 2002-09-05 Anderson Gene R. Optical transmitter, receiver or transceiver module
US7831151B2 (en) 2001-06-29 2010-11-09 John Trezza Redundant optical device array
US6613597B2 (en) * 2001-06-29 2003-09-02 Xanoptix, Inc. Optical chip packaging via through hole
US7224856B2 (en) 2001-10-23 2007-05-29 Digital Optics Corporation Wafer based optical chassis and associated methods
US7132736B2 (en) * 2001-10-31 2006-11-07 Georgia Tech Research Corporation Devices having compliant wafer-level packages with pillars and methods of fabrication
US6643420B2 (en) 2001-12-28 2003-11-04 Digital Optics Corp. Optical subassembly
US7518737B2 (en) * 2002-03-29 2009-04-14 Georgia Tech Research Corp. Displacement-measuring optical device with orifice
US7440117B2 (en) * 2002-03-29 2008-10-21 Georgia Tech Research Corp. Highly-sensitive displacement-measuring optical device
US7135777B2 (en) * 2002-05-03 2006-11-14 Georgia Tech Research Corporation Devices having compliant wafer-level input/output interconnections and packages using pillars and methods of fabrication thereof
US7099525B2 (en) * 2002-08-26 2006-08-29 Georgia Tech Research Corporation Dual-mode/function optical and electrical interconnects, methods of fabrication thereof, and methods of use thereof
US6821028B2 (en) * 2002-08-30 2004-11-23 Digital Optics Corp. Optical and mechanical interface between opto-electronic devices and fibers
US20050002613A1 (en) * 2002-11-25 2005-01-06 Michael Rehberger LED device
US20040184704A1 (en) * 2003-03-17 2004-09-23 Bakir Muhannad S. Curved metal-polymer dual-mode/function optical and electrical interconnects, methods of fabrication thereof, and uses thereof
DE10322071A1 (de) * 2003-05-15 2004-09-02 Infineon Technologies Ag Mikrooptikmodul mit Gehäuse und Verfahren zur Herstellung desselben
US20050257709A1 (en) * 2003-08-28 2005-11-24 Tony Mule Systems and methods for three-dimensional lithography and nano-indentation
DE102004004741A1 (de) * 2004-01-30 2006-05-24 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur schüttelfesten Aufnahme von elektrischen Sonderbauelementen und/oder elektrischen Schaltungen
JP4349232B2 (ja) * 2004-07-30 2009-10-21 ソニー株式会社 半導体モジュール及びmos型固体撮像装置
US7283695B2 (en) * 2004-08-31 2007-10-16 Georgia Tech Research Corporation Optical interconnects in microelectronics based on azimuthally asymmetric long-period fiber grating couplers
US7235880B2 (en) * 2004-09-01 2007-06-26 Intel Corporation IC package with power and signal lines on opposing sides
JP4379295B2 (ja) 2004-10-26 2009-12-09 ソニー株式会社 半導体イメージセンサー・モジュール及びその製造方法
US7266267B2 (en) * 2004-11-16 2007-09-04 Georgia Tech Research Corp. Microfluidic, optical, and electrical input output interconnects, methods of fabrication thereof, and methods of use thereof
US7514672B2 (en) * 2005-02-15 2009-04-07 Sumitomo Chemical Company, Limited Case for accommodating solid-state imaging device and solid-state imaging apparatus
US20070138586A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Hsin Chung H Image sensor module package
JP4770551B2 (ja) * 2006-03-29 2011-09-14 富士ゼロックス株式会社 光モジュール
US7728399B2 (en) * 2008-07-22 2010-06-01 National Semiconductor Corporation Molded optical package with fiber coupling feature
TW201346365A (zh) * 2012-05-14 2013-11-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 光電轉換傳輸模組
JP2014138046A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Stanley Electric Co Ltd 半導体発光素子パッケージ固定構造
JP2014182202A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Fujitsu Ltd 電子機器および光コネクタ
US20150147034A1 (en) * 2013-11-27 2015-05-28 Texas Instruments Incorporated Optical Connector
US20160313760A1 (en) * 2015-04-23 2016-10-27 PhotonIC International Pte. Ltd. Photonics-Optimized Processor System

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4225213A (en) * 1977-12-23 1980-09-30 Texas Instruments Incorporated Connector apparatus
JPS55151377A (en) * 1979-05-16 1980-11-25 Fujitsu Ltd Photo semiconductor device
JPS5679468A (en) * 1979-11-30 1981-06-30 Matsushita Electric Works Ltd Integrated circuit element
JPS5691482A (en) * 1979-12-25 1981-07-24 Fujitsu Ltd Photoelectric converter device and light fiber combining system device
US4862231A (en) * 1983-11-18 1989-08-29 Harris Corporation Non-contact I/O signal transmission in integrated circuit packaging
JPS6252961A (ja) * 1985-09-02 1987-03-07 Hitachi Ltd 半導体装置
JPH0216768A (ja) * 1988-07-05 1990-01-19 Sharp Corp 密着型イメージセンサ
US5093879A (en) * 1990-06-22 1992-03-03 International Business Machines Corporation Electro-optical connectors

Also Published As

Publication number Publication date
US5359208A (en) 1994-10-25
JPH06250052A (ja) 1994-09-09

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