JP3498998B2 - 多機能研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多機能研磨装置に関
し、特に、装置本体に対する研磨部材の運動の種類を随
時に切り換えて、作用の異なる研磨処理を１台の装置で
実施できる多機能研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】研磨装置、特に手持形の研磨装置は、例
えば自動車車体外板の仕上げ作業や補修作業等、多様な
立体的広がりを有する物体表面を所望形状に研削したり
所望粗さに磨いたりする作業において、手軽に操作でき
ることから広く使用されている。この種の研磨装置は、
装置本体に対する研磨部材の運動の種類によって、異な
る研磨作用を物体表面に及ぼす幾つかの異なる形式の装
置に分類される。特に、作用面を板状研磨部材の軸方向
端面に有するとともに、研磨部材の軸を研磨装置の駆動
軸に対し偏心して配置し、研磨部材の作用面が一平面上
で所定の回転運動を行なうことにより研磨作用を生じる
形式のものは、一般に高能率の研磨装置として知られて
いる。このような偏心配置された研磨部材を備える研磨
装置では、駆動軸を中心に偏心距離を半径とした円軌道
に沿って移動する偏心軸線に対し、研磨部材が固定され
たものと自転するものとがある。本明細書では便宜的
に、前者をオービタル式研磨装置、後者をダブルアクシ
ョン式研磨装置と称し、また前者の研磨部材の動作をオ
ービタル動作、後者の研磨部材の動作をダブルアクショ
ン動作と称する。

【０００３】オービタル式及びダブルアクション式研磨
装置はいずれも、駆動軸に対して所定距離だけ偏心した
位置に研磨部材の軸を配置して構成される。研磨部材の
軸は、駆動軸の回転に伴って駆動軸の周りを公転運動す
る軸受に支持される。この軸受は通常、釣合い重り部分
を有して駆動軸に直結された釣合い部材に第１軌道輪が
固定され、第２軌道輪が研磨部材の軸に固定される。こ
のとき、第２軌道輪が第１軌道輪に対し自由回転可能な
状態では、第２軌道輪に支持された研磨部材等の各質量
部分の慣性により、第１軌道輪が公転すると同時に第２
軌道輪及び研磨部材は第１軌道輪に対して公転と同一方
向への自転を生じる。このような作用を利用して、研磨
部材に遊星（自公転）運動を行なわせるものがダブルア
クション式研磨装置であり、駆動軸から見た研磨部材の
自転運動を強制的に止め、研磨部材に公転運動のみ行な
わせるものがオービタル式研磨装置である。したがって
オービタル動作では、軸受の第２軌道輪は第１軌道輪に
対して公転の逆方向へ回転する。オービタル式研磨装置
において研磨部材の自転を止める機構は、一般に、装置
本体と研磨部材との間を研磨部材の偏心移動を可能にし
つつ連結する弾性部材から構成される。

【０００４】オービタル式研磨装置は、研磨部材が駆動
軸に対する公転運動のみを行なうので、比較的研磨量が
少なく、一般に物体表面の仕上げ加工に使用される。こ
れに対しダブルアクション式研磨装置は、研磨部材が駆
動軸に対する遊星運動を行なうので、比較的研磨量が多
く、荒研ぎや面取り等の荒加工に使用される。したがっ
て一般に作業者は、研磨作業の加工種類に応じてこれら
の異なる研磨装置を使い分けていた。

【０００５】加工種類に応じた研磨装置の使い分けに伴
う作業効率や経済性の低下を解消するために、研磨部材
のオービタル動作とダブルアクション動作とを随時に切
り換えて作業できる多機能の研磨装置に対する利用者の
要求は高く、幾つかの解決策が既に提案されている。例
えば、特開昭６０−１３５１７１号公報に開示される研
磨装置は、研磨部材の自転運動を強制的に止めるための
弾性支柱を、研磨部材に連結される作用位置と研磨部材
から離脱される非作用位置との間で移動させることによ
り、オービタル動作とダブルアクション動作との切り換
えを可能にしている。この装置は、弾性支柱を移動させ
るためのエアシリンダ装置を本体に組み込んでいる。ま
た、米国特許第４，９２４，６３６号では、ダブルアク
ション式研磨装置において、軸受を介して研磨部材を支
持する釣合い部材に対し、研磨部材の回転を止める構造
が開示される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】特開昭６０−１３５１
７１号公報に開示される研磨装置では、研磨部材とその
自転を係止する弾性支柱との連結部分を直接的に開閉す
るので、自転係止時に弾性支柱の連結部位すなわち研磨
部材に接触する先端部に応力が集中し易く、オービタル
動作での作業中に弾性支柱と研磨部材との連結が外れた
り、長期に使用するうちに弾性支柱の特に先端部が破損
したりする恐れがあった。また、弾性支柱と研磨部材と
は凹部及び凸部からなる噛み合い構造により連結される
が、研磨部材のトルクに対する充分な係止力を得るため
に凹部及び凸部は研磨部材の周縁部近傍に配置されるの
で、凹部と凸部とを正確に噛み合わせるための研磨部材
と弾性支柱との相対的位置合せが困難であった。さら
に、弾性支柱を移動させるためのエアシリンダ装置を搭
載するので、研磨装置の寸法及び重量が手持形装置とし
ては不適当なまでに増加する課題があった。

【０００７】米国特許第４，９２４，６３６号に開示さ
れる研磨装置は、ボルトによって偏心軸に取着される研
磨部材の交換を容易にするために、偏心軸を釣合い部材
に対して固定するものである。したがってこの研磨装置
では、研磨部材のオービタル動作を実現することはでき
ない。

【０００８】本発明の目的は、研磨部材の動作をオービ
タル動作とダブルアクション動作との間で容易かつ正確
に切り換え可能であって、装置の寸法及び重量の増加を
可及的に防止できる単純構造かつ耐久性に優れた切り換
え機構を有し、仕上げ加工と荒加工とを１台の装置で随
時に切り換えて実施できる多機能研磨装置を提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、本体と、駆動軸を有して本体に支持され
る駆動部と、駆動軸に対し偏心した位置で自転可能に駆
動軸に連結されるとともに、駆動部の作動により駆動軸
を中心として公転運動する研磨部材と、研磨部材の自転
運動を係止する係合手段とを具備した研磨装置におい
て、係合手段は、研磨部材に連結される第１要素と、第
１要素に対して回転する第２要素とを備えて、研磨部材
に同心配置される軸受手段と、軸受手段の第２要素に固
定的に連結されるとともに本体に固定され、以て軸受手
段を介して研磨部材に相対回転可能に連結され、研磨部
材の公転運動に伴って弾性変形する弾性連結部材と、研
磨部材に設けられ、軸受手段の第２要素に係合して研磨
部材の自転運動を係止する係合部材とを具備し、係合部
材を備えた第１研磨部材と、係合部材を持たない第２研
磨部材とが、選択的に軸受手段の第１要素に連結される
ことを特徴とする多機能研磨装置を提供する。

【００１０】好適な実施例によれば、軸受手段は、半径
方向に並置された一対の軌道輪を有する軸受を具備し、
軸受手段の第２要素は、軸受の一方の軌道輪と、研磨部
材の自転軸線を包囲してこの軌道輪と弾性連結部材とに
固定される環状支持部材とを備え、環状支持部材に軸方
向へ延びる壁が設けられ、係合部材は、環状支持部材の
壁に接触可能な位置で研磨部材に設けられた軸方向へ延
びる対応壁を備える。

【００１１】

【作用】係合部材を備えた第１研磨部材を軸受手段の第
１要素に連結すると、係合部材は軸受手段の第２要素に
係合する。それにより、第１要素は第２要素に固定的に
連結される。したがって第１研磨部材は、軸受手段の第
１要素及び第２要素、並びに弾性連結部材を介し、自転
運動に関して本体に固定的に連結される。他方、弾性連
結部材は弾性変形により第１研磨部材の公転運動を許容
する。このようにして第１研磨部材は、駆動部の作動に
よりオービタル動作を行なう。第１研磨部材の代わり
に、係合部材を持たない第２研磨部材を軸受手段の第１
要素に連結すると、第２研磨部材は軸受手段の第２要素
に対し自由に回転する。したがって第２研磨部材は、駆
動軸を中心として公転運動すると同時に、第２研磨部材
の慣性により駆動軸に対し偏心した位置で自転運動す
る。このようにして第２研磨部材は、駆動部の作動によ
りダブルアクション動作を行なう。

【００１２】

【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明をその好
適な実施例に基づき詳細に説明する。全図を通して、同
一又は類似の構成要素には共通の参照番号を付す。図面
を参照すると、図１及び図２は本発明の第１実施例によ
る多機能研磨装置１０を示す。多機能研磨装置１０は、
本体１２と、駆動軸１４を有して本体１２に支持される
駆動部１６と、駆動軸１４に対し偏心した位置で自転可
能に駆動軸１４に連結される第１研磨部材１８と、第１
研磨部材１８の自転運動を係止する係合手段２０とを備
える。

【００１３】多機能研磨装置１０は、従来の研磨装置と
同様に手持ち作業に適した構成を有する。例えば本体１
２は、作業者が好ましくは片手で握持可能な握持部２２
を備える。また駆動部１６は、例えばエアモータ等の周
知の駆動装置からなる。駆動部１６に適用される駆動装
置としては、電動機や油圧モータ等も利用できるが、構
造が簡単で小形化及び軽量化が容易な点でエアモータが
好適に利用される。さらに第１研磨部材１８は、従来の
手持形研磨装置に使用可能な周知の部材であり、研磨布
紙を担持する円板状又は矩形板状のパッド部２４とパッ
ド部２４を支持する基部２６とを備える。

【００１４】駆動軸１４には、釣合い重り部分を有した
釣合い部材２８が固定される。釣合い部材２８は、駆動
軸１４の下方で駆動軸１４に対し距離ｄだけ偏心して軸
方向に延びる円筒状の凹部２９を備え、凹部２９内に第
１の軸受３０が配置される。第１の軸受３０は、好まし
くは転がり軸受であり、半径方向に並置された一対の軌
道輪を有する。この実施例では、第１の軸受３０の外輪
３０ａが釣合い部材２８の凹部２９に固定され、内輪３
０ｂには第１研磨部材１８を支持する偏心軸３２が固定
される。したがって偏心軸３２は、駆動軸１４の軸線に
平行にかつ相互に距離ｄだけ離間して延びる軸線を有し
て、第１の軸受３０を介して釣合い部材２８に回転可能
に連結される。第１研磨部材１８は、研磨装置１０の作
動時に第１研磨部材１８と偏心軸３２との間の相対移動
が生じないように、偏心軸３２に強固に連結される。

【００１５】ここまでの構成は従来のオービタル式又は
ダブルアクション式研磨装置と同様であり、駆動部１６
の作動により、偏心軸３２及び第１研磨部材１８は駆動
軸１４を中心として公転運動する。前述のように、偏心
軸３２が釣合い部材２８に対して自由に回転する場合、
偏心軸３２及び第１研磨部材１８は公転運動と同時に自
転運動を生じる。

【００１６】多機能研磨装置１０は、第１研磨部材１８
の自転運動を係止する係合手段２０として、第１研磨部
材１８に同心に取着される第２の軸受３４と、本体１２
に固定されるとともに第２の軸受３４を介して第１研磨
部材１８に相対回転可能に連結される弾性連結部材３６
と、第１研磨部材１８に設けられる係合部材３８とを備
える。第２の軸受３４は、好ましくは転がり軸受であ
り、半径方向に並置された一対の軌道輪を有する。図示
実施例では、玉軸受からなる第２の軸受３４は、偏心軸
３２の外周面に固定される内輪４０と、環状支持部材４
２に固定される外輪４４とを備える。環状支持部材４２
は、内周面に軸受３４の外輪４４を支持するスリーブ部
４６と、スリーブ部４６の一端から半径方向外方に延び
るフランジ部４８とを備える。なお偏心軸３２は、２つ
の軸受３０，３４を同心に取着する観点から、軸方向へ
２つの部分３２ａ，３２ｂに分割されることが望まし
い。この場合、これらの部分３２ａ，３２ｂは例えばボ
ルト３５によって相互に固定される。

【００１７】弾性連結部材３６は、上端で例えば締着帯
５０によって本体１２に固定される円筒状の弾性部分５
２と、弾性部分５２の下端から半径方向内方に延長され
る環板状の剛性部分５４とを備える。弾性部分５２は、
好ましくはゴムからなり、偏心軸３２及び第１研磨部材
１８の公転運動に伴って弾性変形する（図１参照）。剛
性部分５４は、好ましくはアルミニウム等の金属材料か
らなり、偏心軸３２の公転運動を弾性部分５２に確実に
伝達する。弾性部分５２と剛性部分５４とは、ボルト留
め、接着、溶接等の周知の方法によって固定できるが、
好適な実施例では弾性部分５２の射出成形時に剛性部分
５４をインサートすることによって両者が一体的に連結
される。

【００１８】環状支持部材４２のフランジ部４８は、例
えばねじ５６によって弾性連結部材３６の剛性部分５４
に固定される。なお、剛性部分５４を省略して、弾性部
分５２を直接に環状支持部材４２のフランジ部４８に連
結することもできる。また、弾性連結部材３６の弾性部
分５２は、ベローズ状部材、複数の柱状部材、複数のつ
る巻ばね等から構成することもできる。いずれの場合
も、偏心軸３２及び第１研磨部材１８の公転運動に追従
して変形できるとともに、それらの自転運動を係止可能
な弾性力を有することが肝要である。また、回転部分の
振動を減衰するために、弾性連結部材３６の弾性部分５
２に粘弾性材料を用いることは好都合である。

【００１９】図３に明示されるように、係合部材３８
は、第１研磨部材１８の基部２６に固定される皿状部材
からなり、基部２６に接触する円板状の底部５８と、第
１研磨部材１８の自転軸線を中心に底部５８から軸方向
へ延長される環状凸部６０とを備える。環状凸部６０の
軸方向端面には、複数の溝６２が設けられる。したがっ
て環状凸部６０には、その軸方向端面と各溝６２の底面
との間に、軸方向へ延びる複数の壁６４が形成される。
環状支持部材４２のスリーブ部４６の軸方向端面には、
係合部材３８の溝６２に嵌合可能な位置で軸方向に延び
る複数の突起６６が設けられる（図１）。したがってス
リーブ部４６には、その軸方向端面と各突起６６の頂面
との間に、軸方向へ延びる複数の壁６８が形成される。
係合部材３８の複数の溝６２と環状支持部材４２の複数
の突起６６とは、少なくとも隙間嵌めの関係を有する寸
法及び形状に形成される。また好ましくは、溝６２によ
って形成される少なくとも２つの壁６４が、突起６６に
よって形成される少なくとも２つの壁６８に同時に接触
するように、溝６２及び突起６６の寸法及び形状が決め
られる。それにより、第１研磨部材１８の自転運動がさ
らに確実に係止される。

【００２０】係合部材３８を備えた第１研磨部材１８
は、第１研磨部材１８の自転軸線を通って係合部材３８
の底部５８を貫通するボルト７０によって偏心軸３２に
固定される。このとき、多様なねじ部を有するボルトを
偏心軸３２に取着できるように、第１研磨部材１８と偏
心軸３２との間にアダプタ７２を介在させることができ
る。その場合、第１研磨部材１８はアダプタ７２に固定
され、アダプタ７２が別体のねじ（図示せず）やアダプ
タ自体に設けたねじ部７４によって偏心軸３２に固定さ
れる。

【００２１】係合部材３８の複数の溝６２と環状支持部
材４２の複数の突起６６とを軸方向へ整列させた状態
で、第１研磨部材１８をボルト７０によって偏心軸３２
に強固に固定すると、溝６２に突起６６が嵌入され、壁
６４と壁６８とが相互に係合する。それにより、偏心軸
３２と環状支持部材４２とが相互に固定的に連結され
る。したがって第１研磨部材１８は、係合手段２０を介
して弾性連結部材３６の作用により自転運動を係止さ
れ、このとき研磨装置１０はオービタル式研磨装置とし
て作用する。ただし従来のオービタル式研磨装置と同様
に、自転運動の係止時にも、第１研磨部材１８は釣合い
部材２８に対し第１の軸受３０を介して公転の逆方向へ
回転する。

【００２２】図４に示すように、多機能研磨装置１０で
は、第１研磨部材１８を偏心軸３２から脱離して、その
代わりに、係合部材３８を持たない第２研磨部材７６を
偏心軸３２に固定することにより、第２研磨部材７６に
ダブルアクション動作を行なわせることができる。第２
研磨部材７６は、従来の手持形研磨装置に使用可能な周
知の部材であり、研磨布紙を担持する円板状のパッド部
７８とパッド部７８を支持する基部８０とを備える（図
５参照）。第２研磨部材７６は、その自転軸線を有して
基部８０から軸方向へ延長されたねじ部８２によって、
例えばアダプタ７２を介して偏心軸３２に固定される。
第２研磨部材７６は係合部材３８を持たないので、環状
支持部材４２に対し自由に回転する。したがって第２研
磨部材７６は、駆動部１６の作動により駆動軸１４を中
心として公転運動すると同時に、第２研磨部材７６の慣
性により駆動軸１４に対し偏心した位置で自転運動す
る。このようにして第２研磨部材７６はダブルアクショ
ン動作を行なう。

【００２３】上記構成を有する多機能研磨装置１０は、
第１研磨部材１８が固定される偏心軸３２と弾性連結部
材３６との間に第２の軸受３４を配置し、第２の軸受３
４の内輪４０と外輪４４との相対移動を、外輪４４に直
接に固定された環状支持部材４２に係合する第１研磨部
材１８の係合部材３８によって係止する構成としたの
で、係合部材３８の溝６２の個数を増やす等の方法によ
って自転係止時の係止部位への応力集中を容易に防止す
ることができる。また、係合部材３８を自転軸線に近接
して配置したので、溝６２と環状支持部材４２の突起６
６との位置合せが容易である。しかも、係合部材３８は
第１研磨部材１８に固定されるので、エアシリンダ等の
駆動装置を研磨装置１０に搭載する必要がなく、装置の
小形化及び軽量化が促進される。さらに、第１研磨部材
１８と第２研磨部材７６とを交換するだけで、研磨部材
の動作をオービタル動作とダブルアクション動作との間
で容易かつ正確に切り換えることができる。なお、偏心
軸３２、第２の軸受３４、弾性連結部材３６の剛性部分
５４、係合部材３８、及び環状支持部材４２を、ジュラ
ルミン等のアルミニウム合金、硬質プラスチック、セラ
ミック等の軽量で機械的強度の高い材料から形成するこ
とにより、係合手段２０の機械的強度を損なうことなく
研磨装置１０の軽量化がさらに促進される。

【００２４】図６は、本発明の第２実施例による多機能
研磨装置１１０を示す。多機能研磨装置１１０では、多
機能研磨装置１０における第１の軸受３０及び第２の軸
受３４の代わりに、それらの作用を１つの軸受で実現可
能な複式軸受１１２が使用される。複式軸受１１２は、
好ましくは転がり軸受であり、半径方向に並置された３
つの軌道輪を有する。また、駆動軸１４に固定される釣
合い部材１１４は、駆動軸１４の下方で駆動軸１４に対
し距離ｄだけ偏心して軸方向に突出する円筒状の凸部１
１５を備える。

【００２５】複式軸受１１２の内輪１１６は、釣合い部
材１１４の凸部１１５の外表面に固定される。複式軸受
１１２の外輪１１８は、環状支持部材４２のスリーブ部
４６の内表面に固定される。複式軸受１１２の中間輪１
２０は、駆動軸１４の軸線に平行にかつ相互に距離ｄだ
け離間して延びる軸線を有して、内輪１１６及び釣合い
部材１１４に対して回転する部材であり、図１の多機能
研磨装置１０における偏心軸３２に相当する。したがっ
て第１研磨部材１８は、複式軸受１１２の中間輪１２０
に強固に連結される。なお第１研磨部材１８は、複式軸
受１１２の中間輪１２０のみによって支持されるので、
中間輪１２０に充分な剛性を付与するとともに、アンギ
ュラ構造等のスラスト荷重に耐える構造を複式軸受１１
２に適用することが望ましい。

【００２６】多機能研磨装置１１０は、弾性部分のみか
らなる弾性連結部材１２２を備える。なお、研磨装置１
１０における係合手段の構成は、複式軸受１１２及び弾
性連結部材１２２以外は実質的に図１の研磨装置１０と
同じである。弾性連結部材１２２の下端には、環状支持
部材４２のフランジ部４８が例えばねじ５６によって直
接に固定される。第１研磨部材１８はアダプタ１２４に
固定され、アダプタ１２４が例えばねじ１２６によって
複式軸受１１２の中間輪１２０に固定される。

【００２７】第１研磨部材１８を複式軸受１１２の中間
輪１２０に強固に固定すると、係合部材３８の溝６２に
環状支持部材４２の突起６６が嵌入され、中間輪１２０
と環状支持部材４２とが相互に固定的に連結される。し
たがって第１研磨部材１８は自転運動を係止され、この
とき研磨装置１１０はオービタル式研磨装置として作用
する。また、第１研磨部材１８の代わりに第２研磨部材
７６（図５）を複式軸受１１２の中間輪１２０に固定す
ることにより、研磨装置１１０はダブルアクション式研
磨装置として作用する。このような構造によれば、釣合
い部材の軸方向寸法を低減できるので、作業者の手元か
ら研磨される物体表面までの距離が短くなり、研磨装置
の作業性が向上する。

【００２８】図７は、本発明の第３実施例による多機能
研磨装置１３０を示す。多機能研磨装置１３０では、本
体１２は釣合い部材２８を包囲しつつ軸方向へ延びる略
円筒状の延長部１３２を有する。そして延長部１３２の
下端と環状支持部材４２のフランジ部４８との間に、駆
動軸１４及び偏心軸３２に略直交して延びる弾性連結部
材１３４が配置される。弾性連結部材１３４は弾性部分
のみからなる環状の円板部材であり、その外縁部及び内
縁部で例えばねじ１３６及び１３８によって延長部１３
２及びフランジ部４８にそれぞれ固定される。

【００２９】好ましくは、弾性連結部材１３４に設けた
各ねじ１３６及び１３８の貫通穴１４０及び１４２への
応力集中を防止するために、金属等からなる環状の補強
部材１４４及び１４６が弾性連結部材１３４の外縁部及
び内縁部にそれぞれ配置される。また弾性連結部材１３
４は、波板状部材、複数の帯状部材、複数のつる巻ばね
等から構成することもできる。なお、研磨装置１３０に
おける係合手段の構成は、弾性連結部材１３４以外は実
質的に図１の研磨装置１０と同じである。

【００３０】このような構造によれば、例えば図６の研
磨装置１１０の複式軸受１１２を使用することにより、
釣合い部材２８の軸方向寸法をさらに低減することがで
きる。その場合、本体１２の延長部１３２によって釣合
い部材２８の周囲に充分な空間を形成できるので、釣合
い部材２８の釣合い重り部分を半径方向へ延長すること
により、確実な釣合い作用を得ることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、研磨装置の本体に固定される弾性連結部材と回転駆
動される研磨部材との間に、研磨部材に固定的に連結さ
れる第１要素と弾性連結部材に固定的に連結される第２
要素とを備える軸受手段を研磨部材の自転軸線に同心配
置し、これら第１要素と第２要素との相対回転を研磨部
材に設けられる係合部材によって係止する構成としたの
で、係合部材を研磨部材の自転軸線の近傍に配置でき、
その結果、自転係止時の係合部材への応力集中が軽減さ
れるとともに、第２要素に対する係合部材の位置決めが
容易になる。また、係合部材は研磨部材に固定されるの
で、エアシリンダ等の駆動装置を研磨装置に搭載する必
要がなく、装置の小形化及び軽量化が促進される。さら
に、第１研磨部材の代わりに、係合部材を持たない第２
研磨部材を軸受手段の第１要素に連結することにより、
研磨部材の動作をオービタル動作からダブルアクション
動作へと容易に切り換えることができる。したがって本
発明によれば、研磨部材の動作をオービタル動作とダブ
ルアクション動作との間で容易かつ正確に切り換え可能
であって、装置の寸法及び重量の増加を可及的に防止で
きる単純構造かつ耐久性に優れた切り換え機構を有し、
仕上げ加工と荒加工とを１台の装置で随時に切り換えて
実施できる高性能の多機能研磨装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による多機能研磨装置の部
分断面正面図である。

【図２】図１の多機能研磨装置の部分断面側面図であ
る。

【図３】図１の多機能研磨装置に使用される第１研磨部
材の斜視図である。

【図４】第１研磨部材の代わりに第２研磨部材を装着し
た図１の多機能研磨装置の部分断面正面図である。

【図５】第２研磨部材の斜視図である。

【図６】本発明の第２実施例による多機能研磨装置の部
分断面正面図である。

【図７】本発明の第３実施例による多機能研磨装置の部
分断面正面図である。

【符号の説明】

１０，１１０，１３０…多機能研磨装置 １２…本体 １４…駆動軸 １６…駆動部 １８…第１研磨部材 ２０…係合手段 ２８…釣合い部材 ３０…第１の軸受 ３２…偏心軸 ３４…第２の軸受 ３６，１２２，１３４…弾性連結部材 ３８…係合部材 ４０，１１６…内輪 ４２…環状支持部材 ４４，１１８…外輪 ６０…環状凸部 ６２…溝 ６６…突起 ７２，１２４…アダプタ １１２…複式軸受 １２０…中間輪 １３２…延長部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−277260（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−135171（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−75651（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−43154（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭48−15693（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭51−3989（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 23/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体と、駆動軸を有して該本体に支持さ
   れる駆動部と、該駆動軸に対し偏心した位置で自転可能
   に該駆動軸に連結されるとともに、該駆動部の作動によ
   り該駆動軸を中心として公転運動する研磨部材と、該研
   磨部材の自転運動を係止する係合手段とを具備した研磨
   装置において、 前記係合手段は、 前記研磨部材に連結される第１要素と、該第１要素に対
   して回転する第２要素とを備えて、該研磨部材に同心配
   置される軸受手段と、 前記軸受手段の前記第２要素に固定的に連結されるとと
   もに前記本体に固定され、以て該軸受手段を介して前記
   研磨部材に相対回転可能に連結され、該研磨部材の公転
   運動に伴って弾性変形する弾性連結部材と、 前記研磨部材に設けられ、前記軸受手段の前記第２要素
   に係合して該研磨部材の自転運動を係止する係合部材、
   とを具備し、 前記係合部材を備えた第１研磨部材と、前記係合部材を
   持たない第２研磨部材とが、選択的に前記軸受手段の前
   記第１要素に連結されることを特徴とする多機能研磨装
   置。
2. 【請求項２】 前記軸受手段は、半径方向に並置された
   一対の軌道輪を有する軸受を具備し、該軸受手段の前記
   第２要素は、該軸受の一方の軌道輪と、前記研磨部材の
   自転軸線を包囲して該軌道輪と前記弾性連結部材とに固
   定される環状支持部材とを備え、該環状支持部材に軸方
   向へ延びる壁が設けられ、前記係合部材は、該環状支持
   部材の該壁に接触可能な位置で前記研磨部材に設けられ
   た軸方向へ延びる対応壁を備える請求項１に記載の多機
   能研磨装置。