JP3497093B2 - 集積化ガスパネル用フィルタユニット - Google Patents
集積化ガスパネル用フィルタユニットInfo
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- JP3497093B2 JP3497093B2 JP05897599A JP5897599A JP3497093B2 JP 3497093 B2 JP3497093 B2 JP 3497093B2 JP 05897599 A JP05897599 A JP 05897599A JP 5897599 A JP5897599 A JP 5897599A JP 3497093 B2 JP3497093 B2 JP 3497093B2
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体用高純度ガス
の純化に用いられる集積化ガスパネル用フィルタユニッ
トに係わり、特にガス溜りを効果的に防止して高純度の
ガス純化が可能な集積化ガスパネル用フィルタユニット
に関する。
の純化に用いられる集積化ガスパネル用フィルタユニッ
トに係わり、特にガス溜りを効果的に防止して高純度の
ガス純化が可能な集積化ガスパネル用フィルタユニット
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体デバイスの製造等に用いら
れるＮ2ガス、Ａｒガス、ＨＣｌガス、ＨＢｒガスのガ
ス供給制御ラインの縮小化のために集積化ガスパネルが
用いられており、さらに、ガスを高純度化するために集
積化ガスパネルに集積化ガスパネル用フィルタユニット
を組み込んだものが使用されている。
れるＮ2ガス、Ａｒガス、ＨＣｌガス、ＨＢｒガスのガ
ス供給制御ラインの縮小化のために集積化ガスパネルが
用いられており、さらに、ガスを高純度化するために集
積化ガスパネルに集積化ガスパネル用フィルタユニット
を組み込んだものが使用されている。
【０００３】図９に示すように、従来の集積化ガスパネ
ル用フィルタユニット６１は、縦型縦長の形状をなして
おり、中空状のフィルタ収納部６２を有するフィルタユ
ニット本体６３と、このフィルタユニット本体６３に本
体空間部６４が形成されるように収納され、円筒形状で
エレメント空間部６５が形成されたフィルタエレメント
６６とを有し、本体空間部６４はフィルタユニット本体
６３の取付底面部６７に形成されたガス流入口６８に連
通され、エレメント空間部６５は取付底面部６７に形成
されたガス流出口６９に連通されている。
ル用フィルタユニット６１は、縦型縦長の形状をなして
おり、中空状のフィルタ収納部６２を有するフィルタユ
ニット本体６３と、このフィルタユニット本体６３に本
体空間部６４が形成されるように収納され、円筒形状で
エレメント空間部６５が形成されたフィルタエレメント
６６とを有し、本体空間部６４はフィルタユニット本体
６３の取付底面部６７に形成されたガス流入口６８に連
通され、エレメント空間部６５は取付底面部６７に形成
されたガス流出口６９に連通されている。
【０００４】また、特開平１０−９９６２３号公報に記
載された集積化ガスパネル用フィルタユニットは縦型の
形状をなしており、中空状のフィルタ収納部を有するフ
ィルタユニット本体と、このフィルタユニット本体に本
体空間部が形成されるように収納され、有蓋円筒形状で
エレメント空間部が形成されたフィルタエレメントとを
有し、図９の集積化ガスパネル用フィルタユニット６１
とは逆に、エレメント空間部はフィルタユニット本体の
底部に形成されたガス流入口に連通され、本体空間部は
底面部に形成されたガス流出口に連通されている。
載された集積化ガスパネル用フィルタユニットは縦型の
形状をなしており、中空状のフィルタ収納部を有するフ
ィルタユニット本体と、このフィルタユニット本体に本
体空間部が形成されるように収納され、有蓋円筒形状で
エレメント空間部が形成されたフィルタエレメントとを
有し、図９の集積化ガスパネル用フィルタユニット６１
とは逆に、エレメント空間部はフィルタユニット本体の
底部に形成されたガス流入口に連通され、本体空間部は
底面部に形成されたガス流出口に連通されている。
【０００５】上述した従来の集積化ガスパネル用フィル
タユニットは、いずれもガスがフィルタエレメントの下
方に位置するフィルタユニット本体の底面部に形成され
たガス流入口から導入され、フィルタエレメントにより
濾過されたガスは再びフィルタエレメントの下方に位置
するフィルタユニット本体の底部に形成されたガス流出
口から排出される構造になっている。
タユニットは、いずれもガスがフィルタエレメントの下
方に位置するフィルタユニット本体の底面部に形成され
たガス流入口から導入され、フィルタエレメントにより
濾過されたガスは再びフィルタエレメントの下方に位置
するフィルタユニット本体の底部に形成されたガス流出
口から排出される構造になっている。
【０００６】従って、両集積化ガスパネル用フィルタユ
ニット共、例えば、図９に示すように、ガスが本体空間
部６４の上方部６４ｕあるいはエレメント空間部６５の
上方部６５ｕまで十分に回らずに溜り、ガス置換特性を
悪化させて、例えば、上記ガスがシラン系ガスのよう
に、水分と反応し、ＳｉＯ2を形成してしまうような場
合、フィルタの目詰りが生じたり、例えば、上記ガスが
ＨＣｌ、ＨＢｒのような腐蝕ガスの場合、水分が混入す
ると、これが反応促進の役割を果たし、ハウジングの腐
蝕につながってしまうといった問題があり、耐用寿命が
比較的短かった。
ニット共、例えば、図９に示すように、ガスが本体空間
部６４の上方部６４ｕあるいはエレメント空間部６５の
上方部６５ｕまで十分に回らずに溜り、ガス置換特性を
悪化させて、例えば、上記ガスがシラン系ガスのよう
に、水分と反応し、ＳｉＯ2を形成してしまうような場
合、フィルタの目詰りが生じたり、例えば、上記ガスが
ＨＣｌ、ＨＢｒのような腐蝕ガスの場合、水分が混入す
ると、これが反応促進の役割を果たし、ハウジングの腐
蝕につながってしまうといった問題があり、耐用寿命が
比較的短かった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで、ガスがエレメ
ント空間部の上方部あるいは本体空間部の上方部に溜ま
らず、ガス置換特性がよく、耐用寿命の長い集積化ガス
パネル用フィルタユニットが要望されており、本発明は
ガスがエレメント空間部の上方部あるいは本体空間部の
上方部に溜まらず、ガス置換特性がよく、耐用寿命の長
い集積化ガスパネル用フィルタユニットを提供すること
を目的とする。
ント空間部の上方部あるいは本体空間部の上方部に溜ま
らず、ガス置換特性がよく、耐用寿命の長い集積化ガス
パネル用フィルタユニットが要望されており、本発明は
ガスがエレメント空間部の上方部あるいは本体空間部の
上方部に溜まらず、ガス置換特性がよく、耐用寿命の長
い集積化ガスパネル用フィルタユニットを提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、 中空形状のフィル
タ収納部といずれも取付底面部に設けられたガス流入口
および流出口とを有する縦型のフィルタユニット本体
と、このフィルタユニット本体に本体空間部が形成され
るように収納された円筒形状のフィルタエレメントと、
このフィルタエレメントの円筒中空部をエレメント空間
部が形成されるように貫通しかつ内部にガス流路が設け
られた円筒体部と前記フィルタ収納部を閉塞するキャッ
プ部とを有するトップカバーとを具備し、前記ガス流入
口と前記円筒体部のガス流路の下方とを連通し、このガ
ス流路の上方から前記本体空間部の上方に連通するよう
に前記トップカバーに放射状に複数個設けられたガス分
散流路により、前記ガス流路と前記本体空間部とを連通
し、かつ、前記エレメント空間部の下方と前記流出口と
を連通することを特徴とする集積化ガスパネル用フィル
タユニットであることを要旨としている。
になされた本願請求項１の発明は、 中空形状のフィル
タ収納部といずれも取付底面部に設けられたガス流入口
および流出口とを有する縦型のフィルタユニット本体
と、このフィルタユニット本体に本体空間部が形成され
るように収納された円筒形状のフィルタエレメントと、
このフィルタエレメントの円筒中空部をエレメント空間
部が形成されるように貫通しかつ内部にガス流路が設け
られた円筒体部と前記フィルタ収納部を閉塞するキャッ
プ部とを有するトップカバーとを具備し、前記ガス流入
口と前記円筒体部のガス流路の下方とを連通し、このガ
ス流路の上方から前記本体空間部の上方に連通するよう
に前記トップカバーに放射状に複数個設けられたガス分
散流路により、前記ガス流路と前記本体空間部とを連通
し、かつ、前記エレメント空間部の下方と前記流出口と
を連通することを特徴とする集積化ガスパネル用フィル
タユニットであることを要旨としている。
【０００９】本願請求項２の発明では、上記フィルタエ
レメントの円筒中空部を貫通するトップカバーの円筒体
部の外径が、前記フィルタエレメントの内径の０．５〜
０．９５倍であることを特徴とする請求項1に記載の集
積化ガスパネル用フィルタユニットであることを要旨と
している。
レメントの円筒中空部を貫通するトップカバーの円筒体
部の外径が、前記フィルタエレメントの内径の０．５〜
０．９５倍であることを特徴とする請求項1に記載の集
積化ガスパネル用フィルタユニットであることを要旨と
している。
【００１０】本願請求項３の発明では、上記トップカバ
ーの円筒体部とキャップ部とを別個に形成し、ガス分散
流路を円筒体部とキャップ部の両方か、いずれか一方に
設けたガス吹出部により形成することを特徴とする請求
項１ないし２に記載の集積化ガスパネル用フィルタユニ
ットであることを要旨としている。
ーの円筒体部とキャップ部とを別個に形成し、ガス分散
流路を円筒体部とキャップ部の両方か、いずれか一方に
設けたガス吹出部により形成することを特徴とする請求
項１ないし２に記載の集積化ガスパネル用フィルタユニ
ットであることを要旨としている。
【００１１】本願請求項４の発明では、上記ガス分散流
路は、トップカバーの円筒体部の上端部に形成され上記
ガス流路に連通する円板中空形状のガス分散部と、この
分散部に連通し上記本体空間部に開口するガス吹出部を
有し、このガス吹出部が放射状に配設されていることを
特徴とする請求項３に記載の集積化ガスパネル用フィル
タユニットであることを要旨としている。
路は、トップカバーの円筒体部の上端部に形成され上記
ガス流路に連通する円板中空形状のガス分散部と、この
分散部に連通し上記本体空間部に開口するガス吹出部を
有し、このガス吹出部が放射状に配設されていることを
特徴とする請求項３に記載の集積化ガスパネル用フィル
タユニットであることを要旨としている。
【００１２】本願請求項５の発明では、上記ガス分散流
路は、トップカバーのキャップ部の下端面の中心円上に
等間隔で複数個設けられた突起部間に形成されたガス吹
出部であることを特徴とする請求項３に記載の集積化ガ
スパネル用フィルタユニットであることを要旨としてい
る。
路は、トップカバーのキャップ部の下端面の中心円上に
等間隔で複数個設けられた突起部間に形成されたガス吹
出部であることを特徴とする請求項３に記載の集積化ガ
スパネル用フィルタユニットであることを要旨としてい
る。
【００１３】本願請求項６の発明では、上記トップカバ
ーの円筒体部の形状が、先細の截頭円錐形状であること
を特徴とする請求項１および請求項３ないし５いずれか
１項に記載の集積化ガスパネル用フィルタユニットであ
ることを要旨としている。
ーの円筒体部の形状が、先細の截頭円錐形状であること
を特徴とする請求項１および請求項３ないし５いずれか
１項に記載の集積化ガスパネル用フィルタユニットであ
ることを要旨としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明に係わる集積化ガスパネル
用フィルタユニットを添付図面に基づき説明する。
用フィルタユニットを添付図面に基づき説明する。
【００１５】図１および図２に示すように、集積化ガス
パネル用フィルタユニット１は、フィルタ収納部２を有
するフィルタユニット本体３と、このフィルタユニット
本体３に収納されたフィルタエレメント４と、フィルタ
エレメント４を貫通する円筒体部５とフィルタ収納部２
を閉塞するキャップ部６とを有するトップカバー７とを
具備している。
パネル用フィルタユニット１は、フィルタ収納部２を有
するフィルタユニット本体３と、このフィルタユニット
本体３に収納されたフィルタエレメント４と、フィルタ
エレメント４を貫通する円筒体部５とフィルタ収納部２
を閉塞するキャップ部６とを有するトップカバー７とを
具備している。
【００１６】フィルタユニット本体３は縦型で縦長円柱
形状をなし、このフィルタユニット本体３の中央部に設
けられたフィルタ収納部２は縦長中空円柱形状をなして
おり、図３に示すように、下端部には矩形状の取付底面
部８が形成された取付部９を有している。この取付底面
部８にはガス流入口１０およびガス流出口１１が設けら
れており、図１に示すように、ガス流入口１０はガス流
入流路１２により中空円柱形状をしたフィルタ収納部２
の底面部２ｂの中心部で開口部１３を有しており、ガス
流出口１１はフィルタ収納部２の下端部に形成されたガ
ス集中部１４とその周辺部でガス流出流路１５を介して
連通されている。
形状をなし、このフィルタユニット本体３の中央部に設
けられたフィルタ収納部２は縦長中空円柱形状をなして
おり、図３に示すように、下端部には矩形状の取付底面
部８が形成された取付部９を有している。この取付底面
部８にはガス流入口１０およびガス流出口１１が設けら
れており、図１に示すように、ガス流入口１０はガス流
入流路１２により中空円柱形状をしたフィルタ収納部２
の底面部２ｂの中心部で開口部１３を有しており、ガス
流出口１１はフィルタ収納部２の下端部に形成されたガ
ス集中部１４とその周辺部でガス流出流路１５を介して
連通されている。
【００１７】なお、取付部９には、フィルタユニット１
を集積化ガスパネル基板（図示せず）に着脱自在に螺着
するための螺子孔１６が設けられている。
を集積化ガスパネル基板（図示せず）に着脱自在に螺着
するための螺子孔１６が設けられている。
【００１８】フィルタエレメント４は円筒中空部１７を
有する円筒形状をなし、フィルタ収納部２に本体空間部
１８が形成されるようにフィルタ本体３と同心円的に収
納され、図４に示すように、例えばアルミナ製で外側に
形成された気孔径の大きい支持部４ｓと、この支持部４
ｓの内側に形成された気孔径の極小なフィルタ部４ｆか
らなる二層構造となっている。
有する円筒形状をなし、フィルタ収納部２に本体空間部
１８が形成されるようにフィルタ本体３と同心円的に収
納され、図４に示すように、例えばアルミナ製で外側に
形成された気孔径の大きい支持部４ｓと、この支持部４
ｓの内側に形成された気孔径の極小なフィルタ部４ｆか
らなる二層構造となっている。
【００１９】図１に示すように、トップカバー７は一体
に形成された円筒体部５とキャップ部６で構成され、円
筒体部５は円柱形状をなし、その下端部（先端部）の角
部１９にはガスの流れを円滑にして、ガス溜まりを防止
するため断面円弧形状の角取りがなされており、また、
この内部においては、好ましくは中心軸に沿ってガス流
路２０が形成されている。さらに円筒体部５がフィルタ
エレメント４の円筒中空部１７を貫通することにより、
円筒体部５の外周とフィルタエレメント４の内周の隙間
にエレメント空間部２１が形成されている。
に形成された円筒体部５とキャップ部６で構成され、円
筒体部５は円柱形状をなし、その下端部（先端部）の角
部１９にはガスの流れを円滑にして、ガス溜まりを防止
するため断面円弧形状の角取りがなされており、また、
この内部においては、好ましくは中心軸に沿ってガス流
路２０が形成されている。さらに円筒体部５がフィルタ
エレメント４の円筒中空部１７を貫通することにより、
円筒体部５の外周とフィルタエレメント４の内周の隙間
にエレメント空間部２１が形成されている。
【００２０】円筒体部５の外径は貫通するフィルタエレ
メント４の内径（円筒中空部１７の直径）の０．５〜
０．９５倍であることが好ましく、０．５倍より小さい
とエレメント空間部２１の容積が大きくなり過ぎて、ガ
ス溜まりが生じやすくなり、ガス置換特性が低下する。
また、０．９５倍を超えると、エレメント空間部２１の
容積が小さくなり過ぎて、十分なガス流量が得られな
い。
メント４の内径（円筒中空部１７の直径）の０．５〜
０．９５倍であることが好ましく、０．５倍より小さい
とエレメント空間部２１の容積が大きくなり過ぎて、ガ
ス溜まりが生じやすくなり、ガス置換特性が低下する。
また、０．９５倍を超えると、エレメント空間部２１の
容積が小さくなり過ぎて、十分なガス流量が得られな
い。
【００２１】円筒体部５には、その下端部にパッキング
押え部２２が形成されており、中心線上に位置する開口
部１３を囲繞するように取付けられたパッキング２３を
押さえている。
押え部２２が形成されており、中心線上に位置する開口
部１３を囲繞するように取付けられたパッキング２３を
押さえている。
【００２２】一方、ガス流路２０の上方に位置するトッ
プカバー７における円筒体部５とキャップ部６の間に
は、ガス流路２０と本体空間部１８とを連通させるた
め、図２に示すように、ガス流路２０の上端部２０ｕと
本体空間部１８の上方部１８ｕにわたって複数個、例え
ば６個のガス分散流路２４がほぼ等しい中心角となるよ
うに放射状に形成されている。
プカバー７における円筒体部５とキャップ部６の間に
は、ガス流路２０と本体空間部１８とを連通させるた
め、図２に示すように、ガス流路２０の上端部２０ｕと
本体空間部１８の上方部１８ｕにわたって複数個、例え
ば６個のガス分散流路２４がほぼ等しい中心角となるよ
うに放射状に形成されている。
【００２３】なお、ガス分散流路２４はガスの偏流をな
くして、ガス溜まりを防止するためには、少なくとも４
個以上設けることが好ましい。
くして、ガス溜まりを防止するためには、少なくとも４
個以上設けることが好ましい。
【００２４】このガス分散流路２４の上方に位置するキ
ャップ部６はフィルタユニット本体３と同様にＳＵＳ等
の金属材料からなりキャップ形状をなし、フィルタユニ
ット１の組立時、フィルタユニット１内が気密に保たれ
るようにパッキング２５を介在させてフィルタユニット
本体３に溶着されるフランジ部２６が形成されている。
ャップ部６はフィルタユニット本体３と同様にＳＵＳ等
の金属材料からなりキャップ形状をなし、フィルタユニ
ット１の組立時、フィルタユニット１内が気密に保たれ
るようにパッキング２５を介在させてフィルタユニット
本体３に溶着されるフランジ部２６が形成されている。
【００２５】また、トップカバー７のガス分散流路２４
が放射状に形成される部位には、フランジ形状のエレメ
ント押え部２７が形成されており、このエレメント押え
部２７によりフィルタ収納部２に収納されたフィルタエ
レメント４を、このフィルタエレメント４の両端部に取
り付けられたいずれもリング形状のパッキング２８、２
９を介して、フィルタ収納部２の底面部２ｂに押圧し、
本体空間部１８とエレメント空間部２１の気密が保たれ
るようになっている。
が放射状に形成される部位には、フランジ形状のエレメ
ント押え部２７が形成されており、このエレメント押え
部２７によりフィルタ収納部２に収納されたフィルタエ
レメント４を、このフィルタエレメント４の両端部に取
り付けられたいずれもリング形状のパッキング２８、２
９を介して、フィルタ収納部２の底面部２ｂに押圧し、
本体空間部１８とエレメント空間部２１の気密が保たれ
るようになっている。
【００２６】なお、エレメント押え部２７およびフィル
タ収納部２のガスの流れを円滑にして、ガス溜まりを防
止するために角部２７ｃ、１８ｃには断面円弧形状の角
取りがなされている。
タ収納部２のガスの流れを円滑にして、ガス溜まりを防
止するために角部２７ｃ、１８ｃには断面円弧形状の角
取りがなされている。
【００２７】上述のように構成された集積化ガスパネル
用フィルタユニット１は、例えば、螺子孔１６を貫通す
る螺子により集積化ガスパネルに組み込まれて使用され
る。
用フィルタユニット１は、例えば、螺子孔１６を貫通す
る螺子により集積化ガスパネルに組み込まれて使用され
る。
【００２８】フィルタユニット１を集積化ガスパネルに
組み込み、使用時、ガス流入口１０、ガス流入流路１２
を介してガス流路２０に導入される。ガス流路２０に導
入されたガスは、ガス流路２０内を上方に流れて上端部
２０ｕに達し、この上端部２０ｕに連通し放射状に形成
された複数個のガス分散流路２４から均一に本体空間部
１８の上方部１８ｕに流入する。
組み込み、使用時、ガス流入口１０、ガス流入流路１２
を介してガス流路２０に導入される。ガス流路２０に導
入されたガスは、ガス流路２０内を上方に流れて上端部
２０ｕに達し、この上端部２０ｕに連通し放射状に形成
された複数個のガス分散流路２４から均一に本体空間部
１８の上方部１８ｕに流入する。
【００２９】上方部１８ｕから本体空間部１８に流入し
たガスは、フィルタエレメント４の気孔径の大きい支持
部４ｓと気孔径の極小なフィルタ部４ｆを通過し、確実
に濾過されてエレメント空間部２１に達する。この本体
空間部１８へのガスの流入からフィルタエレメント４で
の濾過過程において、ガスが上方部１８ｕから本体空間
部１８に導入されるので、本体空間部１８内でのガスの
偏流、ガス溜まりがなく、ガス置換特性がよい。また、
角部２７ｃ、１８ｃが設けられているので、本体空間部
１８におけるガスの偏流、ガス溜まりを確実に防止でき
る。
たガスは、フィルタエレメント４の気孔径の大きい支持
部４ｓと気孔径の極小なフィルタ部４ｆを通過し、確実
に濾過されてエレメント空間部２１に達する。この本体
空間部１８へのガスの流入からフィルタエレメント４で
の濾過過程において、ガスが上方部１８ｕから本体空間
部１８に導入されるので、本体空間部１８内でのガスの
偏流、ガス溜まりがなく、ガス置換特性がよい。また、
角部２７ｃ、１８ｃが設けられているので、本体空間部
１８におけるガスの偏流、ガス溜まりを確実に防止でき
る。
【００３０】エレメント空間部２１に達したガスは、フ
ィルタ収納部２の底面部２ｂ（エレメント空間部２１の
下端部）に形成されたガス集中部１４、ガス流出路１
５、ガス流出口１１を介してフィルタユニット１外に流
出する。
ィルタ収納部２の底面部２ｂ（エレメント空間部２１の
下端部）に形成されたガス集中部１４、ガス流出路１
５、ガス流出口１１を介してフィルタユニット１外に流
出する。
【００３１】このガスのエレメント空間部２１からの流
出過程において、円筒体部５の外径はフィルタエレメン
ト４の内径の０．５〜０．９５倍であるので、ガス溜ま
りが生じることがなく、ガス置換特性が優れており、ま
た十分なガス流量が得られる。
出過程において、円筒体部５の外径はフィルタエレメン
ト４の内径の０．５〜０．９５倍であるので、ガス溜ま
りが生じることがなく、ガス置換特性が優れており、ま
た十分なガス流量が得られる。
【００３２】また、角部１９が設けられているので、エ
レメント空間部２１におけるガス溜まりを確実に防止で
きる。
レメント空間部２１におけるガス溜まりを確実に防止で
きる。
【００３３】次に本発明に係わる集積化ガスパネル用フ
ィルタユニットの第２の実施形態について説明する。な
お、以下、上述した第1の実施形態と同一部分には同一
符号を付して説明する。
ィルタユニットの第２の実施形態について説明する。な
お、以下、上述した第1の実施形態と同一部分には同一
符号を付して説明する。
【００３４】図５に示すように、トップカバー３１は別
個に形成された円筒体部３２とキャップ部３３で構成さ
れている。別個に形成された円筒体部３２のガス流路３
４の上端部３４ｕには、円板中空形状のガス分散部３５
が形成されており、このガス分散部３５は本体空間部１
８の上方部１８ｕと複数個、例えば、８個放射状に形成
されたガス吹出部３６で連通されており、これらによっ
てガス分散流路を形成している。
個に形成された円筒体部３２とキャップ部３３で構成さ
れている。別個に形成された円筒体部３２のガス流路３
４の上端部３４ｕには、円板中空形状のガス分散部３５
が形成されており、このガス分散部３５は本体空間部１
８の上方部１８ｕと複数個、例えば、８個放射状に形成
されたガス吹出部３６で連通されており、これらによっ
てガス分散流路を形成している。
【００３５】キャップ部３３は円筒体部３２およびこの
円筒体部３２を押圧してフィルタエレメント４をフィル
タ収納部２内に固定するようになっており、フランジ部
３７を有するキャプ形状をなしている。上述のように円
筒体部３２とキャップ部３３を別個に形成すれば、ガス
均一流れを向上させるためのガス分散流路を容易に形成
することができて、ガス溜まりをなくし、優れたガス置
換特性が得られる。
円筒体部３２を押圧してフィルタエレメント４をフィル
タ収納部２内に固定するようになっており、フランジ部
３７を有するキャプ形状をなしている。上述のように円
筒体部３２とキャップ部３３を別個に形成すれば、ガス
均一流れを向上させるためのガス分散流路を容易に形成
することができて、ガス溜まりをなくし、優れたガス置
換特性が得られる。
【００３６】なお、ガス分散部３５、ガス吹出部３６の
一部を円筒体部３２およびキャップ部３３にそれぞれ形
成し、円筒体部３２とキャップ部３３の接合により、全
体としてガス分散部３５、ガス吹出部３６を形成するよ
うにしてもよい。
一部を円筒体部３２およびキャップ部３３にそれぞれ形
成し、円筒体部３２とキャップ部３３の接合により、全
体としてガス分散部３５、ガス吹出部３６を形成するよ
うにしてもよい。
【００３７】さらに、本発明に係わる集積化ガスパネル
用フィルタユニットの第３の実施形態について説明す
る。
用フィルタユニットの第３の実施形態について説明す
る。
【００３８】図６および図７に示すように、トップカバ
ー４１は別個に形成された円筒体部４２とキャップ部４
３で構成されている。ガス流路４４の上端部４４ｕは平
面形状でリング形状をなし、中央部に開口部４５が位置
している。キャップ部４３はフランジ部４６を有するキ
ャプ形状をなし、キャップ部４３の下端面４３ｂの中心
円上に等中心角で複数個、例えば６個設けられた突起部
４７間には６個のガス吹出部４８が形成されている。ガ
ス吹出部４８を突起部４７間に設けたので、トップカバ
ー４１全体の製造が極めて容易であり、かつ、ガスの分
散特性に優れ、ガス溜まりをなくし、効率のよいガス置
換特性が得られる。
ー４１は別個に形成された円筒体部４２とキャップ部４
３で構成されている。ガス流路４４の上端部４４ｕは平
面形状でリング形状をなし、中央部に開口部４５が位置
している。キャップ部４３はフランジ部４６を有するキ
ャプ形状をなし、キャップ部４３の下端面４３ｂの中心
円上に等中心角で複数個、例えば６個設けられた突起部
４７間には６個のガス吹出部４８が形成されている。ガ
ス吹出部４８を突起部４７間に設けたので、トップカバ
ー４１全体の製造が極めて容易であり、かつ、ガスの分
散特性に優れ、ガス溜まりをなくし、効率のよいガス置
換特性が得られる。
【００３９】さらに、本発明に係わる集積化ガスパネル
用フィルタユニットの第４の実施形態について説明す
る。
用フィルタユニットの第４の実施形態について説明す
る。
【００４０】図８に示すように、上述した第１の実施形
態と同様に集積化ガスパネル用フィルタユニット５１の
トップカバー５２は一体に形成された円筒体部５３とキ
ャップ部５４で構成されている。
態と同様に集積化ガスパネル用フィルタユニット５１の
トップカバー５２は一体に形成された円筒体部５３とキ
ャップ部５４で構成されている。
【００４１】円筒体部５３は先細の截頭円錐形状をな
し、その中心軸に沿ってガス流路５５が形成されてお
り、さらにフィルタ収納部２に収納されたフィルタエレ
メント４の円筒中空部１７を貫通して、この円筒中空部
１７には、円筒体部５３の外形とは逆に下に下がる程断
面積が増大するエレメント空間部５６が、円筒体部５３
の外周とフィルタエレメント４の内周の隙間に形成され
ている。
し、その中心軸に沿ってガス流路５５が形成されてお
り、さらにフィルタ収納部２に収納されたフィルタエレ
メント４の円筒中空部１７を貫通して、この円筒中空部
１７には、円筒体部５３の外形とは逆に下に下がる程断
面積が増大するエレメント空間部５６が、円筒体部５３
の外周とフィルタエレメント４の内周の隙間に形成され
ている。
【００４２】従って、本第４の実施形態にあっては、フ
ィルタエレメント４を通過して濾過されたエレメント空
間部５６のガスは、ガス溜まりすることなく、置換効率
よく、フィルタ収納部２の底面部２ｂに形成されたガス
集中部１４、ガス流出流路１５、ガス流出口１１を介し
てフィルタユニット５１外に流出する。
ィルタエレメント４を通過して濾過されたエレメント空
間部５６のガスは、ガス溜まりすることなく、置換効率
よく、フィルタ収納部２の底面部２ｂに形成されたガス
集中部１４、ガス流出流路１５、ガス流出口１１を介し
てフィルタユニット５１外に流出する。
【００４３】なお、本第４の実施形態においては、トッ
プカバー５２の円筒体部５３の上方端部の外径をフィル
タエレメント４の内径の０．８〜０．９５倍とすること
によって、上記効果を顕著なものとすることができる。
プカバー５２の円筒体部５３の上方端部の外径をフィル
タエレメント４の内径の０．８〜０．９５倍とすること
によって、上記効果を顕著なものとすることができる。
【００４４】また、先細の截頭円錐形状の円筒体部５３
は、上述した第２の実施形態および第３の実施形態にお
ける円筒体部のようにキャップ部と別個に形成された円
筒体部にも適用できるものであり、この場合には第２の
実施形態および第３の実施形態の効果に第４の実施形態
の効果を加味した効果が期待できる。
は、上述した第２の実施形態および第３の実施形態にお
ける円筒体部のようにキャップ部と別個に形成された円
筒体部にも適用できるものであり、この場合には第２の
実施形態および第３の実施形態の効果に第４の実施形態
の効果を加味した効果が期待できる。
【００４５】
【発明の効果】本発明に係わる集積化ガスパネル用フィ
ルタユニットによれば、エレメント空間部の上部あるい
は本体空間部上部にガスが溜まらず、ガス置換特性がよ
く、、耐用寿命の長い集積化ガスパネル用フィルタユニ
ットを提供することができる。
ルタユニットによれば、エレメント空間部の上部あるい
は本体空間部上部にガスが溜まらず、ガス置換特性がよ
く、、耐用寿命の長い集積化ガスパネル用フィルタユニ
ットを提供することができる。
【００４６】円筒中空部を貫通する円筒体部の外径が、
上記フィルタエレメントのフィルタエレメント４の内径
の０．５〜０．９５倍であるので、ガス溜まりが生じる
ことがなく、ガス置換特性が優れており、また十分なガ
ス流量が得られる。
上記フィルタエレメントのフィルタエレメント４の内径
の０．５〜０．９５倍であるので、ガス溜まりが生じる
ことがなく、ガス置換特性が優れており、また十分なガ
ス流量が得られる。
【００４７】トップカバーの円筒体部とキャップ部とを
別個に形成し、ガス分散流路を円筒体部とキャップ部の
両方か、いずれか一方に形成されているので、ガス分散
部を容易に形成することができ、かつ、ガス溜まりをな
くし、優れたガス置換特性が得られる。
別個に形成し、ガス分散流路を円筒体部とキャップ部の
両方か、いずれか一方に形成されているので、ガス分散
部を容易に形成することができ、かつ、ガス溜まりをな
くし、優れたガス置換特性が得られる。
【００４８】ガス分散流路は、キャップ部の下端面の中
心円上に等間隔で複数個設けられた突起部間に形成され
たガス吹出部であるので、キャップ部の製造が容易で、
かつガス溜まりをなくし、優れたガス置換特性が得られ
る。
心円上に等間隔で複数個設けられた突起部間に形成され
たガス吹出部であるので、キャップ部の製造が容易で、
かつガス溜まりをなくし、優れたガス置換特性が得られ
る。
【００４９】円筒体部の形状が、先細の截頭円錐形状で
あるので、ガス溜まりをなくし、優れたガス置換特性が
得られ、また、円筒体部をキャップ部と別個に形成する
場合には、さらにキャップ部の製造が容易になる。
あるので、ガス溜まりをなくし、優れたガス置換特性が
得られ、また、円筒体部をキャップ部と別個に形成する
場合には、さらにキャップ部の製造が容易になる。
【図１】本発明に係わる集積化ガスパネル用フィルタユ
ニットの断面図。
ニットの断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う集積化ガスパネル用フィ
ルタユニット断面図。
ルタユニット断面図。
【図３】図１の本発明に係わる集積化ガスパネル用フィ
ルタユニットの底面図。
ルタユニットの底面図。
【図４】本発明に係わるガスフィルタに用いられるフィ
ルタエレメントの一部を切欠した側面図。
ルタエレメントの一部を切欠した側面図。
【図５】本発明に係わる集積化ガスパネル用フィルタユ
ニットの他の実施形態の要部を示す断面図。
ニットの他の実施形態の要部を示す断面図。
【図６】本発明に係わる集積化ガスパネル用フィルタユ
ニットの他の実施形態の要部を示す断面図。
ニットの他の実施形態の要部を示す断面図。
【図７】図６に示す他の実施形態に用いられるキャップ
部の平面図。
部の平面図。
【図８】本発明に係わる集積化ガスパネル用フィルタユ
ニットの他の実施形態の断面図。
ニットの他の実施形態の断面図。
【図９】従来の集積化ガスパネル用フィルタユニットの
断面図。
断面図。
１ 集積化ガスパネル用フィルタユニット
２ フィルタ収納部
２ｂ 底面部
３ フィルタユニット本体
４ フィルタエレメント
５ 円筒体部
６ キャップ部
７ トップカバー
８ 取付底面部
９ 取付部
１０ ガス流入口
１１ ガス流出口
１２ ガス流入流路
１３ 開口部
１４ ガス集中部
１５ ガス流出流路
１６ 螺子孔
１７ 円筒中空部
１８ 本体空間部
１８ｃ 角部
１８ｕ 上方部
１９ 角部
２０ ガス流路
２０ｕ 上端部
２１ エレメント空間部
２２ パッキング押さ部
２３ パッキング
２４ ガス分散流路
２５ パッキング
２６ フランジ部
２７ エレメント押え部
２７ｃ 角部
２８ パッキング
２９ パッキング
３１ トップカバー
３２ 円筒体部
３３ キャップ部
３４ ガス流路
３４ｕ 上端部
３５ ガス分散部
３６ ガス吹出部
３７ フランジ部
４１ トップカバー
４２ 円筒体部
４３ キャップ部
４３ｂ 下端面
４４ ガス流路
４４ｕ 上端部
４５ 開口部
４６ フランジ部
４７ 突起部
４８ ガス吹出部
５１ 集積化ガスパネル用フィルタユニット
５２ トップカバー
５３ 円筒体部
５４ キャップ部
５５ ガス流路
５６ エレメント空間部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 八木澤 茂
東京都大田区下丸子１−６−５ 有限会
社 ワールドクリーンテック内
(56)参考文献 特開 平10−99623（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−281385（ＪＰ，Ａ)
実開 平３−119410（ＪＰ，Ｕ)
実公 昭７−12657（ＪＰ，Ｙ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 46/00 - 46/54
Claims (6)
- 【請求項１】 中空形状のフィルタ収納部といずれも取
付底面部に設けられたガス流入口および流出口とを有す
る縦型のフィルタユニット本体と、このフィルタユニッ
ト本体に本体空間部が形成されるように収納された円筒
形状のフィルタエレメントと、このフィルタエレメント
の円筒中空部をエレメント空間部が形成されるように貫
通しかつ内部にガス流路が設けられた円筒体部と前記フ
ィルタ収納部を閉塞するキャップ部とを有するトップカ
バーとを具備し、前記ガス流入口と前記円筒体部のガス
流路の下方とを連通し、このガス流路の上方から前記本
体空間部の上方に連通するように前記トップカバーに放
射状に複数個設けられたガス分散流路により、前記ガス
流路と前記本体空間部とを連通し、かつ、前記エレメン
ト空間部の下方と前記流出口とを連通することを特徴と
する集積化ガスパネル用フィルタユニット。 - 【請求項２】 上記フィルタエレメントの円筒中空部を
貫通するトップカバーの円筒体部の外径が、前記フィル
タエレメントの内径の０．５〜０．９５倍であることを
特徴とする請求項1に記載の集積化ガスパネル用フィル
タユニット。 - 【請求項３】 上記トップカバーの円筒体部とキャップ
部とを別個に形成し、ガス分散流路を円筒体部とキャッ
プ部の両方か、いずれか一方に設けたガス吹出部により
形成することを特徴とする請求項１ないし２に記載の集
積化ガスパネル用フィルタユニット。 - 【請求項４】 上記ガス分散流路は、トップカバーの円
筒体部の上端部に形成され上記ガス流路に連通する円板
中空形状のガス分散部と、この分散部に連通し上記本体
空間部に開口するガス吹出部を有し、このガス吹出部が
放射状に配設されていることを特徴とする請求項３に記
載の集積化ガスパネル用フィルタユニット。 - 【請求項５】 上記ガス分散流路は、トップカバーのキ
ャップ部の下端面の中心円上に等間隔で複数個設けられ
た突起部間に形成されたガス吹出部であることを特徴と
する請求項３に記載の集積化ガスパネル用フィルタユニ
ット。 - 【請求項６】 上記トップカバーの円筒体部の形状が、
先細の截頭円錐形状であることを特徴とする請求項１お
よび請求項３ないし５いずれか１項に記載の集積化ガス
パネル用フィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05897599A JP3497093B2 (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 集積化ガスパネル用フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05897599A JP3497093B2 (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 集積化ガスパネル用フィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000254429A JP2000254429A (ja) | 2000-09-19 |
| JP3497093B2 true JP3497093B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=13099863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05897599A Expired - Fee Related JP3497093B2 (ja) | 1999-03-05 | 1999-03-05 | 集積化ガスパネル用フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3497093B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104707414A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 佛山市南华仪器股份有限公司 | 一种水分离器及其分离方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102423586A (zh) * | 2011-10-13 | 2012-04-25 | 北京雪迪龙科技股份有限公司 | 一种过滤器及其所应用的分析柜 |
| CN104119976B (zh) * | 2014-07-27 | 2016-08-17 | 成都国光电子仪表有限责任公司 | 天然气过滤装置 |
-
1999
- 1999-03-05 JP JP05897599A patent/JP3497093B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104707414A (zh) * | 2013-12-13 | 2015-06-17 | 佛山市南华仪器股份有限公司 | 一种水分离器及其分离方法 |
| CN104707414B (zh) * | 2013-12-13 | 2017-02-08 | 佛山市南华仪器股份有限公司 | 一种水分离器及其分离方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000254429A (ja) | 2000-09-19 |
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