JP3494905B2 - 表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る方法 - Google Patents
表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る方法Info
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- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、通信特性に優れた
光ファイバを得るのに好適とされる表面に凹凸がない光
ファイバプリフォーム(以下、単にプリフォームとい
う)を得る方法に関する。 【0002】 【従来の技術】近年、線引き技術の向上にともない大型
プリフォームからの線引きが可能となり、かつ生産性の
向上を目的として、40〜90mmの径を有する大型プ
リフォームを用いて線引きが行われるようになってき
た。これにともない使用するプリフォームの大型化や光
ファイバの高速線引きにともなう技術課題も多く、その
一つに安定した光ファイバの形状・径の確保が挙げられ
る。また、海底ケーブルなどに対する長距離通信用光フ
ァイバは、カットオフ波長やモードフィールド径などの
通信特性に対する要求が厳しく、このためプリフォーム
に対してはその軸方向に沿って一様なコア/クラッド比
率が要求される。このような光ファイバを得るには、プ
リフォーム表面の凹凸を小さくすることが求められる。 【0003】プリフォームの製造方法には、クラッドを
先に作るMCVD法やクラッドを後から造るOVD法な
どが一般に知られているが、コア/クラッド比率が大き
い場合には、コア部を小さくすることができないため、
通信特性の1つであるカットオフ波長を下方に調整する
ことができない。この対策として、予め、コア/クラッ
ド比率が目標より小さいプリフォーム、つまり、クラッ
ドが所定径より大きいプリフォームを製造し、その後、
フッ酸エッチング処理してクラッド部を化学切削するこ
とにより、コア/クラッド比率を所定の比率に納める方
法がある。 【0004】このとき行われるフッ酸エッチング処理
は、ガラスのSi−O結合を分解する反応(以下に示
す)であり、プリフォームの表面を、室温で1時間当た
り、8mm程度の速さで化学切削するため、コア/クラ
ッド比率を所定の比率とするには優れた方法である。 SiO2 +4HF→SiF4 +2H2 O 3SiF4 +3H2 O→H2 SiO3 +2H2 SiF6 SiF4 +2HF→H2 SiF6 【0005】しかしながら、プリフォームの表面に傷や
凹みなどがあると、フッ酸により、傷や凹みが存在する
部分は他の部分より化学切削が一層進行し、大きく凹ん
だりする。通常、フッ酸くわれと呼ばれる凹部を生じ
る。プリフォームを保管場所の床面等に置いたとき、自
重が重いため局所的に衝撃を受けたり、また、運搬時の
プリフォーム同士の局所的接触などによる衝撃を受けた
ものに、フッ酸くわれが多く発生する。このフッ酸くわ
れは、光ファイバ線引き時における断線の原因となって
いた。 【0006】これらのフッ酸くわれの原因は、プリフォ
ーム同士の接触時などにできる傷が主な原因の一つであ
り、目視で認識できないような傷でも、フッ酸くわれが
発生している。フッ酸くわれを防止するには、丁寧に扱
うことが第一であるが、このような注意だけでは発生防
止に限界があり、また、過度に丁寧な扱いを意識し過ぎ
ると作業性が悪くなり、作業効率が落ちるため、これま
で有効な対策が講じられなかった。さらに、目視で認識
できないような微細な傷でもフッ酸くわれの原因となる
ため、フッ酸エッチング処理の可能なものを目視で選別
することは難しく、この選別に多大な労力と時間を要し
ていた。また、フッ酸くわれは、エッチング量が大きく
なると発生頻度が高くなり、しかもコア/クラッド比率
が一様ではなくなる。このためプリフォームの歩留まり
を下げていた。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、所定
のコア/クラッド比率を有するプリフォームを製造する
ためにフッ酸エッチング処理しても、フッ酸くわれのな
い滑らかな表面を有するプリフォーム、すなわち表面凹
凸がないプリフォームを得る方法を提供することにあ
る。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために鋭意検討した結果、フッ酸エッチング処理
を行う前に、プリフォームにある傷や凹み部を除去する
ことにより、フッ酸くわれつまり局所的凹部のない滑ら
かな表面を有するプリフォームが得られることを見出
し、本発明を完成したものである。 【0009】本発明の表面凹凸がないプリフォームを得
る方法は、予め、コア/クラッド比率が目標より小さい
光ファイバプリフォームを製造し、該光ファイバプリフ
ォームをファイヤーポリッシュにより表面の凹凸を0.
3mm以内とする表面処理を行った後、フッ酸エッチン
グ処理によりクラッド部を所定の厚さ化学切削して、コ
ア/クラッド比率を所定の比率に納めることを特徴とし
ている。 【0010】フッ酸エッチング前に、表面の凹凸を0.
3mm以内とするファイヤーポリッシュを行うことによ
り、歪量が低減されるとともに傷などのない滑らかな表
面が得られ、この後、フッ酸エッチングを行うことによ
り、フッ酸くわれの発生を防止するものである。なお、
表面処理は、ファイヤーポリッシュに限らず、同様な効
果が得られる機械研磨でもよい。 【0011】 【発明の実施の形態】以下、本発明の表面凹凸がないプ
リフォームを得る方法について、実施例に基づきさらに
詳細に説明する。 【0012】 【実施例】(前処理1) 直径60mm、長さ1000mmのプリフォームを、図
1に示すように、一端を床につけた状態で他端を持ち上
げ、10cmの高さで手を離し、床に置かれた同一形状
の他のプリフォームに衝突させ衝撃を与えた。このよう
にして、1本のプリフォームに20cm間隔で3箇所に
衝撃を与えた。なお、×印は、衝撃が与えられたプリフ
ォーム同士の接触箇所である。 (前処理2) 手を離す高さを20cmとした以外は、前処理1と同様
にしてプリフォームに衝撃を与えた。 【0013】(実施例1) 前処理1、前処理2を行った各プリフォームに、ファイ
ヤーポリッシュ(バーナーのガス量;水素250ml/
min、酸素145ml/min)を行った後、室温で
フッ酸エッチング処理を行った。なお、プリフォームの
径方向へのエッチング量を0.2mm、1.2mm、
2.2mm、3.2mmの4段階とし、それぞれ10本
づつ行った。エッチング処理後、水洗しよく水を拭き取
った後、目視検査にて、フッ酸くわれの有無を確認し
た。この結果を表1に示す。また、図2に示すように、
プリフォームの衝撃が与えられた接触箇所(×印の箇
所)と非接触箇所(○印の箇所;×印から10cm離れ
たところ)の径をノギスで測定し、その差を計測するこ
とで表面の凹凸度を求めた。この結果を表2に示す。な
お、各プリフォームの径は、○印の箇所各3点の平均径
を使用した。 【0014】(比較例1) 前処理1、前処理2のプリフォームにファイヤーポリッ
シュを行わなかった以外は、実施例1と同様にしてフッ
酸エッチング処理を行った。結果は、表1、表2に示す
通りである。 【0015】 【表1】 【0016】 【表2】 【0017】表1から、表面に衝撃が与えられたプリフ
ォームは、手を離す高さが高いほど、またエッチング量
が増すにつれて、フッ酸くわれの発生率が大幅に増大し
ているが(比較例1)、ファイヤーポリッシュを行った
実施例1のフッ酸くわれの発生率は、極めて低い数値に
とどまっているのが認められる。また、表2からは、本
発明の実施例1はフッ酸くわれによる凹みが小さく、殆
ど表面凹凸がないのに対して、従来法による比較例1の
ものは表面の凹凸が大きく、プリフォームの径の一様
性、ひいてはコア/クラッド比率が一様ではなくなって
いるのが認められる。 【0018】 【発明の効果】上記したように、プリフォームにフッ酸
エッチング処理を行う前にファイヤーポリッシュを行
い、表面の凹凸を0.3mm以内とすることにより、ク
ラッド部を所定の厚さ化学切削してもフッ酸くわれの発
生率を大幅に減少させ、所定のコア/クラッド比率を有
し、表面凹凸のないプリフォームを得ることができる。
光ファイバを得るのに好適とされる表面に凹凸がない光
ファイバプリフォーム(以下、単にプリフォームとい
う)を得る方法に関する。 【0002】 【従来の技術】近年、線引き技術の向上にともない大型
プリフォームからの線引きが可能となり、かつ生産性の
向上を目的として、40〜90mmの径を有する大型プ
リフォームを用いて線引きが行われるようになってき
た。これにともない使用するプリフォームの大型化や光
ファイバの高速線引きにともなう技術課題も多く、その
一つに安定した光ファイバの形状・径の確保が挙げられ
る。また、海底ケーブルなどに対する長距離通信用光フ
ァイバは、カットオフ波長やモードフィールド径などの
通信特性に対する要求が厳しく、このためプリフォーム
に対してはその軸方向に沿って一様なコア/クラッド比
率が要求される。このような光ファイバを得るには、プ
リフォーム表面の凹凸を小さくすることが求められる。 【0003】プリフォームの製造方法には、クラッドを
先に作るMCVD法やクラッドを後から造るOVD法な
どが一般に知られているが、コア/クラッド比率が大き
い場合には、コア部を小さくすることができないため、
通信特性の1つであるカットオフ波長を下方に調整する
ことができない。この対策として、予め、コア/クラッ
ド比率が目標より小さいプリフォーム、つまり、クラッ
ドが所定径より大きいプリフォームを製造し、その後、
フッ酸エッチング処理してクラッド部を化学切削するこ
とにより、コア/クラッド比率を所定の比率に納める方
法がある。 【0004】このとき行われるフッ酸エッチング処理
は、ガラスのSi−O結合を分解する反応(以下に示
す)であり、プリフォームの表面を、室温で1時間当た
り、8mm程度の速さで化学切削するため、コア/クラ
ッド比率を所定の比率とするには優れた方法である。 SiO2 +4HF→SiF4 +2H2 O 3SiF4 +3H2 O→H2 SiO3 +2H2 SiF6 SiF4 +2HF→H2 SiF6 【0005】しかしながら、プリフォームの表面に傷や
凹みなどがあると、フッ酸により、傷や凹みが存在する
部分は他の部分より化学切削が一層進行し、大きく凹ん
だりする。通常、フッ酸くわれと呼ばれる凹部を生じ
る。プリフォームを保管場所の床面等に置いたとき、自
重が重いため局所的に衝撃を受けたり、また、運搬時の
プリフォーム同士の局所的接触などによる衝撃を受けた
ものに、フッ酸くわれが多く発生する。このフッ酸くわ
れは、光ファイバ線引き時における断線の原因となって
いた。 【0006】これらのフッ酸くわれの原因は、プリフォ
ーム同士の接触時などにできる傷が主な原因の一つであ
り、目視で認識できないような傷でも、フッ酸くわれが
発生している。フッ酸くわれを防止するには、丁寧に扱
うことが第一であるが、このような注意だけでは発生防
止に限界があり、また、過度に丁寧な扱いを意識し過ぎ
ると作業性が悪くなり、作業効率が落ちるため、これま
で有効な対策が講じられなかった。さらに、目視で認識
できないような微細な傷でもフッ酸くわれの原因となる
ため、フッ酸エッチング処理の可能なものを目視で選別
することは難しく、この選別に多大な労力と時間を要し
ていた。また、フッ酸くわれは、エッチング量が大きく
なると発生頻度が高くなり、しかもコア/クラッド比率
が一様ではなくなる。このためプリフォームの歩留まり
を下げていた。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、所定
のコア/クラッド比率を有するプリフォームを製造する
ためにフッ酸エッチング処理しても、フッ酸くわれのな
い滑らかな表面を有するプリフォーム、すなわち表面凹
凸がないプリフォームを得る方法を提供することにあ
る。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために鋭意検討した結果、フッ酸エッチング処理
を行う前に、プリフォームにある傷や凹み部を除去する
ことにより、フッ酸くわれつまり局所的凹部のない滑ら
かな表面を有するプリフォームが得られることを見出
し、本発明を完成したものである。 【0009】本発明の表面凹凸がないプリフォームを得
る方法は、予め、コア/クラッド比率が目標より小さい
光ファイバプリフォームを製造し、該光ファイバプリフ
ォームをファイヤーポリッシュにより表面の凹凸を0.
3mm以内とする表面処理を行った後、フッ酸エッチン
グ処理によりクラッド部を所定の厚さ化学切削して、コ
ア/クラッド比率を所定の比率に納めることを特徴とし
ている。 【0010】フッ酸エッチング前に、表面の凹凸を0.
3mm以内とするファイヤーポリッシュを行うことによ
り、歪量が低減されるとともに傷などのない滑らかな表
面が得られ、この後、フッ酸エッチングを行うことによ
り、フッ酸くわれの発生を防止するものである。なお、
表面処理は、ファイヤーポリッシュに限らず、同様な効
果が得られる機械研磨でもよい。 【0011】 【発明の実施の形態】以下、本発明の表面凹凸がないプ
リフォームを得る方法について、実施例に基づきさらに
詳細に説明する。 【0012】 【実施例】(前処理1) 直径60mm、長さ1000mmのプリフォームを、図
1に示すように、一端を床につけた状態で他端を持ち上
げ、10cmの高さで手を離し、床に置かれた同一形状
の他のプリフォームに衝突させ衝撃を与えた。このよう
にして、1本のプリフォームに20cm間隔で3箇所に
衝撃を与えた。なお、×印は、衝撃が与えられたプリフ
ォーム同士の接触箇所である。 (前処理2) 手を離す高さを20cmとした以外は、前処理1と同様
にしてプリフォームに衝撃を与えた。 【0013】(実施例1) 前処理1、前処理2を行った各プリフォームに、ファイ
ヤーポリッシュ(バーナーのガス量;水素250ml/
min、酸素145ml/min)を行った後、室温で
フッ酸エッチング処理を行った。なお、プリフォームの
径方向へのエッチング量を0.2mm、1.2mm、
2.2mm、3.2mmの4段階とし、それぞれ10本
づつ行った。エッチング処理後、水洗しよく水を拭き取
った後、目視検査にて、フッ酸くわれの有無を確認し
た。この結果を表1に示す。また、図2に示すように、
プリフォームの衝撃が与えられた接触箇所(×印の箇
所)と非接触箇所(○印の箇所;×印から10cm離れ
たところ)の径をノギスで測定し、その差を計測するこ
とで表面の凹凸度を求めた。この結果を表2に示す。な
お、各プリフォームの径は、○印の箇所各3点の平均径
を使用した。 【0014】(比較例1) 前処理1、前処理2のプリフォームにファイヤーポリッ
シュを行わなかった以外は、実施例1と同様にしてフッ
酸エッチング処理を行った。結果は、表1、表2に示す
通りである。 【0015】 【表1】 【0016】 【表2】 【0017】表1から、表面に衝撃が与えられたプリフ
ォームは、手を離す高さが高いほど、またエッチング量
が増すにつれて、フッ酸くわれの発生率が大幅に増大し
ているが(比較例1)、ファイヤーポリッシュを行った
実施例1のフッ酸くわれの発生率は、極めて低い数値に
とどまっているのが認められる。また、表2からは、本
発明の実施例1はフッ酸くわれによる凹みが小さく、殆
ど表面凹凸がないのに対して、従来法による比較例1の
ものは表面の凹凸が大きく、プリフォームの径の一様
性、ひいてはコア/クラッド比率が一様ではなくなって
いるのが認められる。 【0018】 【発明の効果】上記したように、プリフォームにフッ酸
エッチング処理を行う前にファイヤーポリッシュを行
い、表面の凹凸を0.3mm以内とすることにより、ク
ラッド部を所定の厚さ化学切削してもフッ酸くわれの発
生率を大幅に減少させ、所定のコア/クラッド比率を有
し、表面凹凸のないプリフォームを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 プリフォームに衝撃を与える様子を示す斜視
図である。 【図2】 表面の凹凸度の計測箇所を示す斜視図であ
る。
図である。 【図2】 表面の凹凸度の計測箇所を示す斜視図であ
る。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 島田 忠克
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(72)発明者 家田 潔
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 群馬事業所内
(72)発明者 平沢 秀夫
群馬県安中市磯部2丁目13番1号 信越
化学工業株式会社 精密機能材料研究所
内
(56)参考文献 特開 昭62−270432(JP,A)
特開 昭61−174135(JP,A)
特開 昭58−217442(JP,A)
特開 昭58−176138(JP,A)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 予め、コア/クラッド比率が目標より小
さい光ファイバプリフォームを製造し、該光ファイバプ
リフォームをファイヤーポリッシュにより表面の凹凸を
0.3mm以内とする表面処理を行った後、フッ酸エッ
チング処理によりクラッド部を所定の厚さ化学切削し
て、コア/クラッド比率を所定の比率に納めることを特
徴とする表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る
方法。
Priority Applications (20)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31457498A JP3494905B2 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る方法 |
EP03090252A EP1364918B1 (en) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | A method and apparatus for manufacturing a preform and optical fibre from the preform |
EP99250390A EP0999189B1 (en) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Process and apparatus for drawing a preform and for drawing an optical fibre from the drawn preform |
DE69924447T DE69924447T2 (de) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen einer Vorform und zum Ziehen einer optischen Faser aus der gezogenen Vorform |
EP03090253A EP1364919B1 (en) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Method for manufacturing a preform and optical fibre from the preform |
DE1999638158 DE69938158T8 (de) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Verfahren zum Herstellen einer Vorform und einer optischen Faser aus der Vorform |
DE69931825T DE69931825T8 (de) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform und einer optischen Faser aus der Vorform |
KR1019990048941A KR100551100B1 (ko) | 1998-11-05 | 1999-11-05 | 광파이버 제조 방법, 프리폼 제조 방법 및 프리폼 제조 장치 |
US09/434,280 US6386001B1 (en) | 1998-11-05 | 1999-11-05 | Optical fiber manufacture method including elongating a preform in a vertical direction and a horizontal direction |
TW90126006A TW548250B (en) | 1998-11-05 | 1999-12-10 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
TW88119203A TW517043B (en) | 1998-11-05 | 1999-12-10 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
TW90126005A TW548249B (en) | 1998-11-05 | 1999-12-10 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
TW90126003A TW548247B (en) | 1998-11-05 | 1999-12-10 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
TW90126004A TW548248B (en) | 1998-11-05 | 1999-12-10 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US10/158,801 US6848276B2 (en) | 1998-11-05 | 2002-06-03 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US10/158,803 US20020144520A1 (en) | 1998-11-05 | 2002-06-03 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US10/158,843 US20020139149A1 (en) | 1998-11-05 | 2002-06-03 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US10/158,804 US20020152772A1 (en) | 1998-11-05 | 2002-06-03 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
US10/158,904 US6779362B2 (en) | 1998-11-05 | 2002-06-03 | Method of making an optical fiber preform where a second elongation is based on a mark on a glass rod |
US11/046,889 US20050132753A1 (en) | 1998-11-05 | 2005-02-01 | Optical fiber manufacture method, preform manufacture method, and preform manufacture apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31457498A JP3494905B2 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000143272A JP2000143272A (ja) | 2000-05-23 |
JP3494905B2 true JP3494905B2 (ja) | 2004-02-09 |
Family
ID=18054935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31457498A Expired - Fee Related JP3494905B2 (ja) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | 表面凹凸がない光ファイバプリフォームを得る方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3494905B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010013352A (ja) * | 2009-09-07 | 2010-01-21 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ガラス母材の加工方法 |
US11999645B2 (en) | 2018-10-24 | 2024-06-04 | Asml Netherlands B.V. | Optical fibers and production methods therefor |
-
1998
- 1998-11-05 JP JP31457498A patent/JP3494905B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000143272A (ja) | 2000-05-23 |
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