JP3488156B2 - ワイヤボンディング装置用放電良否判定方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤボンディング装置用放電良否判定方法及びその装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、放電によってワイ
ヤ先端にボールを形成するワイヤボンディング装置に用
いる放電良否判定方法及びその装置に関する。
ヤ先端にボールを形成するワイヤボンディング装置に用
いる放電良否判定方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置は、キャピラリ
に挿通されたワイヤ先端と放電電極間で放電を生じさせ
てワイヤ先端にボールを形成する。従来、前記放電の良
否は、ワイヤ先端と放電電極間に放電した瞬間の放電電
圧値と基準の正常放電電圧値とを比較し、放電の良否を
判定している。なお、この種のワイヤボンディング装置
用放電良否判定方法及びその装置として、例えば特開平
１０−２４２２００号公報、特開平１０−３２１６６５
号公報等が挙げられる。
に挿通されたワイヤ先端と放電電極間で放電を生じさせ
てワイヤ先端にボールを形成する。従来、前記放電の良
否は、ワイヤ先端と放電電極間に放電した瞬間の放電電
圧値と基準の正常放電電圧値とを比較し、放電の良否を
判定している。なお、この種のワイヤボンディング装置
用放電良否判定方法及びその装置として、例えば特開平
１０−２４２２００号公報、特開平１０−３２１６６５
号公報等が挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術は、ワイ
ヤ先端と放電電極間に所定時間、放電電流が正常に流れ
て所定の放電エネルギーを発生した場合においても、ワ
イヤ先端にゴミ、汚れ、放電環境（超音波ホーン等を冷
却するエア又はガス等による放電への干渉）等により、
放電エネルギーがロスしてしまい、ワイヤを溶かす熱エ
ネルギーに変換されずに、正常なボール形成ができない
状況が発生することがあった。またワイヤ径、放電電
極、放電状態（温度、湿度）等に影響して、放電開始電
圧が変化してしまい、放電開始電圧を一定の基準で判断
することが難しく、判定電圧の調整が必要であった。
ヤ先端と放電電極間に所定時間、放電電流が正常に流れ
て所定の放電エネルギーを発生した場合においても、ワ
イヤ先端にゴミ、汚れ、放電環境（超音波ホーン等を冷
却するエア又はガス等による放電への干渉）等により、
放電エネルギーがロスしてしまい、ワイヤを溶かす熱エ
ネルギーに変換されずに、正常なボール形成ができない
状況が発生することがあった。またワイヤ径、放電電
極、放電状態（温度、湿度）等に影響して、放電開始電
圧が変化してしまい、放電開始電圧を一定の基準で判断
することが難しく、判定電圧の調整が必要であった。
【０００４】本発明の課題は、所定の放電エネルギーが
正常に消費されたか否かを検知することにより、放電が
正常に行われたか否かを判定できるワイヤボンディング
装置用放電良否判定方法及びその装置を提供することに
ある。
正常に消費されたか否かを検知することにより、放電が
正常に行われたか否かを判定できるワイヤボンディング
装置用放電良否判定方法及びその装置を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の方法は、キャピラリに挿通されたワイヤの先
端と放電電極との間に放電してボールを形成するボール
形成装置を有し、放電時の最大電圧値を電圧検出部で検
出して放電の良否を判定するワイヤボンディング装置用
放電良否判定方法において、前記ボール形成するために
放電を１回行い、次に第２回目の放電を行って、それぞ
れの最大電圧値の差と予め設定された設定値とを比較
し、前記最大電圧値の差の方が前記設定値より大きく、
かつ第１回目の放電の最大電圧値よりも第２回目の放電
の最大電圧値の方が大きい場合には正常なボールが形成
されたと判定し、そうでない場合には放電不良が発生し
たと判定することを特徴とする。
の本発明の方法は、キャピラリに挿通されたワイヤの先
端と放電電極との間に放電してボールを形成するボール
形成装置を有し、放電時の最大電圧値を電圧検出部で検
出して放電の良否を判定するワイヤボンディング装置用
放電良否判定方法において、前記ボール形成するために
放電を１回行い、次に第２回目の放電を行って、それぞ
れの最大電圧値の差と予め設定された設定値とを比較
し、前記最大電圧値の差の方が前記設定値より大きく、
かつ第１回目の放電の最大電圧値よりも第２回目の放電
の最大電圧値の方が大きい場合には正常なボールが形成
されたと判定し、そうでない場合には放電不良が発生し
たと判定することを特徴とする。
【０００６】上記課題を解決するための本発明の第１の
装置は、キャピラリに挿通されたワイヤの先端と放電電
極との間に高電圧発生部より放電してボールを形成する
ボール形成装置を有し、前記放電時の最大電圧値を電圧
検出部で検出して放電の良否を判定するワイヤボンディ
ング装置用放電良否判定装置において、前記ボール形成
時の放電の最大電圧値と第２回目の放電の最大電圧値と
の差の電圧値及び前記電圧値の差が正常か否かを判断す
る基準の設定値を記憶する記憶部と、前記高電圧発生部
にボール形成のための放電と第２回目の放電を行うよう
に制御すると共に、前記電圧検出部から第１回目の放電
と第２回目の放電時のそれぞれの最大電圧値を検出する
ように制御し、前記電圧検出部で検出したそれぞれの最
大電圧値の差を演算し、その差が前記設定値以上であ
り、かつ第１回目の放電時の最大電圧値よりも第２回目
の放電時の最大電圧値の方が大きい時には、正常なボー
ルが形成されたと判断し、そうでない時には、放電不良
と判断する演算制御部を備えたことを特徴とする。
装置は、キャピラリに挿通されたワイヤの先端と放電電
極との間に高電圧発生部より放電してボールを形成する
ボール形成装置を有し、前記放電時の最大電圧値を電圧
検出部で検出して放電の良否を判定するワイヤボンディ
ング装置用放電良否判定装置において、前記ボール形成
時の放電の最大電圧値と第２回目の放電の最大電圧値と
の差の電圧値及び前記電圧値の差が正常か否かを判断す
る基準の設定値を記憶する記憶部と、前記高電圧発生部
にボール形成のための放電と第２回目の放電を行うよう
に制御すると共に、前記電圧検出部から第１回目の放電
と第２回目の放電時のそれぞれの最大電圧値を検出する
ように制御し、前記電圧検出部で検出したそれぞれの最
大電圧値の差を演算し、その差が前記設定値以上であ
り、かつ第１回目の放電時の最大電圧値よりも第２回目
の放電時の最大電圧値の方が大きい時には、正常なボー
ルが形成されたと判断し、そうでない時には、放電不良
と判断する演算制御部を備えたことを特徴とする。
【０００７】上記課題を解決するための本発明の第２の
装置は、上記第１の装置における前記記憶部及び前記演
算制御部が前記ワイヤボンディング装置のコンピュータ
の一部であることを特徴とする。
装置は、上記第１の装置における前記記憶部及び前記演
算制御部が前記ワイヤボンディング装置のコンピュータ
の一部であることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１乃至
図３により説明する。図１に示すように、ワイヤ１はク
ランパ２を通ってキャピラリ３に挿通されている。ボー
ル形成・電圧検出装置１０は、ワイヤ１の先端と放電電
極４間に、初期放電を発生させる電圧発生部１１と、初
期放電後に定電流を流す定電流発生部１２と、初期放電
時の最大電圧値を検出する電圧検出部１３を有してい
る。電圧検出部１３で検出された最大電圧値はコンピュ
ータ２０に入力される。
図３により説明する。図１に示すように、ワイヤ１はク
ランパ２を通ってキャピラリ３に挿通されている。ボー
ル形成・電圧検出装置１０は、ワイヤ１の先端と放電電
極４間に、初期放電を発生させる電圧発生部１１と、初
期放電後に定電流を流す定電流発生部１２と、初期放電
時の最大電圧値を検出する電圧検出部１３を有してい
る。電圧検出部１３で検出された最大電圧値はコンピュ
ータ２０に入力される。
【０００９】コンピュータ２０は、演算制御部２１、比
較手段２２及び記憶部３０を有している。演算制御部２
１は、高電圧発生部１１、定電流発生部１２、電圧検出
部１３を制御する制御信号及び最大電圧値等の情報を入
出力する。演算制御部２１は、高電圧発生部１１及び定
電流発生部１２に対して独立した制御を行い、高電圧発
生部１１に対して２回放電を行うように信号を出力す
る。第１回目の放電はボール形成のために初期放電と定
電流発生部１２より定電流を発生させ、第２回目の放電
は初期放電のみを発生させ、定電流を発生させない。即
ち、定電流発生部１２に対しては第１回目の初期放電後
のみに定電流を出力するように信号を出力する。
較手段２２及び記憶部３０を有している。演算制御部２
１は、高電圧発生部１１、定電流発生部１２、電圧検出
部１３を制御する制御信号及び最大電圧値等の情報を入
出力する。演算制御部２１は、高電圧発生部１１及び定
電流発生部１２に対して独立した制御を行い、高電圧発
生部１１に対して２回放電を行うように信号を出力す
る。第１回目の放電はボール形成のために初期放電と定
電流発生部１２より定電流を発生させ、第２回目の放電
は初期放電のみを発生させ、定電流を発生させない。即
ち、定電流発生部１２に対しては第１回目の初期放電後
のみに定電流を出力するように信号を出力する。
【００１０】記憶部３０は、第１回目の放電の最大電圧
値Ｖ１（以下、電圧値Ｖ１という）を記憶するＶ１領域
３１と、第２回目の放電の最大電圧値Ｖ２（以下、電圧
値Ｖ２という）を記憶するＶ２領域３２と、電圧値Ｖ１
と電圧値Ｖ２との実際の差の電圧値Ｖｄを記憶するＶｄ
領域３３と、差の電圧値Ｖｄと比較するために予め設定
された設定値Ｓを記憶させておくＳ領域３４とを有す
る。ここで、設定値Ｓは、正常なボールが形成された場
合に得られる基準の差の電圧値Ｖｄであり、ワイヤ１の
材質、線径、形成するボール径等によって異なるので、
予め実験によって調査して設定しておく。
値Ｖ１（以下、電圧値Ｖ１という）を記憶するＶ１領域
３１と、第２回目の放電の最大電圧値Ｖ２（以下、電圧
値Ｖ２という）を記憶するＶ２領域３２と、電圧値Ｖ１
と電圧値Ｖ２との実際の差の電圧値Ｖｄを記憶するＶｄ
領域３３と、差の電圧値Ｖｄと比較するために予め設定
された設定値Ｓを記憶させておくＳ領域３４とを有す
る。ここで、設定値Ｓは、正常なボールが形成された場
合に得られる基準の差の電圧値Ｖｄであり、ワイヤ１の
材質、線径、形成するボール径等によって異なるので、
予め実験によって調査して設定しておく。
【００１１】演算制御部２１は、実際の差の電圧値Ｖｄ
と設定値Ｓとを比較し、また記憶部３０のＶ１領域３
１、Ｖ２領域３２にそれぞれ電圧値Ｖ１、Ｖ２を記憶さ
せた後に、前記電圧値Ｖ１、Ｖ２の絶対値との差を演算
して、電圧値Ｖｄとして記憶部３０のＶｄ領域３３に記
憶する。次に電圧値Ｖｄと前記設定値Ｓとを比較したデ
ータを処理して正常にボールが形成されたか否かを判断
するようになっている。即ち、電圧値Ｖｄ＞設定値Ｓ
で、かつ電圧値Ｖ１＜電圧値Ｖ２であれば正常放電と判
断し、そうでなければ放電不良と判断する。
と設定値Ｓとを比較し、また記憶部３０のＶ１領域３
１、Ｖ２領域３２にそれぞれ電圧値Ｖ１、Ｖ２を記憶さ
せた後に、前記電圧値Ｖ１、Ｖ２の絶対値との差を演算
して、電圧値Ｖｄとして記憶部３０のＶｄ領域３３に記
憶する。次に電圧値Ｖｄと前記設定値Ｓとを比較したデ
ータを処理して正常にボールが形成されたか否かを判断
するようになっている。即ち、電圧値Ｖｄ＞設定値Ｓ
で、かつ電圧値Ｖ１＜電圧値Ｖ２であれば正常放電と判
断し、そうでなければ放電不良と判断する。
【００１２】次に作用を図２及び図３を参照しながら説
明する。ボール形成時には、ボールを形成させるため
に、スタート４０により演算制御部２１から高電圧発生
部１１に第１回目の放電指令（図２の第１回目高電圧出
力４１）が送られ、高電圧発生部１１は、第１回目の高
電圧をワイヤ１と放電電極４間に印加する。これによ
り、ワイヤ１の先端と放電電極４間に初期放電を発生さ
せ、この初期放電の最大電圧値Ｖ１（図３のＶ１ａ、Ｖ
１ｂ、Ｖ１ｃ）が電圧検出部１３で検出されて演算制御
部２１に伝達される。演算制御部２１は、この第１回目
の電圧値Ｖ１の絶対値を記憶部３０のＶ１領域３１に記
憶させる（図２の第１回目電圧値（Ｖ１）検出・記憶４
２）。続いて演算制御部２１から高電圧発生部１１に出
力を停止する指令を出すと共に、定電流発生部１２に定
電流を発生する指令が送られ、定電流発生部１２は、定
電流をワイヤ１と放電電極４間に出力して放電を継続す
る（図２の定電流出力４３）。なお、定電流は、高電圧
発生部１１からの出力とオーバーラップするように出力
される。このようにすることで放電が途切れることがな
く、スムーズに放電を継続させることができる。
明する。ボール形成時には、ボールを形成させるため
に、スタート４０により演算制御部２１から高電圧発生
部１１に第１回目の放電指令（図２の第１回目高電圧出
力４１）が送られ、高電圧発生部１１は、第１回目の高
電圧をワイヤ１と放電電極４間に印加する。これによ
り、ワイヤ１の先端と放電電極４間に初期放電を発生さ
せ、この初期放電の最大電圧値Ｖ１（図３のＶ１ａ、Ｖ
１ｂ、Ｖ１ｃ）が電圧検出部１３で検出されて演算制御
部２１に伝達される。演算制御部２１は、この第１回目
の電圧値Ｖ１の絶対値を記憶部３０のＶ１領域３１に記
憶させる（図２の第１回目電圧値（Ｖ１）検出・記憶４
２）。続いて演算制御部２１から高電圧発生部１１に出
力を停止する指令を出すと共に、定電流発生部１２に定
電流を発生する指令が送られ、定電流発生部１２は、定
電流をワイヤ１と放電電極４間に出力して放電を継続す
る（図２の定電流出力４３）。なお、定電流は、高電圧
発生部１１からの出力とオーバーラップするように出力
される。このようにすることで放電が途切れることがな
く、スムーズに放電を継続させることができる。
【００１３】このように、第１回目高電圧出力４１及び
定電流出力４３を行うと、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
に示すように、キャピラリ３の先端より突出しているワ
イヤ１（テール１ａ）の状態により、異なった現象とな
る。図３（ａ）はテール１ａに異常がなく、正常なボー
ル１ｂが形成された場合を示す。図３（ｂ）はテール１
ａの先端に汚れ１ｃが付着しており、ワイヤ１が溶けず
にテール１ａが残っている場合を示す。図３（ｃ）はテ
ール１ａが短く、放電が発生しない場合、若しくは放電
してもキャピラリ３に熱が奪われ、ボール１ａが形成さ
れない場合を示す。この図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の
場合の第１回目の放電電圧値Ｖ１（Ｖ１ａ、Ｖ１ｂ、Ｖ
１ｃ）が記憶部３０のＶ１領域３１に記憶される。
定電流出力４３を行うと、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
に示すように、キャピラリ３の先端より突出しているワ
イヤ１（テール１ａ）の状態により、異なった現象とな
る。図３（ａ）はテール１ａに異常がなく、正常なボー
ル１ｂが形成された場合を示す。図３（ｂ）はテール１
ａの先端に汚れ１ｃが付着しており、ワイヤ１が溶けず
にテール１ａが残っている場合を示す。図３（ｃ）はテ
ール１ａが短く、放電が発生しない場合、若しくは放電
してもキャピラリ３に熱が奪われ、ボール１ａが形成さ
れない場合を示す。この図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の
場合の第１回目の放電電圧値Ｖ１（Ｖ１ａ、Ｖ１ｂ、Ｖ
１ｃ）が記憶部３０のＶ１領域３１に記憶される。
【００１４】続いて演算制御部２１から高電圧発生部１
１に初期放電のみを発生させる第２回目の放電指令が送
られ（図２の第２回目高電圧出力４４）、高電圧発生部
１１は、第２回目の高電圧を図３（ａ）に示すボール１
ｂ又は図３（ｂ）、（ｃ）に示すワイヤ１と放電電極４
間に印加する。これにより、ワイヤ１の先端と放電電極
４間に初期放電を発生させ、この初期放電時の電圧値Ｖ
２（図３に示すＶ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃ）が電圧検出部
１３により検出されて演算制御部２１に伝達される。演
算制御部２１は、この第２回目の電圧値Ｖ２の絶対値を
記憶部３０のＶ２領域３２に記憶させる（図２の第２回
目の電圧値（Ｖ２）検出・記憶４５）。
１に初期放電のみを発生させる第２回目の放電指令が送
られ（図２の第２回目高電圧出力４４）、高電圧発生部
１１は、第２回目の高電圧を図３（ａ）に示すボール１
ｂ又は図３（ｂ）、（ｃ）に示すワイヤ１と放電電極４
間に印加する。これにより、ワイヤ１の先端と放電電極
４間に初期放電を発生させ、この初期放電時の電圧値Ｖ
２（図３に示すＶ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃ）が電圧検出部
１３により検出されて演算制御部２１に伝達される。演
算制御部２１は、この第２回目の電圧値Ｖ２の絶対値を
記憶部３０のＶ２領域３２に記憶させる（図２の第２回
目の電圧値（Ｖ２）検出・記憶４５）。
【００１５】第２回目高電圧出力４４を行うと、図３
（ａ）のように正常なボール１ｂが形成されている場
合、放電電極４とボール１ｂのギャップ量が大きいの
で、第１回目高電圧出力４１による放電の最大電圧値よ
りも大きな放電開始電圧が必要となる。即ち、第１回目
の電圧値Ｖ１ａより大きな第２回目の電圧値Ｖ２ａが出
力される。図３（ｂ）、（ｃ）のように放電ミスが生じ
てボール１ｂが形成されていない場合には、第２回目の
電圧値Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃは第１回目の電圧値Ｖ１ｂ、Ｖ１
ｃより僅かに（例えば１００Ｖ）大きく、またその差も
僅かである。
（ａ）のように正常なボール１ｂが形成されている場
合、放電電極４とボール１ｂのギャップ量が大きいの
で、第１回目高電圧出力４１による放電の最大電圧値よ
りも大きな放電開始電圧が必要となる。即ち、第１回目
の電圧値Ｖ１ａより大きな第２回目の電圧値Ｖ２ａが出
力される。図３（ｂ）、（ｃ）のように放電ミスが生じ
てボール１ｂが形成されていない場合には、第２回目の
電圧値Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃは第１回目の電圧値Ｖ１ｂ、Ｖ１
ｃより僅かに（例えば１００Ｖ）大きく、またその差も
僅かである。
【００１６】第２回目高電圧出力４４が終了すると、前
記Ｖ１領域３１に記憶されている第１回目の電圧値Ｖ１
（Ｖ１ａ、Ｖ１ｂ、Ｖ１ｃ）と前記Ｖ２領域３２に記憶
されている第２回目の電圧値Ｖ２（Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ
２ｃ）との差の電圧値Ｖｄが、演算制御部２１により演
算（図２のＶ２−Ｖ１を演算（Ｖｄ）４６）され、Ｖｄ
領域３３に記憶される。この電圧値Ｖｄは、予めＳ領域
３４に記憶された設定値Ｓと演算制御部２１によって比
較される。演算制御部２１は、この比較したデータを基
に、電圧値Ｖｄが設定値Ｓより大きいか否かの判断（図
２のＶｄ＞Ｓの判断４７）と、電圧値Ｖ２が電圧値Ｖ１
より大きいか否かの判断（図２のＶ１＜Ｖ２の判断４
８）とを行う。
記Ｖ１領域３１に記憶されている第１回目の電圧値Ｖ１
（Ｖ１ａ、Ｖ１ｂ、Ｖ１ｃ）と前記Ｖ２領域３２に記憶
されている第２回目の電圧値Ｖ２（Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ
２ｃ）との差の電圧値Ｖｄが、演算制御部２１により演
算（図２のＶ２−Ｖ１を演算（Ｖｄ）４６）され、Ｖｄ
領域３３に記憶される。この電圧値Ｖｄは、予めＳ領域
３４に記憶された設定値Ｓと演算制御部２１によって比
較される。演算制御部２１は、この比較したデータを基
に、電圧値Ｖｄが設定値Ｓより大きいか否かの判断（図
２のＶｄ＞Ｓの判断４７）と、電圧値Ｖ２が電圧値Ｖ１
より大きいか否かの判断（図２のＶ１＜Ｖ２の判断４
８）とを行う。
【００１７】図３（ａ）に示すように、第１回目の電圧
値Ｖ１ａと第２回目の電圧値Ｖ２ａとの差の電圧値Ｖｄ
が設定値Ｓ（例えば３００Ｖ）より大きく（Ｖｄ＞
Ｓ）、かつ第２回目の電圧値Ｖ２が第１回目の電圧値Ｖ
１より大きい（Ｖ１＜Ｖ２）場合は正常なボール１ｂが
形成されたと判断（図２の正常放電５０と判断）する。
図３（ｂ）、（ｃ）のように、第１回目の電圧値Ｖ１ａ
と第２回目の電圧値Ｖ２ａとの差の電圧値Ｖｄが設定値
Ｓ（例えば３００Ｖ）より小さいか又は等しく（Ｖｄ≦
Ｓ）、または、１回目の電圧値Ｖ１が第２回目の電圧値
Ｖ２より大きいか又は等しく（Ｖ１≧Ｖ２）場合には放
電異常と判断（図２の放電不良５１）して図示しない表
示器に出力する。
値Ｖ１ａと第２回目の電圧値Ｖ２ａとの差の電圧値Ｖｄ
が設定値Ｓ（例えば３００Ｖ）より大きく（Ｖｄ＞
Ｓ）、かつ第２回目の電圧値Ｖ２が第１回目の電圧値Ｖ
１より大きい（Ｖ１＜Ｖ２）場合は正常なボール１ｂが
形成されたと判断（図２の正常放電５０と判断）する。
図３（ｂ）、（ｃ）のように、第１回目の電圧値Ｖ１ａ
と第２回目の電圧値Ｖ２ａとの差の電圧値Ｖｄが設定値
Ｓ（例えば３００Ｖ）より小さいか又は等しく（Ｖｄ≦
Ｓ）、または、１回目の電圧値Ｖ１が第２回目の電圧値
Ｖ２より大きいか又は等しく（Ｖ１≧Ｖ２）場合には放
電異常と判断（図２の放電不良５１）して図示しない表
示器に出力する。
【００１８】前記Ｓ領域３４に予め記憶された設定値Ｓ
は種々の条件によって変わるが、例えばワイヤ１が金線
で、線径が２５μｍ、形成するボール径が４０μｍの場
合には、第２回目の電圧値Ｖ２が第１回目の電圧値Ｖ１
より３００Ｖ以上の時に正常なボールが形成された。従
って、この場合には設定値Ｓは３００Ｖに設定する。
は種々の条件によって変わるが、例えばワイヤ１が金線
で、線径が２５μｍ、形成するボール径が４０μｍの場
合には、第２回目の電圧値Ｖ２が第１回目の電圧値Ｖ１
より３００Ｖ以上の時に正常なボールが形成された。従
って、この場合には設定値Ｓは３００Ｖに設定する。
【００１９】このように、ボール形成するために放電を
１回行い（第１回目高電圧出力４１）、次に第２回目の
放電（第２回目高電圧出力４４）を行って、第１回目の
最大電圧値Ｖ１と第２回目の最大電圧値Ｖ２との差の電
圧値Ｖｄを演算４６し、電圧値Ｖｄと予め設定された設
定値Ｓとを比較し、電圧値Ｖｄの方が設定値Ｓより大き
く、かつ最大電圧値Ｖ１よりも最大電圧値Ｖ２の方が大
きい場合には正常なボールが形成されたと判定５０し、
そうでない場合には放電不良が発生したと判定５１する
ので、所定の放電エネルギーが正常に消費されたことが
検知でき、放電が正常か否かを判定することができる。
またボールをボンディング前に放電異常を検知できるの
で、ワイヤボンディング装置を停止させることができ、
不良品の低減が図れる。
１回行い（第１回目高電圧出力４１）、次に第２回目の
放電（第２回目高電圧出力４４）を行って、第１回目の
最大電圧値Ｖ１と第２回目の最大電圧値Ｖ２との差の電
圧値Ｖｄを演算４６し、電圧値Ｖｄと予め設定された設
定値Ｓとを比較し、電圧値Ｖｄの方が設定値Ｓより大き
く、かつ最大電圧値Ｖ１よりも最大電圧値Ｖ２の方が大
きい場合には正常なボールが形成されたと判定５０し、
そうでない場合には放電不良が発生したと判定５１する
ので、所定の放電エネルギーが正常に消費されたことが
検知でき、放電が正常か否かを判定することができる。
またボールをボンディング前に放電異常を検知できるの
で、ワイヤボンディング装置を停止させることができ、
不良品の低減が図れる。
【００２０】なお、上記実施の形態は、ワイヤ１を正極
性、放電電極４を負極性として放電電圧を印加したが、
逆にワイヤ１を負極性、放電電極４を正極性として放電
電圧を印加してもよい。また記憶部３０のＶ１領域３
１、Ｖ２領域３２、Ｖｄ領域３３及びＳ領域３４は、記
憶する手段であれば特に限定されるものではなくメモ
リ、レジスタ等でもよい。例えば演算制御部２１の図示
しないレジスタでもよい。
性、放電電極４を負極性として放電電圧を印加したが、
逆にワイヤ１を負極性、放電電極４を正極性として放電
電圧を印加してもよい。また記憶部３０のＶ１領域３
１、Ｖ２領域３２、Ｖｄ領域３３及びＳ領域３４は、記
憶する手段であれば特に限定されるものではなくメモ
リ、レジスタ等でもよい。例えば演算制御部２１の図示
しないレジスタでもよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、ボール形成するために放電を
１回行い、次に第２回目の放電を行って、それぞれの最
大電圧値の差と予め設定された設定値とを比較し、前記
最大電圧値の差の方が前記設定値より大きく、かつ第１
回目の放電電圧値よりも第２回目の放電電圧値の方が大
きい場合には正常なボールが形成されたと判定し、そう
でない場合には、放電不良が発生したと判定するので、
所定の放電エネルギーが正常に消費されたことが検知で
き、放電が正常か否かを判定することができる。またボ
ールをボンディング前に放電異常を検知できるので、ワ
イヤボンディング装置を停止させることができ、不良品
の低減が図れる。
１回行い、次に第２回目の放電を行って、それぞれの最
大電圧値の差と予め設定された設定値とを比較し、前記
最大電圧値の差の方が前記設定値より大きく、かつ第１
回目の放電電圧値よりも第２回目の放電電圧値の方が大
きい場合には正常なボールが形成されたと判定し、そう
でない場合には、放電不良が発生したと判定するので、
所定の放電エネルギーが正常に消費されたことが検知で
き、放電が正常か否かを判定することができる。またボ
ールをボンディング前に放電異常を検知できるので、ワ
イヤボンディング装置を停止させることができ、不良品
の低減が図れる。
【図１】本発明のワイヤボンディング装置用放電良否判
定装置の一実施の形態を示すブロック図である。
定装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図２】本発明のワイヤボンディング装置用放電良否判
定方法の一実施の形態を示すフローチャート図である。
定方法の一実施の形態を示すフローチャート図である。
【図３】（ａ）は正常なボールが形成された場合の第１
回目と第２回目の放電電圧値の関係を示す説明図、
（ｂ）はワイヤの先端が汚れ、放電不良の場合の第１回
目と第２回目の放電電圧値の関係を示す説明図、（ｃ）
はテール長が短く、放電不良の場合の第１回目と第２回
目の放電電圧値の関係を示す説明図である。
回目と第２回目の放電電圧値の関係を示す説明図、
（ｂ）はワイヤの先端が汚れ、放電不良の場合の第１回
目と第２回目の放電電圧値の関係を示す説明図、（ｃ）
はテール長が短く、放電不良の場合の第１回目と第２回
目の放電電圧値の関係を示す説明図である。
１ ワイヤ
１ａ テール
１ｂ ボール
１ｃ 汚れ
２ クランパ
３ キャピラリ
４ 放電電極
１０ ボール形成・電圧検出装置
１１ 高電圧発生部
１２ 定電流発生部
１３ 電圧検出部
２０ コンピュータ
２１ 演算制御部
２２ 比較手段
３０ 記憶部
３１ Ｖ１領域
３２ Ｖ２領域
３３ Ｖｄ領域
３４ Ｓ領域
４０ スタート
４１ 第１回目高電圧出力
４２ 第１回目の電圧値（Ｖ１）検出・記憶
４３ 定電流出力
４４ 第２回目高電圧出力
４５ 第２回目の電圧値（Ｖ２）検出・記憶
４６ Ｖ２−Ｖ１を演算（Ｖｄ）
４７ Ｖｄ＞Ｓ
４８ Ｖ１＜Ｖ２
５０ 正常放電
５１ 放電不良
Ｖ１（Ｖ１ａ、Ｖ１ｂ、Ｖ１ｃ） 第１回目の放電の最
大電圧値 Ｖ２（Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃ） 第２回目の放電の最
大電圧値
大電圧値 Ｖ２（Ｖ２ａ、Ｖ２ｂ、Ｖ２ｃ） 第２回目の放電の最
大電圧値
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平11−26492（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−242200（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−321665（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−16936（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−206145（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−307576（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/60
Claims (3)
- 【請求項１】 キャピラリに挿通されたワイヤの先端と
放電電極との間に放電してボールを形成するボール形成
装置を有し、放電時の最大電圧値を電圧検出部で検出し
て放電の良否を判定するワイヤボンディング装置用放電
良否判定方法において、前記ボール形成するために放電
を１回行い、次に第２回目の放電を行って、それぞれの
最大電圧値の差と予め設定された設定値とを比較し、前
記最大電圧値の差の方が前記設定値より大きく、かつ第
１回目の放電の最大電圧値よりも第２回目の放電の最大
電圧値の方が大きい場合には正常なボールが形成された
と判定し、そうでない場合には放電不良が発生したと判
定することを特徴とするワイヤボンディング装置用放電
良否判定方法。 - 【請求項２】 キャピラリに挿通されたワイヤの先端と
放電電極との間に高電圧発生部より放電してボールを形
成するボール形成装置を有し、前記放電時の最大電圧値
を電圧検出部で検出して放電の良否を判定するワイヤボ
ンディング装置用放電良否判定装置において、前記ボー
ル形成時の放電の最大電圧値と第２回目の放電の最大電
圧値との差の電圧値及び前記電圧値の差が正常か否かを
判断する基準の設定値を記憶する記憶部と、前記高電圧
発生部にボール形成のための放電と第２回目の放電を行
うように制御すると共に、前記電圧検出部から第１回目
の放電と第２回目の放電時のそれぞれの最大電圧値を検
出するように制御し、前記電圧検出部で検出したそれぞ
れの最大電圧値の差を演算し、その差が前記設定値以上
であり、かつ第１回目の放電時の最大電圧値よりも第２
回目の放電時の最大電圧値の方が大きい時には、正常な
ボールが形成されたと判断し、そうでない時には、放電
不良と判断する演算制御部を備えたことを特徴とするワ
イヤボンディング装置用放電良否判定装置。 - 【請求項３】 前記記憶部及び前記演算制御部は、前記
ワイヤボンディング装置のコンピュータの一部であるこ
とを特徴とする請求項２記載のワイヤボンディング装置
用放電良否判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33728599A JP3488156B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ワイヤボンディング装置用放電良否判定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33728599A JP3488156B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ワイヤボンディング装置用放電良否判定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001156101A JP2001156101A (ja) | 2001-06-08 |
| JP3488156B2 true JP3488156B2 (ja) | 2004-01-19 |
Family
ID=18307186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33728599A Expired - Fee Related JP3488156B2 (ja) | 1999-11-29 | 1999-11-29 | ワイヤボンディング装置用放電良否判定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3488156B2 (ja) |
-
1999
- 1999-11-29 JP JP33728599A patent/JP3488156B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001156101A (ja) | 2001-06-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031016 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |