JP3487922B2 - 移動体の速度制御方法およびその制御装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は移動体の速度制御方法お
よびその制御装置に係り、特に、電子部品実装機、半導
体製造装置、ＸＹステージなどでの位置決めにおいて振
動を発生することなく減速指令から位置偏差比例速度指
令に切り替えることができる移動体の速度制御方法およ
びその制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、特開平１−２６０５１０号公報や
特開平４−３４２００３号公報に記載されるように、目
標位置を移動開始時点で１度だけ出力し、目標位置近傍
まではある速度パターンを用いて速度制御を行ない、目
標位置近傍になってから停止するための位置制御系に切
り替るポイント・ツウ・ポイント（ＰＴＰ）制御を採用
している。

【０００３】上記特開平１−２６０５１０号公報では、
特に、位置制御に切り替える前における速度指令を位置
偏差の関数とすることによって、減速度を時間で微分し
たジャ−クに不連続が生じないようにして位置制御に切
り替わった時の振動を抑えることが記載されている。ま
た、特開平４−３４２００３号公報には速度制御と位置
制御におけるそれぞれの指令速度が等しくなる位置で制
御系を切り替えることが記載されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記特開平１−２６０
５１０号公報における従来技術では、位置制御に切り替
える前までの位置偏差は考慮されているが切替後の位置
制御における位置偏差の存在が考慮されていない。

【０００５】また、上記特開平４−３４２００３号公報
における従来技術は、目標位置が制御の途中で変更され
た場合の制御を工夫したもので、速度制御から位置制御
に切り替える際の減速度の大きさの変化は考慮されてい
ない。

【０００６】即ち、上記両従来技術は減速指令から位置
偏差比例速度指令に切り替える点での減速度の連続性の
点について配慮がされておらず、これらの制御系を用い
た場合、位置偏差比例速度指令に切り替わる点でトルク
変動が大きく、このため振動を発生するという問題があ
った。

【０００７】それゆえ本発明の目的は、減速指令から位
置偏差比例速度指令に切り替える点での減速度、トルク
の変化を小さく又は、零にし振動を発生することのない
移動体の速度制御方法およびその制御装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の特徴は、位置偏差をｅ、加速度をａ、位置制御系比
例ゲインをｋｐとした場合、減速指令値として２ａｅの
平方根からａ／（２ｋｐ）を引いた値で与えるようにし
たことにある。

【０００９】

【作用】上記のように減速指令が設定されることによ
り，目標位置近傍までの速度制御系による制御指令の速
度と減速度が目標位置近傍からの位置制御系における速
度指令の速度と減速度にそれぞれ一致する。これによっ
て、電動機に与えられるトルク指令値が連続となり、従
来、位置制御領域に入った後に生じていた振動を防止す
ることができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明を図に示す一実施例に基づいて
説明する。図１は本発明になる位置決め制御装置の一実
施例を示すブロック図である。図１において、コントロ
ーラ１は移動のパラメータである加速度、減速度、最高
速度、および位置決め完了幅などを設定する移動パラメ
ータ設定器２、切替え位置偏差設定器３、目標位置指令
入力器５、加速時速度指令値発生器６、最高速度指令値
発生器７、減速時速度指令値発生器８、指令値選択器１
１、位置偏差比例ゲイン乗算器９、切替え器１２、速度
制御装置１４、加算器１０、１３を備えている。このコ
ントローラ１からの出力である速度指令値は、速度アン
プ１５を介してモータ１６に伝えられる。

【００１１】モータ１６は、駆動対象である負荷１７と
接続され、モータ１６の回転状態はエンコーダ１８で検
出される。エンコーダ１８の出力は、速度演算器１９と
位置演算器２０に入力され、速度演算器１９の出力は加
算器１３に接続されて速度フィードバック信号として用
いられる。位置演算器２０の出力は加算器１０に入力さ
れて位置フィードバック信号として用い、減速時速度指
令値発生器８や切替え器１２の切替え位置情報として活
用している。

【００１２】この実施例において、目標位置指令入力器
５から位置ｘｆへの移動指令値が加算器１０に与えられ
ると、加算器１０ではエンコーダ１８のパルス信号を位
置演算器２０で変換した現在位置ｘｐがフィードバック
されて加算器１０に入力される。このとき、現在位置ｘ
ｐは負号を付けられ、加算器１０内で下式で示す位置偏
差ｅを得る計算が行われ、加算器１０より位置偏差ｅが
出力される。

【００１３】

【数１】 ｅ＝ｘｆ−ｘｐ 起動時の位置偏差ｅｏは、現在位置ｘｐをｘｏとすれ
ば、下式で与えられる。

【００１４】

【数２】 ｅｏ＝ｘｆ−ｘｏ 加速時速度指令値発生器６は、加速度（等加速運動の加
速度）をａ１、起動時をｔ＝０とした経過時間をｔで表
わすと加速時速度指令値ｖ１を次式で算出して出力す
る。

【００１５】

【数３】 ｖ１＝ａ１・ｔ 最高速度指令値発生器７は，最高速度ｖ４を次式で出力
する。

【００１６】

【数４】 ｖ４＝ｖｍａｘ 減速時速度指令値発生器８は、位置偏差比例ゲインをｋ
ｐ、減速時の加速度（等減速運動での減速度）の絶対値
をａ２とすると減速時速度指令値ｖ２を次式で算出して
出力する。

【００１７】

【数５】

【００１８】減速時速度指令値発生器８の構成を図５に
示す。減速時速度指令値発生器８に入力された位置偏差
ｅに乗算器３１で２・ａ２をかけて、平方根演算器３２
で平方根をとり加算器３４に入力する。一方、シフト量
演算器３３で計算されたａ２／（２ｋｐ）の値に負号を
付けて加算器３４に入力する。

【００１９】このようにして加算器３４内で加算された
結果が、減速時速度指令値ｖ２として減速時速度指令値
発生器８から出力される。

【００２０】一方、位置制御系は、位置偏差比例ゲイン
乗算器９で次式のように位置偏差ｅに位置偏差比例ゲイ
ンｋｐをかけて位置偏差比例速度指令ｖ３を出力する。

【００２１】

【数６】 ｖ３＝ｋｐ・ｅ これら４つの速度指令値ｖ１〜ｖ４の大きさの関係を図
２に示す。図２において、横軸が位置、縦軸が速度を示
している。

【００２２】加速時速度指令値発生器６から出力された
速度指令値ｖ１と最高速度指令値発生器７から出力され
た速度指令値ｖ４および減速時速度指令値発生器８から
出力された速度指令値ｖ２は、指令値選択器１１に入力
される。この指令値選択器１１では、入力された速度指
令値３つを比較して最も小さい速度指令値を選択してｖ
ｍｉｎとして出力する。即ち、初期位置ｘｏにおいて
は、先ず、加速時速度指令値発生器６からの速度指令値
ｖ１が最も小さいため、このｖ１が選択される。位置が
図２においてｘａよりも目標値に近づくと最高速度指令
値値発生器７からの出力の速度指令値ｖ４が最も小さく
なる。このｖ１からｖ４への切替え点ｘａは数３、４を
演算することにより、下式で表される。

【００２３】

【数７】

【００２４】最高速度ｖ４で移動していくと、次に、位
置がｘｍになったとき以降はｖ４よりもｖ２が小さくな
り、これ以降はｖ２が最も小さいため、指令値選択器１
１からはｖ２が出力される。この速度ｖ４とｖ２の交点
を示す位置ｘｍは数４、５を演算することにより、下式
で表される。

【００２５】

【数８】

【００２６】一方、位置偏差比例ゲイン乗算器９からの
出力は数式６に示した一般的な位置制御系の速度出力ｖ
３となる。この位置制御系の速度指令値ｖ３と指令値選
択器１１から出力される減速時速度指令値発生器８から
の速度指令値ｖ２が等しくなる点での偏差ｅ２（ｃ２）
は数式５と６を等しいものとし（数９）、この時の偏差
ｅを偏差ｅ２（ｃ２）とすることによって数式１０で表
されるものとなる。

【００２７】

【数９】

【００２８】

【数１０】

【００２９】そして、図２における位置ｘｄは目標位置
ｘｆから数式１０で表される偏差を引いたものとして、
下式で表されることになる。

【００３０】

【数１１】

【００３１】図３に図２の目標位置近傍の拡大図を示
す。この図３で分かるようにｖ２の曲線はｘｄでｖ３に
接している。図１の切替え器１２では指令値選択器１１
からの速度指令値ｖｍｉｎと位置偏差比例ゲイン乗算器
９からの速度指令値ｖ３とを受けて，位置偏差ｅが切替
え位置偏差設定器３に設定されたｅ２（ｃ２）より大き
い間はｖｍｉｎを出力し，小さくなったら，ｖ３を出力
する。一度ｖ３を出力した後には，位置決め完了までｖ
３を出力し続ける。位置偏差比例ゲイン乗算器９から切
替え器１２を経て速度制御装置に至る経路は位置制御系
を構成しているので、切替え器１２がｖｍｉｎを出力し
ている間は速度制御系による制御が行なわれ、切替え器
１２がｖ３を出力すると位置制御系に切り替わって制御
が続行されることになる。

【００３２】このようにして与えられた速度指令値は、
加算器１３に入力されエンコーダ１８の信号を基に速度
演算器１９で算出された現在速度に負号を付けられたも
のと加えられ、速度アンプ１５に信号が送られる。速度
アンプ１５はこの信号に基づいてモータ１６を制御し、
負荷１７の移動を行う。この時の運動の状態をエンコー
ダ１８が検出し，速度演算器１９，位置演算器２０に信
号を送る。位置決め完了域に入ったことは、偏差信号を
基にコントローラ１が判断する。このようにして位置制
御系へ切り換えることで振動の少ない，整定の早い制御
を行うことができる。

【００３３】以下、本発明による減速時速度指令値発生
器８で出力される速度指令値ｖ２を用いると、速度制御
系による制御から位置制御系への切替えの際に速度や加
速度が連続になる理由について説明する。

【００３４】移動体（負荷１７）は目標位置ｘｆで停止
することが求められているため、最終的に位置制御系で
停止位置に保持される。そのため、どこかの地点で位置
制御系に切り換える必要が生じる。この切替え時の速度
と加速度が連続であることは、停止時の振動の減少に大
きな影響を持つ。

【００３５】ここで位置制御系の速度指令値ｖ３は次の
微分方程式で表現される。

【００３６】

【数１２】

【００３７】上式を時間ｔについて微分すると，負荷１
７の減速時における実際の加速度α３は次式で表現され
るものとなる。

【００３８】

【数１３】

【００３９】一方、前記数式５を直接微分して減速時の
加速度α２（等減速運動での減速度ａ２と異なることに
要注意）の大きさは下式で表されるものとなる。

【００４０】

【数１４】

【００４１】減速時の実加速度α２、α３の変化を図４
に示す。

【００４２】切り換え点ｘｄでの数式１０で表される位
置偏差ｅ２（ｃ２）を数式１４に代入することによっ
て、切り換え点ｘｄにおけるｖ２の減速時の実加速度α
２の大きさは、下記の数式で示されるものとなる。

【００４３】

【数１５】

【００４４】一方、切替え点ｘｄにおけるｖ３の減速時
の加速度α３の大きさは、数式１３に切り換え点ｘｄで
の数式１０で表される位置偏差ｅ２（ｃ２）を代入して
下式で表されるものとなる。

【００４５】

【数１６】

【００４６】数式１５と数式１６を対比して一目瞭然で
あるが、切替え点ｘｄにおいてｖ２とｖ３の減速時のそ
れぞれの加速度α２、α３の大きさは等しくなってい
る。さらに、数式２と数式１２のそれぞれに切り換え点
ｘｄでの数式１０で表される位置偏差ｅ２（ｃ２）を代
入してみると、切替え点ｘｄにおいてｖ２とｖ３の値も
等しくなっていることが分かるであろう。

【００４７】本発明に従って数式５で表される速度ｖ２
を出力する減速時速度指令値発生器８を用いることによ
り等減速運動における減速度ａ２の１／２の減速度α２
（ｅ２）で速度制御から位置制御に連続的に切替わるこ
とができ、また、速度も等しいことから、切り替え時に
トルク変動はなく振動は全く発生しない。トルク変動、
振動を抑えることと位置偏差比例ゲインｋｐは無関係と
なるので、位置制御系の位置偏差比例ゲインｋｐを高く
設定して整定時間を短縮することも同時に達成できる。

【００４８】図８は本発明になる他の実施例のブロック
構成図を示している。この実施例では、図１に示した実
施例の切替え器１２の代りに指令値選択器９２を用いて
いる。なお、９３は切替え位置偏差設定器である。

【００４９】本実施例では、加速時速度指令発生器から
の速度指令値ｖ１と、最高速度指令値発生器７からの速
度指令値ｖ４と、減速時速度指令値発生器８からの速度
指令値ｖ２と位置制御系からの速度指令値である位置偏
差比例ゲイン乗算器９からの速度出力ｖ３が全て指令値
選択器９２に入力されている。指令値選択器９２内で
は、これらの入力の最も小さい指令値を出力する。

【００５０】ただし、減速時速度指令値発生器８として
図５に示したものを使用すると、この減速時速度指令値
発生器８からの速度出力ｖ２と位置偏差比例ゲイン乗算
器９からの速度指令値ｖ３は、位置ｘｄの１点でしか交
わらないため、実際の制御における速度偏差、位置偏差
によってｖ３との交点が生じなくなる可能性がある。そ
こで、図８に示した実施例の構成の場合には、減速時速
度指令値発生器８として、図６に示す減速時速度指令値
発生器９１を用いる。

【００５１】図６の減速時速度指令値発生器９１は、位
置偏差ｅの入力に対して乗算器３１で２・ａ２をかけ、
その結果を平方根演算器３２に掛けて平方根を取り、加
算器３４に入力する。一方、シフト量演算器３３による
ａ２／（２ｋｐ）の結果にソフトスライディングゲイン
ｋｆの乗算器４１を介して加算器３４に入力する。な
お、ソフトスライディングゲインｋｆは０から１の間の
値を取る係数で、速度を調整する係数である。図６に示
す減速時速度指令値発生器９１の出力ｖ２は上記数式５
の第２項にソフトスライディングゲインｋｆを乗じたも
のとなっている。

【００５２】ソフトスライディングゲインｋｆが零に近
づく程、減速時速度指令値発生器９１の出力ｖ２は大き
く、減速度α２も大きくなり、零ならば等減速運動とな
る。逆に、ソフトスライディングゲインｋｆが大きくな
るほど出力ｖ２は小さい、減速度α２も小さくなって、
ｋｆ＝１の場合に減速時速度指令値発生器９１の出力ｖ
２と位置制御系の出力ｖ３が図３に示したように位置偏
差ｅ２（ｃ２）で接することになる。両制御系では速度
制御系の出力ｖ２と位置制御系の出力ｖ３が接するよう
になっていても、何等かの事態でモ−タ１６以降の機械
系で接しないようであれば、位置制御系への切り替わり
ができなくなる。そこで確実に切り替わるように、減速
時速度指令値発生器９１ではソフトスライディングゲイ
ンｋｆを与えている。

【００５３】次ぎに、好ましいソフトスライディングゲ
インｋｆの値について説明する。

【００５４】ソフトスライディングゲインｋｆは小さく
するほど、ｖ２とｖ３値が一致する点での位置偏差ｅ２
（ｃ２）は大きな値となって、図２あるいは図３に示さ
れるｘｄの位置は目標位置ｘｆから遠ざかり、また、図
４に示すように位置制御系におけるｖ３の減速度は大き
くなって行く。ソフトスライディングゲインｋｆを零と
した場合にはｖ２からｖ３に切替わった点での加速度の
変化がｖ２の加速度の２倍に変化する。また、ソフトス
ライディングゲインｋｆを１とした場合には、既に説明
したように加速度の変化がｖ２と連続になる。つまりｖ
２の加速度の１倍となる。

【００５５】この係数ｋｆは１に近いほど図２あるいは
図３に示されるｘｄの位置は目標位置ｘｆに近くなり、
位置制御系に切り替わった時のｖ２とｖ３の減速度の差
（変化）は小さくなるので、ｖ２とｖ３の交点を確実に
持たせ、かつ加速度の変化を小さくするためには、０．
８５程度を使用するとよい。

【００５６】また、本実施例でも指令値選択器９２内で
一度ｖ３が選択された以降はｖ２が最小値となっても、
位置制御系に切り替わっているので、ｖ３の出力が継続
される。

【００５７】図１の実施例の変形として、図１の構成に
おいて減速時速度指令値発生器８に図６に示した減速時
速度指令値発生器９１を用いてもよい。ｋｆを小さくす
るほど移動時間は早くなるため、整定時の振動が問題に
ならない程度にｋｆを小さくし、切替え位置偏差設定器
３でのｅ２（ｃ２）は、数式１０で表された値、即ち、
ａ／（２ｋｐ²）より僅かに大きい値にする。

【００５８】この実施例を用いることによっても、切替
え時の振動の発生を無くすことと移動時間を短縮するこ
とを同時に達成することができる。

【００５９】図７に、コントローラ１の動作をマイクロ
コンピュータのソフトウエアによって実現した場合の他
の実施例を示す。

【００６０】なお、コントローラ１以外の部分の構成や
動作は図１に示す実施例と同様として、以下コントロー
ラ１の処理フロ−を説明する。

【００６１】先ず、ステップ７１で移動の運動を決定す
る各種パラメータを図示していないキ−ボ−ドの入力手
段でモニタ表示画面などを利用したり、図示していない
記憶装置内に格納されている移動デ−タを読み込むこと
などによって設定する。ここでは、加速時の加速度ａ
１、等減速運動の減速度ａ２、最高速度ｖｍａｘ、最終
位置での位置決め完了幅ε、および切替え位置偏差ｅ２
（ｃ２）を設定する。次に、ステップ７２で移動目標位
置指令値ｘｆを設定する。この目標位置に関しては、そ
れぞれのシステムにより、相対移動距離を設定するシス
テムでも、移動位置の絶対位置を設定するシステムでも
よい。次に、ステップ７３でマイクロコンピュータの外
部入力装置（エンコ−ダや位置演算器など）からの信号
を基に現在位置ｘｐの演算を行う。この現在位置と目標
位置の差として位置偏差ｅをステップ７４で算出する。
次ぎに、ステップ７５で位置偏差ｅが位置決め完了幅ε
内であるかどうかを判定し、範囲内ならばステップ７６
に進んで位置決め完了処理を行う。範囲内でなければ、
ステップ７７に行って、加速時速度指令値ｖ１を前記の
数式３により算出する。そしてステップ７８で最高速度
ｖ４を前記の数式４により指定する。さらに、減速時速
度指令値ｖ２を前記の数式５によりステップ７９で算出
する。そしてステップ８０で先のステップ７７〜７９で
得た各速度ｖ１、ｖ２、ｖ４の速度指令値のうち、最も
小さい値を選択しｖｍｉｎの変数に代入する。

【００６２】一方、ステップ８１で位置制御系での位置
決め用速度指令値ｖ３を前記の数式６で算出する。次の
ステップ８２において、位置偏差量がステップ７１で設
定されている切替え位置偏差より大きいかどうかを判定
し、大きい場合にはステップ８３に進んでｖｍｉｎを、
小さい場合にはステップ８４に行ってｖ３を速度指令値
として、次ぎのステップ８５で図示していないインター
フェースを通して速度アンプ１５に出力する。その後、
ステップ７３に戻って、現在位置の取込みを行い現在位
置の演算以下を繰り返えし実行し、ステップ７５で位置
偏差ｅが位置決め完了幅ε内になることにより、ステッ
プ７６に進んで位置決め完了処理を行う。

【００６３】以上のように、コントローラ１の動作をマ
イクロコンピュータのソフトウエアで構成することによ
り、図１の実施例と同様の、整定時間の短縮、速度制御
系から位置制御系への切り替え時の振動発生の抑制がで
きると共に、各種パラメータの変更が容易にできる効果
がある。

【００６４】また、図８に示す実施例におけるコントロ
ーラ１の動作を図７に示すようなマイクロコンピュータ
のソフトウエアで実行することも可能である。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、目
標位置近傍で速度制御系から位置制御系に入った後に発
生していた振動を無くすことができる。さらには、位置
制御系のゲインを高く設定することによって整定時間を
短縮できる。そして、振動の防止や位置決め整定時の時
間短縮により、負荷（移動体）の移動時間を短縮するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる位置決め制御装置の一実施例を示
すブロック図である。

【図２】図１に示した実施例における移動体（負荷）の
位置と速度の関係を示す図である。

【図３】図２における移動体（負荷）の目標位置近傍で
の拡大図である。

【図４】図１に示した実施例における移動体（負荷）の
減速時における位置とと加速度の関係を示す図である。

【図５】図１に示した実施例で用いた減速時速度指令値
発生器を示すブロック図である。

【図６】本発明の他の実施例になる減速時速度指令値発
生器を示すブロック図である。

【図７】図１に示した実施例をソフト処理で実現した他
の実施例におけるコントロ−ラの処理フローを示す図で
ある。

【図８】本発明になる位置決め制御装置の他の実施例を
示すブロック図である。

【符号の説明】

１…コントローラ、２…移動パラメーター設定器、３…
切替え位置偏差設定器、５…目標位置指令入力器、６…
加速時速度指令値発生器、７…最高速度指令値発生器、
８…減速時速度指令値発生器、９…位置偏差比例ゲイン
乗算器、１０…加算器、１１…指令値選択器、１２…切
替え器、１３…加算器、１４…速度制御装置、１５…速
度アンプ、１６…モータ、１７…負荷、１８…エンコー
ダ、１９…速度演算器、２０…位置演算器、３１…乗算
器、３２…平方根演算器、３３…シフト量演算器、３４
…加算器、４１…ソフトスライディングゲイン乗算器、
９１…減速時速度指令値発生器、９２…指令値選択器、
９３…切替え位置偏差設定器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 薮野 光平 茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番 日立 テクノエンジニアリング株式会社 開発 研究所内 (72)発明者 平井 明 茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番 日立 テクノエンジニアリング株式会社 開発 研究所内 (72)発明者 鈴木 北海 茨城県竜ヶ崎市向陽台５丁目２番 日立 テクノエンジニアリング株式会社 開発 研究所内 (56)参考文献 特開 平３−70008（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−183719（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−17807（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−46504（ＪＰ，Ａ)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】速度制御系の減速指令から位置制御系の位
   置偏差比例速度指令に切り替えて移動体の位置制御を行
   なう移動体の速度制御方法において、 位置偏差をｅ、等減速運動の減速度をａ、位置制御系比
   例ゲインをｋｐとして、速度制御系の減速指令ｖを下式
   で与えることを特徴とする移動体の速度制御方法。 ｖ＝（２ａｅ）^１／２−ａ／（２ｋｐ）
2. 【請求項２】 請求項１において、速度制御系から位置制
   御系への切り替えは移動体位置制御の目標位置に対する
   位置偏差がａ／（２ｋｐ^２）の地点で行なうことを特徴
   とする移動体の速度制御方法。
3. 【請求項３】 速度制御系の減速指令から位置制御系の位
   置偏差比例速度指令に切り替えて移動体の位置制御を行
   なう移動体の速度制御装置において、 移動開始位置から目標位置まで移動する移動体の現在位
   置を検出する手段と、目標位置と現在位置の差である位
   置偏差を生成する手段と、位置偏差を基に減速時速度指
   令値を発生する手段と、位置偏差を基に位置偏差比例速
   度指令を発生する手段と、上記両発生手段が発生する減
   速度が一致する時点で減速時速度指令から位置偏差比例
   速度指令に切り替えを行なう手段を備え、上記位置偏差
   を基に減速時速度指令値を発生する手段は、位置偏差を
   ｅ、等減速運動の減速度をａ、位置制御系比例ゲインを
   ｋｐとして下式で表わされる減速時速度指令値ｖを発生
   するものであることを特徴とする移動体の速度制御装
   置。 ｖ＝（２ａｅ）^１／２−ａ／（２ｋｐ）
4. 【請求項４】 請求項３において、 上記切り替えを行なう手段は上記両発生手段が発生する
   減速度が一致する時点での目標位置からの位置偏差より
   目標位置と現在位置の差である位置偏差が小さくなった
   ことで減速時速度指令から位置偏差比例速度指令に切り
   替えを行なうことを特徴とする移動体の速度制御装置。