JP3486619B2 - ペリクル、ペリクルの製造方法およびペリクル用接着剤 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ペリクル、ペリク
ルの製造方法およびペリクル用接着剤に関し、特に、集
積回路の製造工程におけるフォトリソグラフィ工程で使
用されるマスク或いはレチクル（以下、単にマスク等と
いう）に塵埃等が付着するのを防止する目的で用いられ
るペリクル、ペリクルの製造方法およびペリクル用接着
剤に関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の線幅の微細化等が求められて
いることから、極めて短波長の露光光源を用いることが
望まれており、このような短波長の紫外線を用いた場合
には、セルロース等の従来のペリクル膜では劣化が激し
く、充分な耐久性を得ることができなかった。そのため
近年、フッ素系ポリマーからなるペリクル膜が使用され
ているが、フッ素系ポリマーは剥離性に優れているため
従来ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用いられて
いたエポキシ系接着剤では、実用的な接着力を得ること
ができなかった。また、エポキシ系接着剤では、短波長
の紫外線に対して充分な耐光性を有していなかった。

【０００３】このようなフッ素系ポリマーからなるペリ
クル膜の接着剤についての問題を解決するために、フッ
素系有機物からなるペリクル膜を同じフッ素系有機物か
らなる接着剤でペリクル枠に接着してなるペリクルも提
案されている（特開平６−６７４０９）。しかしなが
ら、この従来の接着剤では、フッ素系有機物を溶剤に溶
解した物を枠上に塗布した後、３時間風乾が必要であ
り、更に、膜と接着剤を接着させる際には１００℃以上
に加熱する必要がある。このため、接着工程に手間がか
かり、更に、熱をかけるため枠等の部材に歪みを生じさ
せる問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の主な
目的は、短波長の紫外線に対して充分な耐光性を備え、
且つ接着時に加熱の必要が無く、且つ充分な接着強度を
もつペリクル用接着剤ならびにそのような接着剤を用い
た接着層を備えるペリクルおよびペリクルの製造方法を
提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、フッ素
系ポリマーからなるペリクル膜とペリクル枠とを接着す
るペリクル用接着剤であって、下記一般式（１）、
（２）および（３）

【化１】

【化２】

【化３】 （但し、式中、Ｒ１、Ｒ４はそれぞれ独立に水素または
メチル基、Ｒ２、Ｒ３はそれぞれ独立に水素または水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｌ，ｍ，ｎはそれぞれ
１乃至８の整数である。）からなる群より選ばれる１種
以上の紫外線硬化型フッ素系モノマーと、フッ素系ポリ
マーであって、下記式（４）、（５）および（６）

【化４】 −Ｃ 2 Ｆ 4 − …（４）

【化５】 −Ｃ 3 Ｈ 6 − …（５）

【化６】 −Ｃ 2 Ｈ 2 Ｆ 2 − …（６） で表される構造単位からなる共重合体と、 を含むことを
特徴とするペリクル用接着剤が提供される。

【０００６】 また、本発明によれば、フッ素系ポリマ
ーからなるペリクル膜と前記ペリクル膜を支持するペリ
クル枠とを備えるペリクルであって、前記ペリクル膜
が、上記接着剤を用いて前記ペリクル枠に接着されてい
ることを特徴とするペリクルが提供される。

【０００７】 また、本発明によれば、フッ素系ポリマ
ーからなるペリクル膜と前記ペリクル膜を支持するペリ
クル枠とを備えるペリクルの製造方法であって、前記ペ
リクル膜を、上記接着剤を用いて前記ペリクル枠に接着
する工程を備えることを特徴とするペリクルの製造方法
提供される。

【０００８】ペリクル膜をペリクル枠に接着する接着剤
として紫外線硬化型フッ素系モノマーを含むものを用い
ることにより、紫外線を照射してフッ素系接着剤を重合
硬化させて、ペリクル膜をペリクル枠に接着することが
可能となるため、工程を簡略化でき、接着時の加熱の必
要もなくなり、ペリクル膜にダメージを与えることも有
効に防止できるようになる。また、接着剤中には、紫外
線硬化型フッ素系モノマーのみならず、フッ素系ポリマ
ーも含まれているので、接着剤の接着強度をさらに向上
させることができる。また、ペリクル膜をペリクル枠に
接着する接着層として、フッ素系ポリマーと紫外線硬化
型フッ素系モノマーを硬化させたものを含んでおり、短
波長の紫外線に対して耐光性を備えている。

【０００９】上記接着剤で接着されるペリクル膜はフッ
素系ポリマーから成ることが好ましい。フッ素系ポリマ
ーから成るペリクル膜をペリクル枠に接着するのに、フ
ッ素系ポリマーと紫外線硬化型フッ素系モノマーとを含
む上記接着剤を使用すれば、フッ素系ポリマーから成る
ペリクル膜の接着性を向上させることが可能となるので
ある。

【００１０】

【００１１】接着剤に用いるフッ素系ポリマーの好まし
い分子量は、極限粘度［η］＝０．２０〜０．８０（ｄ
ｌ／ｇ）となる分子量である。なお、［η］の測定条件
は、溶媒がＴＨＦ、温度は３０℃である。極限粘度
［η］が高すぎる(分子量が高い)場合、膜を張り付けた
とき接着剤の枠上での拡がりが悪くなり、外観が良く接
着することが困難になる。逆に、極限粘度［η］が低す
ぎる（分子量が低い）場合、硬化したあとの接着剤の強
度が低くなり、膜の張力により接着剤層が変形する。

【００１２】好ましくは、この共重合体のフッ素系ポリ
マーが、下記式（７）

【化１０】 −（Ｃ₂Ｆ₄）_a−（Ｃ₃Ｈ₆）_b−（Ｃ₂Ｈ₂Ｆ₂）_c− …（７） （ただし、ａ、ｂ、ｃは、それぞれ正の整数である）で
表されるフッ素ポリマーであり、さらにより好ましく
は、１，１−ジフルオロエチレン・テトラフルオロエチ
レン・プロピレン共重合物であり、［η］＝０．３０〜
０．４５（ｄｌ／ｇ）である。

【００１３】ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用
いる接着剤に好ましく含まれる紫外線硬化型フッ素系モ
ノマーとしては、フッ素系モノマーの（メタ）アクリル
酸エステルや水酸基を含有するフッ素系モノマーである
ことが望ましく、下記一般式（１）、（２）および
（３）

【化１１】

【化１２】

【化１３】 （但し、式中、Ｒ^１、Ｒ^４はそれぞれ独立に水素または
メチル基、Ｒ^２、Ｒ^３はそれぞれ独立に水素または水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｌ，ｍ，ｎはそれぞれ
１乃至８の整数である。）からなる群より選ばれる１種
以上のモノマーを好適に使用することができる。

【００１４】接着剤に好ましく含まれるフッ素系ポリマ
ーと紫外線硬化型フッ素系モノマーとの好ましい割合
は、上記一般式（２）で表される、モノアクリレートフ
ッ素系モノマーの場合は、フッ素系ポリマー：紫外線硬
化型フッ素系モノマー＝１：０．２５〜０．５（重量
比）であり、上記一般式（３）、（４）で表される、ジ
アクリレートフッ素系モノマーの場合は、フッ素系ポリ
マー：紫外線硬化型フッ素系モノマー＝１：０．２５〜
３（重量比）である。フッ素系モノマーが多すぎると、
接着強度が低くなり、逆に少なすぎると、膜を張り付け
たとき接着剤の枠上での拡がりが悪くなり、外観が良く
接着することが困難になる。

【００１５】ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用
いる接着剤に好ましく含まれる紫外線硬化型フッ素系モ
ノマーのうち、下記一般式（１）

【化１４】 （但し、式中、Ｒ^１は水素またはメチル基、Ｒ^２は水素
または水酸基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｌは整数で
ある。）で表される紫外線硬化型フッ素系モノマーにお
いては、好ましくは、ｌは１〜８の整数である。また、
フッ素含有基Ｒｆとしては、好ましくは、−（ＣＦ_２）
ＣＦ_３，−（ＣＦ_２）_７ＣＦ_３，−（ＣＦ _２）_３Ｃ
Ｆ_３，−（ＣＦ_２）_２ＣＦ（ＣＦ_３）_２，−（ＣＦ_３）
_２，−（ＣＦ_２）_３ＣＦ_２Ｈ，−（ＣＦ_２）_９ＣＦ_３，
−（ＣＦ_２）_８ＣＦ（ＣＦ_３）_２等を挙げることがで
き、具体的には、下記のフッ素系モノマーを例示でき
る。

【００１６】

【化１５】

【００１７】

【化１６】

【００１８】

【化１７】

【００１９】

【化１８】

【００２０】

【化１９】

【００２１】

【化２０】

【００２２】

【化２１】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₉ＣＦ₃

【００２３】

【化２２】

【００２４】

【化２３】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂（ＣＦ₂）₄ＣＨ₂ＯＨ

【００２５】

【化２４】

【００２６】

【化２５】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−（ＣＨ₂）₆−（ＣＦ₂）₅ＣＦ₃

【００２７】

【化２６】

【００２８】

【化２７】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₅ＣＦ₂Ｈ

【００２９】

【化２８】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−（ＣＨ₂）₆（ＣＦ₂）₃ＣＦ₃

【００３０】

【化２９】

【００３１】ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用
いる接着剤に好ましく含まれる紫外線硬化型フッ素系モ
ノマーのうち、下記一般式（２）

【化３０】 （但し、式中、Ｒ^１、Ｒ^４はそれぞれ独立に水素または
メチル基、Ｒ^２、Ｒ^３はそれぞれ独立に水素または水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｍ、ｎは整数であ
る。）で表される紫外線硬化型フッ素系モノマーにおい
ては、好ましくは、ｍは１〜８の整数であり、ｎは１〜
８の整数である。また、フッ素含有基Ｒｆとしては、好
ましくは、−ＣＦ_２−，−（ＣＦ_２）_２−，−（Ｃ
Ｆ_２）_４−，−（ＣＦ_２）_６−，−（ＣＦ_２）_８−，−
ＣＦＣＦ_３−，−（ＣＦ_２）_２ＣＦＣＦ_３−，−（ＣＦ
_２）_４ＣＦＣＦ_３−，−（ＣＦ_２）_６ＣＦＣＦ_３−等を
挙げることができ、具体的には、下記のフッ素系モノマ
ーを例示できる。

【００３２】

【化３１】ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₂−
ＣＨ₂−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂

【００３３】

【化３２】ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₄−
ＣＨ₂−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂

【００３４】

【化３３】ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₆−
ＣＨ₂−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂

【００３５】

【化３４】ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ₂−（ＣＦ₂）₈−
ＣＨ₂−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂

【００３６】

【化３５】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−（ＣＨ₂）_n−（ＣＦ₂）₄−（ＣＨ
₂）_m−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂
（ｎ，ｍは１〜３）

【００３７】

【化３６】 ＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯ₂−（ＣＨ₂）_n−（ＣＦ₂）₄
−（ＣＨ₂）_m−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂
（ｎ，ｍは１〜３）

【００３８】

【化３７】 ＣＨ₂＝Ｃ（ＣＨ₃）−ＣＯ₂−（ＣＨ₂）_n−（ＣＦ₂）₄
−（ＣＨ₂）_m−ＣＯ₂−Ｃ（ＣＨ₃）＝ＣＨ₂
（ｎ，ｍは１〜３）

【００３９】

【化３８】 ＣＨ₂＝ＣＨ−ＣＯ₂−ＣＨ（ＯＨ）−（ＣＦ₂）₄−（Ｃ
Ｈ）_n−ＣＯ₂−ＣＨ＝ＣＨ₂
（ｎは１〜３）

【００４０】ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用
いる接着剤に好ましく含まれる紫外線硬化型フッ素系モ
ノマーのうち、下記一般式（３）

【化３９】 （但し、式中、Ｒ^１、Ｒ^４はそれぞれ独立に水素または
メチル基、Ｒ^２、Ｒ^３はそれぞれ独立に水素または水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｍ，ｎは整数であ
る。）で表される紫外線硬化型フッ素系モノマーにおい
ては、好ましくは、ｍは１〜８の整数であり、ｎは１〜
８の整数である。また、フッ素含有基Ｒｆとしては、好
ましくは、−（ＣＦ_２）ＣＦ_３，−（ＣＦ_２）_７Ｃ
Ｆ_３，−（ＣＦ_２） _３ＣＦ_３，−（ＣＦ_２）_２ＣＦ（Ｃ
Ｆ_３）_２，−（ＣＦ_３）_２，−（ＣＦ_２）_３ＣＦ_２Ｈ，
−（ＣＦ_２）_９ＣＦ_３，−（ＣＦ_２）_８ＣＦ（ＣＦ_３）
_２等を挙げることができ、具体的には、下記のフッ素系
モノマーを例示できる。

【００４１】

【化４０】

【００４２】

【化４１】

【００４３】

【化４２】

【００４４】

【化４３】

【００４５】

【化４４】

【００４６】ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用
いる接着剤には、前述したフッ素系ポリマーと紫外線硬
化型フッ素系モノマーに加えて、光開始剤や増感剤を併
用することもでき、これにより紫外線による重合硬化を
迅速に行うことができると共に、重合度を高めることに
よって接着強度を向上させることも可能となる。

【００４７】光開始剤としては、好ましくは、２．２ジ
エトキシアセトフェノン、ダロキュア１１７３（Ciba S
pecialty Chemicals K.K 製）、イルガキュア３６９（C
ibaSpecialty Chemicals K.K 製）、イルガキュア８１
９（Ciba Specialty Chemicals K.K 製）、イルガキュ
ア１７００（Ciba Specialty Chemicals K.K 製）、イ
ルガキュア１８５０（Ciba Specialty Chemicals K.K
製）、イルガキュア１８４（Ciba Specialty Chemicals
K.K 製）が用いられる。

【００４８】増感剤としては、ベンゾイン、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルを好
適に使用することができる。

【００４９】（ペリクル膜）ペリクルに用いるペリクル
膜は、好ましくは、フッ素系ポリマーから成るものであ
り、具体的には、旭硝子（株）製のフッ素ポリマー（商
品名：ＣＹＴＯＰ）や、デユポン社製のフッ素ポリマー
（商品名：テフロン（登録商標）ＡＦ）等を例示するこ
とができる。

【００５０】このフッ素系ポリマーから成るペリクル膜
の製造は、上記フッ素系重合体をフッ素系溶媒、特にパ
ーフルオロ系の有機溶媒、例えば、パーフルオロ（２−
ブチルテトラヒドロフラン）、パーフルオロ（２−プロ
ピルテトラヒドロピラン）、パーフルオロヒドロフラ
ン、パーフルオロオクタン等を用いて０．１乃至２０重
量％、特に０．３乃至１０重量％の濃度に溶解した後、
それ自体公知の流延製膜法、例えばスピンコート法、ナ
イフコート法等により行うことができ、一般にガラス板
等の平滑な基体表面に樹脂溶液を流延させて薄膜を形成
させ、熱風や赤外線照射等の手段によって乾燥させて残
存溶媒を除去するのがよい。形成される薄膜の厚みは溶
液粘度や基板の回転速度などを変化させることにより容
易に変化させることができ、一般に０．０５乃至１０μ
ｍの範囲で用いる光源の波長に対する透過率が高くなる
ように設定するのがよい。

【００５１】また、ペリクル膜自体がフッ素系ポリマー
から成るものの他、ニトロセルロース等の従来公知のペ
リクル膜材料から成る薄膜にフッ素系ポリマーから成る
反射防止層を積層したペリクル膜も好適に使用すること
ができる。この場合にも、接着剤に接触する部分がフッ
素系ポリマーから成る反射防止層であっても、フッ素系
ポリマーと紫外線硬化型フッ素系モノマーとを備える上
記接着剤は優れた接着性を示し、フッ素系ポリマーから
成るペリクル膜を接着する場合と同様の効果を得ること
ができる。

【００５２】（ペリクル枠）ペリクル枠としては、従来
公知のものをすべて使用することができ、アルミニウ
ム、アルミニウム合金、ステンレススチール等の金属製
のものや、合成樹脂製、或いはセラミック製のものを好
ましく使用することができる。また、本発明のペリクル
は、ペリクル枠の一方の側に前述した接着剤を介してペ
リクル膜が張設され、他方の側に粘着剤を塗布するか、
或いは両面テープを貼着する等してマスク等の上に取り
付け可能となる。

【００５３】

【実施例】（実施例１） （ペリクル膜の作成）環状パーフルオロエーテル基を有
する完全フッ素化物フッ素系樹脂であるサイトップ（旭
硝子（株）製商品名）をフッ素系溶剤のＩＬ−２６３
（ペルフルオロトリアルキルアミン（化学式：Ｃ_ｎＦ
_２ｎ＋１）_３Ｎ）（トクヤマ（株）製商品名）に溶解し
て６ｗｔ％の溶液を調整し、スピンコート法で膜厚０．
８μｍの薄膜を作成した。

【００５４】（接着剤の調整）１，１−ジフルオロエチ
レン・テトラフルオロエチレン・プロピレン共重合物
（旭硝子（株）製）（極限粘度：［η］＝０．３０〜
０．４５（ｄｌ／ｇ））に酢酸ブチル、２−（パーフル
オロオクチル）エチルアクリレート（Ｒ−１８２０：ダ
イキンファインケミカル研究所（株）製商品名）を加え
溶解させる。その後、光開始剤としてダロキュア１１７
３（Ciba Specialty Chemicals K.K 製）、イルガキュ
ア３６９（Ciba Specialty Chemicals K.K 製）、２．
２ジエトキシアセトフェノン（和光純薬（株）製）を加
えて調整した。組成については、表１を参照のこと。

【００５５】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、外径２．０ｍｍφ／内径１．０ｍ
ｍφの塗布針から１６ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了６０ｓｅｃ後、作成したペリ
クル膜を貼り付けた後、ＵＶ照射装置（東芝ライテック
（株）製；Ｍ２０００Ｌ／８１Ｎ（８０Ｗ／ｃｍ）：ス
ペクトルレンジ２２０〜６００ｎｍ）で９０ｓｅｃ照射
し接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠の外側の余分
な膜をカッターで切断しペリクルを作成した。

【００５６】（ペリクル膜の接着強度、外観評価、耐光
性評価）外径１．０ｍｍφ／内径０．６５ｍｍφの針を
用い、薄膜表面の上から距離１０ｍｍ、角度６５゜、圧
力０．２ＭＰａのエアーを約２ｍｍ／ｓｅｃの速度で薄
膜が接着しているペリクル枠の内側に沿って吹き付け評
価（外ブロー評価）を行った。同様に、薄膜裏面の下か
ら距離１０ｍｍ、角度４５゜、圧力０．２ＭＰａのエア
ーを約２ｍｍ／ｓｅｃの速度で薄膜が接着しているペリ
クル枠の内側に沿って吹き付け評価（内ブロー評価）を
行った。また、外観を蛍光灯下及び顕微鏡で観察し評価
した。さらに、ＡｒＦレーザ（波長１９３ｎｍ，１（ｍ
Ｊ／ｃｍ^２）／ｐｕｌｓｅ，５００Ｈｚ）を、接着面に
３０００Ｊ照射し、耐光性評価した。これらの結果を、
表１に示す。

【００５７】

【表１】

【００５８】表１の結果から、前記の接着剤により、ペ
リクル枠に接着剤塗布後、紫外線を照射することで枠と
膜を強力に素早く、且つ外観もきれいに接着できたこと
がわかる。また、耐光性もよいことがわかる。

【００５９】なお、表１の「外観評価」で、「膜面引き
つり問題無」は、使用上問題にならない軽微な引きつり
が外観上観察される場合をいう。「膜面引きつり問題
無」という評価が記載されていないものは、全く引きつ
りが認められないものである。「膜面に異常なし」は、
膜の変色等の異常がないということで、膜自体に影響が
あったかどうかの評価である。このことは、表２以下の
表においても同じである。

【００６０】また、以下の実施例および比較例において
も、ペリクル膜の作成、ペリクル膜の接着強度、外観評
価については、この実施例１と同様に行ったので、以下
の実施例、比較例においては、これらの項目に関する詳
細は省略する。

【００６１】（実施例２） （接着剤の調整）１，１−ジフルオロエチレン・テトラ
フルオロエチレン・プロピレン共重合物（旭硝子（株）
製）に酢酸ブチル、１Ｈ,１Ｈ,５Ｈオクタフルオロペン
チルアクリレート（Ｒ−５４１０：ダイキンファインケ
ミカル研究所（株）製商品名）を加え溶解させる。その
後、光開始剤としてダロキュア１１７３（Ciba Special
tyChemicals K.K 製）、イルガキュア３６９（Ciba Spe
cialty Chemicals K.K 製）、２．２ジエトキシアセト
フェノン（和光純薬（株）製）を加えて調整した。組成
については、表２を参照のこと。

【００６２】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ)に、外径２．０ｍｍφ／内径１．０ｍ
ｍφの塗布針から１６ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了６０ｓｅｃ後、作成したペリ
クル膜を貼り付けた後、ＵＶ照射装置（東芝ライテック
（株）製；Ｍ２０００Ｌ／８１Ｎ（８０Ｗ／ｃｍ）：ス
ペクトルレンジ２２０〜６００ｎｍ）で９０ｓｅｃ照射
し接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠の外側の余分
な膜をカッターで切断しペリクルを作成した。

【００６３】（ペリクル膜の接着強度、外観評価、耐光
性評価）前記接着剤の評価結果を、表２に示す。

【００６４】

【表２】

【００６５】表２の結果から、前記の接着剤により、ペ
リクル枠に接着剤塗布後、紫外線を照射することで枠と
膜を強力に素早く、且つ外観もきれいに接着できたこと
がわかる。

【００６６】（実施例３） （接着剤の調整）２，２，３，３，４，４，５，５−オ
クタフルオロヘキサン−１，６ジオール（Ａ−７４１
２：ダイキンファインケミカル研究所（株）製商品名）
をエステル化し２，２，３，３，４，４，５，５−オク
タフルオロヘキサン−１，６ジアクリレート（以下ＤＲ
７４１２と呼ぶ）を合成した。その後、１，１−ジフル
オロエチレン・テトラフルオロエチレン・プロピレン共
重合物（旭硝子（株）製）に酢酸エチル、合成したＤＲ７
４１２を加え溶解させる。その後、光開始剤としてダロ
キュア１１７３（Ciba Specialty Chemicals K.K
製）、イルガキュア３６９（Ciba Specialty Chemicals
K.K 製）、２．２ジエトキシアセトフェノン（和光純
薬（株）製）を加えて調整した。組成については、表３
を参照のこと。

【００６７】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、外径２．０ｍｍφ／内径１．０ｍ
ｍφの塗布針から１６ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了６０ｓｅｃ後、作成したペリ
クル膜を貼り付けた後、ＵＶ照射装置（東芝ライテック
（株）製；Ｍ２０００Ｌ／８１Ｎ（８０Ｗ／ｃｍ）：ス
ペクトルレンジ２２０〜６００ｎｍ）で９０ｓｅｃ照射
し接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠の外側の余分
な膜をカッターで切断しペリクルを作成した。

【００６８】（ペリクル膜の接着強度、外観評価、耐光
性評価）前記接着剤の評価結果を、表３に示す。

【００６９】

【表３】

【００７０】表３の結果から、前記の接着剤により、ペ
リクル枠に接着剤塗布後、紫外線を照射することで枠と
膜を強力に素早く、且つ外観もきれいに接着できたこと
がわかる。

【００７１】（比較例１） （接着剤の調整）フッ素系モノマーではない紫外線硬化
型接着剤である３０８３（（株）スリーボンド製商品
名）に、溶媒として酢酸ブチルを加えて調整した。組成
は、表４参照のこと。

【００７２】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、外径０．７ｍｍφ／内径０．３ｍ
ｍφの塗布針から３０ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了６０ｓｅｃ後、作成したペリ
クル膜を貼り付けた後、ＵＶ照射装置（東芝ライテック
（株）製；Ｍ２０００Ｌ／８１Ｎ（８０Ｗ／ｃｍ）：ス
ペクトルレンジ２２０〜６００ｎｍ）で７０ｓｅｃ照射
し接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠の外側の余分
な膜をカッターで切断しペリクルを作成した。

【００７３】（ペリクル膜の接着強度、外観評価、耐光
性評価）前記接着剤の評価結果を、表４に示す。

【００７４】

【表４】

【００７５】表４の結果から、前記の接着剤では、外観
良く素早く接着できたが、十分な接着強度を得ることは
出来なかったことがわかる。また、耐光性に問題がある
ことがわかる。

【００７６】（比較例２） （接着剤）スリーボンド３０１３Ｃ（（株）スリーボン
ド製商品名）を用いてペリクルを作成した。

【００７７】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、外径０．７ｍｍφ／内径０．３ｍ
ｍφの塗布針から３０ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了６０ｓｅｃ後、作成したペリ
クル膜を貼り付けた後、ＵＶ照射装置（東芝ライテック
（株）製；Ｍ２０００Ｌ／８１Ｎ（８０Ｗ／ｃｍ）：ス
ペクトルレンジ２２０〜６００ｎｍ）で９０ｓｅｃ照射
し、その後、１２０℃の熱風乾燥器で１０ｍｉｎ加熱し
硬化させた。続いて、ペリクル枠の外側の余分な膜をカ
ッターで切断しペリクルを作成した。

【００７８】（ペリクル膜の接着強度、外観評価、耐光
性評価）前記接着剤の評価結果を、表５に示す。

【００７９】

【表５】

【００８０】表５の結果から、前記の接着剤では、接着
するためには高い温度かける必要があるため、膜にダメ
ージを与える結果となった。更に、十分な接着強度を得
ることは出来なかった。また、耐光性に問題があること
がわかった。

【００８１】（比較例３） （接着剤の調整）サイトップＣＴＸ Ａタイプ（旭硝子
（株）製商品名）を、溶媒ＣＴｓｏｌｖ１６０（ペルフ
ルオロトリアルキルアミン（化学式：Ｃ_ｎＦ_２ｎ＋１）
_３Ｎ）（旭硝子（株）製商品名）に溶解し、９ｗｔ％濃
度に調整した。

【００８２】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、外径２．０ｍｍφ／内径１．０ｍ
ｍφの塗布針から１６ｓｅｃ／５滴の吐出量のもと、２
０ｍｍ／ｓｅｃの塗布速度でペリクル枠の接着面上に接
着剤を塗布した。塗布終了３時間風乾させた後、１３０
℃のホットプレート上に、このアルミニウム枠を接着剤
塗布面が上になるように載せ、５分後に作成した膜を接
着剤塗布面に載せて接着した。続いてペリクル枠の外側
の余分な膜をカッターで切断しペリクルを作成した。

【００８３】（ペリクル膜の接着強度、外観評価）前記
接着剤の評価結果を、表６に示す。

【００８４】

【表６】

【００８５】表６の結果から、前記の接着剤では、接着
するためには高い温度かける必要があるため、膜にダメ
ージを与える結果となったことがわかる。更に、ペリク
ルを作成するために多くの時間と作業を必要とした。

【００８６】

【発明の効果】本発明によれば、短波長の紫外線に対し
て充分な耐光性を備え、且つ接着時に加熱の必要のない
接着層を備えるペリクル、ペリクルの製造方法およびペ
リクル用接着剤が提供される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−248807（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−28772（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−163182（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−148871（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−56325（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 1/14 H01L 21/027 - 21/033 C09J 4/00 - 4/06

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フッ素系ポリマーからなるペリクル膜とペ
   リクル枠とを接着するペリクル用接着剤であって、 下記一般式（１）、（２）および（３） 【化１】 【化２】 【化３】 （但し、式中、Ｒ１、Ｒ４はそれぞれ独立に水素または
   メチル基、Ｒ２、Ｒ３はそれぞれ独立に水素または水酸
   基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｌ，ｍ，ｎはそれぞれ
   １乃至８の整数である。）からなる群より選ばれる１種
   以上の紫外線硬化型フッ素系モノマーと、フッ素系ポリ
   マーであって、下記式（４）、（５）および（６） 【化４】 −Ｃ 2 Ｆ 4 − …（４） 【化５】 −Ｃ 3 Ｈ 6 − …（５） 【化６】 −Ｃ 2 Ｈ 2 Ｆ 2 − …（６） で表される構造単位からなる共重合体と、 を含むことを
   特徴とするペリクル用接着剤。
2. 【請求項２】フッ素系ポリマーからなるペリクル膜と前
   記ペリクル膜を支持するペリクル枠とを備えるペリクル
   であって、前記ペリクル膜が、請求項１記載の接着剤を
   用いて前記ペリクル枠に接着されていることを特徴とす
   るペリクル。
3. 【請求項３】フッ素系ポリマーからなるペリクル膜と前
   記ペリクル膜を支持するペリクル枠とを備えるペリクル
   の製造方法であって、 前記ペリクル膜を、請求項１記載の接着剤を用いて前記
   ペリクル枠に接着する工程を備えることを特徴とするペ
   リクルの製造方法。