JP2001356473A - ペリクル - Google Patents
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- adhesive
- film
- ultraviolet
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フッ素系材料から成るペリクル膜をフッ素系
接着剤でペリクル枠に接着するに際し、フッ素モノマー
のまま塗工できる紫外線硬化型フッ素系接着剤を用いた
ペリクルを提供することにある。 【解決手段】 フッ素系材料から成るペリクル膜とペリ
クル膜を支持するペリクル枠から成るペリクルにおい
て、該ペリクル膜が紫外線硬化型フッ素系接着剤を介し
てペリクル枠に接着されていることを特徴とするペリク
ル。
接着剤でペリクル枠に接着するに際し、フッ素モノマー
のまま塗工できる紫外線硬化型フッ素系接着剤を用いた
ペリクルを提供することにある。 【解決手段】 フッ素系材料から成るペリクル膜とペリ
クル膜を支持するペリクル枠から成るペリクルにおい
て、該ペリクル膜が紫外線硬化型フッ素系接着剤を介し
てペリクル枠に接着されていることを特徴とするペリク
ル。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、集積回路の製造工
程におけるフォトリソグラフィ工程で使用されるマスク
或いはレチクル（以下、単にマスク等という）に塵埃等
が付着するのを防止する目的で用いられるペリクルに関
し、より詳細には、フッ素系材料から成るペリクル膜が
紫外線硬化型フッ素系接着剤を介してペリクル枠に接着
されているペリクルに関する。
程におけるフォトリソグラフィ工程で使用されるマスク
或いはレチクル（以下、単にマスク等という）に塵埃等
が付着するのを防止する目的で用いられるペリクルに関
し、より詳細には、フッ素系材料から成るペリクル膜が
紫外線硬化型フッ素系接着剤を介してペリクル枠に接着
されているペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ペリクル膜としては主として光を
よく透過するニトロセルロースや、酢酸セルロース等か
ら成るものが採用されており、このペリクル膜をアルミ
ニウム、ステンレス等から成るペリクル枠に固定するた
めに、エポキシ系の接着剤等が用いられていた。しかし
ながら、集積回路の線幅の微細化等が求められているこ
とから、極めて短波長の露光光源を用いることが望まれ
ており、このような短波長の紫外線を用いた場合には、
セルロース等の従来のペリクル膜では劣化が激しく、充
分な耐久性を得ることができなかった。そのため近年、
フッ素系材料から成るペリクル膜が使用されているが、
フッ素系ポリマーは離型性に優れているため、従来ペリ
クル膜をペリクル枠に接着するのに用いられていたエポ
キシ系等の接着剤では、実用的な接着力を得ることがで
きなかった。また、エポキシ系接着剤では、短波長の紫
外線に対して充分な耐光性を有していなかった。
よく透過するニトロセルロースや、酢酸セルロース等か
ら成るものが採用されており、このペリクル膜をアルミ
ニウム、ステンレス等から成るペリクル枠に固定するた
めに、エポキシ系の接着剤等が用いられていた。しかし
ながら、集積回路の線幅の微細化等が求められているこ
とから、極めて短波長の露光光源を用いることが望まれ
ており、このような短波長の紫外線を用いた場合には、
セルロース等の従来のペリクル膜では劣化が激しく、充
分な耐久性を得ることができなかった。そのため近年、
フッ素系材料から成るペリクル膜が使用されているが、
フッ素系ポリマーは離型性に優れているため、従来ペリ
クル膜をペリクル枠に接着するのに用いられていたエポ
キシ系等の接着剤では、実用的な接着力を得ることがで
きなかった。また、エポキシ系接着剤では、短波長の紫
外線に対して充分な耐光性を有していなかった。
【０００３】このようなフッ素系材料から成るペリクル
膜の接着剤についての問題を解決するために、フッ素系
有機物からなるペリクル膜をフッ素系有機物から成る接
着剤でペリクル枠に接着してなるペリクルも提案されて
いる（特開平６−６７４０９号公報）。
膜の接着剤についての問題を解決するために、フッ素系
有機物からなるペリクル膜をフッ素系有機物から成る接
着剤でペリクル枠に接着してなるペリクルも提案されて
いる（特開平６−６７４０９号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記ペリクルはペリク
ル膜及び接着剤が同種のフッ素系有機物から成るもので
あるため、満足し得る接着強度を得ることができるもの
であるが、この従来技術に開示されている接着剤では、
接着剤の溶媒がペリクル膜を溶かしてしまうため、接着
の際に色ムラ、ひきつり等を生じたり、また溶媒を除去
するためには加熱する必要がある。更に、予めフッ素系
重合体を溶剤に溶解して、接着剤溶液を調製することが
必要でありフッ素系モノマーをその状態にかかわらず、
そのままペリクル枠に施すことができれば、モノマーの
まま塗工できると共に、溶媒及び接着剤の調製工程が省
略できるので望ましい。従って、本発明の目的は、フッ
素系材料から成るペリクル膜をフッ素系接着剤でペリク
ル枠に接着するに際し、フッ素モノマーのまま塗工でき
る紫外線硬化型フッ素系接着剤を用いたペリクルを提供
することにある。
ル膜及び接着剤が同種のフッ素系有機物から成るもので
あるため、満足し得る接着強度を得ることができるもの
であるが、この従来技術に開示されている接着剤では、
接着剤の溶媒がペリクル膜を溶かしてしまうため、接着
の際に色ムラ、ひきつり等を生じたり、また溶媒を除去
するためには加熱する必要がある。更に、予めフッ素系
重合体を溶剤に溶解して、接着剤溶液を調製することが
必要でありフッ素系モノマーをその状態にかかわらず、
そのままペリクル枠に施すことができれば、モノマーの
まま塗工できると共に、溶媒及び接着剤の調製工程が省
略できるので望ましい。従って、本発明の目的は、フッ
素系材料から成るペリクル膜をフッ素系接着剤でペリク
ル枠に接着するに際し、フッ素モノマーのまま塗工でき
る紫外線硬化型フッ素系接着剤を用いたペリクルを提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、フッ素
系材料から成るペリクル膜とペリクル膜を支持するペリ
クル枠から成るペリクルにおいて、該ペリクル膜が紫外
線硬化型フッ素系接着剤を介してペリクル枠に接着され
ていることを特徴とするペリクルが提供される。本発明
においては、紫外線硬化型フッ素系接着剤が
系材料から成るペリクル膜とペリクル膜を支持するペリ
クル枠から成るペリクルにおいて、該ペリクル膜が紫外
線硬化型フッ素系接着剤を介してペリクル枠に接着され
ていることを特徴とするペリクルが提供される。本発明
においては、紫外線硬化型フッ素系接着剤が
【化２】 式中、Ｒ１は水素又はメチル基、Ｒ２は水素又は水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｎは１〜６の整数で表
されるフッ素系モノマーから成ることが好ましい。
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｎは１〜６の整数で表
されるフッ素系モノマーから成ることが好ましい。
【０００６】
【発明の実施形態】本発明のペリクルにおいては、フッ
素系材料から成るペリクル膜を紫外線硬化型フッ素系接
着剤を用いてペリクル枠に接着することが重要な特徴で
ある。すなわち、フッ素系材料から成るペリクル膜をペ
リクル枠に接着する接着剤として、同種の紫外線硬化型
のフッ素系モノマーを用いることにより、両者の間の接
着性を向上させることが可能になると共に、紫外線を照
射することによりフッ素系接着剤を重合硬化させて、ペ
リクル膜をペリクル枠に接着することが可能となるた
め、工程を簡略化することやペリクル膜にダメージを与
えることも有効に防止できるのである。本発明において
は、フッ素系モノマーは液体のままの状態でペリクル枠
に施すことができるので、溶媒に溶解すること等予め接
着剤組成物を調製する必要がなく、簡略化された工程で
接着作業を行うことができると共に、硬化工程で溶媒が
揮散することによるペリクル膜の劣化等も防止できると
いう、従来技術からは予想外の作用効果を得ることが可
能となったのである。
素系材料から成るペリクル膜を紫外線硬化型フッ素系接
着剤を用いてペリクル枠に接着することが重要な特徴で
ある。すなわち、フッ素系材料から成るペリクル膜をペ
リクル枠に接着する接着剤として、同種の紫外線硬化型
のフッ素系モノマーを用いることにより、両者の間の接
着性を向上させることが可能になると共に、紫外線を照
射することによりフッ素系接着剤を重合硬化させて、ペ
リクル膜をペリクル枠に接着することが可能となるた
め、工程を簡略化することやペリクル膜にダメージを与
えることも有効に防止できるのである。本発明において
は、フッ素系モノマーは液体のままの状態でペリクル枠
に施すことができるので、溶媒に溶解すること等予め接
着剤組成物を調製する必要がなく、簡略化された工程で
接着作業を行うことができると共に、硬化工程で溶媒が
揮散することによるペリクル膜の劣化等も防止できると
いう、従来技術からは予想外の作用効果を得ることが可
能となったのである。
【０００７】（紫外線硬化型フッ素系モノマー）本発明
において、ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用い
る紫外線硬化型フッ素系接着剤としては、フッ素系モノ
マーの（メタ）アクリル酸エステルや水酸基を含有する
フッ素系モノマーであることが望ましく、勿論これに限
定されないが、下記一般式（１）で表されるフッ素系モ
ノマーを好適に使用することができる。
において、ペリクル膜をペリクル枠に接着するのに用い
る紫外線硬化型フッ素系接着剤としては、フッ素系モノ
マーの（メタ）アクリル酸エステルや水酸基を含有する
フッ素系モノマーであることが望ましく、勿論これに限
定されないが、下記一般式（１）で表されるフッ素系モ
ノマーを好適に使用することができる。
【０００８】
【化３】 式中、Ｒ１は水素又はメチル基、Ｒ２は水素又は水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｎは１〜６の整数
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｎは１〜６の整数
【０００９】上記紫外線硬化型フッ素系モノマーにおい
て、フッ素含有基Ｒｆとしては、勿論これに限定されな
いが、−（ＣＦ２）ＣＦ３， −（ＣＦ２）７ＣＦ３，
−（ＣＦ２）３ＣＦ３，−（ＣＦ２）２ＣＦ（ＣＦ３）
２，−（ＣＦ３）２，−（ＣＦ２）３ＣＦ２Ｈ，−（Ｃ
Ｆ２）９ＣＦ３，−（ＣＦ２）８ＣＦ（ＣＦ３）２等を
挙げることができ、具体的には、下記のフッ素系モノマ
ーを例示できる。
て、フッ素含有基Ｒｆとしては、勿論これに限定されな
いが、−（ＣＦ２）ＣＦ３， −（ＣＦ２）７ＣＦ３，
−（ＣＦ２）３ＣＦ３，−（ＣＦ２）２ＣＦ（ＣＦ３）
２，−（ＣＦ３）２，−（ＣＦ２）３ＣＦ２Ｈ，−（Ｃ
Ｆ２）９ＣＦ３，−（ＣＦ２）８ＣＦ（ＣＦ３）２等を
挙げることができ、具体的には、下記のフッ素系モノマ
ーを例示できる。
【００１０】
【化４】
【００１１】
【化５】
【００１２】
【化６】
【００１３】
【化７】
【００１４】
【化８】
【００１５】
【化９】
【００１６】
【化１０】ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ２−ＣＨ２−ＣＨ２−
（ＣＦ２）９ＣＦ３
（ＣＦ２）９ＣＦ３
【００１７】
【化１１】
【００１８】
【化１２】ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ２−ＣＨ２（ＣＦ２）４
ＣＨ２ＯＨ
ＣＨ２ＯＨ
【００１９】
【化１３】
【００２０】
【化１４】ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ２−（ＣＨ２）６−（Ｃ
Ｆ２）５ＣＦ３
Ｆ２）５ＣＦ３
【００２１】
【化１５】
【００２２】
【化１６】ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ２−ＣＨ２−（ＣＦ２）
５ＣＦ２Ｈ
５ＣＦ２Ｈ
【００２３】
【化１７】ＣＨ２＝ＣＨ−ＣＯ２−（ＣＨ２）６（ＣＦ
２）３ＣＦ３
２）３ＣＦ３
【００２４】
【化１８】
【００２５】また、紫外線硬化型接着剤としては、上記
フッ素系モノマー以外にも、下記のフッ素系モノマーを
好適に使用することができる。
フッ素系モノマー以外にも、下記のフッ素系モノマーを
好適に使用することができる。
【００２６】
【化１９】ＣＨ２＝ＣＨ（ＣＦ２）８ＣＨ＝ＣＨ２
【００２７】
【化２０】ＣＨ２＝ＣＨ（ＣＦ２）８ＣＨ＝ＣＨ２
【００２８】
【化２１】ＣＨ２＝ＣＨ（ＣＦ２）４ＣＨ＝ＣＨ２
【００２９】
【化２２】ＣＨ２＝ＣＨ（ＣＦ２）７ＣＦ３
【００３０】
【化２３】ＣＨ２＝ＣＨ（ＣＦ２）７ＣＦ３
【００３１】本発明に用いる紫外線硬化型接着剤には、
前述したフッ素系モノマーの他、光開始剤や増感剤を併
用することもでき、これにより紫外線による重合硬化を
迅速に行うことができると共に、重合度を高めることに
よって接着強度を向上させることも可能となる。光開始
剤としては、勿論これに限定されないが、１−フェニル
−２−ヒドロキシ−メチルプロパン−１−オン、ジエト
キシアセトフェノン、ベンゾインブチルエーテル等を挙
げることができる。これら光開始剤の中では、１−フェ
ニル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン
が、露光感度が高く、耐光性、接着性に優れていること
から好適に用いることができ、０．１〜１０重量％の量
で配合することができる。また同様に増感剤としては、
ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイ
ソプロピルエーテル、ベンゾフェノン等を挙げることが
できる。これら増感剤の中では、ベンゾインが、露光感
度が高く、耐光性、接着性に優れていることから好適に
用いることができ、０．０１〜５重量％の量で配合する
ことができる。
前述したフッ素系モノマーの他、光開始剤や増感剤を併
用することもでき、これにより紫外線による重合硬化を
迅速に行うことができると共に、重合度を高めることに
よって接着強度を向上させることも可能となる。光開始
剤としては、勿論これに限定されないが、１−フェニル
−２−ヒドロキシ−メチルプロパン−１−オン、ジエト
キシアセトフェノン、ベンゾインブチルエーテル等を挙
げることができる。これら光開始剤の中では、１−フェ
ニル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン
が、露光感度が高く、耐光性、接着性に優れていること
から好適に用いることができ、０．１〜１０重量％の量
で配合することができる。また同様に増感剤としては、
ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイ
ソプロピルエーテル、ベンゾフェノン等を挙げることが
できる。これら増感剤の中では、ベンゾインが、露光感
度が高く、耐光性、接着性に優れていることから好適に
用いることができ、０．０１〜５重量％の量で配合する
ことができる。
【００３２】前述した紫外線硬化型フッ素系モノマー
は、所望により上記光開始剤等を配合して、直接ペリク
ル枠に施すことができ、ペリクル膜を載置した後、波長
２２０〜６００ｎｍの紫外線を照射することによってペ
リクル膜をペリクル枠に固定することが可能となる。
は、所望により上記光開始剤等を配合して、直接ペリク
ル枠に施すことができ、ペリクル膜を載置した後、波長
２２０〜６００ｎｍの紫外線を照射することによってペ
リクル膜をペリクル枠に固定することが可能となる。
【００３３】（ペリクル膜）本発明のペリクルに用いる
ペリクル膜は、フッ素系材料から成るものであり、この
フッ素系材料としては、勿論これに限定されないが、テ
トラフロオロエチレンと環状パーフルオロエーテル基を
有するフッ素系モノマーとを共重合して得られる非晶質
フッ素系重合体を好適に用いることができる。このフッ
素系重合体からのペリクル膜の製造は、上記フッ素系重
合体をフッ素系溶媒、特にパーフルオロ系の有機溶媒、
例えば、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラ
ン）、パーフルオロ（２−プロピルテトラヒドロピラ
ン）、パーフルオロヒドロフラン、パーフルオロオクタ
ン等を用いて０．１乃至２０重量％、特に０．３乃至１
０重量％の濃度に溶解した後、それ自体公知の流延製膜
法、例えばスピンコート法、ナイフコート法等により行
うことができ、一般にガラス板等の平滑な基体表面に樹
脂溶液を流延させて薄膜を形成させ、熱風や赤外線照射
等の手段によって乾燥させて残存溶媒を除去するのがよ
い。形成される薄膜の厚みは溶液粘度や基板の回転速度
などを変化させることにより容易に変化させることがで
き、一般に０．０５乃至１０μｍの範囲で用いる光源の
波長に対する透過率が高くなるように設定するのがよ
い。
ペリクル膜は、フッ素系材料から成るものであり、この
フッ素系材料としては、勿論これに限定されないが、テ
トラフロオロエチレンと環状パーフルオロエーテル基を
有するフッ素系モノマーとを共重合して得られる非晶質
フッ素系重合体を好適に用いることができる。このフッ
素系重合体からのペリクル膜の製造は、上記フッ素系重
合体をフッ素系溶媒、特にパーフルオロ系の有機溶媒、
例えば、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラ
ン）、パーフルオロ（２−プロピルテトラヒドロピラ
ン）、パーフルオロヒドロフラン、パーフルオロオクタ
ン等を用いて０．１乃至２０重量％、特に０．３乃至１
０重量％の濃度に溶解した後、それ自体公知の流延製膜
法、例えばスピンコート法、ナイフコート法等により行
うことができ、一般にガラス板等の平滑な基体表面に樹
脂溶液を流延させて薄膜を形成させ、熱風や赤外線照射
等の手段によって乾燥させて残存溶媒を除去するのがよ
い。形成される薄膜の厚みは溶液粘度や基板の回転速度
などを変化させることにより容易に変化させることがで
き、一般に０．０５乃至１０μｍの範囲で用いる光源の
波長に対する透過率が高くなるように設定するのがよ
い。
【００３４】本発明のペリクルにおいては、ペリクル膜
自体がフッ素系材料から成るものの他、ニトロセルロー
ス等の従来公知のペリクル膜材料から成る薄膜にフッ素
系材料から成る反射防止層を積層したペリクル膜にも好
適に使用することができる。すなわち、接着剤層に接触
する部分がフッ素系材料から成るペリクル膜であれば、
本発明に用いる紫外線硬化型フッ素系接着剤と優れた接
着性を有し、フッ素系材料から成るペリクル膜と同様の
効果を得ることができる。
自体がフッ素系材料から成るものの他、ニトロセルロー
ス等の従来公知のペリクル膜材料から成る薄膜にフッ素
系材料から成る反射防止層を積層したペリクル膜にも好
適に使用することができる。すなわち、接着剤層に接触
する部分がフッ素系材料から成るペリクル膜であれば、
本発明に用いる紫外線硬化型フッ素系接着剤と優れた接
着性を有し、フッ素系材料から成るペリクル膜と同様の
効果を得ることができる。
【００３５】（ペリクル枠）ペリクル枠としては、従来
公知のものをすべて使用することができ、勿論これに限
定されないが、アルミニウム、アルミニウム合金、ステ
ンレススチール等の金属製のものや、合成樹脂製、或い
はセラミック製のものを例示することができる。また、
本発明のペリクルはペリクル枠の一方の側に前述した接
着剤を介してペリクル膜が張設され、他方の側に粘着剤
を塗布するか、或いは両面テープを貼着する等してマス
ク等の上に取り付け可能となる。
公知のものをすべて使用することができ、勿論これに限
定されないが、アルミニウム、アルミニウム合金、ステ
ンレススチール等の金属製のものや、合成樹脂製、或い
はセラミック製のものを例示することができる。また、
本発明のペリクルはペリクル枠の一方の側に前述した接
着剤を介してペリクル膜が張設され、他方の側に粘着剤
を塗布するか、或いは両面テープを貼着する等してマス
ク等の上に取り付け可能となる。
【００３６】
【実施例】（実施例１） （ペリクル膜の作製）環状パープルオロエーテル基を有
するサイトップ（旭硝子（株）製商品名）をフッ素系溶
剤のＩＬ−２６３（トクヤマ（株）製商品名）に溶解し
て６重量％の溶液を調製し、スピンコート法で膜厚０．
８μｍの薄膜を作成した。
するサイトップ（旭硝子（株）製商品名）をフッ素系溶
剤のＩＬ−２６３（トクヤマ（株）製商品名）に溶解し
て６重量％の溶液を調製し、スピンコート法で膜厚０．
８μｍの薄膜を作成した。
【００３７】（接着剤の調製）３−（パーフルオロ−３
−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピルアクリレー
ト（ダイキンファインケミカル研究所製）を同量の１％
炭酸ソーダ水で２回洗浄し、蒸留によってｂｐ６８〜７
１℃／０．５ｍｍＨｇの留分を得た。蒸留で得たこのア
クリレート２０ｇに光開始剤としてダロキュア１１７３
（千葉ファインケミカル（株）製）０．６０ｇを加え１
時間撹拌溶解して接着剤を調製した。
−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピルアクリレー
ト（ダイキンファインケミカル研究所製）を同量の１％
炭酸ソーダ水で２回洗浄し、蒸留によってｂｐ６８〜７
１℃／０．５ｍｍＨｇの留分を得た。蒸留で得たこのア
クリレート２０ｇに光開始剤としてダロキュア１１７３
（千葉ファインケミカル（株）製）０．６０ｇを加え１
時間撹拌溶解して接着剤を調製した。
【００３８】（ペリクルの作成）アルミニウム合金製の
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、内径０．４０ｍｍφの塗布針から
４０秒／５滴の吐出量のもと、１０ｍｍ／秒の塗布速度
でペリクル枠の接着面上に接着剤を塗布した。塗布終了
１分後に、作成した薄膜のペリクル膜を貼り付けた後，
２２０〜６００ｎｍの波長を持つＵＶ照射装置で９０秒
間照射し、接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠外側
の余分の膜をカッターで切断しペリクルを作成した。
ペリクル枠（縦１４９ｍｍ×横１２２ｍｍ、高さ５．８
ｍｍ、幅２ｍｍ）に、内径０．４０ｍｍφの塗布針から
４０秒／５滴の吐出量のもと、１０ｍｍ／秒の塗布速度
でペリクル枠の接着面上に接着剤を塗布した。塗布終了
１分後に、作成した薄膜のペリクル膜を貼り付けた後，
２２０〜６００ｎｍの波長を持つＵＶ照射装置で９０秒
間照射し、接着剤を硬化した。続いて、ペリクル枠外側
の余分の膜をカッターで切断しペリクルを作成した。
【００３９】（ペリクル膜の接着強度の評価）内径０．
６５ｍｍφの針を用い、薄膜表面の上１０ｍｍの距離か
ら６５゜の角度、圧力０．２メガパスカル（ＭＰａ）の
空気を約１０ｍｍ／５秒の速度で薄膜が接着しているペ
リクル枠の内側に沿って吹きつけ、外ブローの接着性を
評価した結果、剥離は認められなかった。同様に薄膜裏
面の下１０ｍｍの距離から４５゜の角度で吹きつけて、
内ブローの接着性を評価した結果、剥離は認められなか
った。以下、実施例２〜４及び比較例１〜２は、ペリク
ル膜の作成、ペリクルの作成及びペリクル膜の接着強度
の評価については、実施例１と同様な方法で行ったの
で、詳細な説明は省略する。また、実施例２〜４に記載
のアクリレートまたはメタクリレートの重合禁止剤の除
去と蒸留についても同様な方法で行ったので省略する。
６５ｍｍφの針を用い、薄膜表面の上１０ｍｍの距離か
ら６５゜の角度、圧力０．２メガパスカル（ＭＰａ）の
空気を約１０ｍｍ／５秒の速度で薄膜が接着しているペ
リクル枠の内側に沿って吹きつけ、外ブローの接着性を
評価した結果、剥離は認められなかった。同様に薄膜裏
面の下１０ｍｍの距離から４５゜の角度で吹きつけて、
内ブローの接着性を評価した結果、剥離は認められなか
った。以下、実施例２〜４及び比較例１〜２は、ペリク
ル膜の作成、ペリクルの作成及びペリクル膜の接着強度
の評価については、実施例１と同様な方法で行ったの
で、詳細な説明は省略する。また、実施例２〜４に記載
のアクリレートまたはメタクリレートの重合禁止剤の除
去と蒸留についても同様な方法で行ったので省略する。
【００４０】（実施例２）実施例１の３−（パーフルオ
ロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピルアク
リレートの代わりに３−パーフルオロブチル−２−ヒド
ロキシプロピルアクリレートを用いた以外は実施例１と
同様に行った。その結果、外ブローと内ブロー共に剥離
は認められなかった。
ロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピルアク
リレートの代わりに３−パーフルオロブチル−２−ヒド
ロキシプロピルアクリレートを用いた以外は実施例１と
同様に行った。その結果、外ブローと内ブロー共に剥離
は認められなかった。
【００４１】（実施例３）３−パーフルオロブチル−２
−ヒドロキシプロピルアクリレート１８ｇと３−（パー
フルオロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピ
ルメタクリレート２ｇを混合した後、開始剤のダロキュ
ア１１７３を０．６ｇ加えて接着剤を調製した。実施例
１と同様にペリクルを作成し、接着性を評価した結果、
外ブローと内ブロー共に剥離は認められなかった。
−ヒドロキシプロピルアクリレート１８ｇと３−（パー
フルオロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロピ
ルメタクリレート２ｇを混合した後、開始剤のダロキュ
ア１１７３を０．６ｇ加えて接着剤を調製した。実施例
１と同様にペリクルを作成し、接着性を評価した結果、
外ブローと内ブロー共に剥離は認められなかった。
【００４２】（実施例４）実施例３の開始剤ダロキュア
を１．２ｇ加えた以外は実施例３と同様に行った。その
結果、外ブローと内ブロー共に剥離は認められなかっ
た。
を１．２ｇ加えた以外は実施例３と同様に行った。その
結果、外ブローと内ブロー共に剥離は認められなかっ
た。
【００４３】（比較例１）実施例１において、溶媒とし
て酢酸ブチルを用い、３−（パーフルオロ−３−メチル
ブチル）−２−ヒドロキシプロピルアクリレート１０
ｇ、ダロキュア１１７３を０．３ｇ、酢酸ブチル１０ｇ
の組成の接着剤を調製し、実施例１と同様にペリクルを
作成し、接着性を評価した。その結果、外ブローと内ブ
ロー共にペリクル膜と接着剤との界面で剥離が起こっ
た。
て酢酸ブチルを用い、３−（パーフルオロ−３−メチル
ブチル）−２−ヒドロキシプロピルアクリレート１０
ｇ、ダロキュア１１７３を０．３ｇ、酢酸ブチル１０ｇ
の組成の接着剤を調製し、実施例１と同様にペリクルを
作成し、接着性を評価した。その結果、外ブローと内ブ
ロー共にペリクル膜と接着剤との界面で剥離が起こっ
た。
【００４４】（比較例２）実施例１において、３−（パ
ーフルオロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロ
ピルアクリレートとダロキュア１１７３の代わりにエポ
キシ系接着剤アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）
製）を使用した以外は、実施例１と同様にペリクルを作
成し、接着性を評価した。その結果、外ブローと内ブロ
ー共にペリクル膜と接着剤との界面で剥離が起こった。
ーフルオロ−３−メチルブチル）−２−ヒドロキシプロ
ピルアクリレートとダロキュア１１７３の代わりにエポ
キシ系接着剤アラルダイトラピッド（昭和高分子（株）
製）を使用した以外は、実施例１と同様にペリクルを作
成し、接着性を評価した。その結果、外ブローと内ブロ
ー共にペリクル膜と接着剤との界面で剥離が起こった。
【００４５】
【表１】
【００４６】
【発明の効果】本発明のペリクルにおいては、フッ素系
材料から成るペリクル膜をペリクル枠に接着する接着剤
として、紫外線硬化型のフッ素系モノマーを用いること
により、ペリクル膜のペリクル枠への接着強度を向上さ
せることが可能になると共に、この紫外線硬化型フッ素
系モノマーをそのままの状態でペリクル枠に施すことが
できるので、溶媒に溶解すること等予め接着剤組成物を
調製する必要がなく、簡略化された工程で接着作業を行
うことが可能となった。しかも、溶媒を使用していない
ので、重合硬化工程で溶媒が揮散することがなく、揮散
溶媒によるペリクル膜の劣化等を有効に防止することも
できた。
材料から成るペリクル膜をペリクル枠に接着する接着剤
として、紫外線硬化型のフッ素系モノマーを用いること
により、ペリクル膜のペリクル枠への接着強度を向上さ
せることが可能になると共に、この紫外線硬化型フッ素
系モノマーをそのままの状態でペリクル枠に施すことが
できるので、溶媒に溶解すること等予め接着剤組成物を
調製する必要がなく、簡略化された工程で接着作業を行
うことが可能となった。しかも、溶媒を使用していない
ので、重合硬化工程で溶媒が揮散することがなく、揮散
溶媒によるペリクル膜の劣化等を有効に防止することも
できた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 倉田 洋行 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 (72)発明者 近藤 正浩 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 Ｆターム(参考） 2H095 BC39 4J040 DF061 GA03 GA05 JB07 LA06 MA02 MA03 MA04 MA10 NA20 PA32
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ素系材料から成るペリクル膜とペリ
クル膜を支持するペリクル枠から成るペリクルにおい
て、該ペリクル膜が紫外線硬化型フッ素系接着剤を介し
てペリクル枠に接着されていることを特徴とするペリク
ル。 - 【請求項２】 前記紫外線硬化型フッ素系接着剤が、下
記一般式（１） 【化１】 式中、Ｒ１は水素又はメチル基、Ｒ２は水素又は水酸
基、Ｒｆはフッ素含有基であり、ｎは１〜６の整数で表
されるフッ素系モノマーである請求項１記載のペリク
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181845A JP2001356473A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000181845A JP2001356473A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | ペリクル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001356473A true JP2001356473A (ja) | 2001-12-26 |
Family
ID=18682710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000181845A Pending JP2001356473A (ja) | 2000-06-16 | 2000-06-16 | ペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001356473A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7282525B2 (en) * | 2000-12-27 | 2007-10-16 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, producing method thereof and adhesive |
| JP2008176102A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレームへの膜接着剤の塗布方法 |
-
2000
- 2000-06-16 JP JP2000181845A patent/JP2001356473A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7282525B2 (en) * | 2000-12-27 | 2007-10-16 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, producing method thereof and adhesive |
| JP2008176102A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクルフレームへの膜接着剤の塗布方法 |
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