JP3485504B2 - 半導体装置のドライエッチング方法 - Google Patents

半導体装置のドライエッチング方法

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    • C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P50/00—Etching of wafers, substrates or parts of devices
    • H10P50/20—Dry etching; Plasma etching; Reactive-ion etching
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体集積回路
素子の製造において用いられる低誘電率の層間絶縁膜の
エッチング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の高集積化に伴い配線幅
や配線間隔が非常に狭まってきており、配線長も非常に
長くなってきている。その結果、配線抵抗や配線間容量
が増大し、これらによる配線遅延や消費電力の増大が無
視できなくなってきている。このような高集積化に伴う
デバイス性能への影響を低減する方法の一つとして、配
線間の絶縁膜を低誘電率化する方法が研究開発されてい
る。
【０００３】上記低誘電率材料としては、酸化膜（SiO
2）に弗素を含有したFSG膜や有機SOG（スピンオングラ
ス）膜、有機絶縁膜あるいはポーラス膜等が挙げられ
る。従来、下層配線上に層間絶縁膜としてCVD酸化膜、
低誘電率膜である有機SOG膜、さらにキャップ酸化膜を
堆積後、ドライエッチング技術を用いてビアホールを形
成する。また、キャップ酸化膜／有機SOG膜間の膜剥が
れを防止するため、有機SOG膜表面の改質のための酸素
プラズマ処理が行われる。例えば、有機SOG膜としては
酸化膜（SiO2）にアルキル基を添加した低誘電率材料を
有機溶剤に溶かしたものを用いる。
【０００４】そして、上層配線を形成しビアホールを介
して上層配線と下層配線との接続がおこなわれる。ドラ
イエッチングは、例えば、平行平板マグネトロン反応性
イオンエッチング（RIE：Reactive Ion Etching）装
置により、一般的な酸化膜のエッチング条件であるC4Ｆ
8／O2／Arの混合ガスを用いて数Paの圧力下で行われ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、有機SO
G膜などの低誘電率膜をデバイスへ導入するに当たって
は、図１に示すように、ビアホール５のエッチング時に
キャップ酸化膜３／有機SOG膜２界面付近から、容易に
ボーイングと呼ばれる弓状の窪みが形成されてしまうと
いった問題点があった。
【０００６】これは、有機SOG膜の表面改質のための酸
素プラズマ処理等により、界面が非常に疎な膜となって
しまうため、ビアホールのドライエッチング時に横方法
に容易にエッチングされてしまうためであり、また、ド
ライエッチング時の斜め入射イオンの存在によるもので
ある。このボーイング形状は、タングステン膜でビアホ
ールを埋め込む際には、タングステンと有機SOGとの反
応による腐食あるいはタングステン膜の剥がれ、あるい
は、ビアホール内に空洞の発生といった問題を引き起こ
していた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】TEOS（テトラエトキシシ
ラン）酸化膜上に有機SOG膜が積層して形成されて成る
絶縁膜を、CHF3、CH2F2及びCOの混合ガスによりビアホ
ールをドライエッチングする方法において、 CH２F2の
流量はCHF3＋CH２F2の流量の５０％以上となっているも
のである。その結果、キャップ酸化膜／有機SOG膜界面
付近のボーイングの問題が防止でき、形状の安定したビ
アホールが形成できる
【０００８】
【発明の実施の形態】第1の実施の形態を説明するため
の工程図を図２に示す。まず、図２（１）において、シ
リコン基板１１に下層配線１２となる金属配線を形成
後、金属配線上に層間絶縁膜となるプラズマTEOS酸化膜
１３、有機SOG膜１４を順次堆積し、次に形成されるキ
ャップ酸化膜１５と有機SOG膜１４間の膜剥がれを防止
するため、有機SOG膜１４表面改質のための酸素プラズ
マ処理が行われる。そして、キャップ酸化膜１５である
プラズマTEOS酸化膜を順次堆積させる。
【０００９】次に、図２（２）において、上層配線と下
層配線１２とを導通させるためのビアホールのレジスト
パターン１６を通常のフォトリソグラフィ技術により形
成し、ドライエッチングによりビアホール１７が開孔さ
れる。ビアホールのドライエッチングは、平行平板マグ
ネトロン反応性イオンエッチング装置により、CHF3／CH
2F2／COの混合ガスを用いて５．２Paの圧力条件下で行
われる。
【００１０】そして、図２（３）において、アッシング
によりレジスト１６を除去し、タングステンを全面に形
成し、CMP法により平坦化しビアホール部１７にタング
ステンプラグ１８の埋め込み配線を選択形成する。最後
に、上層の金属配線をパターニング形成し上層配線１２
と下層配線１９とを導通させる。
【００１１】本実施の形態では、CHF3／CH2F2／COの混
合ガスの流量をCHF3+CH2F2＝３０ｓｃｃｍ、CO＝１７０
ｓｃｃｍと一定に保ち、CHF3:CH2F2の混合比を変化させ
た場合の、ビアホール部における有機SOG膜１４とキャ
ップ酸化膜であるプラズマTEOS酸化膜１５の形状変化を
図3に示す。有機SOG膜１４の形状はCH2F2の割合を増加
させるにつれ、逆テーパ形状から次第に垂直形状に近づ
くことがわかる。特に、CH２F2／（ CHF3＋CH2F２）の
混合比を５０％以上にすることによって、ビアホールを
ほぼ垂直化できる。
【００１２】
【発明の効果】上述したように、エッチングガスにCHF3
／CH2F2／COの混合ガスを用いて、かつ、 CH2F2／（ CH
F3＋CH2F2）の混合比を５０％以上にすることによっ
て、ビアホールのドライエッチングをおこなうため、従
来、ビアホール部のプラズマTEOS酸化膜／有機SOG膜境
界部に生じていたボーイングの発生を防止することがで
きる。その結果、ビアホールの形状は安定し、そして、
その後のタングステン膜等の埋め込みを信頼性良く形成
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来技術におけるドライエッチングのビアホー
ル形状の問題点を説明するための図である。
【図２】本発明の実施の形態を説明するためのビアホー
ルのドライエッチング工程図である。
【図３】本発明の実施の形態を説明するためのドライエ
ッチングをおこなった場合におけるビアホール形状を示
す図である。
【符号の説明】 １１ シリコン基板 １、１２ 下層配線 １３ プラズマTEOS酸化膜 ２、１４ 有機SOG膜 ３、１５ キャップ酸化膜 ４、１６ レジスト膜 ５、１７ ビアホール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/3065 H01L 21/3213 H01L 21/768

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＴＥＯＳ酸化膜上にプラズマ処理により
    表面改質された有機ＳＯＧ膜を積層して形成される絶縁
    膜上に、ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２及びＣＯの混合ガスによ
    りコンタクトホールを形成する半導体装置のドライエッ
    チング方法において、 ＣＨ２Ｆ２の流量はＣＨＦ３＋ＣＨ２Ｆ２の流量の５０
    ％以上であることを特徴とする半導体装置のドライエッ
    チング方法。
  2. 【請求項２】 前記ＴＥＯＳ酸化膜はプラズマによって
    形成されていることを特徴とする請求項１記載の半導体
    装置のドライエッチング方法。
  3. 【請求項３】 前記有機ＳＯＧ膜は酸化膜シリコンにア
    ルキル基が添加されていることを特徴とする請求項１記
    載の半導体装置のドライエッチング方法。
  4. 【請求項４】 前記ドライエッチングは平行平板マグネ
    トロン反応性イオンエッチング装置を用いて行われる請
    求項１ないし３いずれか記載の半導体装置のドライエッ
    チング方法。
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